JP2014508702A - 廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置 - Google Patents
廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014508702A JP2014508702A JP2013552709A JP2013552709A JP2014508702A JP 2014508702 A JP2014508702 A JP 2014508702A JP 2013552709 A JP2013552709 A JP 2013552709A JP 2013552709 A JP2013552709 A JP 2013552709A JP 2014508702 A JP2014508702 A JP 2014508702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- desired component
- gas
- adsorption
- vessel
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 133
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 title claims abstract description 105
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims description 270
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 222
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 92
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 63
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 44
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 37
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 24
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 11
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 9
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 6
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910018194 SF 6 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 229910000078 germane Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 4
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 27
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 25
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000000047 product Substances 0.000 description 16
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 14
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 7
- 239000003570 air Substances 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 4
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 4
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 3
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003994 anesthetic gas Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 2
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 2
- 238000005173 quadrupole mass spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000013162 Cocos nucifera Nutrition 0.000 description 1
- 244000060011 Cocos nucifera Species 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- FFYUGJCEFMSZKN-UHFFFAOYSA-N [N].[Xe] Chemical compound [N].[Xe] FFYUGJCEFMSZKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 and in some cases Substances 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000000324 neuroprotective effect Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H sodium hexametaphosphate Chemical compound [Na]OP1(=O)OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])O1 GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/73—After-treatment of removed components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
- C01B23/001—Purification or separation processes of noble gases
- C01B23/0036—Physical processing only
- C01B23/0052—Physical processing only by adsorption in solids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/106—Silica or silicates
- B01D2253/108—Zeolites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/10—Nitrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/16—Hydrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/18—Noble gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/108—Hydrogen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
- B01D2257/11—Noble gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
- B01D2259/40083—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/45—Gas separation or purification devices adapted for specific applications
- B01D2259/455—Gas separation or purification devices adapted for specific applications for transportable use
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0029—Obtaining noble gases
- C01B2210/0037—Xenon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0046—Nitrogen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
Description
本出願は2012年1月26日に出願された米国出願第13/359,053号及び2011年2月7日に出願された米国仮出願第61/440,176号の優先権を主張し、それらの出願の両方の全体を参照により本明細書中に取り込む。
(a)操作設備において、所望成分及び1種以上の非所望成分を含む廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該吸着容器中で所望成分の少なくとも一部分を吸着し、そして所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取ること、
(b)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止すること、及び、
(c)(1)前記吸着容器を分離し、該吸着容器を中央処理設備に輸送し、該吸着容器から所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、又は、
(2)前記吸着容器から所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、該中間体ガスを圧縮し、圧力容器に貯蔵し、該圧力容器を分離し、該圧力容器を中央処理設備に輸送し、該圧力容器から該中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、
のいずれかにより所望成分を回収しそして濃縮することを含む。
(a)操作設備において、吸着を基礎とする回収装置を提供すること、ここで、該装置は所望成分及び1種以上の非所望成分を含む廃棄ガスから所望成分を回収するようになっており、該所望成分は輸送可能な容器中に回収されそして濃縮される、
(b)前記輸送可能な容器を受け入れ、そこから所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供するようになっている中央処理設備を提供すること、
(c)前記操作設備において、吸着を基礎とする回収装置中に前記廃棄ガスを導入し、前記輸送可能な容器中で所望成分を回収しそして濃縮すること、
(d)前記輸送可能な容器を前記中央処理設備に輸送すること、及び、
(e)前記中間体ガスから所望成分を分離しそして所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供することを含む。
(1)廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該所望成分の少なくとも一部分を吸着容器中で吸着させ、そして該所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取ること、
(2)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止すること、及び、
(3)前記吸着容器を分離し、該吸着容器を前記中央処理設備に輸送し、所望成分が濃縮された中間体ガスを前記吸着容器から抜き取り、そして所望成分を中間体ガスから分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、
の工程で行うことができる。
(1)廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該所望成分の少なくとも一部分を吸着容器中で吸着させ、そして該所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取ること、
(2)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止すること、及び、
(3)前記所望成分が濃縮された中間体ガスを前記吸着容器から抜き取り、そして該中間体ガスを圧縮しそして圧力容器中に貯蔵し、そして該圧力容器を分離すること、及び、
(4)前記圧力容器を前記中央処理設備に輸送し、前記中間体ガスを前記圧力容器から抜き取り、前記所望成分を前記中間体ガスから分離し、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、
の工程により行うことができる。
方法の1つの態様は、操作設備又は分散したプラントエリアからXe含有容器を中央処理設備に輸送することを含む。有意なコストは容器の輸送に関連するものである。従来の加圧シリンダー(「空シリンダー」と呼ぶ)、又は、吸着材が吸着Xeを含む吸着材充填容器中でのXeの輸送を比較する評価を行った。
吸着材充填容器が一旦Xeにより装填されると、吸着されたXeを回収するために最終的に処理されなければならない。本方法では、このことは中央処理設備において、又は、代わりに、操作設備又は分散したプラントにおいて行い、それにより、中央処理設備に続いて輸送するためのXeリッチガスを発生することができる。吸着材からいかに有効にXeを脱着でき、そしていかなるレベルのXeを製造することができるかを決定する実験を行った。
Claims (24)
- 廃棄ガス混合物から所望成分を回収するための方法であって、該方法は、
(a)操作設備において、所望成分及び1種以上の非所望成分を含む廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該吸着容器中で所望成分の少なくとも一部分を吸着し、そして所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取ること、
(b)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止すること、及び、
(c)(1)前記吸着容器を分離し、該吸着容器を中央処理設備に輸送し、該吸着容器から所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、又は、
(2)前記吸着容器から所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、該中間体ガスを圧縮し、圧力容器に貯蔵し、該圧力容器を分離し、該圧力容器を中央処理設備に輸送し、該圧力容器から該中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供すること、
のいずれかにより所望成分を回収しそして濃縮することを含む、方法。 - 前記操作設備は複数の操作設備の1つである、請求項1に記載の方法。
- 工程(a)において吸着容器中で所望成分を吸着させる前に、少なくとも1つの他の成分を吸着材料上に吸着させることを含み、ここで、所望成分は前記他の成分よりも吸着材料によって強く吸着される、請求項1に記載の方法。
- 前記他の成分は非所望成分の1つである、請求項3に記載の方法。
- 前記他の成分の吸着は選択された圧力以下で行い、そして所望成分の吸着は選択された圧力以上の圧力で行う、請求項3に記載の方法。
- 前記他の成分の吸着は選択された圧力で行い、そして所望成分の吸着は選択された圧力未満の圧力で行う、請求項3に記載の方法。
- 前記他の成分の吸着は中央処理設備で行い、該他の成分を吸着している吸着材料を含む吸着容器を提供し、該吸着容器を操作設備の1つへと輸送し、そして廃棄ガスを工程(a)において吸着容器中に導入する、請求項3に記載の方法。
- 所望成分が濃縮された中間体ガスの抜き取りは脱圧、排気、加熱、パージング又はそれらの任意の組み合わせを用いて吸着材料を再生することにより行う、請求項1に記載の方法。
- 前記廃棄ガスの吸着容器中への流れは所望成分のブレークスルーで停止される、請求項1に記載の方法。
- 所望成分が減損された流出物ガスを所望成分に選択的な吸着材料を含む追加の吸着容器中に導入し、吸着容器中への廃棄ガスの流れを、所望材料のブレークスルーと所望成分による吸着材料の飽和との間(両端を含む)の時点で停止し、吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止し、追加の吸着容器中への廃棄ガスの流れを開始し、そして所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取る、請求項1に記載の方法。
- 前記吸着容器を中央処理設備に輸送し、所望成分が濃縮された中間体ガスを吸着容器から抜き取り、そして所望成分を中間体ガスから分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供する、請求項10に記載の方法。
- 吸着容器中への導入前の廃棄ガスの冷却、吸着容器の外部冷却、及び、吸着容器の内部冷却からなる群より選ばれる1つ以上の冷却工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記所望成分は、キセノン、クリプトン、アルゴン、ヘリウム、水素、重水素、ヒ化水素、ホスフィン、ゲルマン、SF6、SiH4、H2Se、HF、NF3、CF4、C2F6、C3F8及びフローセンからなる群より選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 前記1種以上の非所望成分は窒素、酸素、水素、ヘリウム、クリプトン及びアルゴンからなる群より選ばれる、請求項1に記載の方法。
- 前記所望成分はキセノンであり、非所望成分は窒素である、請求項14に記載の方法。
- 所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを中央処理設備で提供するための中間体ガスからの所望成分の分離は深冷蒸留により行う、請求項1に記載の方法。
- 廃棄ガス混合物から所望成分を回収するために方法であって、該方法は、
(a)操作設備において、吸着を基礎とする回収装置を提供すること、ここで、該装置は所望成分及び1種以上の非所望成分を含む廃棄ガスから所望成分を回収するようになっており、該所望成分は輸送可能な容器中に回収されそして濃縮される、
(b)前記輸送可能な容器を受け入れ、そこから所望成分が濃縮された中間体ガスを抜き取り、そして該中間体ガスから所望成分を分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供するようになっている中央処理設備を提供すること、
(c)前記操作設備において、吸着を基礎とする回収装置中に前記廃棄ガスを導入し、前記輸送可能な容器中に所望成分を回収しそして濃縮すること、
(d)前記輸送可能な容器を前記中央処理設備に輸送すること、及び、
(e)前記中間体ガスから所望成分を分離しそして所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供することを含む、方法。 - 前記操作設備は複数の操作設備の1つである、請求項17に記載の方法。
- 前記操作設備において、
(1)廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該所望成分の少なくとも一部分を吸着容器中で吸着させ、そして該所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取る、
(2)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止する、そして、
(3)前記吸着容器を分離し、該吸着容器を前記中央処理設備に輸送し、所望成分が濃縮された中間体ガスを前記吸着容器から抜き取り、そして所望成分を中間体ガスから分離して、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供する、請求項17に記載の方法。 - 前記吸着容器からの中間体ガスの抜き取りの後に、少なくとも1つの他の成分を含むガスで吸着容器を加圧し、ここで、所望成分は前記他の成分よりも吸着材料によって強く吸着され、そして吸着容器を分離しそして工程(1)における使用のための操作設備の1つに輸送する、請求項19に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの他の成分は非所望成分の1つである、請求項20に記載の方法。
- 前記濃縮生成物ガスを圧力容器中に導入し、廃棄ガスを生成するプロセスでの再使用のための複数の操作設備の1つに輸送する、請求項18に記載の方法。
- 前記操作設備において、
(1)廃棄ガスを、所望成分に選択的な吸着材料を含む吸着容器中に導入し、該所望成分の少なくとも一部分を吸着容器中で吸着させ、そして該所望成分が減損された流出物ガスをそこから抜き取る、
(2)前記吸着容器中への廃棄ガスの流れを停止する、
(3)前記所望成分が濃縮された中間体ガスを前記吸着容器から抜き取り、そして該中間体ガスを圧縮しそして圧力容器中に貯蔵し、そして該圧力容器を分離する、そして、
(4)前記圧力容器を前記中央処理設備に輸送し、前記中間体ガスを前記圧力容器から抜き取り、前記所望成分を前記中間体ガスから分離し、所望成分がさらに濃縮された濃縮生成物ガスを提供する、
請求項17に記載の方法。 - 廃棄ガス混合物から所望成分を回収するための装置であって、
(a)所望成分及び1種以上の非所望成分を含む廃棄ガスから所望成分を回収しそして濃縮して、濃縮量の所望成分を提供するようになっている、操作設備における、吸着を基礎とする回収装置、
(b)濃縮量の所望成分を含み、そして前記操作設備から中央処理設備へと輸送するようになっている輸送可能な容器、ここで、該輸送可能な容器は、
(1)濃縮量の所望成分を圧縮ガスとして受け入れそして含むようになっている圧力容器、又は、
(2)所望成分の少なくとも一部分を吸着状態で含むようになっている、吸着材料で充填されている圧力容器、
のいずれかを含む、
(c)中央処理設備において所望成分のさらなる回収及び濃縮を行い、所望成分がさらに濃縮された濃縮圧縮生成物ガスを提供するようになっている最終回収及び濃縮装置、
を含む、装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161440176P | 2011-02-07 | 2011-02-07 | |
US61/440,176 | 2011-02-07 | ||
US13/359,053 | 2012-01-26 | ||
US13/359,053 US8795411B2 (en) | 2011-02-07 | 2012-01-26 | Method for recovering high-value components from waste gas streams |
PCT/US2012/023952 WO2012109135A1 (en) | 2011-02-07 | 2012-02-06 | Method and system for recovering high -value components from waste gas streams adsorption |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014508702A true JP2014508702A (ja) | 2014-04-10 |
JP5926292B2 JP5926292B2 (ja) | 2016-05-25 |
Family
ID=45755526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013552709A Active JP5926292B2 (ja) | 2011-02-07 | 2012-02-06 | 廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8795411B2 (ja) |
JP (1) | JP5926292B2 (ja) |
KR (1) | KR101534650B1 (ja) |
CN (1) | CN103561846B (ja) |
SG (1) | SG192112A1 (ja) |
TW (1) | TWI480087B (ja) |
WO (1) | WO2012109135A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022068203A (ja) * | 2018-08-21 | 2022-05-09 | 株式会社荏原製作所 | 不純物除去装置の製造方法、および酸素除去装置の立ち上げ方法 |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8535414B2 (en) * | 2010-09-30 | 2013-09-17 | Air Products And Chemicals, Inc. | Recovering of xenon by adsorption process |
CN103429339B (zh) | 2011-03-01 | 2015-06-10 | 埃克森美孚上游研究公司 | 具有封闭式吸附剂接触器的装置和系统及与其相关的变吸附方法 |
WO2012161828A1 (en) | 2011-03-01 | 2012-11-29 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and systems having a rotary valve assembly and swing adsorption processes related thereto |
US9351900B2 (en) | 2012-09-17 | 2016-05-31 | President And Fellows Of Harvard College | Soft exosuit for assistance with human motion |
CN108670195B (zh) * | 2013-05-31 | 2022-05-10 | 哈佛大学校长及研究员协会 | 用于辅助人体运动的软机器护甲 |
JP2016539723A (ja) | 2013-12-09 | 2016-12-22 | プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ | 補助的な可撓性スーツ、可撓性スーツシステム、ならびにそれを作製および制御して人間の可動性を補助するための方法 |
WO2015120186A1 (en) | 2014-02-05 | 2015-08-13 | President And Fellows Of Harvard College | Systems, methods, and devices for assisting walking for developmentally-delayed toddlers |
EP3128963A4 (en) | 2014-04-10 | 2017-12-06 | President and Fellows of Harvard College | Orthopedic device including protruding members |
AU2015294518B2 (en) | 2014-07-25 | 2019-06-27 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system having a valve assembly and swing adsorption processes related thereto |
JP6878271B2 (ja) | 2014-09-19 | 2021-05-26 | プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ | 人の運動を補助するためのソフトエクソスーツ |
AU2015347232B2 (en) | 2014-11-11 | 2018-02-01 | Exxonmobil Upstream Research Company | High capacity structures and monoliths via paste imprinting |
CA2970286C (en) | 2014-12-10 | 2019-08-13 | Exxonmobil Research And Engineering Company | Adsorbent-incorporated polymer fibers in packed bed and fabric contactors, and methods and devices using same |
KR20170140153A (ko) | 2014-12-23 | 2017-12-20 | 엑손모빌 업스트림 리서치 캄파니 | 구조화된 흡착제 베드, 이의 제조방법 및 이의 용도 |
CA2979869C (en) | 2015-05-15 | 2019-12-03 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto comprising mid-bed purge systems |
WO2016186726A1 (en) | 2015-05-15 | 2016-11-24 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto |
US10080991B2 (en) | 2015-09-02 | 2018-09-25 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto |
EP3344371B1 (en) | 2015-09-02 | 2021-09-15 | ExxonMobil Upstream Research Company | Process and system for swing adsorption using an overhead stream of a demethanizer as purge gas |
CA3001336A1 (en) | 2015-10-27 | 2017-05-04 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto having a plurality of valves |
AU2016346798B2 (en) | 2015-10-27 | 2019-11-07 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto having actively-controlled feed poppet valves and passively controlled product valves |
US10040022B2 (en) | 2015-10-27 | 2018-08-07 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto |
AU2016357289A1 (en) | 2015-11-16 | 2018-06-14 | Exxonmobil Upstream Research Company | Adsorbent materials and methods of adsorbing carbon dioxide |
EP3429512A4 (en) | 2016-03-13 | 2019-10-30 | President and Fellows of Harvard College | FLEXIBLE ELEMENTS FOR ANCHORING THE BODY |
CA3017612C (en) | 2016-03-18 | 2021-06-22 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto |
AU2017274288B2 (en) | 2016-05-31 | 2020-03-05 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes |
CN109195685A (zh) | 2016-05-31 | 2019-01-11 | 埃克森美孚上游研究公司 | 用于变吸附方法的装置和系统 |
EP3487666A4 (en) | 2016-07-22 | 2020-03-25 | President and Fellows of Harvard College | OPTIMIZING ORDERS FOR PORTABLE SYSTEMS |
US10434458B2 (en) | 2016-08-31 | 2019-10-08 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto |
CN109922872A (zh) | 2016-09-01 | 2019-06-21 | 埃克森美孚上游研究公司 | 使用3a沸石结构移除水的变化吸附处理 |
US10328382B2 (en) | 2016-09-29 | 2019-06-25 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for testing swing adsorption processes |
WO2018118361A1 (en) | 2016-12-21 | 2018-06-28 | Exxonmobil Upstream Research Company | Self-supporting structures having foam-geometry structure and active materials |
CN110087755A (zh) | 2016-12-21 | 2019-08-02 | 埃克森美孚上游研究公司 | 具有活性材料的自支承性结构 |
WO2018170170A1 (en) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | President And Fellows Of Harvard College | Systems and methods for fabricating 3d soft microstructures |
KR20190140028A (ko) * | 2017-05-19 | 2019-12-18 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 전기 화학적으로 게르만을 제조하는 방법 |
SE542156C2 (en) * | 2017-10-01 | 2020-03-03 | Absolent Ab | Method and system for recycling saturated active ccarbon |
CN111566044B (zh) * | 2018-01-11 | 2023-06-20 | 普莱克斯技术有限公司 | 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法 |
WO2019147516A1 (en) | 2018-01-24 | 2019-08-01 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for temperature swing adsorption |
US11413567B2 (en) | 2018-02-28 | 2022-08-16 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus and system for swing adsorption processes |
US11318410B2 (en) | 2018-12-21 | 2022-05-03 | Exxonmobil Upstream Research Company | Flow modulation systems, apparatus, and methods for cyclical swing adsorption |
AU2019202519B2 (en) * | 2019-01-18 | 2020-11-05 | Air Products And Chemicals, Inc. | Separation process and apparatus for light noble gas |
CN109939538B (zh) * | 2019-04-12 | 2020-07-28 | 中国原子能科学研究院 | 复杂裂变产物中Kr和Xe的快速分离系统及方法 |
EP3962641A1 (en) | 2019-04-30 | 2022-03-09 | Exxonmobil Upstream Research Company (EMHC-N1-4A-607) | Rapid cycle adsorbent bed |
US11655910B2 (en) | 2019-10-07 | 2023-05-23 | ExxonMobil Technology and Engineering Company | Adsorption processes and systems utilizing step lift control of hydraulically actuated poppet valves |
US11433346B2 (en) | 2019-10-16 | 2022-09-06 | Exxonmobil Upstream Research Company | Dehydration processes utilizing cationic zeolite RHO |
KR102439733B1 (ko) * | 2020-12-03 | 2022-09-02 | 주식회사 젠스엔지니어링 | 중수소와 질소의 혼합가스로부터 중수소의 분리 및 정제방법 |
US20220357104A1 (en) | 2021-05-06 | 2022-11-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Fluid recovery process and apparatus for xenon and or krypton recovery |
CN118090356A (zh) * | 2024-04-23 | 2024-05-28 | 杭州湘亭科技有限公司 | 一种放射性流出物氪-85废气浓缩采集系统 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS523576A (en) * | 1975-06-25 | 1977-01-12 | Antipoll Recycling Consult | Method of removing vapor of organic solvents and adsorber and tank car for carrying out method thereof |
JPS62266381A (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-19 | 共同酸素株式会社 | キセノン製造方法 |
JP2002500736A (ja) * | 1997-05-20 | 2002-01-08 | アドバンスト・テクノロジィ・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 流体のためのバルク貯蔵および供給システム |
JP2003221212A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-08-05 | Air Products & Chemicals Inc | キセノン及び/又はクリプトンの回収方法並びに吸着装置 |
JP2008137847A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Air Liquide Japan Ltd | キセノンの回収システムおよび回収装置 |
JP2011000538A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Mitsubishi Electric Corp | ガス状炭化水素回収装置及び方法 |
Family Cites Families (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1595681A (en) | 1919-12-06 | 1926-08-10 | Gasoline Recovery Corp | Process for the recovery of hydrocarbon vapors and derivatives thereof |
US3384976A (en) * | 1965-12-21 | 1968-05-28 | Hayes Inc C I | Apparatus for treating an atmosphere and a remote regenerator therefor |
JPS523576B2 (ja) * | 1971-10-29 | 1977-01-28 | ||
US3965196A (en) * | 1972-03-16 | 1976-06-22 | Davy Powergas Limited | Hydrocarbon recovery process |
US3902874A (en) | 1973-12-13 | 1975-09-02 | Shell Oil Co | Vapor recovery and disposal system |
US3874427A (en) * | 1974-03-20 | 1975-04-01 | Calgon Corp | Fuel vapor recovery system |
DE2707226B1 (de) | 1977-02-19 | 1978-02-16 | Ceag Filter Entstaubung | Verfahren zur abtrennung dampf- oder gasfoermiger verunreinigungen aus einem luft- oder gasstrom mit einem adsorptionsfilter |
US5231980A (en) * | 1987-03-04 | 1993-08-03 | Praxair Canada, Inc. | Process for the recovery of halogenated hydrocarbons in a gas stream |
AU601817B2 (en) * | 1987-03-04 | 1990-09-20 | Union Carbide Canada Limited | Process for the recovery of halogenated hydrocarbons in a gas stream |
US4842621A (en) | 1987-03-26 | 1989-06-27 | The Dow Chemical Company | Recovery process |
DE3803454A1 (de) | 1988-02-05 | 1989-08-17 | Werner Meissner | Absorbat - transportbehaelter |
DE4000499A1 (de) | 1990-01-10 | 1991-07-11 | Hermann Prof Dipl In Schreiner | Emissions-freier desorptionsprozess |
US5152812A (en) | 1991-05-10 | 1992-10-06 | Kovach J Louis | Recovery of condensable organic compounds from inert gas streams laden |
US5389125A (en) | 1993-08-20 | 1995-02-14 | Daniel D. Thayer | Automated system for recovery of VOC's from process air |
US5512082A (en) | 1993-11-12 | 1996-04-30 | Uop | Process for the removal of volatile organic compounds from a fluid stream |
US5415682A (en) | 1993-11-12 | 1995-05-16 | Uop | Process for the removal of volatile organic compounds from a fluid stream |
US6132492A (en) | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
US5518528A (en) | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
DE19545598A1 (de) | 1995-12-06 | 1997-06-26 | Messer Griesheim Gmbh | Analytische Konfiguration zur Überwachung von Xenon-haltigem Narkosegas |
US5673553A (en) | 1995-10-03 | 1997-10-07 | Alliedsignal Inc. | Apparatus for the destruction of volatile organic compounds |
US5914091A (en) | 1996-02-15 | 1999-06-22 | Atmi Ecosys Corp. | Point-of-use catalytic oxidation apparatus and method for treatment of voc-containing gas streams |
DE19646791A1 (de) | 1996-11-13 | 1998-05-14 | Draegerwerk Ag | Anordnung zur Anreicherung von Xenon aus einem Gasgemisch |
DE29719775U1 (de) | 1996-12-11 | 1998-02-05 | SGI-Prozesstechnik GmbH, 63674 Altenstadt | Druckwechselanlage zur Gewinnung von Sauerstoff aus der Luft |
US5985008A (en) | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
JP4112659B2 (ja) | 1997-12-01 | 2008-07-02 | 大陽日酸株式会社 | 希ガスの回収方法及び装置 |
JP2000009037A (ja) | 1998-06-18 | 2000-01-11 | Fujitsu Ltd | 排気装置及び排気方法 |
US6408849B1 (en) | 1999-06-18 | 2002-06-25 | Aeronex, Inc. | Recovery and purification of gases used in medical processes |
RU2183476C2 (ru) | 1999-07-26 | 2002-06-20 | Государственное унитарное предприятие "Техноцентр "Лазерная диагностика и чистые технологии" | Способ ингаляционной анестезии и оборудование для его осуществления |
US6372018B1 (en) | 2000-03-14 | 2002-04-16 | Harold R. Cowles | VOC removal or destruction system |
JP3461328B2 (ja) | 2000-06-16 | 2003-10-27 | キヤノン株式会社 | ガス処理装置及びその方法 |
US6478849B1 (en) | 2000-08-11 | 2002-11-12 | Dresser, Inc. | Vapor recovery system for fuel storage tank |
RU2181604C1 (ru) | 2000-08-30 | 2002-04-27 | Государственное унитарное предприятие Техноцентр "Лазерная диагностика и чистые технологии" (дочернее предприятие ГУП НИКИЭТ) | Автономная малогабаритная станция для регенерации ксенона из отработанных газонаркотических смесей |
JP4769350B2 (ja) | 2000-09-22 | 2011-09-07 | 大陽日酸株式会社 | 希ガスの回収方法及び装置 |
US6428608B1 (en) | 2000-12-22 | 2002-08-06 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for controlling air quality |
WO2003011431A1 (en) | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Praxair Technology, Inc. | Helium recovery |
CN1281295C (zh) | 2001-07-31 | 2006-10-25 | 普莱克斯技术有限公司 | 氦气回收用控制系统 |
JP3891834B2 (ja) | 2001-12-04 | 2007-03-14 | 大陽日酸株式会社 | ガス供給方法及び装置 |
JP3899282B2 (ja) | 2002-04-15 | 2007-03-28 | 大陽日酸株式会社 | ガス分離方法 |
GB0210021D0 (en) | 2002-05-01 | 2002-06-12 | Air Prod & Chem | Ultrasonic gas analyser |
PT102772A (pt) | 2002-05-02 | 2003-11-28 | Sysadvance Sist S De Engenhari | Unidade externa para reciclo de xenon contido em misturas anestesicas gasosas |
US7261763B2 (en) | 2003-07-17 | 2007-08-28 | The Boc Group, Inc. | Method for the recovery and recycle of helium and chlorine |
GB0324883D0 (en) | 2003-10-24 | 2003-11-26 | Boc Group Plc | Extreme ultra violet lithography |
US20050109207A1 (en) | 2003-11-24 | 2005-05-26 | Olander W. K. | Method and apparatus for the recovery of volatile organic compounds and concentration thereof |
JP4652860B2 (ja) | 2004-04-27 | 2011-03-16 | 大陽日酸株式会社 | クリプトン又はキセノンの回収方法 |
US7285154B2 (en) | 2004-11-24 | 2007-10-23 | Air Products And Chemicals, Inc. | Xenon recovery system |
US7951225B2 (en) * | 2005-05-03 | 2011-05-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing systems, and fluid supply processes comprising same |
US7947118B2 (en) * | 2007-05-15 | 2011-05-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Containerized gas separation system |
EP2162202A1 (en) | 2007-05-23 | 2010-03-17 | L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | System and method for recovery and reuse of xenon from ventilator |
KR20090080609A (ko) | 2008-01-22 | 2009-07-27 | 삼성전기주식회사 | 양면 발광 소자 패키지 및 그 제조 방법 |
FR2937258B1 (fr) | 2008-10-21 | 2011-05-20 | Air Liquide | Repressurisation d'un vsa traitant un melange gazeux comprenant un combustible |
US8591634B2 (en) | 2010-01-28 | 2013-11-26 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method and equipment for selectively collecting process effluent |
RU115597U1 (ru) | 2011-12-01 | 2012-04-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Ордена Трудового Красного Знамени Центральный научно-исследовательский институт "Комета" | Устройство приема и передачи гидроакустических сигналов |
RU122631U1 (ru) | 2012-07-30 | 2012-12-10 | Дмитрий Андреевич Урдин | Устройство для рулевого управления транспортного средства с электромеханическим усилителем |
-
2012
- 2012-01-26 US US13/359,053 patent/US8795411B2/en active Active
- 2012-02-06 CN CN201280012961.3A patent/CN103561846B/zh active Active
- 2012-02-06 JP JP2013552709A patent/JP5926292B2/ja active Active
- 2012-02-06 KR KR1020137023717A patent/KR101534650B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-06 WO PCT/US2012/023952 patent/WO2012109135A1/en active Application Filing
- 2012-02-06 SG SG2013056353A patent/SG192112A1/en unknown
- 2012-02-07 TW TW101103963A patent/TWI480087B/zh active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS523576A (en) * | 1975-06-25 | 1977-01-12 | Antipoll Recycling Consult | Method of removing vapor of organic solvents and adsorber and tank car for carrying out method thereof |
JPS62266381A (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-19 | 共同酸素株式会社 | キセノン製造方法 |
JP2002500736A (ja) * | 1997-05-20 | 2002-01-08 | アドバンスト・テクノロジィ・マテリアルズ・インコーポレイテッド | 流体のためのバルク貯蔵および供給システム |
JP2003221212A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-08-05 | Air Products & Chemicals Inc | キセノン及び/又はクリプトンの回収方法並びに吸着装置 |
JP2008137847A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Air Liquide Japan Ltd | キセノンの回収システムおよび回収装置 |
JP2011000538A (ja) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Mitsubishi Electric Corp | ガス状炭化水素回収装置及び方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022068203A (ja) * | 2018-08-21 | 2022-05-09 | 株式会社荏原製作所 | 不純物除去装置の製造方法、および酸素除去装置の立ち上げ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103561846B (zh) | 2016-10-12 |
KR101534650B1 (ko) | 2015-07-08 |
US20130019749A1 (en) | 2013-01-24 |
TW201233428A (en) | 2012-08-16 |
JP5926292B2 (ja) | 2016-05-25 |
SG192112A1 (en) | 2013-08-30 |
CN103561846A (zh) | 2014-02-05 |
WO2012109135A1 (en) | 2012-08-16 |
TWI480087B (zh) | 2015-04-11 |
US8795411B2 (en) | 2014-08-05 |
KR20130129278A (ko) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5926292B2 (ja) | 廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置 | |
EP1867379B1 (en) | Pressure swing adsorption process with improved recovery of high-purity product | |
FI85953C (fi) | Foerfarande foer framstaellning av en syreprodukt med en renhetsgrad av 95% fraon omgivande luft. | |
CN111566044B (zh) | 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法 | |
JP2005336046A (ja) | ガス回収容器、ガス回収容器を用いた希ガスの回収方法、ガス回収容器内へのガス回収装置及びガス回収容器からのガス導出装置 | |
NO178365B (no) | Fremgangsmåte for fjernelse av gassformige forurensninger fra luft ved en trykksvingningsprosess | |
JP2007130611A (ja) | 圧力変動吸着式ガス分離方法及び分離装置 | |
JP3921203B2 (ja) | ガス分離方法および装置 | |
CN101869797B (zh) | 一种从空气中提取高纯度氮气的方法与装置 | |
RU2707767C1 (ru) | Процесс криогенной адсорбции для извлечения ксенона | |
CN102765701B (zh) | 一种六氟化硫气体净化提纯方法及其净化提纯固化罐 | |
JP2004000819A (ja) | ガス分離方法 | |
JP2001110284A (ja) | ガス回収装置 | |
JP4033591B2 (ja) | Sf6ガス回収装置 | |
JP4481112B2 (ja) | 圧力変動吸着式ガス分離方法及び装置 | |
KR20080021245A (ko) | 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치 | |
JP3169647B2 (ja) | プレッシャースイング式吸着方法および吸着装置 | |
JP2006061831A5 (ja) | ||
JPH07267612A (ja) | 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置 | |
JP2009249571A (ja) | バイオガス中の硫化水素の除去方法 | |
JP2013194005A (ja) | 溶解アセチレンの精製方法及び装置 | |
WO2023037854A1 (ja) | 精製ガスの製造方法、ドライアイスの製造方法、精製ガスの製造装置およびドライアイスの製造装置 | |
JPS6097021A (ja) | 吸着法を使用して一酸化炭素ガスを含む混合ガスより一酸化炭素ガスを精製する方法 | |
JPH06142431A (ja) | 高純度酸素製造方法 | |
JP2020006324A (ja) | ガス分離装置及びガス分離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140930 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20151124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160322 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5926292 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |