JP2002500736A

JP2002500736A - 流体のためのバルク貯蔵および供給システム

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Publication number: JP2002500736A
Application number: JP55056998A
Authority: JP
Inventors: マクマナス，ジェイムズ・ブイ; ブレストバンスキー，デニス・エフ; カーリン，ピーター・エス
Original assignee: Advanced Technology Materials Inc
Current assignee: Advanced Technology Materials Inc
Priority date: 1997-05-20
Filing date: 1998-05-20
Publication date: 2002-01-08
Also published as: KR20010012811A; EP1017475A4; KR100562726B1; WO1998052677A1; AU7689398A; EP1017475A1; US5961697A

Abstract

(57)【要約】流体貯蔵および供給システム（２００）は、収着可能な流体を保持するための固相の物理的収着媒材料（２０６）を中に含む貯蔵および供給容器（２０４）と、該貯蔵および供給容器と関連付けられる移動輸送アセンブリとを含む。該貯蔵および供給容器は、貯蔵のために流体を該容器内に、また、供給のために流体を該容器外に、選択的に流すように構成される。該固相の物理的収着媒体上に物理的に吸着された該収着可能な流体は、圧力差による脱着および／または熱による脱着によって選択的に脱着が可能であって、該容器が移動輸送中であるときおよび／または該容器が静止しているときにガスを供給する。

Description

【発明の詳細な説明】流体のためのバルク貯蔵および供給システム発明の背景発明の分野この発明は一般に、流体成分が、固体収着媒体によって収着的に保持されており、供給動作において収着媒体から脱着的に解放される容器から、流体を選択的に供給するための貯蔵および供給システムに関する。より特定的には、この発明は、このタイプのバルク貯蔵および供給システムに関する。関連分野の説明広範囲にわたる産業プロセスおよび応用において、コンパクトで持ち運び可能でありかつ要求があり次第処理流体を与えるのに利用可能な信頼性のある処理流体供給源が必要とされる。このようなプロセスおよび応用には、半導体製造、イオン注入、フラットパネルディスプレイの製造、医療、水処理、救急呼吸器具、溶接作業、液体およびガスの送出を含む宇宙配備応用例などが含まれる。１９８８年５月１７日に発行されたKarl O．Knollmuellerへの米国特許第４，７４４，２２１号は、アルシンを貯蔵した後に送出する方法を開示しており、これは、アルシンを約−３０℃から約＋３０℃の温度で細孔の大きさが約５から約１５オングストロームの範囲であるゼオライトに接触させてアルシンをゼオライトに吸着させ、次にゼオライトを十分な時間をかけて約１７５℃の温度まで加熱することによりアルシンをゼオライト材料から放出してアルシンを送出することによって行なわれる。 Knollmueller特許に開示された方法は、ゼオライト材料に対する加熱手段を設ける必要があり、この手段はゼオライトを十分な温度まで加熱して先に吸着されたアルシンを所望の量だけゼオライトから脱着するように構成および配置しなければならないという点において不利である。アルシンを伴っているゼオライトを収容する容器の外側で加熱ジャケットまたはその他の手段を用いることには、この容器の熱容量が一般的に非常に大きいため供給動作に多大なる遅延時間が生じるという点で問題がある。さらに、アルシンの加熱によってアルシンは分解しその結果水素ガスが形成されてプロセスシステムに爆発の危険が生まれる。加えて、このような熱を媒介としたアルシンの分解はプロセスシステムにおけるガス圧力の実質的な上昇を引き起こし、これはシステム寿命および動作効率の点からすれば非常に不利となり得る。ゼオライト床そのものの内部に加熱コイルまたはその他の加熱要素を配置することには問題がある。なぜならこのような手段でゼオライト床を均一的に加熱して所望のとおりに均一的にアルシンガスを放出することは困難なためである。上記のような欠点は、ゼオライト床が閉じ込められた容器に加熱した搬送ガスを流すことにより克服し得るかもしれないが、加熱搬送ガスによるアルシンの脱着に必要な温度は不本意にも高くさもなければアルシンガスの最終用途に適さず、結果として冷却またはその他の処理を行なって最終的な用途に応じて放出ガスを調節することが必要となる。１９９６年５月２１日にGlenn M．TomおよびJames V．McManusの名で発行された米国特許第５，５１８，５２８号には、Knollmueller特許に開示されたガス供給プロセスの種々の欠点を克服する、例として水素化物ガス、ハロゲン化物ガス、Ｖ族有機金属化合物などのガスの貯蔵および供給のための、ガス貯蔵供給システムについて述べられている。 Tom他特許のガス貯蔵供給システムは、固相の物理的収着媒を収容する貯蔵供給容器を含み、ガスを選択的に容器に流入させたり容器から流出させたりするようにされた、ガスの貯蔵および供給のための収着−脱着装置を含む。収着質ガスは物理的に収着媒に吸着されている。供給アセンブリは間をガスが流れるようにして貯蔵供給容器と結合され、容器の外側の圧力が容器内部の圧力を下回るようにして、収着質が固相物理的収着媒体から脱着しかつ脱着したガスが供給アセンブリを通して流れるようにする。加熱手段を用いて脱着プロセスを高めてもよいが、上記のように、加熱によって収着／脱着システムに種々の不利益が生じるため、Tom他のシステムを、脱着を少なくとも部分的に圧力差を媒介にして行なって収着質ガスを収着媒体から放出するように作動させることが好ましい。 Tom他特許の貯蔵供給容器は、先行技術の高圧ガスシリンダの使用に関していえば当該技術に実質的な進歩をもたらしている。従来の高圧ガスシリンダでは、損傷を受けているかまたは誤作動しているレギュレータアセンブリからの漏れが生じやすく、かつシリンダ内部のガス圧力が許容可能な限界を超えた場合に破裂を起こしたりシリンダから望ましくない大量のガスが放出されることもありがちである。このような過剰な圧力はたとえばガスの内部分解が原因である可能性があり、これはシリンダ内部のガス圧力の急増に繋がる。 Tom他特許のガス貯蔵供給容器はしたがって、貯蔵された収着質ガスを可逆的に搬送収着媒たとえばゼオライトまたは活性炭材料に吸着させることによって収着質ガスの圧力を減じている。流体のためのバルク貯蔵および供給システムが極めて有利である多くの産業上の応用が存在するが、既存の高圧貯蔵タンクは、そのようなタンクの漏れおよび破裂に関して、実質的な危険性および安全性の問題を持つ。したがって、この発明の目的は、高圧貯蔵および供給タンクの、先行技術での利用における上述の問題点を克服するようなバルク貯蔵および供給システムを提供する事である。この発明の他の目的および利点は、以下の開示からより十分に明らかになるであろう。発明の概要この発明は、収着可能な流体を保持するための固相物理的収着媒材料の入った貯蔵および供給容器と、貯蔵および供給容器と関連付けられる移動輸送アセンブリ(motive transport assembly)とを含む流体貯蔵および供給システムに関する。貯蔵および供給容器は、貯蔵のために流体を容器へと、および、供給のために容器から外へと、選択的に流れさせるため配置される。固相物理的収着媒体上に物理的に吸着される収着可能流体は、差圧脱着および／または熱脱着によって選択的に脱着され得、容器が移動輸送されているときおよび／または容器が静止しているとき、ガスを供給する。特定の局面において、この発明は、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムであって、固相物理的収着媒体を保持し、かつ、流体をその内外に選択的に流すように構築されかつ配列される、貯蔵および供給容器と、貯蔵および供給容器内に配置される固相物理的収着媒体と、固相物理的収着媒体上に物理的に吸着される収着可能な流体と、貯蔵および供給容器の移動輸送のため貯蔵および供給容器に構造的に結合される移動輸送乗物アセンブリとを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムに関する。このようなバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムはさらに、貯蔵および供給容器とガスのフローが連絡するよう結合され、固相物理的収着媒体からの収着可能流体の差圧で媒介される脱着、濃度差で媒介される脱着および／または熱で媒介される脱着、ならびに、脱着された流体の供給アセンブリを通じてのフローを起こすよう構築され配置される充填および供給アセンブリを含み得る。ここで使用する際には、「差圧で媒介される脱着」という語は、収着媒材料上の収着された流体を収着媒材料から脱着させる圧力条件下で起こされる脱着を意味する。このような圧力条件には、収着媒材料床の入った容器の内部の収着媒の直接的環境と容器の外側の環境との間の圧力差を含み得る。したがって、もし、容器の内部にあるボリューム（volume）が排出されていく、容器の外側の圧力条件よりも高い圧力条件で容器の中に収着媒床が入っていれば、ガスは、容器の内部から外部の位置へと流れるであろうし、ガスは、容器の内部のボリューム内の収着媒材料から脱着されるであろう。ここで使用する際には、「熱で媒介される脱着」という語は、収着媒材料が加熱されたときに起こる収着媒材料からの流体の脱着を意味する。この発明の実施においての収着媒材料からの収着された流体の脱着は、任意の適切な態様で行われ得、（収着された流体を保持する収着媒材料の入った容器へのポンピングまたは強制吸引によって行われ得る）差圧で媒介される脱着、（搬送ガスを容器に流して、流体の脱着およびエントレインメントを起こす事で行なわれ得る）濃度差で媒介される脱着および／または熱で媒介される脱着を含み得る。この発明のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムはさらに、特定の実施例において、貯蔵および供給容器内に入った加熱／冷却コイルを含み得、コイルは、熱交換流体の供給源と回路を形成する関係になるよう結合される。熱交換流体は、たとえば、吸着性を増すため固相物理的収着媒体を冷却するための冷却剤、または、熱的に脱着を支援するため固相物理的収着媒体を加熱するための加熱された流体を含み得る。この発明のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムは、任意の適切なタイプのものであり得る。これは、たとえば、貯蔵および供給容器の移動輸送のため車輪またはタイヤを含み得、たとえば、貯蔵および供給容器の移動乗物輸送のためホイール付き平床トレイラー（wheeled flat bed trailer）を含み得る。他の例としては、貯蔵および供給容器は、この様な平床トレイラーに脱着可能に装着され得る。さらに、他の例は、貯蔵および供給容器の移動乗物輸送のための鉄道車両、ロケットアセンブリ、船、荷船などを含む。具体的な局面において、ガス貯蔵および供給システムは、ロケットアセンブリの一部を構成し得、その場合、貯蔵および供給容器は、たとえば、ロケットの推進段階(booster stage)の部分、または、他の構成要素構造物またはその部分を規定し得るケーシングを構成する。この発明のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムにおいては、複数の貯蔵および供給容器が、移動輸送乗物アセンブリに装着され得る。この発明の他の局面は、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムであって、収着媒材料からの流体の差圧で媒介された脱着、濃度差で媒介された脱着および／または熱で媒介された脱着によって脱着可能な流体に対して収着親和力を有する収着媒材料の入った容器と、上に容器が装着される移動輸送乗物アセンブリと、移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード冷却源と、移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード加熱源と、それぞれオンボード冷却源およびオンボード加熱源とによって容器内の収着媒材料を選択的に冷却および加熱するための手段とを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムに関する。このようなバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムは、たとえば、宇宙船、チューブ・トレイラー・ユニット、または他の移動輸送構造物を含み得る。この発明の他の局面において、この発明のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムは、半導体製造プラントなど固定された用途の施設に結合される。したがって、たとえば、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムを構成するチューブ・トレイラー・ユニットは、半導体輸送プラントに輸送され得、プラントのインフラストラクチャと結合されて施設に止められ、施設のバルク供給源としてバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムを構成する。このようなバルク供給源としての配置例は、半導体製造プラントでのシランなどの流体の貯蔵および供給のため有利である。貯蔵および供給システム内の収着媒体は、任意の適切な収着媒材料を含み得る。好ましい収着媒は、たとえば、細孔サイズが約４から約１３オングストロームまでの範囲の結晶質アルミノケイ酸塩組成(crystalline aluminosilicate compo sitions)を含むが、細孔サイズが約２０から約４０オングストロームの範囲のいわゆる中間細孔組成物（mesopore compositions）などのより細孔の大きい結晶質アルミノケイ酸塩組成物もこの発明の広い実施において有用に用いられる可能性がある。このような結晶質アルミノケイ酸塩組成物の例は、５Ａ分子ふるい、および好ましくはバインダレス分子ふるい（binderless molecular sieve）を含む。有用な可能性のある炭素収着媒材料は、たとえばニューヨーク、ＮＹ、Kreha Corporation of Americaから利用可能なＢＡＣ−ＭＰ、ＢＡＣ−ＬＰおよびＢＡＣ−Ｇ−７０Ｒなどの均一度の高い球形粒子形状のいわゆるビード活性炭（bead activated carbon）を含む。結晶質アルミノケイ酸塩などの炭素収着媒および分子ふるい材料は、多くの場合において好ましいが、固相物理的収着媒体は、シリカ、アルミナ、マクロレテイキュレート・ポリマ（macroreticulate polymers）、多孔質珪藻土（kieselgu hr）などの他の材料を有用に含み得る。収着媒材料は、ガス貯蔵および供給システムの性能に悪影響を与える微量成分が確実にないよう、適当に加工または処理され得る。たとえば、炭素収着媒は、たとえばフッ化水素酸などで洗浄処理され得、金属および酸化物遷移金属種(oxi dic transition metal species)などの微量成分が十分にそれから取り除かれる。この発明の形態は、たとえば容器の船荷発送のためのコンテナなどを含み、多様で有り得る。この発明のバルク乗物アセンブリは、そのための流体供給アセンブリを含むかまたは含まない、貯蔵および供給容器を含み得る。つまり、この発明の装置は、一体の（native）または「オンボード」の供給アセンブリを有し得、または、供給手段は、性質上静止しており、バルク貯蔵および供給アセンブリを含む移動乗物が静止供給アセンブリが置かれた目的地に運ばれたときのみ用いられても良い。図面の簡単な説明図１は、流体の貯蔵および供給のため有用に用いられ得る、この発明の一実施例による貯蔵および供給容器および関連付けられるフロー回路の概略斜視図である。図２は、この発明の一実施例によるトレイラー装着流体貯蔵および供給システムの概略斜視図である。図３は、この発明の他実施例による流体貯蔵および供給システムを含む鉄道車両の概略斜視図である。図４は、燃料および酸化剤の両方の高効率供給を促進するため酸化剤システムと動作的に統合された、バルク貯蔵および供給容器内の収着されたガスとしての酸化可能な燃料成分を搭載した宇宙船の上面図である。図５は、この発明の貯蔵および供給容器を含む荷船アセンブリの概略斜視図である。図６は、この発明による貯蔵および供給容器を含む船の概略立面図である。図７は、この発明の一実施例によるバルク車両アセンブリを構成するチューブ・トレイラーと相互接続された半導体製造施設の部分の概略斜視図である。発明の詳細な説明およびその好ましい実施例以下の米国特許および米国特許出願の開示は、ここに引用によりその全体として援用される。１９９７年４月１１日出願の米国特許出願第０８／８０９，０１９号。１９９６年５月２１日発行の米国特許第５，５１８，５２８号。１９９８年１月６日発行の米国特許第５，７０４，９６５号。１９９８年１月６日発行の米国特許第５，７０４，９６７号。１９９８年１月１３日発行の米国特許第５，７０７，４２４号。１９９７年５月２０日出願の米国特許出願第０８／８５９，１７２号。１９９７年１２月３１日出願の米国特許出願第０９／００２，２７８号。以下の開示においては、この発明が、収着質流体としてガスを用いて説明されるが、この発明は、液体、ガス、蒸気、および多相流体に対して広く応用可能であり、単一成分流体だけでなく流体混合物の貯蔵および供給も企図することが理解されよう。次に、図面を参照し、図１は、貯蔵および供給容器１２を含む貯蔵および供給システム１０の概略図である。貯蔵および供給容器は、たとえば、細長い特徴を持つ従来のガスシリンダコンテナを含み得る。このような容器の内部のボリューム内には、適当な収着媒体１６の床１４が配される。容器１２には、その上端部にポート１９でシリンダ１２の主本体と結合される従来のシリンダ・ヘッド流体供給アセンブリ１８が設けられる。ポート１９は、シリンダの内部ボリューム１１から供給アセンブリ１８へ流体が流れる事を可能にする。シリンダーから供給される流体内の固体粒子のエントレインメントを防止するため、ポート１９は、フリットまたは他のフィルタ手段をその中に設けられていても良い。容器１２には、収着質流体の脱着を熱的に助長するために役立つ加熱コイル２５などの内部加熱手段を設け得る。しかし、好ましくは、収着質流体は、少なくとも部分的に、そして最も好ましくは完全に、差圧で媒介される脱着によって吸着された流体の入った貯蔵および供給容器から供給される。このような差圧は、一方で貯蔵および供給容器と、他方で外部供給先である環境または使用される場所との間のフローの連絡によって確立され得る。収着媒体１６は、貯蔵され、後に容器１２から供給されそこから収着質が適当に脱着可能である、流体に対して収着親和力を有する、任意の収着的に有効な材料を含み得る。例は、細孔サイズが約４から約１３オングストロームの範囲内のミクロ細孔アルミノケイ酸塩組成物（micropore aluminosilicate composition ）、細孔サイズが約２０から約４０オングストロームの範囲内の中間細孔結晶質アルミノケイ酸塩組成物などの結晶質アルミノケイ酸塩組成物、ＢＡＣ−ＭＰ、ＢＡＣ−ＬＰおよびＢＡＣ−Ｇ−７０Ｒビード炭素材料（ニューヨーク、ＮＹ、 Kureha Corporation of America）などの均一性の高い球形粒子形状のビード活性炭収着媒などの炭素収着材料、シリカ、アルミナ、マクロレティキュレート・ポリマ、多孔質珪藻土などを含む。収着媒材料は、流体貯蔵および供給システムの性能に悪影響を与え得る微量成分が確実にないよう、適当に加工または処理され得る。たとえば、収着媒は、たとえばフッ化水素酸などで洗浄処理され得、金属および酸化物遷移金属種などの微量成分が十分にそれから取り除かれる。収着媒は、貯蔵され後に供給される事が望まれる流体に対して収着親和力を有し、供給動作のために満足できる脱着性を有する、有用な収着媒材料の粒子、顆粒、押出物、粉末、クロス、ウェブ材料、ハニカム、または他のモノリシック形（monolithic form）、複合体、または、他の適当な配座の形で与えられ得る。上述のように、後に供給されるガスの収着および脱着の点から、差圧のみによって動作させる事が通常好ましいが、この発明のシステムは、いくつかの場合において、有利に、固相物理的収着媒体の選択的加熱のため貯蔵および供給容器に関して動作可能に配置される加熱器を有利に用い得、固相物理的収着媒体から熱によって強化された収着された流体の脱着を引き起こす。他の代替案としては、収着媒の床を通る搬送ガスのフローに付随する濃度差によって収着媒体からのガスの脱着を起こす事が望ましく有り得、濃度差が収着媒からのガスの脱着および搬送ガスストリーム内でのそのエントレインメントを媒介する。たとえば、図１の実施例では、ポート３２は、貯蔵および供給容器１２の下部分に設けられる。このようなポートは、搬送ガス供給ライン３０によって、搬送ガスの入った容器またはリザーバなどの搬送ガスの供給源２８とつながれる。搬送ガスは、アルゴン、窒素、ヘリウムなどの不活性ガスまたは収着質ガスの脱着のために所望の質量移送駆動力を提供する、他の任意の適当なガス種を含み得る。搬送ガスは、ポート３２から収着媒の床を通って、ポート１９から供給アセンブリ１８へと流される。図１の流体貯蔵および供給容器は、この発明の様々な実施例において以下に説明するように、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムの構成要素またはサブアセンブリとして、この発明の実施において利用され得る容器の特徴を表している。この発明の装置は、任意に、たとえば、中の収着質流体の分解産物などの、汚染物に対して収着親和力を有する化学吸着媒材料（chemisorbent material）とともに貯蔵および供給容器内に存在する固相物理的収着媒体で構築されて良い。図２は、本発明の１実施例に従った、トレイラーに装着された流体貯蔵および供給システム２００の概略的な斜視図である。該貯蔵および供給システム２００は、容器に貯蔵され選択的に供給される流体に対して収着親和力および好適な脱着解放特性を有する好適な収着媒材料の収着媒床２０６を含有する、貯蔵および供給容器２０４を含む。該収着媒床はその上に、後に使用するまで貯蔵されるよう積まれている、収着質媒体を含有する。容器２０４は、収着質流体を保持するためにかつ収着媒床からの早期脱着を最小に抑えるために、収着媒をその中に所定の温度で保つよう、絶縁されるか冷却されるかまたは他の方法で構築されかつ配列される。容器２０４を構成するコンテナには、収着可能流体を収着媒床２０６内へと最初に導入するための充填ポート２１４、および、圧力差、濃度差および／または熱的に支援された脱着条件によって、収着可能流体を脱着によって吸着媒床から供給するための放出ポート２１６を含む、充填／供給モジュール２１２が設けられる。この意味で、該コンテナには、床内に加熱／冷却コイル２０３が設けられ、その外部結合可能な端部２２６および２２８は、熱交換流体の供給源に、回路を形成する態様で結合され得る。熱交換流体は、収着流体が最初に充填ポート２１４を介して収着媒床に導入されるときに、収着可能流体の収着取込みの吸着作用による熱を相殺または改善することによって、収着可能流体のそのような収着取込みを最大にするように、床を冷却するための冷却剤を含み得る。代替的に、熱交換流体は、放出ポート２１６を介して流体を出すために脱着プロセスを熱的に支援するよう、供給時に床を加熱するための熱い流体を含み得る。図示するように、コンテナ容器２０４は、該コンテナ容器および平らな床を含むトレイラー部分をトラクター２０１に接続して図示するようなトラクターとトレイラーのアセンブリを作り出すための結合構造２０７が設けられた、ホイール付の平床トレイラー２１０上に装着される。場合によっては、コンテナ容器が平床に着脱可能に固定されていることが有利であろう。そうすれば、コンテナ容器を平床トレイラー２１０から単一で取外したり、それに取付けたりすることが可能となる。たとえば、コンテナ容器は、平床トレイラー２１０から外されて、船または荷船上にコンテナに詰められる船荷として配置されて、大洋または水辺へと出荷され得る。図３は、本発明の別の実施例に従った流体貯蔵および供給システムを含む、鉄道車両３００の概略的な斜視図である。図示される鉄道車両３００はその内部に、囲い壁ならびに上部部材および床部材内から構成された閉じ込め容器３０２内に、収着媒床３０４を含む。この閉じ込め容器３０２は、密封されるよう封止されるかまたは他の方法で、周囲環境に対して洩れがないようにされる。鉄道車両３００は、その上部壁部材に、充填ポート３２０および供給ポート３２２を含む充填／供給モジュール３１９を備える。鉄道車両は、好都合な有蓋車の形状および一般的な構造を有し、機関車または他の駆動手段と移動のために結合されて、鉄道線路３１０に沿って移動する、図示するようなホイールアセンブリ３０６および３０８上に装着される。このような可動流体貯蔵および供給システムは、ある用途へと送出するために収着質をコンプレッサ内へと移動により送出またはポンピングする、ポンプおよびコンプレッサ構成を含んでもよい。より小さい、恐らくは可動のリザーバタンクもまた含まれ得る。該リザーバタンクは、より大きな容器から流体を補充されて、必要に応じて所与の最終用途に利用され得る。図４は、バルク貯蔵および供給容器内に収着ガスとして酸化可能燃料コンポーネントを含む、宇宙船の平面図である。この容器は、酸化剤システムと動作的に統合されて、燃料および酸化剤の非常に効率的な供給が可能とされる。図示するように、宇宙船４００は、横方向に延びる翼部４２０を備える本体乗物部４１０を含む。宇宙船の後部には、エンジン４６０のノズル４２２が配され、これは、宇宙船の推進動作時に、液体酸素蒸発器４２５と結合される極低温液体酸素タンク４２４から、酸化剤供給ライン４２６を介して酸化剤を受取る。エンジン４６０は、宇宙船の推進動作中、並行して、貯蔵および供給容器４３０から燃料を受取る。容器４３０は、燃料を構成するガスのために選択的な収着親和力を有する収着媒床を含むよう構築されている。貯蔵モードにおいて、燃料ガスは収着媒材料上に収着により保持されている。（図示しない）床内の収着媒は、容器４３０内の収着媒床に配置された熱交換コイル４３２を通じる液体酸素の循環によって、極低温に冷却される。この冷却は、液体酸素ポンプ４３６の作用によってライン４３４を通じて液体酸素タンク４２４から液体酸素を流すことによって行なわれる。ライン４３４は、酸素の流れが望まれるときに開放される流量制御バルブ４３８を含む。したがって、液体酸素は、収着媒床を含有する容器における熱交換コイル４３２内におよびそれを通じて流れ、制御ユニット４４０によって動作的に制御されてライン４２９内の液体酸素タンクへと戻される。制御ユニットは、冷却コイルからタンク４２４への酸素の流れを循環させるかまたは遮断するよう選択的に開放または閉鎖することが可能な、流量制御バルブを含み得る。制御ユニットはまた、収着媒床の冷却に際し液体酸素が熱を得ることによって液体酸素が気化した場合に酸素を再び液化するための、コンデンサまたは他の手段を含み得る。液体酸素が冷却コイル４３２内で気化された場合には、結果として得られた冷たい酸素ガスは、タンク４２４から蒸発器４２５へおよび燃料がその中で酸化される航空機のエンジンへの、液体酸素の加圧ポンピング（positive-pressure pumping）を容易にするよう、圧力構築回路の一部として利用され得る。代替的に、気化した酸素は、単に、燃料ガスと混ぜるように、冷却コイル４３２からエンジンへと流され得る。燃料容器が貯蔵モードから供給モードに変換されると、バルブ４３８（かつ制御ユニット内のバルブ）を閉じることによって液体酸素による冷却が停止され、制御ユニット４４４および４５０がその中のバルブを開放する。すると、ノズル４２２から熱い流体が制御ユニット４４４によって、ライン４４２および入力ライン４４６を介して熱交換コイル４３２へとポンピングされ、該コイルを通じて流される。熱交換コイル４３２を通じて流れた後にその熱い流体は、放出ライン４４８に放出され、制御ユニット４５０によって分岐ライン４５２を通じて流れ導管４２８へと通される。熱い流体はそこから、乗物のエンジン４６０へと再循環される。容器４３０内の収着媒床のこの加熱中、収着媒は収着によって保持していた燃料を解放し、それが容器４３０から流れ導管４２８内へと放出されて、再循環する熱い流体とともにエンジン４６０へと流される。該燃料は、酸化媒体としての酸素ガスの存在下で酸化される。このような構成により、燃焼ガスの熱効率（heat duty）は回復され、収着媒体から燃料を脱着するよう収着媒床を加熱するのに使用される。燃焼ガスは非常に高温であるため、用いられる収着媒材料に対して非常に強い収着親和力を有するガスを燃料媒体として使用することが可能である。さらに、収着材料は液体酸素によって極低温領域にまで冷却されるため、非常に効率良く燃料ガスを積込むことが可能であり、乗物による作業の経済性が高められる。図５は、貯蔵および供給容器アレイ５０４を含む荷船アセンブリ５００の概略的な斜視図である。ここに図示した実施例においては、荷船５０２の上には、荷船のデッキ上面に固定された、複数の貯蔵および供給容器５０６、５０８および５１０が装着されている。それぞれの容器５０６、５０８および５１０は、マニホールド５２０に各々つながれ、マニホールド５２０は、ポンプ５１２、放出ライン５１４および結合部５１６を含むポンプアセンブリにつながれている。結合部５１６は、荷船ベースの貯蔵および供給システムを、容器５０６、５０８および５１０内の収着媒床に保持されている収着質ガスを最終的に使用する設備に連結する。図６は、本発明に従った貯蔵および供給システム６０２を含む船６００の概略的な斜視図である。容器６０２は、たとえば、川岸の心身に有害な水質を処理する効力を有する収着質ガスを保持し得る。容器６０２は、容器から脱着された収着質ガスを供給するためのノズル６０６を含む、供給アセンブリ６０４に結合される。この目的のために、供給アセンブリは、容器６０２からのガス流を監視かつ／または制御するための、バルブ調節および流量制御素子ならびに他の手段を含み得る。図７は、本発明の１実施例に従った、バルク車両アセンブリ７００を構成するチューブトレイラーに相互接続された結合アセンブリを含む、半導体製造施設７０２の一部の概略的な斜視図である。半導体製造施設７０２は、コンクリートパッド７１４または他の支持基盤上に装着される受入れステーション７１２を含む。受入れステーション７１２は、サージタンクまたはホールドアップ容器、脱着された流体を圧縮するためのコンプレッサ、温度、圧力および流速監視機器等のプロセス制御機器、流量制御バルブ、マスフローコントローラ、遮断バルブ、その他を含むよう、多種多様に構築され得る。受入れステーション７１２は、マニホールド導管７１８で終端する放出導管７１６に継がれる。このマニホールド導管は、図示されるように、分岐導管７２０、７２２、７２４、７２６および７２８に連絡する。このようなマニホールドアセンブリはしたがって、受入れステーション７１２から半導体製造施設７０２の様々な場所への流体の分配を可能にする。受入れステーション７１２は、結合ホース７１０によってポンプアセンブリ９０８に結合される。ポンプアセンブリ７０８は、チューブトレイラー７００の床７０６上に装着され、やはりチューブトレイラーの床７０６上に装着されている流体貯蔵および供給容器７０４と流れが連絡するように供給導管７０７によって結合される。チューブトレイラー７００は、ホイールが備えられた移動トレイラー構造であって、トラクターユニット（図７には示さず）と相互接続されて、乗物としてのトラクター・トレイラーユニットを構成するよう適合される。チューブトレイラー７００には、床７０６上に装着された加熱／冷却ユニット７０５が設けられている。加熱／冷却ユニット７０５は、容器７０４に対して動作的に配されて、容器内の固相の物理的収着媒体の床を選択的に加熱または冷却する。場合によっては、冷却ユニットのみを利用することが望ましいであろう。代替的に、冷却または加熱手段を何ら利用せず、絶縁媒体をその間に利用する２層の壁構造を有する容器７０４を構築して、物理的収着媒体の床内の流体が周囲温度条件および温度変化による多大な影響を受けないようにすることが望ましい場合もあろう。チューブトレイラー７００は、例示の目的で、チューブトレイラー上の容器内に貯蔵されかつ後に活性炭床から供給される流体としてシランを収着によって保持する粒子状活性炭床を含み得る。チューブトレイラー容器には、最初に、その中の床上に収着により保持されるべきシランが充填されてもよく、その後、チューブトレイラーは、チューブトレイラーとともにトラクター・トレイラーユニットを形成するトラクターユニットによって、半導体製造施設７０２へと輸送される。施設においては、トラクターはチューブトレイラーとの係合を解除される。係合解除されたチューブトレイラーはその後、半導体製造施設の適所におかれて、図示するように結合ホース７１０によって受け容れステーション７１２に結合される。その後、チューブトレイラーは、半導体製造施設のためのシランガスの静止供給源として機能する。シランガスは、必要に応じて、ポンプアセンブリ７０８および受入れステーション７１２内のコンプレッサによって、貯蔵および供給容器７０４から取出される。このように、チューブトレイラーは、施設のためのシラン供給源として、長期間適所に留めることができる。したがって、このような構成によれば、現時点の従来的なやり方のように、シランガスの小さなシリンダを輸送、設置、使用、交換および廃棄する必要がなくなる。小さなシリンダに入った高圧シランガスを利用する、現時点におけるこのようなやり方は、安全面で非常に危険であるが、このような危険は、図示しかつ説明したようなチューブトレイラーの実施例において低圧（たとえば、実質的に大気圧）のシランガス源を使用することによって、実質的に解消される。本発明の一般的な実施においては、物理的収着媒体上に貯蔵されかつ後にそれから脱着されて供給される流体は、所与の応用においてそのための物理的収着媒体が適切な収着親和力を有する好適なガス種であれば、どのようなガス種を含んでもよい。たとえば、このガスは、ドーピングおよびイオン注入、エピタキシャル成長、エッチング、化学機械平坦化、リソグラフィ、プロセス機器の洗浄等に有益であるガス等の、半導体製造作業において有益なガス種を含み得る。ガス種は特定的には、アルシン、ホスフィン、アンモニア、セレン化水素、テルル化水素、スチビン、三塩化ホウ素、三フッ化ホウ素、ジボラン、塩化水素、フッ化水素、臭化水素、塩素、二フッ化キセノン、シラン、化学蒸着のための有機金属流体等がある。以上に説明したように、本発明の貯蔵および供給容器は、収着媒材料上に吸着により保持されかつそれから容易に脱着される種々の収着可能な流体のいずれかをバルク貯蔵および供給するための、種々の他の形状が考えられる。該収着媒材料もまた、種々の好適な収着媒体のいずれによっても構成され得る。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１１年５月２１日（１９９９．５．２１）【補正内容】オンボード加熱源と、それぞれオンボード冷却源およびオンボード加熱源とによって容器内の収着媒材料を選択的に冷却および加熱するための手段とを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムに関する。このようなバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムは、たとえば、宇宙船、チューブ・トレイラー・ユニット、または他の移動輸送構造物を含み得る。この発明の他の局面において、この発明のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムは、半導体製造プラントなど固定された用途の施設に結合される。したがって、たとえば、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムを構成するチューブ・トレイラー・ユニットは、半導体輸送プラントに輸送され得、プラントのインフラストラクチャと結合されて施設に止められ、施設のバルク供給源としてバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムを構成する。このようなバルク供給源としての配置例は、半導体製造プラントでのシランなどの流体の貯蔵および供給のため有利である。貯蔵および供給システム内の収着媒体は、任意の適切な収着媒材料を含み得る。好ましい収着媒は、たとえば、細孔サイズが約４から約１３オングストロームまでの範囲の結晶質アルミノケイ酸塩組成物（crystalline aluminosilicate co mpositions）を含むが、細孔サイズが約２０から約４０オングストロームの範囲のいわゆる中間細孔組成物（mesopore compositions）などのより細孔の大きい結晶質アルミノケイ酸塩組成物もこの発明の広い実施において有用に用いられる可能性がある。このような結晶質アルミノケイ酸塩組成物の例は、５Ａ分子ふるい、および好ましくはバインダレス分子ふるい（binderless molecular sieve）を含む。有用な可能性のある炭素収着媒材料は、たとえばニューヨーク、ＮＹ、Kureha Corporation of Americaから利用可能なＢＡＣ−ＭＰ、ＢＡＣ−ＬＰおよびＢＡＣ−Ｇ−７０Ｒなどの均一度の高い球形粒子形状のいわゆるビード活性炭（be ad activated carbon）を含む。は、容器に貯蔵され選択的に供給される流体に対して収着親和力および好適な脱着解放特性を有する好適な収着媒材料の収着媒床２０６を含有する、貯蔵および供給容器２０４を含む。該収着媒床はその上に、後に使用するまで貯蔵されるよう積まれている、収着質媒体を含有する。容器２０４は、収着質流体を保持するためにかつ収着媒床からの早期脱着を最小に抑えるために、収着媒をその中に所定の温度で保つよう、絶縁されるか冷却されるかまたは他の方法で構築されかつ配列される。容器２０４を構成するコンテナには、収着可能流体を収着媒床２０６内へと最初に導入するための、カラー２１６を有する充填ポート２１４と、圧力差、濃度差および／または熱的に支援された脱着条件によって、収着可能流体を脱着によって吸着媒床から供給するための、カラー２２０を有する放出ポート２１６とを含む、充填／供給モジュール２１２が設けられる。この意味で、該コンテナには、床内に加熱／冷却コイル２０３が設けられ、その外部結合可能な端部２２６および２２８は、熱交換流体の供給源に、回路を形成する態様で結合され得る。熱交換流体は、収着流体が最初に充填ポート２１４を介して収着媒床に導入されるときに、収着可能流体の収着取込みの吸着作用による熱を相殺または改善することによって、収着可能流体のそのような収着取込みを最大にするように、床を冷却するための冷却剤を含み得る。代替的に、熱交換流体は、放出ポート２１６を介して流体を出すために脱着プロセスを熱的に支援するよう、供給時に床を加熱するための熱い流体を含み得る。図示するように、コンテナ容器２０４は、該コンテナ容器および平らな床を含むトレイラー部分をトラクター２０１に接続して図示するようなトラクターとトレイラーのアセンブリを作り出すための結合構造２０７が設けられた、ホイール付の平床トレイラー２１０上に装着される。場合によっては、コンテナ容器が平床に着脱可能に固定されていることが有利であろう。そうすれば、コンテナ容器請求の範囲１．固相物理的収着媒体を保持するように、かつ、容器内に同時にガスを流し入れることなく容器の外にガス反応物（reagent）を選択的に流し出すように、構築されかつ配列される貯蔵および供給容器と、前記貯蔵および供給容器内に配置される固相物理的収着媒体と、前記容器の内外に流されることなく、前記固相物理的収着媒体上に物理的に吸着されかつその上に貯蔵される、ガス反応物と、該貯蔵および供給容器に構造的に結合され、かつ、該貯蔵および供給容器を自家動力の乗物によって移動輸送するよう構築されかつ配列される、ホイール付の移動輸送乗物アセンブリとを含み、該貯蔵および供給容器は、該ホイール付の移動輸送乗物アセンブリと長さおよび幅が実質的に同一である、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。２．該貯蔵および供給容器とガス流が連絡するよう結合され、かつ、収着可能流体の該固相物理的収着媒体からの圧力差を媒介とする脱着、濃度差を媒介とする脱着および／または熱を媒介とする脱着が起きるようにならびに、脱着された流体がそれを通じて流れるように構築されかつ配列される、充填および供給アセンブリをさらに含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。３．該貯蔵および供給容器内に含まれる加熱／冷却コイルをさらに含み、該コイルは、熱交換流体の供給源に回路を形成する関係で結合される、請求項２に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。４．該熱交換流体は、吸着性を増すように該固相物理的収着媒体を冷却するための冷却剤を含む、請求項３に記載の流体貯蔵および供給システム。５．該熱交換流体は、熱によって脱着を支援するよう該固相物理的収着媒体を加熱するための加熱された流体を含む、請求項３に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。６．該物理的収着媒体は活性炭を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。７．該ガス反応物は、シラン、ゲルマン、アンモニア、ホスフィン、アルシン、スチビン、硫化水素、テルル化水素、セレン化水素およびガス状ハロゲン化合物からなる群より選択されるガスを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。８．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動による輸送のためのホイール付の平床トレイラーを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。９．該貯蔵および供給容器は、該平床トレイラーに着脱可能に装着される、請求項８に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１０．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動乗物による輸送のための鉄道車両を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１１．該移動輸送乗物アセンブリは、ロケットアセンブリを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１２．複数の貯蔵および供給容器が該移動輸送乗物アセンブリに装着される、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１３．該移動輸送乗物アセンブリは荷船を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１４．該移動輸送乗物アセンブリは船を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１５．ガス反応物の収着媒材料からの圧力を媒介とする脱着および／または熱を媒介とする脱着によって脱着可能である、ガス反応物に対して収着親和力を有する収着媒材料を含む容器を含み、前記容器は、該容器内にガスを同時に流し入れることなく前記容器の外にガス反応物を流し出すよう構築されかつ配列され、ガス反応物は前記収着媒材料上に物理的に吸着され、かつ前記容器の中へまたは外にガスを流すことなくその上に貯蔵され、さらに、該容器をその上に装着する自家動力の移動輸送乗物アセンブリと、該移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード冷却源と、該移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード加熱源と、該オンボード冷却源および該オンボード加熱源によって該容器内の該収着媒材料をそれぞれ選択的に冷却および加熱するための手段とを含み、該移動輸送アセンブリは、該容器のためのホイール付支持構造を含みかつある長さおよび幅を有する細長い形状であって、該容器の長さに沿って前記ホイール付支持構造上に支持され、かつ、該ホイール付支持構造と長さおよび幅が実質的に同一である、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１６．該移動輸送乗物アセンブリは宇宙船を含む、請求項１５に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１７．トラクター・トレイラー、鉄道車両、航空機、水上船および宇宙船からなる群より選択される乗物と、前記乗物上に装着されて、乗物の移動中に前記乗物によって輸送される、貯蔵および供給容器とを含み、前記貯蔵および供給容器は、固相物理的収着媒体を保持するようにかつ、該容器内に同時にガスを流し入れることなく前記容器からガスを選択的に流し出すように構築されかつ配列され、さらに前記貯蔵および供給容器内に配置される固相物理的収着媒体と、前記固相物理的収着媒体上に吸着されかつ、前記容器の内外に流されることなくその上に貯蔵される、ガスとを含み、該乗物は、ある長さおよび幅を有する細長い形状であって、該容器は、細長い形状を有し、該容器の長さに沿って前記乗物上に支持され、かつ該ホイール付支持構造と長さおよび幅が実質的に同一である、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１８．該ガスは、水素化物ガス、ハロゲン化合物ガスおよびガス状のＶ族有機金属化合物からなる群より選択される、請求項１７に記載のシステム。１９．該ガスは、シラン、ゲルマン、アンモニア、ホスフィン、アルシン、スチビン、硫化水素、テルル化水素、セレン化水素およびガス状ハロゲン化合物からなる群より選択される、請求項１７に記載のシステム。２０．トラクターユニットと結合してトラクター・トレイラーを形成するよう構築されかつ配列されるトレイラーユニットを含み、前記トレイラーユニットは、細長い形状であって、ある長さおよび幅を有するホイール付の支持構造を含み、さらに前記トラクター・トレイラーによって輸送されるよう前記トレイラーユニット上に装着される、細長い貯蔵および供給容器を含み、前記貯蔵および供給容器は、該容器の該細長い方向において該トレイラーユニットと実質的にほぼ水平に位置合せされかつそれと長さおよび幅が実質的に同一であり、前記貯蔵および供給容器は、固相物理的収着媒体を保持するようにかつ、該容器内に同時にガスを流し入れることなく前記容器から選択的にガスを流し出すように構築されかつ配列され、さらに前記貯蔵および供給容器内に配置される固相物理的収着媒体と、前記固相物理的収着媒体上に吸着されかつ、前記容器の内外に流されることなくその上に貯蔵される、ガスとを含み、前記ガスは、シラン、ゲルマン、アンモニア、ホスフィン、アルシン、スチビン、硫化水素、テルル化水素、セレン化水素およびガス状ハロゲン化合物からなる群より選択される、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者カーリン，ピーター・エスアメリカ合衆国、06801 コネティカット州、ベテル、キングスウッド・ドライブ、 11、ナンバー・72

Claims

【特許請求の範囲】１．バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムであって、固相の物理的収着媒体を保持し、かつ、流体をその内外に選択的に流すように構築されかつ配列される、貯蔵および供給容器と、前記貯蔵および供給容器内に配置される固相の物理的収着媒体と、前記固相の物理的収着媒体上に物理的に吸着される収着可能な流体と、該貯蔵および供給容器を移動により輸送するために該貯蔵および供給容器に構造的に結合される、移動輸送乗物アセンブリとを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。２．該貯蔵および供給容器とガス流が連絡するよう結合され、かつ、収着可能流体の該固相物理的収着媒体からの圧力差を媒介とする脱着、濃度差を媒介とする脱着および／または熱を媒介とする脱着が起きるように、ならびに、供給アセンブリを通じて脱着された流体が流れるように構築されかつ配列される、充填および供給アセンブリをさらに含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。３．該貯蔵および供給容器内に含まれる加熱／冷却コイルをさらに含み、該コイルは、熱交換流体の供給源に回路を形成する関係で結合される、請求項２に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。４．該熱交換流体は、吸着性を増すように該固相の物理的収着媒体を冷却するための冷却剤を含む、請求項３に記載の流体貯蔵および供給システム。５．該熱交換流体は、熱によって脱着を支援するよう該固相の物理的収着媒体を加熱するための加熱された流体を含む、請求項３に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。６．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動による輸送のためのホイールを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。７．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動による輸送のためのタイヤを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。８．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動による輸送のためのホイール付の平床トレイラーを含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。９．該貯蔵および供給容器は、該平床トレイラーに着脱可能に装着される、請求項８に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１０．該移動輸送乗物アセンブリは、該貯蔵および供給容器の移動による輸送のための鉄道車両を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１１．該移動輸送乗物アセンブリは、ロケットアセンブリを含む、請求項１に記載の記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１２．複数の貯蔵および供給容器が該移動輸送乗物アセンブリに装着される、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１３．該移動輸送乗物アセンブリは荷船を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１４．該移動輸送乗物アセンブリは船を含む、請求項１に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１５．流体の収着媒材料からの圧力を媒介とする脱着、濃度差を媒介とする脱着および／または熱を媒介とする脱着によって脱着が可能な、流体に対して収着親和力を有する収着媒材料を含む容器と、該容器をその上に装着する移動輸送乗物アセンブリと、該移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード冷却源と、該移動輸送乗物アセンブリ上のオンボード加熱源と、該オンボード冷却源および該オンボード加熱源によってそれぞれ該容器内の該収着媒材料を選択的に冷却および加熱するための手段とを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１６．該移動輸送乗物アセンブリは宇宙船を含む、請求項１５に記載のバルク乗物輸送流体貯蔵および供給システム。１７．固相の物理的収着媒体を保持するよう構築されかつ配列された貯蔵および供給容器と、前記貯蔵および供給容器内に配置される固相の物理的収着媒体と、該固相の物理的収着媒体上に物理的に吸着される収着可能な流体と、該貯蔵および供給容器にその移動による輸送のために構造的に結合される移動輸送乗物アセンブリとを含む、バルク乗物輸送流体貯蔵および供給システムと、前記収着可能な流体を利用するための固定された施設とを含み、前記施設は、該物理的収着媒体から該収着可能な流体を脱着するために、かつ、該収着可能な流体を該貯蔵および供給容器から前記施設へとそこで使用されるよう供給するために、前記貯蔵および供給容器と相互接続される、バルク流体供給源装備。１８．該施設は、半導体製造施設である、請求項１７に記載の装備。１９．前記固相の物理的収着媒体は、活性炭収着材料を含む、請求項１７に記載の装備。２０．前記収着可能な流体はシランを含む、請求項１７に記載の装備。