JP2001110284A - ガス回収装置 - Google Patents

ガス回収装置

Info

Publication number
JP2001110284A
JP2001110284A JP28204599A JP28204599A JP2001110284A JP 2001110284 A JP2001110284 A JP 2001110284A JP 28204599 A JP28204599 A JP 28204599A JP 28204599 A JP28204599 A JP 28204599A JP 2001110284 A JP2001110284 A JP 2001110284A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
pressurized
liquefier
adsorbent
mixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP28204599A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4357046B2 (ja
Inventor
Toshiaki Inohara
俊明 猪原
Takahiro Imai
隆浩 今井
Toshikazu Sato
敏和 佐藤
Hiromi Naozuka
浩美 直塚
Hiroshi Murase
洋 村瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP28204599A priority Critical patent/JP4357046B2/ja
Priority to DE60015900T priority patent/DE60015900T2/de
Priority to US09/672,775 priority patent/US6966934B1/en
Priority to EP00121476A priority patent/EP1091182B1/en
Publication of JP2001110284A publication Critical patent/JP2001110284A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4357046B2 publication Critical patent/JP4357046B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/002—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by condensation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/68—Halogens or halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10—Inorganic adsorbents
    • B01D2253/106—Silica or silicates
    • B01D2253/108—Zeolites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
    • B01D2253/302—Dimensions
    • B01D2253/308—Pore size
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
    • B01D2257/204—Inorganic halogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Gas-Insulated Switchgears (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Driving Mechanisms And Operating Circuits Of Arc-Extinguishing High-Tension Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＳＦ６ガスの回収率を高めると共に、減圧条
件下での回収効率を高めて回収作業時間の短縮化を図
る。 【解決手段】 ガス絶縁機器１と加圧液化装置６との間
には、混合ガスから窒素ガスを分離してＳＦ６ガスを濃
縮し、ＳＦ６ガスだけを加圧液化装置６に送り込むガス
分離装置５が設けられている。ガス分離装置５とガス絶
縁機器１との間には、混合ガスを保管するための導入部
バッファタンク４が設けられている。この導入部バッフ
ァタンク４及び加圧液化装置６には加圧液化装置６内の
ガス相を導入部バッファタンク４へと還流する還流ライ
ン１９が接続されている。さらに、ガス分離装置５には
吸着剤１８が封入された排出ガス溜めタンク８が接続さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁性ガスを充填
したガス絶縁機器に用いられるガス回収装置に係り、特
に、絶縁性ガスとして窒素ガスにＳＦ６ガスを少量添加
した環境対応型のガス絶縁機器に適したガス回収装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、変電所には系統切換えや保守点
検などを行うために遮断器や断路器等の機器が設置され
ている。これら機器のうち特に大形のものには、ＳＦ６
ガスが内部に充填されたガス絶縁機器が採用されてい
る。ＳＦ６ガスは絶縁性能と消弧性能に優れており、高
い信頼性を獲得している。また、ＳＦ６ガスは化学的に
も安定で無害な気体であるため、これらの機器の絶縁媒
体として広く用いられている。
【０００３】しかしながら、ＳＦ６ガスは温室効果が高
く、分解までの寿命が長いという性質も有している。そ
こで今後の長期にわたる地球環境保護の観点から、排出
規制対象として指定されるに至った。したがって、定期
検査や部品交換に際してはガス絶縁機器からＳＦ６ガス
が外部に漏れないようにこれを回収する必要がある。
【０００４】ＳＦ６ガスを回収する場合、ガス状態のま
まで回収、保管すると、ＳＦ６ガスの体積が大きいので
保管用のタンクが大型化する。タンクの大型化を防ぐた
めには高圧力状態にしてＳＦ６ガスの体積を小さくすれ
ば良いが、安全面での問題が生じ易い。そこで従来よ
り、ＳＦ６ガスを加圧液化し、ＳＦ６液としてタンクに
回収するガス回収装置が提案されている。このような装
置によれば回収用のタンクが小形で済み、安全性も確保
することができる。
【０００５】ここで、図８を参照してガス回収装置の従
来例について具体的に説明する。このガス回収装置はガ
ス絶縁機器１（図中では中身は省略）に用いられるもの
で、フィルタ２、真空・加圧ポンプ３、加圧液化装置
６、ＳＦ６液タンク７、冷凍機１１及び冷却パイプ１２
から構成されている。ガス絶縁機器１、フィルタ２、真
空・加圧ポンプ３、加圧液化装置６及びＳＦ６液タンク
７は配管１３で結ばれており、バルブ類１４にて流路が
制御されている。
【０００６】なお、フィルタ２はアークなどにより発生
するＳＦ６の分解ガスを吸着したり粒子状の異物を捕え
るものである。また、ガス絶縁機器１には高度な乾燥状
態と高いＳＦ６ガス純度が要求されるので、水分や分解
ガスの除去を目的として吸着剤があらかじめ封入されて
いる。吸着剤としては５オングストロームまたは１０オ
ングストロームのゼオライト系のものが一般的である。
【０００７】このようなガス回収装置においては、真空
・加圧ポンプ３がガス絶縁機器１から加圧液化装置６に
ＳＦ６ガスを送り込み、冷凍機１１から冷却パイプ１２
に冷媒が送られて加圧液化装置６にてＳＦ６ガスの液化
を行う。そして、ＳＦ６液タンク７がＳＦ６液を回収
し、保管することができる。
【０００８】吸着対象となる水分や分解ガス類および関
連のガス分子を吸着力の大きい方から並べると、ＨＦ、
Ｈ２Ｏ、ＳＯ２、ＳＯＦ２、ＳＯ２Ｆ２、ＣＯ２、ＳＦ
６、ＣＦ４、Ｎ２、Ｏ２のようになる。この中でＨＦは
最も反応性が高く、吸着剤に化学吸着しており、その吸
着エネルギーは、約100kcal/mol である。その他のガス
類は、物理吸着していると考えられている。
【０００９】物理吸着の場合の吸着エネルギーは、１〜
４kcal/mol程度である。物理吸着は化学吸着に比べて吸
着の程度が小さいので減圧下では、吸着剤から離脱する
ことが考えられる。（なお、物理吸着の場合、吸着順位
の低いものが吸着していても、吸着力の大きな分子が来
た場合、置換する格好で吸着していく）。これらのガス
類の中では、水分は減圧下でも離脱しにくいことが確認
されているが、ＳＯ２以下のガスは、ＳＦ６ガス回収の
ため減圧した場合には吸着剤から離脱するのでガス絶縁
機器１内から出て、回収装置側に入る可能性がある。そ
こで、フィルタ２が分解ガスや異物を捕え、加圧液化装
置６への侵入を防いでいる。
【００１０】ところで長期にわたる地球環境を考えた場
合、今後更にＳＦ６ガスの排出量を削減する必要がある
が、そのためには、排出の要因にもなる全体の使用量自
体を低減させることが望ましい。具体的には、機器の小
型化や他のガスへの変換などが提案されているが、中で
も実現性の可能性の高い対策として窒素ガスを母体ガス
としこれにＳＦ６ガスを少量添加した混合ガスの使用が
削減に有効であると考えられている。
【００１１】ＳＦ６ガスと窒素ガスの特性は大幅に異な
っており、ＳＦ６ガスの液化する条件では、窒素はガス
として存在し、２つのガスが同時に液化することはな
い。そのため、混合ガス中のＳＦ６ガスだけを液化し、
窒素ガスと分離させることが可能である。表１に両者の
特性値を示す。
【００１２】
【表１】 すなわち、ＳＦ６ガスの純度が高ければＳＦ６ガスの加
圧液化は室温（２０℃）下でも比較的低圧でも容易であ
るものが、混合ガス系では高圧力にしないとＳＦ６ガス
が液化しない。上記の表に示したように、10vol%ＳＦ６
ガスの場合、室温下では20Mpa 以上の非常に大きな圧力
が必要となり、液化が極めて困難であった。そのため、
大型の冷凍装置を併用して液化圧力を下げる必要があっ
た。その結果、装置が大型化し易くなり、ガスの回収・
リサイクルの障害になり得た。そこで本出願人は、ＳＦ
６ガスを効率良く分離でき、且つ小形化が容易な液化回
収装置（特願平１０−２３２６４０号，特願平１１−０
７８５８８号など）を提案している。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＦ６
ガスを含む混合ガスを回収する従来の技術には次のよう
な問題点があった。すなわち、加圧液化装置６に混合ガ
スを取込んでＳＦ６ガスを連続的に液化する場合、ＳＦ
６ガスの方は加圧液化装置６の働きにより液化していく
が、混合ガスの母体ガス（上記の例では窒素ガス）の方
は加圧液化装置６内にガスの状態で溜まり続けることに
なる。そのため、加圧液化装置６の設計圧力をオーバー
する前にこの母体ガスを装置６から抜かなくてはならな
い。ところが、この母体ガスには蒸気圧分のＳＦ６ガス
が含まれている可能性があり、これを大気中にそのまま
放出することができない。そこで、母体ガス中にＳＦ６
ガスが残留することがないよう、ＳＦ６ガスの回収率を
高めることが望まれていた。
【００１４】また、混合ガスの回収作業を考えると、回
収初期はガス絶縁機器内のガス圧力が高いため、バルブ
を開けるだけで自動的にガスが回収装置側に流れてい
き、流量の調整も容易である。ところが、回収作業を進
めていくと、大気圧を経て最終的には、減圧条件下で回
収を進めていかなくてはならない。減圧条件下では、加
圧・真空ポンプの能力に依存することになり、単位時間
当たりの処理量が小さくなる。そのため十分な流量を確
保することが難しくなり、回収効率が低下した。
【００１５】さらに、加圧・真空ポンプによって強制的
にガスを引いた場合、予めガス絶縁機器内に入っている
吸着剤から分解ガスが離脱し、回収装置側に排出される
ことになる。分解ガスが回収装置内に入ると、装置内の
構成材料が化学的に劣化したり、目詰まりを起こすなど
の悪影響を受けることになり、寿命の点で問題が生じ
た。そのため、ガス絶縁機器から出た分解ガスを確実に
捕えることが求められていた。
【００１６】また、前述したようにガス絶縁機器内には
通常、５オングストロームや１０オングストロームとい
う孔径に代表される色々なゼオライト系の吸着剤が主と
して封入されている。このとき、１０オングストローム
のゼオライト系の吸着剤は回収対象ガスであるＳＦ６ガ
スを吸着するので、吸着剤の量が多いと、減圧回収時に
ガス絶縁機器側からＳＦ６ガスが徐々に長期にわたって
離脱することになり、ＳＦ６ガスの回収に時間がかかる
という不具合があった。一方、５オングストロームのゼ
オライト系吸着剤だけだと、一部の５オングストローム
を超える大きさの分解ガスの吸着が困難となり、吸着速
度が遅くなる可能性があった。したがって、ガス絶縁機
器内の吸着剤における配合の最適化が望まれていた。
【００１７】本発明は、以上述べた問題点を解決するた
めに提案されたものであり、その主たる目的は、少量の
ＳＦ６ガスを含む混合ガスからＳＦ６ガスを液化回収す
る装置において、ＳＦ６ガスの回収率を高めると共に、
減圧条件下での回収効率を高めて回収作業時間の短縮化
を図ることである。
【００１８】また、本発明の他の目的は、ガス絶縁機器
から排出される分解ガスを確実に除去して装置の長寿命
化を実現することにある。さらに、本発明の他の目的
は、ガス絶縁機器内の吸着剤における配合の最適化を図
り、優れた回収効率を発揮することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は以上の目的を達
成するために提案されたもので、ＳＦ６ガスを含む複数
種の絶縁性ガスからなる混合ガスを充填したガス絶縁機
器に用いられる装置であって、ガス絶縁機器から混合ガ
スを回収してこれを加圧し前記混合ガス中のＳＦ６ガス
を液化する加圧液化装置と、前記混合ガスから分解ガス
及び粒子状の異物を除去するフィルタと、前記ガス絶縁
機器から前記加圧液化装置に前記混合ガスを送り込むポ
ンプと、前記加圧液化装置により液化されたＳＦ６液を
溜める貯蔵タンクとが備えられたガス回収装置におい
て、次のような特徴を有している。
【００２０】請求項１の発明は、前記加圧液化装置内の
ガス相を加圧液化装置に対する混合ガスの導入部へと還
流する還流ラインが設けられたことを特徴とする。
【００２１】このような請求項１の発明では、加圧液化
装置内のガス相にＳＦ６ガスが含まれていても、還流ラ
インを通して加圧液化装置の導入部側に戻し、再び加圧
液化装置に入れることができる。これにより、ＳＦ６ガ
スの回収率が大幅に向上し、ＳＦ６ガスの大気への放出
をほとんど無視できる程にＳＦ６ガスを回収することが
できる。
【００２２】請求項２の発明は、前記ガス絶縁機器と前
記加圧液化装置との間に、前記混合ガスから特定種類の
ガスを分離して高純度のＳＦ６ガスを前記加圧液化装置
に送り込むガス分離装置が設けられ、前記ガス絶縁機器
と前記ガス分離装置との間に、前記混合ガスを保管する
ための導入部バッファタンクが設けられたことを特徴と
する。
【００２３】以上のような請求項２の発明では、ガス分
離装置が混合ガスから特定種類のガスを分離して高純度
のＳＦ６ガスを加圧液化装置に送り込むので、加圧液化
装置中のＳＦ６ガスはガス絶縁機器での使用状態よりも
その純度が高くなり、液化圧力を下げることができる。
【００２４】また、ガス分離装置の上流側に設置された
導入部バッファタンクにて混合ガスをいったん溜めるこ
とができるため、減圧状態においてガスの流量が減少し
た場合、ガス分離装置以降の操作を中止して十分な流量
を確保することができる。すなわち、減圧条件下でもガ
ス流量を適正化でき、高い回収効率を維持することがで
きる。なお、導入部バッファタンクにおいてガス量が不
足した場合はそのままタンク内に封じ込めておき、次の
ガス回収操作時に回収処理すれば良いので、導入部バッ
ファタンクにて減圧処理する必要は全く無い。そのた
め、混合ガスに含まれる分解ガスの離脱は考える必要が
無い。
【００２５】請求項３の発明は、請求項２記載のガス回
収装置において、前記導入部バッファタンク内に、口径
が５オングストローム及び１０オングストロームである
ゼオライト系の吸着剤が封入されたことを特徴とする。
【００２６】この請求項３の発明では、導入部バッファ
タンク内の吸着剤が分解ガスを確実に捕えるため、ガス
分離装置や加圧液化装置内へ分解ガスが侵入することが
ない。したがって、化学的な劣化や目詰まりを起こら
ず、これら装置の寿命を延ばすことができる。
【００２７】請求項４の発明は、請求項２または３記載
のガス回収装置において、前記混合ガスを減圧して回収
するときに限って、前記導入部バッファタンクに前記混
合ガスを保管するように構成されたことを特徴とする。
【００２８】このような請求項４の発明では、混合ガス
を減圧して回収するときにだけ導入部バッファタンクに
混合ガスを保管し、加圧〜大気圧レベルでは導入部バッ
ファタンクを単に通過させることができる。そのため、
回収効率のガス絶縁機器側のガス圧力が高い回収作業の
初期には迅速に混合ガスを回収可能であり、回収作業時
間が長期化することがない。
【００２９】請求項５の発明は、請求項２、３または４
記載のガス回収装置において、前記ガス分離装置が、選
択吸着性を有する吸着剤を用いた圧力スイング吸着装置
から構成されたことを特徴とする。この請求項５の発明
では、圧力スイング吸着装置内の吸着剤が選択的な吸着
作用を行うことにより混合ガスを分離することができ
る。したがって、ＳＦ６ガスを濃縮しつつ連続的にこれ
を回収することができる。
【００３０】請求項６の発明は、請求項２、３または４
記載のガス回収装置において、前記ガス分離装置が透過
膜から構成されたことを特徴とする。この請求項６の発
明では、膜の選択的な透過により混合ガスを分離して、
前記請求項３の発明と同じくＳＦ６ガスを濃縮しつつ連
続的に回収することができる。
【００３１】請求項７の発明は、請求項２、３、４、５
または６記載のガス回収装置において、前記ガス分離装
置が多段に配置されたことを特徴とする。以上の請求項
７の発明では、複数回のガス分離工程を行うことがで
き、ＳＦ６ガスの純度をいっそう高めることが可能であ
り、液化圧力の低減を図ることができる。
【００３２】請求項８の発明は、請求項２、３、４、
５、６または７記載のガス回収装置において、前記ガス
分離装置にて分離された特定種類のガスを溜める排出ガ
ス溜めタンクが設けられ、この排出ガス溜めタンク内に
ＳＦ６ガスを吸着する吸着剤が封入されたことを特徴と
する。
【００３３】以上の請求項８の発明では、ガス分離装置
にて分離された特定種類のガス中に微量のＳＦ６ガスが
残留していても、タンク内の吸着剤の働きによりＳＦ６
ガスを吸着することができる。したがって、大気への放
出をほとんど無視できる程度にまでＳＦ６ガスを低減す
ることができる。
【００３４】請求項９の発明は、請求項１、２、３、
４、５、６、７または８記載のガス回収装置において、
前記フィルタ内に前記分解ガスを吸収する化学吸着タイ
プの吸着剤が組み込まれたことを特徴とする。この請求
項９の発明では、フィルタ内の吸着剤が分解ガスを化学
的に捕えるため、ガス分離装置や加圧液化装置内へ分解
ガスへの侵入を防ぎ、化学的な劣化や目詰まりを防止し
て、装置の長寿命化を図ることができる。
【００３５】請求項１０の発明は、請求項１、２、３、
４、５、６または７記載のガス回収装置において、前記
ガス絶縁機器内に、口径が５オングストローム及び１０
オングストロームであるゼオライト系の吸着剤が封入さ
れ、このうち５オングストロームの吸着剤の比率が８０
wt% 以上、１０オングストロームの吸着剤の比率が２０
wt% 以下となるように構成されたことを特徴とする。
【００３６】このような請求項１０の発明では、ガス絶
縁機器内に２種類の口径を持つ吸着剤を上記の配合にて
備えることによって、分解ガスの吸着性能に影響を与え
ず、且つガス絶縁機器内におけるＳＦ６ガス吸着量を最
小限にすることができる。したがって、減圧回収した時
にガス絶縁機器側からＳＦ６ガスが徐々に長期にわたっ
て離脱するような現象を回避できる。その結果、回収作
業時間が短くなり、回収効率を向上することができる。
【００３７】
【発明の実施の形態】（１）代表的な実施の形態 ［構成］以下、本発明の実施の形態の一例について図面
を参照して具体的に説明する。なお、図８に示した構成
要素と同一の部材に関しては同一符号を付して説明は省
略する。
【００３８】本実施の形態は、請求項１、２、５、８及
び９を包含するもので、ＳＦ６ガスを含む複数種の絶縁
性ガスからなる混合ガスを充填したガス絶縁機器１に用
いられるガス回収装置である。図１に示すように、本実
施の形態の構成上の特徴は次の点にある。すなわち、ガ
ス絶縁機器１と加圧液化装置６との間には、混合ガスか
ら窒素ガスを分離してＳＦ６ガスを濃縮し、ＳＦ６ガス
だけを加圧液化装置６に送り込むガス分離装置５が設け
られている。このガス分離装置５は選択吸着性を有する
吸着剤を用いた圧力スイング吸着装置から構成されてい
る。
【００３９】また、ガス分離装置５とガス絶縁機器１と
の間には、混合ガスを保管するための導入部バッファタ
ンク４が設けられている。この導入部バッファタンク４
及び加圧液化装置６には加圧液化装置６内のガス相を導
入部バッファタンク４へと還流する還流ライン１９が接
続されている。さらに、ガス分離装置５には排出ガス溜
めタンク８が接続されている。排出ガス溜めタンク８は
ガス分離装置５にて分離された窒素ガスを溜めるように
なっており、内部にはＳＦ６ガスを吸着するための１０
オングストロームのゼオライト系の吸着剤１８が封入さ
れている。
【００４０】なお、フィルタ２には分解ガスを吸収する
化学吸着タイプの吸着剤２ａが組み込まれている。この
吸着剤２ａは金属の水和物、例えばＣａ( ＯＨ) ２等か
ら構成されている。これらの構成要素は配管１３で結ば
れており、バルブ類１４で流路が制御されている。符号
９はガス回収装置全体を制御する制御装置、１０は信号
ケーブルである。
【００４１】［作用効果］以上のような構成を有する本
実施の形態は次のような作用効果を有している。まず、
ガス分離装置５におけるガスの分離原理について図２〜
図４を用いて説明する。ガス分離装置５には吸着剤とし
て図２に示すような合成ゼオライトが封入されている。
ゼオライトは、含水アルミノケイ酸塩鉱物群の総称で、
一般式MeO・Al2O3・mSiO2・nH2Oで示される。また、合成ゼ
オライトは、その表面に均一な細孔を有し、この細孔よ
りも小さい分子のみが、孔路を通って、空洞の内部に吸
着されるため、優れた選択吸着性（分子篩効果）を示
す。
【００４２】一方、分離回収対象のＳＦ６ガスと窒素ガ
スは、分子の大きさが異なっている。ＳＦ６分子はＤＳ
5.49〜ＤＬ6.06、Ｎ２分子はＤＳ3.1 〜ＤＬ4.2 である
（分子は、球形ではないため、ここでＤＳは分子の短い
方の大きさで、ＤＬは分子の長い方の大きさを示した。
単位はオングストローム）。吸着剤の細孔径が５オング
ストロームのものを使用した場合、ＳＦ６ガスは、表面
にある細孔を通れずゼオライト内部には入れないため、
吸着されず、窒素ガスだけが選択的に吸着されて、ＳＦ
６ガスの分離が容易となり、分離が可能となる。ゼオラ
イトは、結晶構造中に金属陽イオンを包蔵し、これが極
性基を静電気的に引き付けたり、分極性分子を分極して
引き付ける作用を示し吸着するもので中性分子の吸着に
も適用できる有利がある。
【００４３】ガス分離装置５では以上のような選択吸着
性を持つゼオライトにより圧力スイング吸着方式にてガ
スの分離を行うようになっている。圧力スイング吸着方
式とはその名のように吸着剤の吸着量がガス圧力に比例
することを基本原則にしており、模式的に示すと図３の
グラフのようになる。
【００４４】図４はガス分離装置５の主要部の構成を抜
き出したものである。すなわち、ガス分離装置５は２個
の分離槽１５ａ，１５ｂからなっており、内部に５オン
グストロームのゼオライト系の吸着剤１６が入ってい
る。バルブに関してはＢ１〜Ｂ７の番号を付けて基本的
な運転パターンを説明する。バルブＢ１は開、その他の
バルブは閉の状態になっている。また、バルブＢ４は開
の状態で真空ポンプに連結され減圧処理されている。ま
ずＳＦ６ガスの分離に関して説明する。
【００４５】ガス絶縁機器内の混合状態のガスは、真空
・加圧ポンプ３により、バッファタンク４を通して下流
域に流れていき、分離装置の入り口に入り、続いて分離
槽１５ａに混合ガスが注入される。一方、この時期分離
槽１５ｂは、減圧下にあり吸着していた窒素ガスを放出
した初期の再生状態にある。分離槽１５ａでは、吸着剤
の分子篩効果により、吸着剤には窒素ガスだけが吸着さ
れ、ＳＦ６ガスは濃度を上げながら流路に沿って図面上
方に流れる。最終的に分離槽１５ａの上部では、ＳＦ６
ガス濃度が高いガスが溜まる。
【００４６】そして所定圧力に達した時点で、バルブＢ
１を閉とし混合ガスの流入を止め、バルブＢ６を開にし
て濃縮したＳＦ６ガスを回収する。次いでバルブＢ６を
閉、バルブＢ３を開とし、混合ガスの流路を分離槽１５
ｂ側に変える。これにより今度はＳＦ６ガスの分離濃縮
は、分離槽１５ｂが機能することになる。そして、前サ
イクルと逆に分離槽１５ａ側は、減圧処理し、窒素ガス
を離脱し、排出すると共に吸着剤１６は再生され初期の
未吸着の状態になる。この繰り返しにより混合ガスは、
ＳＦ６ガスと窒素ガスに分離されていき、濃縮されたＳ
Ｆ６ガスを加圧液化装置６に送り込まれる。
【００４７】先に説明したように吸着工程では圧力が高
く、分子の大きさが吸着剤１６の孔径より小さい窒素ガ
スだけが多量に吸着できる。逆に圧力を低下させると吸
着剤１６に吸着している窒素ガスが離脱し、最終的に排
出され、それと同時に吸着剤１６は再生される。その後
再度ガス圧が上昇した場合、吐き出した量と同じ量だけ
窒素ガスを吸収することができる。このように吸収と再
生を交互に繰り返せば、原則的には半永久的に混合ガス
の分離が可能になる。但し、先に述べたように水分や分
解ガスの一部は吸着剤１６と強く結びつくので、初期の
性能から低下していくので、回収装置に入るガスは分解
ガス等が入らないような一定の純度管理が行う必要があ
る。
【００４８】以上述べたようにして、当初使用していた
混合ガス中のＳＦ６ガス濃度を例えば10vol%から50 vol
%濃度まで濃縮すれば、液化圧力は室温下で約4MPa程度
になる（表１参照）。したがって、既存レベルの液化装
置の使用が可能となり、高圧力にして液化する危険性も
大幅に低減される。また、冷却を併用して液化するにし
ても、機器の大型化を避けることができる。例えば、２
０℃の場合は約1.3MPaまで液化圧力を低減することがで
きる。
【００４９】また、本実施の形態では、回収作業が進ん
で減圧状態になって混合ガスの流量が減少しても、導入
部バッファタンク４において混合ガスをいったん溜める
ことができるので、ガス分離装置５以降の操作を中止し
てガス分離装置５の上流側に十分な流量を確保すること
ができる。すなわち、減圧条件下におけるガス流量の適
正化を実現することができ、高い回収効率を維持するこ
とができる。なお、導入部バッファタンク４においてガ
ス量が不足した場合は次のガス回収操作時に回収処理す
ることができる。そのため、導入部バッファタンク４に
の減圧処理は不要であり、混合ガスに含まれる分解ガス
が離脱することはない。
【００５０】さらに、本実施の形態においては、フィル
タ２内の化学吸着タイプの吸着剤２ａが分解ガスを確実
に捕えるので、ガス分離装置５や加圧液化装置６内へ分
解ガスが侵入しない。したがって、化学的な劣化や目詰
まりを起こらず、これら装置の寿命を延ばすことができ
る。
【００５１】また、ガス分離装置５にて分離された窒素
ガス中に微量のＳＦ６ガスが残留したとしても、排出ガ
ス溜めタンク８内の吸着剤１８がＳＦ６ガスだけを吸着
する。ＳＦ６ガス５％のガス圧力0.2MPaの混合ガス中に
１０オングストロームタイプのゼオライト系の吸着剤を
封入した時のＳＦ６ガス濃度の変化を図５に示す。この
ような僅かなＳＦ６ガスでも確実に吸着する。
【００５２】なお、１０オングストロームタイプのゼオ
ライト系吸着剤１８も最終的には、ＳＦ６ガス吸着が飽
和に達するので、所定量処理した後に減圧してＳＦ６ガ
スを回収すると共に吸着剤１８を再生する必要がある。
この場合には、真空・加圧ポンプ３によりＳＦ６ガスを
含んだ窒素の混合ガスとして配管１３で導入部バッファ
タンク４に還流する。短時間での回収が必要な場合には
８０〜１００℃に加熱すると良い。そして、再度分離回
収するので、ＳＦ６ガスの大気への放出はほとんど無視
できる程度まで低減でき、優れた環境調和性を発揮する
ことができる。
【００５３】また、実験によれば、１０オングストロー
ムタイプのゼオライト系吸着剤１８を充填した筒内に排
出ガスを流すだけでも、ＳＦ６ガスが吸着される効果が
あることが解っている。この場合には、ガス出口側から
減圧処理すると未吸着部分の吸着剤までＳＦ６ガスが分
散するため、カラムのガス入口側から減圧処理して再生
する方が良い。従って、必ずしもバッファタンク４でト
ラップさせる必要は無く、１０オングストロームタイプ
のゼオライト系吸着剤１８を充填した筒内に排出ガスを
流すだけでも同等の効果が得られる。
【００５４】ところで、以上述べたように本実施の形態
では、ガス分離装置５により混合ガスをＳＦ６ガスと窒
素ガスとに分離しているが、窒素ガス中にＳＦ６ガスが
混入することを極力防ぐ必要がある。このため、ガス分
離装置５内で回収ガスとしてＳＦ６ガスをポンプ３側に
送る場合、多少の窒素ガスを余分にリンスする要領でＳ
Ｆ６ガスと一緒に回収していく。この場合、窒素ガスを
連続的に回収していくと、加圧液化装置６内にはＳＦ６
ガスと窒素ガスとが溜まり続ける。ＳＦ６ガスの方は加
圧液化装置６の働きにより液化していくが、窒素ガスの
方はガスの状態で溜まり続け、加圧液化装置６内の設計
圧力をオーバーするおそれがある。そこで本実施の形態
においては、還流ライン１９を通して加圧液化装置６か
ら導入部バッファタンク４へと戻すことができる。これ
により、安全性の向上を図ることができる。
【００５５】しかも、窒素ガス中にＳＦ６ガスが残って
いたとしても、このガスが再度、ガス分離装置５及び加
圧液化装置６を通過するため、ＳＦ６ガスの回収率は大
幅に向上する。これにより、ＳＦ６ガスの大気への放出
をほとんど無視できる程にＳＦ６ガスを回収することが
可能となる。なお、還流ライン１９により自動的に窒素
ガスを戻すのではなく、別容器にこれを一時的に保管
し、バッチ式にガス分離装置５の前工程の戻しても同じ
効果が得られる。
【００５６】（２）他の実施の形態 なお、本発明は以上のような実施の形態に限定されるも
のではなく、例えば、請求項３及び４を含む実施の形態
としては、図６及び図７に示すように導入部バッファタ
ンク４内部に５オングストロームと１０オングストロー
ムのゼオライト系の吸着剤１６を封入しても良い。図６
に示した実施の形態では２つの導入部バッファタンク４
ａ、４ｂを備えており、このうちの４ｂにのみ吸着剤１
６が封入されている。これらの実施の形態は、バルブ類
１４の制御により混合ガスを減圧して回収するときに限
って、吸着剤１６を有する導入部バッファタンク４、４
ｂに混合ガスを保管するようになっている。
【００５７】以上の実施の形態によれば、導入部バッフ
ァタンク４、４ｂ内の吸着剤１６が分解ガスを確実に捕
えるので、ガス分離装置５や加圧液化装置内６へ分解ガ
スが入いらない。したがって、化学的な劣化や目詰まり
を防止でき、これら装置の寿命を延ばすことが可能であ
る。しかも、混合ガスを減圧して回収するときにだけ導
入部バッファタンク４、４ｂに混合ガスを保管し、加圧
〜大気圧レベルでは導入部バッファタンク４、４ｂを単
に通過させることができる。そのため、回収効率のガス
絶縁機器１側のガス圧力が高い回収作業の初期には迅速
に混合ガスを回収でき、回収作業時間の短縮化を図るこ
とができる。
【００５８】また、５オングストロームと１０オングス
トロームの混合ゼオライト系吸着剤１６を使用している
ため、ＳＦ６ガス自体の吸着量を抑えることができる。
さらには、分解ガスの中で分子の大きさが５オングスト
ロームより大きいものを確実に吸着することと、吸着ス
ピードを確保することが可能である。なお、以上の導入
部バッファタンク４、４ｂは減圧処理せず、運転停止は
圧力が少し掛かった状態で行なうのが良い。また、この
部分に使用している吸着剤１６は、再生出来ないので最
終的には廃棄物として処理される。
【００５９】さらに、請求項６に対応する実施の形態と
して、ガス分離装置に膜を使用しても良い。この実施の
形態では分子の大きさや膜材への溶解の差を応用したも
のなどが考えられる。
【００６０】請求項７の発明に対応する実施の形態とし
ては、ガス分離装置が多段に配置されたものも包含す
る。例えば、混合ガスを１段目のガス分離装置に導き、
濃縮したＳＦ６ガスを回収し、一方、ここから排出され
たガスを２段目のガス分離装置に導いて、微量に含まれ
るＳＦ６ガスを再度濃縮するように構成する。このよう
な実施の形態によれば、複数回のガス分離工程を行うこ
とができ、ＳＦ６ガスの純度をいっそう高めることが可
能であり、液化圧力の低減を図ることができる。
【００６１】また、請求項１０に対応する実施の形態
は、ガス回収を容易にするためのガス絶縁機器側に関す
る改善したものである。回収対象のガス絶縁機器１内の
乾燥用および分解ガス除去用吸着剤として５オングスト
ロームと１０オングストロームのゼオライト系混合吸着
剤を封入することを特徴とし、５オングストロームと１
０オングストロームのゼオライト系吸着剤の比率に関し
て、前者は８０wt% 以上、後者は２０wt% 以下となるこ
とが望ましい。
【００６２】通常の遮断では、SO2F2 の発生量はSOF2に
比べて小さく、１／１０以下であることが知られてい
る。上記の実施の形態においては、ガス絶縁機器１内に
２種類の口径を持つ吸着剤を前記配合にて備えているた
め、分解ガスの吸着性能を維持しつつ、ガス絶縁機器１
内でのＳＦ６ガス吸着量を最小限にすることができる。
したがって、減圧回収した時にガス絶縁機器１側からＳ
Ｆ６ガスが徐々に長期にわたって離脱するようなことが
ない。その結果、回収作業時間を短くすることができ、
回収効率が向上する。
【００６３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、還
流ラインを設けて加圧液化装置内のガス相を混合ガス導
入部へと戻すことにより、ＳＦ６ガスの回収率を高める
ことができる。また、本発明によれば、吸着剤の特異な
吸着作用によりＳＦ６ガスと他のガスを効率よく分離
し、この分離によりＳＦ６ガス濃度を高めて、減圧条件
下での回収効率を高めて回収作業時間の短縮化を図るこ
とができる。さらに、本発明によれば、ガス絶縁機器か
ら排出される分解ガスを確実に除去して装置の長寿命化
を実現することができると共に、ガス絶縁機器内の吸着
剤における配合の最適化を図って、優れた回収効率を発
揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な実施の形態の構成図。
【図２】本実施の形態のガス分離原理を説明する模式
図。
【図３】ゼオライトの吸着量と圧力の関係を示すグラ
フ。
【図４】本実施の形態のガス分離装置の主要部の構成
図。
【図５】１０オングストロームのゼオライト系の吸着剤
の吸着特性を示すグラフ。
【図６】本発明の他の実施の形態の要部構成図。
【図７】本発明の他の実施の形態の要部構成図。
【図８】従来のガス回収装置の構成図。
【符号の説明】
１…ガス絶縁機器 ２…フィルタ ２ａ，１６，１８…吸着剤 ３…真空・加圧ポンプ ４…導入部バッファタンク ５…ガス分離装置 ６…加圧液化装置 ７…ＳＦ６液タンク ８…排出ガス溜めタンク ９…制御装置 １０…信号ケーブル １１…冷凍機 １２…冷却パイプ １３…配管 １４…バルブ類 １５ａ，１５ｂ…分離槽 １８…吸着剤 １９…還流ライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 敏和 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 直塚 浩美 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 村瀬 洋 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 Ｆターム(参考） 5G028 GG05

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＳＦ６ガスを含む複数種の絶縁性ガスか
    らなる混合ガスを充填したガス絶縁機器に用いられる装
    置であって、ガス絶縁機器から混合ガスを回収してこれ
    を加圧し前記混合ガス中のＳＦ６ガスを液化する加圧液
    化装置と、前記混合ガスから分解ガス及び粒子状の異物
    を除去するフィルタと、前記ガス絶縁機器から前記加圧
    液化装置に前記混合ガスを送り込むポンプと、前記加圧
    液化装置により液化されたＳＦ６液を溜める貯蔵タンク
    とが備えられたガス回収装置において、 前記加圧液化装置内のガス相を加圧液化装置に対する混
    合ガスの導入部へと還流する還流ラインが設けられたこ
    とを特徴とするガス回収装置。
  2. 【請求項２】 ＳＦ６ガスを含む複数種の絶縁性ガスか
    らなる混合ガスを充填したガス絶縁機器に用いられる装
    置であって、ガス絶縁機器から混合ガスを回収してこれ
    を加圧し前記混合ガス中のＳＦ６ガスを液化する加圧液
    化装置と、前記混合ガスから分解ガス及び粒子状の異物
    を除去するフィルタと、前記ガス絶縁機器から前記加圧
    液化装置に前記混合ガスを送り込むポンプと、前記加圧
    液化装置により液化されたＳＦ６液を溜める貯蔵タンク
    とが備えられたガス回収装置において、 前記ガス絶縁機器と前記加圧液化装置との間に、前記混
    合ガスから特定種類のガスを分離して高純度のＳＦ６ガ
    スを前記加圧液化装置に送り込むガス分離装置が設けら
    れ、 前記ガス絶縁機器と前記ガス分離装置との間に、前記混
    合ガスを保管するための導入部バッファタンクが設けら
    れたことを特徴とするガス回収装置。
  3. 【請求項３】 前記導入部バッファタンク内に、口径が
    ５オングストローム及び１０オングストロームであるゼ
    オライト系の吸着剤が封入されたことを特徴とする請求
    項２記載のガス回収装置。
  4. 【請求項４】 前記混合ガスを減圧して回収するときに
    限って、前記導入部バッファタンクに前記混合ガスを保
    管するように構成されたことを特徴とする請求項２また
    は３記載のガス回収装置。
  5. 【請求項５】 前記ガス分離装置が、選択吸着性を有す
    る吸着剤を用いた圧力スイング吸着装置から構成された
    ことを特徴とする請求項２、３または４記載のガス回収
    装置。
  6. 【請求項６】 前記ガス分離装置が透過膜から構成され
    たことを特徴とする請求項２、３または４記載のガス回
    収装置。
  7. 【請求項７】 前記ガス分離装置が多段に配置されたこ
    とを特徴とする請求項２、３、４、５または６記載のガ
    ス回収装置。
  8. 【請求項８】 前記ガス分離装置にて分離された特定種
    類のガスを溜める排出ガス溜めタンクが設けられ、 この排出ガス溜めタンク内にＳＦ６ガスを吸着する吸着
    剤が封入されたことを特徴とする請求項２、３、４、
    ５、６または７記載のガス回収装置。
  9. 【請求項９】 前記フィルタ内に前記分解ガスを吸収す
    る化学吸着タイプの吸着剤が組み込まれたことを特徴と
    する請求項１、２、３、４、５、６、７または８記載の
    ガス回収装置。
  10. 【請求項１０】 前記ガス絶縁機器内に、口径が５オン
    グストローム及び１０オングストロームであるゼオライ
    ト系の吸着剤が封入され、 このうち５オングストロームの吸着剤の比率が８０wt%
    以上、１０オングストロームの吸着剤の比率が２０wt%
    以下となるように構成されたことを特徴とする請求項
    １、２、３、４、５、６、７、８または９記載のガス回
    収装置。
JP28204599A 1999-10-01 1999-10-01 ガス回収装置 Expired - Fee Related JP4357046B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28204599A JP4357046B2 (ja) 1999-10-01 1999-10-01 ガス回収装置
DE60015900T DE60015900T2 (de) 1999-10-01 2000-09-29 Vorrichtung zur Gasrückgewinnung
US09/672,775 US6966934B1 (en) 1999-10-01 2000-09-29 Gas reclaiming equipment
EP00121476A EP1091182B1 (en) 1999-10-01 2000-09-29 Gas reclaiming equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28204599A JP4357046B2 (ja) 1999-10-01 1999-10-01 ガス回収装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001110284A true JP2001110284A (ja) 2001-04-20
JP4357046B2 JP4357046B2 (ja) 2009-11-04

Family

ID=17647459

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28204599A Expired - Fee Related JP4357046B2 (ja) 1999-10-01 1999-10-01 ガス回収装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6966934B1 (ja)
EP (1) EP1091182B1 (ja)
JP (1) JP4357046B2 (ja)
DE (1) DE60015900T2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006254614A (ja) * 2005-03-11 2006-09-21 Central Res Inst Of Electric Power Ind ガス絶縁電力機器及びその異常検出方法
KR101155996B1 (ko) 2010-09-30 2012-06-18 한국에너지기술연구원 절연가스 회수장치 및 이의 운용방법
JP2017503633A (ja) * 2013-11-12 2017-02-02 アーベーベー・テクノロジー・アーゲー 電気エネルギーの生成、伝送、配給および／または使用を行うためのｃｏ２絶縁電気装置用の水および汚染物吸着材
CN107726043A (zh) * 2017-09-08 2018-02-23 国家电网公司 一种110kV六氟化硫气体绝缘电流互感器的混合气体改造方法
CN108101006A (zh) * 2017-12-20 2018-06-01 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 一种sf6和n2混合气体快速回收处理装置和方法
CN108261885A (zh) * 2017-12-29 2018-07-10 浙江环耀环境建设有限公司 一种有机废气处理系统及溶剂回收工艺

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9064372B2 (en) 2002-02-15 2015-06-23 Wms Gaming Inc. Wagering game with simulated mechanical reels having an overlying image display
JP5020059B2 (ja) * 2007-12-28 2012-09-05 三菱電機株式会社 ガス絶縁開閉装置
EP2904617B1 (en) 2012-10-05 2016-11-30 ABB Schweiz AG Apparatus containing a dielectric insulation gas comprising an organofluorine compound
KR20150143853A (ko) * 2013-04-22 2015-12-23 에이비비 테크놀로지 아게 전기 장치에 오염 감소 요소를 제공하기 위한 프로세스
WO2014187940A1 (en) * 2013-05-23 2014-11-27 Abb Technology Ag Electrical apparatus comprising a contamination-reducing component
EP3069421B1 (en) 2013-11-12 2017-09-20 ABB Schweiz AG Water and contamination adsorber for co2 insulated electrical apparatus for the generation, transmission, distribution and/or usage of electrical energy
EP3146531B2 (en) 2014-05-20 2023-02-01 Hitachi Energy Switzerland AG Electrical apparatus for the generation, transmission, distribution and/or usage of electrical energy and method for recovering a substance from an insulation medium of such an apparatus
DE102015206744A1 (de) * 2015-04-15 2016-11-03 Rwe Deutschland Ag Verfahren zum Trocknen eines Gasraums sowie Anordnung umfassend einen schutzgasbefüllten Gasraum
DE102015108748A1 (de) * 2015-06-02 2016-12-08 Dilo Armaturen Und Anlagen Gmbh Servicegerät
DE102015213597A1 (de) * 2015-07-20 2017-01-26 Siemens Aktiengesellschaft Hoch- oder Mittelspannungsanordnung mit Isolierraum und Absorptionsmittel
DE102015213598A1 (de) * 2015-07-20 2017-01-26 Siemens Aktiengesellschaft Hoch- und Mittelspannungsanordnung mit einem Isolierraum und einem Absorber mit selektiver Membran
EP3174071B1 (fr) * 2015-11-30 2018-11-14 General Electric Technology GmbH Procédé et installation de remplissage d'un appareillage électrique à isolation gazeuse comprenant un mélange de (cf3)2cfcn et de co2
DE102016215598A1 (de) * 2016-08-19 2018-02-22 Siemens Aktiengesellschaft Elektroenergieübertragungseinrichtung sowie Lebenszyklusmanagement
CN106352658B (zh) * 2016-10-27 2022-06-07 刘克军 一种环己酮装置氧化尾气治理装置及其应用
CN107588325B (zh) * 2017-09-08 2019-09-13 河南平高电气股份有限公司 一种六氟化硫气体回收充气装置
CN110833730A (zh) * 2019-11-15 2020-02-25 昆山开信精工机械股份有限公司 一种可液化气体的氮气混合材料分离装置及其分离方法
EP3834917A1 (de) * 2019-12-13 2021-06-16 WIKA Alexander Wiegand SE & Co. KG Serviceanlage für gasräume

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5038683A (ja) * 1973-08-08 1975-04-10
JPS56129041U (ja) * 1980-03-03 1981-10-01
JPS59179414U (ja) * 1983-05-17 1984-11-30 株式会社東芝 ガス絶縁機器におけるｓｆ６液化回収装置
JPS6018775A (ja) * 1983-07-11 1985-01-30 Mitsubishi Electric Corp ガス絶縁電気機器の内部異常検出装置
JPS61167309A (ja) * 1985-01-18 1986-07-29 株式会社東芝 ガス置換装置
JPS6326497A (ja) * 1986-07-17 1988-02-04 Kachi Tekkosho:Kk ガス置換回収装置
JPH04293512A (ja) * 1991-03-25 1992-10-19 Kobe Steel Ltd ガス精製装置
JPH08309146A (ja) * 1995-05-22 1996-11-26 Boc Group Inc:The ガス流れからペルフルオロカーボン類を分離除去する方法
JPH08312898A (ja) * 1995-02-17 1996-11-26 L'air Liquide 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置
JPH09103633A (ja) * 1995-07-17 1997-04-22 L'air Liquide パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
JPH09285719A (ja) * 1996-04-23 1997-11-04 Mitsubishi Electric Corp 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3210952A (en) * 1961-12-11 1965-10-12 Westinghouse Electric Corp Reclamation device for gas-type circuit interrupters
DE1212945B (de) * 1964-07-07 1966-03-24 Kali Chemie Ag Verfahren zur Entfernung von Sulfurylfluorid aus Schwefelhexafluorid enthaltenden Gasgemischen
US3675392A (en) * 1970-01-30 1972-07-11 Ite Imperial Corp Adsorption-desorption method for purifying sf{11
DE2336331A1 (de) * 1973-07-12 1975-01-30 Rudolf Dittmar Verfahren zum reinigen von schwefelhexafluorid
US3992159A (en) * 1975-06-23 1976-11-16 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Process for purification by cryogenic sublimation
AU520049B2 (en) * 1976-08-16 1982-01-14 University Of Sydney, The Cryogenic pumping system
AU4587479A (en) * 1978-04-07 1979-10-11 Commonwealth Industrial Gases Limited, The Pressure-swing preferential adsorption of condensible vapour from gas stream
JPH0755807B2 (ja) * 1987-11-04 1995-06-14 三井東圧化学株式会社 三弗化窒素の製造方法
EP0477224B1 (en) * 1989-06-15 1993-03-17 Du Pont Canada Inc. Perfluorodioxole membranes
US5240471A (en) * 1991-07-02 1993-08-31 L'air Liquide Multistage cascade-sweep process for membrane gas separation
US5252219A (en) * 1992-12-18 1993-10-12 Permea, Inc. Compressed permeate sweep membrane separation process
US5378263A (en) * 1992-12-21 1995-01-03 Praxair Technology, Inc. High purity membrane nitrogen
US5482539A (en) * 1993-09-22 1996-01-09 Enerfex, Inc. Multiple stage semi-permeable membrane process and apparatus for gas separation
US5417742A (en) * 1993-12-03 1995-05-23 The Boc Group, Inc. Removal of perfluorocarbons from gas streams
US5455016A (en) * 1994-08-31 1995-10-03 Air Products And Chemicals, Inc. Membrane-assisted process to produce ammonia
US5502969A (en) * 1995-02-16 1996-04-02 Praxair Technology, Inc. Cryogenic rectification system for fluorine compound recovery
US5858065A (en) * 1995-07-17 1999-01-12 American Air Liquide Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases
US5730779A (en) * 1996-10-31 1998-03-24 Air Products And Chemicals, Inc. Fluorochemical recovery and recycle using membranes
US5720797A (en) * 1996-12-18 1998-02-24 Alliedsignal Inc. Process for recovering sulfur hexafluoride
JP3356965B2 (ja) * 1997-06-20 2002-12-16 株式会社日立製作所 Ｓｆ６ガス回収・精製処理装置及び方法
US6164088A (en) * 1998-07-27 2000-12-26 Mitsubishi Denki Kaishushiki Kaisha Method for recovering condensable gas from mixed gas and condensable gas recovering apparatus
DE19910678A1 (de) * 1998-08-20 2000-09-14 Solvay Fluor & Derivate Verfahren zur Reinigung von SF¶6¶-kontaminierten Gasen

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5038683A (ja) * 1973-08-08 1975-04-10
JPS56129041U (ja) * 1980-03-03 1981-10-01
JPS59179414U (ja) * 1983-05-17 1984-11-30 株式会社東芝 ガス絶縁機器におけるｓｆ６液化回収装置
JPS6018775A (ja) * 1983-07-11 1985-01-30 Mitsubishi Electric Corp ガス絶縁電気機器の内部異常検出装置
JPS61167309A (ja) * 1985-01-18 1986-07-29 株式会社東芝 ガス置換装置
JPS6326497A (ja) * 1986-07-17 1988-02-04 Kachi Tekkosho:Kk ガス置換回収装置
JPH04293512A (ja) * 1991-03-25 1992-10-19 Kobe Steel Ltd ガス精製装置
JPH08312898A (ja) * 1995-02-17 1996-11-26 L'air Liquide 容器内の保持ガス中に充填ガスを導入する方法及びその装置
JPH08309146A (ja) * 1995-05-22 1996-11-26 Boc Group Inc:The ガス流れからペルフルオロカーボン類を分離除去する方法
JPH09103633A (ja) * 1995-07-17 1997-04-22 L'air Liquide パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
JPH09285719A (ja) * 1996-04-23 1997-11-04 Mitsubishi Electric Corp 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006254614A (ja) * 2005-03-11 2006-09-21 Central Res Inst Of Electric Power Ind ガス絶縁電力機器及びその異常検出方法
JP4596531B2 (ja) * 2005-03-11 2010-12-08 財団法人電力中央研究所 ガス絶縁電力機器及びその異常検出方法
KR101155996B1 (ko) 2010-09-30 2012-06-18 한국에너지기술연구원 절연가스 회수장치 및 이의 운용방법
JP2017503633A (ja) * 2013-11-12 2017-02-02 アーベーベー・テクノロジー・アーゲー 電気エネルギーの生成、伝送、配給および／または使用を行うためのｃｏ２絶縁電気装置用の水および汚染物吸着材
CN107726043A (zh) * 2017-09-08 2018-02-23 国家电网公司 一种110kV六氟化硫气体绝缘电流互感器的混合气体改造方法
CN108101006A (zh) * 2017-12-20 2018-06-01 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 一种sf6和n2混合气体快速回收处理装置和方法
CN108101006B (zh) * 2017-12-20 2020-01-24 国网河北省电力有限公司电力科学研究院 一种sf6和n2混合气体快速回收处理装置和方法
CN108261885A (zh) * 2017-12-29 2018-07-10 浙江环耀环境建设有限公司 一种有机废气处理系统及溶剂回收工艺

Also Published As

Publication number Publication date
EP1091182A3 (en) 2002-01-16
JP4357046B2 (ja) 2009-11-04
EP1091182B1 (en) 2004-11-17
DE60015900T2 (de) 2005-11-03
US6966934B1 (en) 2005-11-22
DE60015900D1 (de) 2004-12-23
EP1091182A2 (en) 2001-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4357046B2 (ja) ガス回収装置
JP5926292B2 (ja) 廃棄ガスストリーム吸着により高価値成分を回収する方法及び装置
US6273939B1 (en) Process for purifying a gas stream of its N2O impurities
JP2016040025A (ja) 二酸化炭素の回収方法及び回収装置
JP2009099501A (ja) ガス回収装置及びその方法
TW201347830A (zh) 空氣純化方法
JP5933120B2 (ja) 空気の精製
JP2002306918A (ja) ガス分離方法とその装置
CN111566044A (zh) 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法
JP4033591B2 (ja) Ｓｆ６ガス回収装置
CN113184850B (zh) 一种高纯度二氧化碳气体提纯方法及其装置
JP2003103134A (ja) Ｓｆ６ガス捕集装置およびその方法
KR20080021245A (ko) 폐헬륨가스의 회수 및 재생 방법과 장치
JP2004148315A (ja) 原料ガス流からの亜酸化窒素除去方法及び装置
KR20100077745A (ko) 압축공기 고청정 건조 장치
JP4405039B2 (ja) ガス回収装置及びガス回収方法
JP2686327B2 (ja) 揮発性有機物の圧力スイング式分離回収方法
JP2001143580A (ja) ガス分離回収装置
JP2000274938A (ja) ガス回収装置
JP2004284834A (ja) 六フッ化硫黄の精製方法及び装置
JP2002114504A (ja) Ｓｆ６ガス回収装置及び回収方法
JP2000288331A (ja) 混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法
JP2000135412A (ja) ガス回収装置及びガス回収方法
JP2004148270A (ja) 圧力変動吸着装置並びにこの装置を用いた高濃度酸素及び高濃度窒素の製造方法
JPH0255203A (ja) 高純度酸素製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20040116

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050722

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060124

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080905

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081111

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090707

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090804

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees