JP2002306918A - ガス分離方法とその装置 - Google Patents

ガス分離方法とその装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス混合物より複数成分を同時に高純度で分
離採取し得る、装置設備が簡略で、操作が容易かつ安価
なPSA法によるガス分離方法と装置の提供。 【解決手段】 2成分以上の主要ガス成分を含有する例
えば空気MAを原料ガス混合物Mとして圧縮機1で加圧
して、第1の主要ガス成分酸素に対して難吸着性で、第
2の主要ガス成分窒素に対して易吸着性である吸着剤を
充填した吸着筒2Aに流通させて、第1の主要ガス成分
である酸素の富化ガスMOを第1の製品ガスとして分離
採取する工程と、前記加圧後の原料ガス混合物Mの空気
MAを第1の主要ガス成分酸素に対して易吸着性で、第
2の主要ガス成分窒素に対して難吸着性である第2の吸
着剤を充填した吸着筒2Bに流通させて、第2の主要ガ
ス成分である窒素の富化ガスMNを第2の製品ガスとし
て分離採取する工程とを、交互に運転して、前記ガス混
合物から第1の製品ガスと第2の製品ガスを併産する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の成分を含有
するガス混合物から、有用な成分ガスを分離回収するガ
ス分離方法とその装置に関するものである。特に、空気
中から酸素ガス及び窒素ガスを分離し、これらを製品ガ
スとして回収したり、又、希ガスと窒素とのガス混合物
から希ガスと窒素とそれぞれ分離し、回収するのに適し
たガス分離方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】空気を原料として、空気を構成している
酸素及び窒素の両成分を分離し、回収する方法として、
従来より深冷空気分離方法が広く採用されている。この
方法は原料空気を液化し、酸素と窒素との沸点の差違を
利用して精留分離するもので、そのための分離装置設備
に多大の投資を必要とすることから、比較的大量に消費
する設備に供給するための、大規模な量の生産に適して
いるとされている。
【0003】又、上記空気成分の分離回収方法として、
吸着剤を使用して分離する圧力変動吸着(プレッシャー
・スイング・アドソープション、以下「PSA」とい
う)法による分離方法が、近年広く採用されている。こ
の方法は、例えば空気を原料として酸素を製品として分
離回収しようとする場合、吸着剤としてゼオライトを使
用して、このゼオライトを充填した吸着筒に、空気を加
圧して流通せしめると、易吸着成分である窒素が前記ゼ
オライトの吸着剤に吸着固定され、一方難吸着成分であ
る酸素が吸着筒を通過して流出する(吸着工程)。次い
で、ゼオライト吸着剤を充填した吸着筒を前記吸着工程
よりも低い圧力に減圧するよう、吸着筒内を大気圧に向
けて解放すると、前記吸着工程ゼオライト吸着剤に吸着
固定された窒素が脱着されて、吸着筒より流出して回収
される(再生工程)。
【0004】このようなPSA法によるガスの分離方法
では、相対的に高い圧力で吸着工程を行い、そして相対
的に低い圧力で再生工程を行い、これを短い時間で順次
切替操作して繰り返すので、吸着剤の単位質量当たりの
所望製品の回収採取量を高くすることが容易であり、そ
れ故、設備がコンパクトな装置になる利点がある。
【0005】例えば、2筒の吸着筒を用いて、前記した
吸着工程、再生工程のPSA操作をそれぞれの筒で異な
る工程にして交互に行うと、同一の所望製品を連続的に
採取することができる。そして、多くの場合、吸着剤に
吸着固定されずに吸着筒を通過して流出する難吸着成分
を高純度の製品として採取している。これは、吸着筒か
ら導出される成分の純度によるところが大きく、易吸着
成分を所望する採取製品とする場合、吸着剤には易吸着
成分が吸着されると同時に難吸着成分が少々吸着される
とともに、吸着剤間の空隙にも難吸着成分が存在するの
で、吸着筒の減圧再生工程で吸着筒から脱着ガスととも
に難吸着ガスが導出される。したがって、製品とすべき
易吸着成分中にはかなりの量の難吸着成分を含むことと
なる。なお、この再生工程で脱着導出される易吸着成分
と難吸着成分との混合割合は、使用する吸着剤の特性に
依存するものである。
【0006】このようなことより、上記易吸着成分を高
純度化して製品として採取する場合には、再生工程で吸
着工程に入る前に、製品とされた易吸着成分(前工程で
脱着導出して採取された)を用いて、吸着工程終了後の
状態にある吸着筒内をパージする工程を行うことが必要
となり、分離採取するための工程を複雑化するととも
に、前記パージのために圧縮機を追加することが必要と
なる等、設備の構成機器を増大せしめることとなってい
た。
【0007】又、従来のPSA法によるガスの分離方法
や装置においては、所望する高純度の製品ガスを分離採
取するに当たっては、複数成分よりなるガス混合物中の
1成分のみを目標成分にすることが多かった。PSA法
により、ガス混合物を構成している成分から複数成分を
高純度で製品として分離採取しようとする試みは、例え
ば特開昭55−147119号公報に開示された技術が
提案されている。該公報に開示されている技術は、空気
を原料として、空気中に含まれているH2O及びCO2
選択的に吸着する吸着剤を充填した予備処理カラム、及
び酸素より窒素を選択的に吸着する吸着剤を充填した主
カラムとからなる吸着装置を使用したもので、酸素を富
化した酸素富化空気と高純度の窒素との2種の製品を分
離採取する方法に関するものである。
【0008】上記した特開昭55−147119号公報
に開示された、従来のPSA法による空気の分離方法に
ついて、図3の系統概略図を参照して説明する。この方
法に使用するPSA法空気分離装置50では、H2O及
びCO2を選択的に吸着する吸着剤を充填した予備処理
カラムY1、Y2、及び窒素を選択的に吸着するゼオライ
トのごとき吸着剤を充填した主カラムZ1、Z2とが、そ
れぞれ予備処理カラムY1−主カラムZ1、予備処理カラ
ムY2−主カラムZ2と連結して2組の処理装置が、原料
空気の供給を交互に切替可能に行えるように連結されて
いる。そして、一方の1組に原料空気を供給して窒素成
分を吸着し酸素富化空気を採取している間(吸着工
程)、他方の1組は前工程の吸着工程で吸着剤に吸着さ
れた窒素成分を脱着して高純度窒素を導出して採取する
(再生工程)。
【0009】即ち、例えば、予備処理カラムY1−主カ
ラムZ1の組が吸着工程にあって、予備処理カラムY2−
主カラムZ2の組が再生工程にある場合には、次のごと
き運転状態とされる。予備処理カラムY1−主カラムZ1
での吸着工程では、原料空気MAが管路51に導入さ
れ、弁V51を介してブロワー52で所定圧力に加圧され
た状態で管路53、弁V52、及び管路54を介して予備
処理カラムY1に供給される。そして該予備処理カラム
Y1でH2O及びCO2が吸着除去され、次いで弁V53を
介して吸着剤ゼオライトが充填された主カラムZ1に供
給される。そして主カラムZ1を通過する際、空気M中
の窒素成分が吸着剤に吸着され、吸着されない酸素成分
が富化されて酸素富化空気となり、この酸素富化空気が
管路55に導出されて、弁V54、管路56を経て酸素富
化空気貯槽57に採取貯蔵される。そして管路58によ
って適宜使用先に供給される。
【0010】一方、再生工程にある予備処理カラムY2
−主カラムZ2は、まず弁V65を開状態にして、主カラ
ムZ2に滞留する酸素成分を含む窒素ガスを管路65よ
り導出し、弁V65、管路69、及び管路60を介して排
出ガス貯槽61に貯蔵する。該排出ガスは予備処理カラ
ムY1、Y2の再生洗浄用に使用される。その後、前記弁
V65を閉止し、弁V63、V66を開状態にするとともに、
真空ポンプ62を駆動して、主カラムZ2の吸着剤に吸
着されている窒素成分を脱着し、V63、予備処理カラム
Y2、管路64,弁V66、管路63、管路67を介して
真空ポンプ62に吸引し、窒素貯槽68に製品として高
純度窒素ガスを採取貯蔵する。そして、管路70より適
宜使用先に供給される。
【0011】このようにして、予備処理カラムY1−主
カラムZ1の組と予備処理カラムY2−主カラムZ2組と
は、吸着工程と再生工程とを適宜弁操作により工程を交
互に切り替えて運転される。然るに、上記した製品窒素
を、純度を維持して採取するため、再生工程後、吸着工
程に先駆けて、採取された窒素を窒素貯槽68より管路
71の弁V67、管路72の循環ブロワー73、管路74
の弁V75又は弁V76を介して主カラムZ1、又はZ2
に導入し、洗浄工程を行って、主カラムZ1又はZ2内の
窒素成分濃度をより一層高めておいて、製品窒素の高純
度化を達成せしめていた。
【0012】しかしながら、再生工程での窒素の脱着
は、吸着工程における原料空気の導入流に対して向流で
行われるため、再生工程で脱着して得られる高純度窒素
は予備処理カラムを通って導出されるので、予備処理カ
ラムで吸着されていたH2O、CO2が導出される高純度
窒素に同伴されてきて、高純度窒素の不純物として含ま
れることとなる。それ故、これらを除く必要が生じ、こ
れらを除くためには、追加のブロワー等の送気手段や、
乾燥器等の精製手段が必要となり、設備全体の構成が複
雑化するとともに、増大し、更には設備価格を高めるこ
ととなる。
【0013】又、特開平1−297119号公報には、
前記した特開昭55−147119号公報に開示されて
いる空気の分離方法と基本的な構成は類似しているが、
濃縮して得られた製品窒素によって主カラムを洗浄する
洗浄工程で排出される酸素を比較的高濃度に含有する排
出ガスを、特開昭55−147119号公報の方法では
原料空気の系統に回収していたのを、特開平1−297
119号公報の方法では、製品として酸素富化空気の一
部として採取するようにした点に相異が認められる。し
かしながら、採取する製品窒素に不純物としてH2O、
CO2が含有してくるという、不都合な点や、全体構成
が複雑である点等においては、両者に共通している。
【0014】更に又、特開昭52−52181号公報に
は、吸着特性の異なる2種類の吸着剤、モレキュラシー
ブカーボン(分子篩活性炭、以下「MSC」という)と
ゼオライトを用いて、これらの吸着剤を充填した吸着床
を連鎖して連結せしめて構成し、これらの連鎖的に連結
した吸着床に原料を順次接触通過せしめて、99%の高
純度酸素ガスを採取する方法が開示されている。この方
法は、ゼオライトを吸着剤として使用して空気から酸素
を採取する方法が、ゼオライトの吸着特性から採取され
る製品酸素中にアルゴンが含有されることとなって、吸
着分離後の酸素濃度の上限がせいぜい95%程度であっ
て、95%以上の濃度の酸素を得るため、原料のガス混
合物の組成に対応して、それぞれの組成に応じて異なる
吸着特性の吸着剤を用いて、吸着分離するようにして、
採取すべき酸素の濃度の高濃度化を図ったものである。
【0015】しかし、この特開昭52−52181号公
報に開示されている吸着分離方法は、第1の吸着剤を充
填した吸着床から導出して得られるガス混合物が、原料
ガスに対して主要ガス成分の含有比率が高められた状態
にあって、連鎖されている次の第2の吸着床への供給原
料として使用されたり、あるいは連鎖連結されている吸
着床の最後の吸着床からの製品ガスとして使用されるこ
とを特徴としている。それ故、装置の構成として、一方
の吸着床からの脱着ガスを他方の吸着床又は自らの吸着
床に再循環する送気用のポンプユニットを設備する必要
となり、装置構成が複雑となるばかりか、設備費用も高
価となることは避けられない不都合があった。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
PSA法によるガス分離方法と装置にあっては、採取さ
れる高純度の製品は、原料であるガス混合物中の1成分
のみを対象として分離採取することが多く、複数の成分
を高純度で分離採取して製品とするのに適した優れた方
法や装置が無く、その出現が望まれていた。本発明は、
上記事情に鑑みてなされたもので、ガス混合物よりこれ
を構成している複数成分を同時に高純度の濃度にして分
離採取することを可能とし、かつ装置設備が簡略で装置
価格が安価であるとともに、操作が容易なPSA法によ
るガス分離方法と装置を提供することを本発明の課題と
するものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ため、請求項1に係わる発明のガス分離方法は、少なく
とも2成分の主要ガス成分を含有するガス混合物を圧力
変動吸着方法により、前記主要成分を分離して採取する
ガス分離方法において、前記ガス混合物を加圧した後、
第1の主要ガス成分に対して難吸着性であって第2の主
要ガス成分に対して易吸着性である第1の吸着剤を用い
て第1の主要ガス成分を第1の製品ガスとして分離する
工程と、前記加圧後のガス混合物を前記第1の主要ガス
成分に対して易吸着性であって前記第2の主要ガス成分
に対して難吸着性である第2の吸着剤を用いて第2の主
要ガス成分を第2の製品ガスとして分離する工程とを、
交互に繰り返すことにより、前記ガス混合物から第1の
製品ガスおよび第2の製品ガスを併産することを特徴と
するものである。請求項2に係わる発明のガス分離方法
は、上記請求項1に係わる発明のガス分離方法におい
て、第1の製品ガスとして分離する工程と第2の製品ガ
スとして分離する工程とが、各製品ガス分離工程中で分
離する製品ガスを製品槽に蓄積する工程を備えてなると
ともに、各製品ガス分離工程の後に前記製品槽に蓄積し
た製品ガスを、該各製品ガスとして分離した吸着剤をパ
ージ洗浄する工程を行うことを特徴とするものである。
請求項3に係わる発明のガス分離方法は、上記請求項1
又は請求項2に係わる発明のガス分離方法おいて、前記
ガス混合物が空気であることを特徴とするものである。
請求項4に係わる発明のガス分離方法は、上記請求項1
又は請求項2に係わる発明のガス分離方法おいて、前記
ガス混合物の主要成分が、クリプトン及びゼノンの少な
くとも1成分を含有する窒素からなることを特徴とする
ものである。請求項5に係わる発明のガス分離方法は、
上記請求項1又は請求項2に係わる発明のガス分離方法
おいて、前記第1の吸着剤がゼオライトであり、前記第
2の吸着剤が分子篩活性炭であることを特徴とするもの
である。請求項6に係わる発明のガス分離方法は、上記
請求項1又は請求項2に係わる発明のガス分離方法おい
て、前記主要成分がクリプトン及びゼノンの少なくとも
1成分を含有する窒素からなり、前記第1の吸着剤が窒
素を選択的に吸着するNa−A型ゼオライトであり、前
記第2の吸着剤がクリプトン及びゼノンを選択的に吸着
する活性炭であることを特徴とするものである。
【0018】又、請求項7に係わる発明はガス分離装置
であって、少なくとも2つの主要ガス成分を含有するガ
ス混合物を圧力変動吸着装置により主要ガス成分に分離
するガス分離装置において、ガス混合物を加圧する手段
と、ガス混合物中の第1の主要ガス成分に対して難吸着
性であって第2の主要ガス成分に対して易吸着性である
第1の吸着剤を充填した第1の吸着筒と、前記第1の主
要ガス成分に対して易吸着性でって前記第2の主要ガス
成分に対して難吸着性である第2の吸着剤を充填した第
2の吸着筒と、前記第1の吸着筒と前記第2の吸着筒を
交互に切換えてガス混合物を流通せしめて、前記第1の
主要ガス成分と前記第2の主要ガス成分とをそれぞれ導
出するよう配された管路及び弁手段とを備えてなること
を特徴とするものである。請求項8に係わる発明のガス
分離装置は、上記請求項7に係わる発明のガス分離装置
において、前記第1の主要ガス成分と前記第2の主要ガ
ス成分とをそれぞれ導出するよう前記第1の吸着筒と前
記第2の吸着筒とに配されたそれぞれの管路に、第1の
吸着筒に付属して、分離して導出された第1の主要成分
を貯蔵する第1の製品槽と該第1の製品槽から前記第1
の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管路を設けてなり、又
第2の吸着筒に付属して、分離して導出された第2の主
要成分を貯蔵する第2の製品槽と該第2の製品槽から前
記第2の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管路とを設けて
なることを特徴とするものである。
【0019】
【発明の実施の形態】以下本発明のガス分離方法及び装
置の実施の形態について図面を参照して説明する。 <第1の実施の形態>図1は、本発明のPSA法による
ガス分離方法の第1の実施形態を説明する系統図であ
る。この第1の実施形態では、原料のガス混合物Mとし
て空気MAを用い、その主要ガス成分である酸素及び窒
素を製品ガスとして分離採取するものである。本実施形
態の装置は、原料ガス混合物Mとして空気MAを圧縮す
る圧縮機1、空気MAの主要ガス成分である酸素(O2
及びび窒素(N2)に対し、それぞれ異なった吸着特性
を持つ吸着剤を充填した吸着筒2A、2Bが設備されて
いる。即ち、吸着筒2Aには窒素を選択的に吸着し、酸
素成分を吸着し難いゼオライトを充填し、吸着筒2Bに
は酸素を選択的に吸着し、窒素成分を吸着し難い分子篩
活性炭(MSC 、「Molecular Sieves Carbon」の略 )
を充填してなるものである。そしてこれらの原料ガスの
圧縮機1、吸着筒2A、及び吸着筒2Bの構成機器は、
原料の空気MAを吸着筒2A、2Bそれぞれに切替導入
し、流通せしめて、導出ガスを回収するよう管路と必要
な弁によって連結されている。
【0020】原料の空気MAは圧縮機1で100kPa
〜1000kPaの圧力(以降ゲージ圧力を示す。)、
好ましくは200kPa〜800kPaの圧力まで圧縮
され、管路3、管路4を流通して、原料供給弁5aより
吸着筒2Aに導入する。吸着筒2Aには前述のごとく窒
素を選択的に吸着するゼオライトが充填されているの
で、導入された原料空気MAから易吸着成分である窒素
(N2)を優先的に吸着し、難吸着性成分である酸素
(O2)が出口側に導出され、製品導出弁6aを介して
管路7より酸素濃度85〜95%(以降%は容積%を示
す。)の酸素富化ガスMOが製品として得られる。
【0021】この間、吸着筒2Aでは、吸着開始から時
間の経過とともに、充填されているゼオライトは窒素を
吸着した領域が吸着筒2Aの出口に向かって順次前進す
る。そして、吸着筒2Aの出口の管路7より導出される
酸素富化ガスMOの中に含まれる窒素分が許容できる範
囲を超えた時、該吸着筒2Aでの吸着工程を終了せしめ
る。即ち、原料供給弁5aと製品導出弁6aを閉とす
る。これとともに、吸着筒2Bに連結されている原料供
給弁5bと製品導出弁6bを開状態にする。
【0022】このようにして原料供給弁5bと製品導出
弁6b弁を開状態とした結果、原料の空気MAは吸着筒
2Aへの導入に代わって、管路8、原料供給弁5bを介
して吸着筒2Bに導入される。吸着筒2Bには前記した
如く酸素を選択的に吸着する分子篩活性炭(MSC)が
充填されていて、該吸着筒2Bに導入された原料の空気
MAは分子篩活性炭(MSC)で易吸着成分である酸素
(O2)が選択的に吸着されて、難吸着性成分である窒
素(N2)が出口側に押し出され製品導出弁6bを介し
て管路9に流出して窒素濃度99〜99.99%の窒素
富化ガスMNが製品として得られる。
【0023】この間、吸着筒2Bにおいて、吸着開始か
ら時間の経過とともに、充填されている分子篩活性炭
(MSC)は酸素を吸着した領域が吸着筒2bの出口に
向かって順次前進する。そして、吸着筒2bの出口の管
路9より導出される窒素富化ガスMN中に含まれる酸素
分が許容できる範囲を超えた時に、原料供給弁5bと製
品導出弁6bとを閉止して、吸着筒2Bの吸着工程を打
ち切る。そして同時に、これに代えて、吸着筒2Aに連
接してある原料供給弁5a、製品導出弁6aを開状態と
して、原料の空気MAを、先の吸着工程後の再生工程に
よって充填されているゼオライトを再生せしめておいた
吸着筒2Aに、供給するように切り替えて、再度酸素富
化ガスMOを製品として採取する。以下同様な弁の切替
操作を繰り返して行って、原料の空気MAを吸着筒2A
と吸着筒2Bに切り替えて供給するようにして、一方の
吸着筒2Aより酸素富化ガスMOを製品として採取し、
他方の吸着筒2Bより窒素富化ガスMNを製品として採
取する。
【0024】上記した如く、一方の吸着筒2A又は2B
が吸着工程にして運転している間、他方の吸着筒2B又
は2Aは、それぞれの吸着筒に充填されている吸着剤が
前工程の吸着工程で易吸着成分によって飽和状態となっ
ているので、これを脱着せしめて排除して再生するため
の再生工程がなされる。この再生工程は次の如き態様で
行われる。例えば、前工程で吸着工程を終えた吸着筒2
Aの再生工程とする場合、原料供給弁5a及び製品導出
弁6aを閉とした後、吸着筒2Aに配設した排気弁10
aを開として吸着筒2A内を大気に開放して、吸着剤及
び筒内に保持されたガスを管路11から大気に放出す
る。これにより、吸着筒2A内の圧力が下がるととも
に、吸着剤(ゼオライト)に吸着されていた窒素分が脱
着して、再生するものである。再生後は前記排気弁10
aを閉止し次回の吸着工程の運転まで待機する。なお、
吸着筒2Bにおける再生工程も同様な態様で行うもので
ある。この場合、原料供給弁5b及び製品導出弁6bを
閉とした後、吸着筒2Bに配設した排気弁10bを開と
して吸着筒2B内を大気に開放して、吸着剤及び筒内に
保持されたガスを管路12から大気に放出する。再生後
は前記排気弁10bを閉止し次回の吸着工程の運転まで
待機する。
【0025】ここで、両吸着筒2A、2Bにおける吸着
工程/再生工程、即ち吸着筒2Aの吸着工程時における
吸着筒2Bの再生工程時間、吸着筒2Aの再生工程時に
おける吸着筒2Bの吸着工程時間の如き、吸着工程と再
生工程とのそれぞれ相互間の時間は、対応した関係であ
ることが望ましいが、どちらかの工程を長くすることも
可能である。その時、時間を長くする必要のない工程は
そのまま工程を継続するか、あるいはすべての弁を閉じ
て休止待機状態とすればよい。
【0026】上記した実施の形態では、空気MAを原料
ガス混合物Mとし、酸素富化ガスMOと窒素富化ガスMN
をそれぞれ分離採取する例について説明したが、原料ガ
ス混合物Mとして、主要ガス成分をクリプトン及び窒素
とした場合には、異なる吸着特性を持つ吸着剤として、
ゼオライトと活性炭を使用することによっても、これら
を分離採取することができる。この場合、圧縮機1で圧
力100kPa〜2000kPaまで、好ましくは20
0kPa〜1000kPaまでに圧縮されたガス混合物
を、クリプトン濃度99〜99.999%のクリプトン
富化ガスと、窒素濃度99〜99.999%の窒素富化
ガスとに分離し、両者が製品として得られる。
【0027】<第2の実施の形態>次に、第2の実施の
形態を図2に図示した系統図を参照して説明する。この
第2の実施の形態の特徴は、上記した図1に図示した第
1の実施の形態における、吸着筒2A及び吸着筒2Bの
それぞれの製品を導出する管路7及び管路9に、製品貯
槽13A、13Bを連設して設け、それぞれの吸着筒2
A及び吸着筒2Bでの吸着工程で採取される各製品をそ
れぞれ、これら製品貯槽13A及び製品貯槽13Bに貯
蔵するとともに、各吸着筒2A、2Bの再生工程時にお
いて各吸着筒にパージガスとして流すようにしたもので
ある。以下にこれを説明する。
【0028】図2において、図1と共通する機器につい
ては図1と同一符号を付して詳細な説明は省略する。上
記した第1の実施の形態での如き吸着筒2Aの吸着工程
で、製品導出弁6a、管路7より導出した製品酸素富化
ガスMOは、酸素富化ガス製品貯槽13aに導入されて
貯蔵され、貯蔵された製品は管路14より適宜使用先に
供給される。そして吸着筒2Aの吸着工程が終了する
と、吸着工程は吸着筒2Bに切替弁操作され該吸着筒2
Bに原料空気Mが導入され、吸着筒2Aは再生工程に操
作運転される。
【0029】この実施の形態の吸着筒2Aの再生工程で
は、パージ弁16a、排気弁10aを開にして、製品槽
13Aから管路15、パージ弁16aを通して製品槽1
3Aに貯蔵されている酸素富化ガスMOを逆流させ吸着
筒2A内に導入し、吸着剤ゼオライトに吸着している窒
素(N2)を脱着同伴して排気弁10a、管路11から
系外に放出する。このようにすることで吸着筒2A内の
吸着剤(ゼオライト)に吸着されている成分(窒素)
が、吸着工程中に製品として採取された難吸着性成分
(酸素富化ガスMO)でパージされ、易吸着性成分の脱
着が促進される。
【0030】又、吸着筒2Bの再生工程でも同様な操作
によって製品である窒素富化ガスMNによってパージし
て吸着筒2Bに充填されている吸着剤分子篩活性炭MS
Cを再生する。即ち、この場合、パージ弁16b、排気
弁10bを開にして、製品槽13Bから管路18、パー
ジ弁16bを通して、吸着工程時に分離採取して製品槽
13Bに貯蔵されている窒素富化ガスMNを逆流させ吸
着筒2B内に導入し、吸着剤分子篩活性炭MSCに吸着
している酸素(O2)を脱着同伴して排気弁10b、管
路12から系外に放出する。このようにすることで吸着
筒2B内の吸着剤(分子篩活性炭MSC)に吸着されて
いる成分(酸素)が、吸着工程中に製品として採取され
た難吸着性成分(窒素富化ガスMN)でパージされ、易
吸着性成分の脱着が促進され、効率よく、かつ脱着効果
を向上せしめて再生することが出来る。
【0031】上記第1の実施の形態及び第2の実施の形
態におけるガス分離装置の吸着筒2A及び吸着筒2Bの
それぞれの出口側の管路7及び9に個別に均圧タンク
(図示せず)を配設しておいて、吸着工程終了後の再生
工程に先駆けて吸着筒内の製品に近い濃度のガスを均圧
タンクに導入して回収して貯蔵しておく。そして、再生
工程終了後に、より低圧状態にある当該吸着筒に、前記
均圧タンクに回収した製品に近い濃度のガスを、両者が
等圧になるよう均圧タンクより導入して戻すことによ
り、供給した原料ガスを無駄なく有効に使用することと
なり、製品の回収率を向上せしめることが出来る。
【0032】なお、上記実施の形態では、主要成分が2
成分での分離例について説明したが、本発明はこれに限
定されるものでなく、他のガス成分が混在している多成
分系においても、各ガス成分に対応する吸着剤を用いた
吸着筒を設備付加することにより、前記各実施の形態と
同様に、多種の異種成分をそれぞれ同時に採取できる作
用効果を奏することは勿論である。
【0033】
【実施例】<実施例1>図1に図示する装置を用いて、
一方の吸着筒2AにNa−X型ゼオライト、他方の吸着
筒2Bに分子篩活性炭MSCを充填して使用した。両吸
着筒ともそれぞれの吸着剤の原料空気流入端側に水分吸
着除去用として活性アルミナを充填して配した。圧縮機
1を用いて空気MAを700kPaに圧縮して、原料ガ
ス混合物Mとして吸着筒2A及び吸着筒2Bにそれぞれ
供給した。そして、Na−X型ゼオライトを充填した吸
着筒2Aからは酸素93%の酸素富化ガスを、分子篩活
性炭MSCを充填した吸着筒2Bからは窒素99%の窒
素富化ガスを得ることができた。
【0034】なお、本実施例において、ゼオライトはN
a−X型に限られるものではなく、Na−X型ゼオライ
トのNaイオンの一部又は全部を他のアルカリあるいは
アルカリ土類金属でイオン交換したゼオライト、Ca−
A型ゼオライト、モルデナイト等を使うこともできる。
【0035】<実施例2>図1に図示する装置を用い
て、一方の吸着筒2AにNa−A型ゼオライト、他方の
吸着筒2Bに活性炭を充填して用いた。圧縮機1を用い
て乾燥した窒素とクリプトンのガス混合物を原料ガス混
合物Mとして700kPaに圧縮した後、吸着筒2A及
び吸着筒2Bのそれぞれに供給し、ゼオライトを充填し
た吸着筒2Aからは純度99.99%のクリプトン富化
ガスを、活性炭を充填した吸着筒2Bからは純度99.
5%の窒素富化ガスを得ることができた。
【0036】次に、本実施例2において、原料ガス混合
物Mを窒素とゼノンのガス混合物に変更して圧縮機1に
より前記と同じ圧力に加圧して、前記した吸着剤を充填
した各吸着筒2A及び吸着筒に2Bに供給したところ、
クリプトンと同様にゼオライトを充填した吸着筒2Aか
ら、純度99.99%のゼノン富化ガスが導出され、活
性炭を充填した吸着筒2Bからは、純度99.5%の窒
素富化ガスを得ることができた。本実施例2で分離採取
したクリプトンおよびゼノンは極めて希少なガスであ
り、該ガスを分離系の系外に排出することは経済的に適
当でない。そこで、図1に図示された排ガスの管路1
1、管路12を圧縮機1の原料吸入管路に合流させて、
排ガスを循環させるように配管することによって、希少
で高価なクリプトン,ゼノンの分離に伴うロスを低減せ
しめる上で有効であった。
【0037】
【発明の効果】本発明のガス分離方法及び装置は上記し
た如き形態で実施され、以下の如き効果を奏する。吸着
特性の相異なる吸着剤を充填した吸着筒を設備したガス
分離装置に、複数成分をよりなる原料ガス混合物導入し
て、それぞれの複数成分をそれぞれ分離採取するように
したので、極めて簡略化されたPSA装置構成で原料ガ
ス混合物から二つの成分をそれぞれ濃縮して製品として
取り出すことができる。しかも、それら製品ガスは吸着
工程で難吸着性成分として取り出されるため、原料ガス
混合物の吸着筒への導入圧力を保持した状態で得られる
ので、本発明のガス分離装置により製造したガス製品
は、使用先へ供給する際に、圧送するための圧縮機の設
置を必要としないので、設備費が節減できるとともに、
運転費をも節減できる。
【0038】又、原料ガス混合物の圧縮機は、2つの吸
着筒に対して交互に原料ガスを供給するため、休止する
時間がないので有効に稼動させることができる。その上
更に、原料ガス混合物の圧縮機は、1筒式PSAで見ら
れるような圧縮操作と排気操作を交互に繰り返すような
過酷な運転をする必要が無く、定常駆動状態を継続して
運転されるので、機械の寿命を延ばすことができる。
【0039】そして又、製品槽を各吸着筒の製品導出管
路に連結して付加して設けて、該製品槽に吸着工程で採
取して貯蔵した製品ガスを、各吸着筒の再生工程におけ
る吸着剤に吸着された易吸着成分の脱着のためのパージ
ガスに使用して、パージ工程を実施することにより、大
幅に収率の向上を図ることが出来る。又、各吸着筒に連
結して個別の均圧タンクを配設して設けることにより、
吸着筒の再生工程後の低圧状態にある吸着筒に、吸着工
程後の再生工程に当たって吸着筒よりの排出するガスを
均圧タンクに回収しておいた該排出ガスを、供給して均
圧化する均圧工程に利用することによって、導入した原
料ガス混合物を無駄に排出することなく、有効活用する
こととなって 回収率の向上を図ることが出来る等の効
果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のPSA法によるガス分離装置の第1
の実施の形態を説明する系統図。
【図2】 本発明のPSA法によるガス分離装置の第2
の実施の形態を説明する系統図。
【図3】 従来のPSA法による空気分離方法の一例を
示す系統概略図。
【符号の説明】
1…圧縮機、 2A、2B…8吸着筒、3、4、7、
8、9、11、12、14、15、17、18…管路、
5a、5b…原料供給弁、 6a、6b…製品導出弁、
10a、10b…排気弁、 13A、13B…製品槽、
16a、16b…パージ弁、 M…原料ガス混合物、
MO…酸素富化ガス、MN…窒素富化ガス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飛弾野 龍也 東京都港区西新橋1丁目16番7号 日本酸 素株式会社内 Fターム(参考) 4D012 CA04 CA20 CB16 CD07 CG01 CG06 CJ02

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも2成分の主要ガス成分を含有
    するガス混合物を圧力変動吸着方法により、前記主要成
    分を分離して採取するガス分離方法において、前記ガス
    混合物を加圧した後、第1の主要ガス成分に対して難吸
    着性であって第2の主要ガス成分に対して易吸着性であ
    る第1の吸着剤を用いて第1の主要ガス成分を第1の製
    品ガスとして分離する工程と、前記加圧後のガス混合物
    を前記第1の主要ガス成分に対して易吸着性であって前
    記第2の主要ガス成分に対して難吸着性である第2の吸
    着剤を用いて第2の主要ガス成分を第2の製品ガスとし
    て分離する工程とを、交互に繰り返すことにより、前記
    ガス混合物から第1の製品ガスおよび第2の製品ガスを
    併産することを特徴とするガス分離方法。
  2. 【請求項2】 第1の製品ガスとして分離する工程と第
    2の製品ガスとして分離する工程とが、各製品ガス分離
    工程中で分離する製品ガスを製品槽に蓄積する工程を備
    えてなるとともに、各製品ガス分離工程の後に前記製品
    槽に蓄積した製品ガスを、該各製品ガスとして分離した
    吸着剤をパージ洗浄する工程を行うことを特徴とする請
    求項1記載のガス分離方法。
  3. 【請求項3】 前記ガス混合物が、空気であることを特
    徴とする請求項1又は請求項2記載のガス分離方法。
  4. 【請求項4】 前記ガス混合物の主要成分が、クリプト
    ン及びゼノンの少なくとも1成分を含有する窒素からな
    ることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のガス分
    離方法。
  5. 【請求項5】 前記第1の吸着剤がゼオライトであり、
    前記第2の吸着剤が分子篩活性炭であることを特徴とす
    る請求項1又は請求項2記載のガス分離方法。
  6. 【請求項6】 前記主要成分が、クリプトン及びゼノン
    の少なくとも1成分を含有する窒素からなり、前記第1
    の吸着剤が、窒素を選択的に吸着するNa−A型ゼオラ
    イトであり、前記第2の吸着剤が、クリプトン及びゼノ
    ンを選択的に吸着する活性炭であることを特徴とする請
    求項1又は請求項2記載のガス分離方法。
  7. 【請求項7】 少なくとも2つの主要ガス成分を含有す
    るガス混合物を圧力変動吸着装置により主要ガス成分に
    分離するガス分離装置において、ガス混合物を加圧する
    手段と、ガス混合物中の第1の主要ガス成分に対して難
    吸着性であって第2の主要ガス成分に対して易吸着性で
    ある第1の吸着剤を充填した第1の吸着筒と、前記第1
    の主要ガス成分に対して易吸着性であって前記第2の主
    要ガス成分に対して難吸着性である第2の吸着剤を充填
    した第2の吸着筒と、前記第1の吸着筒と前記第2の吸
    着筒を交互に切換えてガス混合物を流通せしめて、前記
    第1の主要ガス成分と前記第2の主要ガス成分とをそれ
    ぞれ導出するよう配された管路及び弁手段とを備えてな
    ることを特徴とするガス分離装置。
  8. 【請求項8】 前記第1の主要ガス成分と前記第2の主
    要ガス成分とをそれぞれ導出するよう前記第1の吸着筒
    と前記第2の吸着筒とに配されたそれぞれの管路に、第
    1の吸着筒に付属して、分離して導出された第1の主要
    成分を貯蔵する第1の製品槽と該第1の製品槽から前記
    第1の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管路を設けてな
    り、又第2の吸着筒に付属して、分離して導出された第
    2の主要成分を貯蔵する第2の製品槽と該第2の製品槽
    から前記第2の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管路とを
    設けてなることを特徴とする請求項7記載のガス分離装
    置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003045536A1 (fr) * 2001-11-27 2003-06-05 Nippon Sanso Corporation Procede et dispositif de separation de gaz
WO2003086586A1 (fr) * 2002-04-15 2003-10-23 Nippon Sanso Corporation Procede de separation de gaz
EP1504782A1 (fr) * 2003-08-04 2005-02-09 L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Générateur autonome d'oxygène
JP2011110521A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 精製ガス有圧ガス取得方法および精製ガス有圧ガス取得装置
CN103693623A (zh) * 2013-12-13 2014-04-02 合肥江航飞机装备有限公司 一种分子筛与中空纤维膜氧氮分离装置

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7306652B2 (en) * 2005-03-30 2007-12-11 Parker-Hannifin Corporation Siloxane removal process
US7507273B1 (en) * 2005-06-20 2009-03-24 6Solutions, Llc Chromatographic rectification of ethanol
US7862645B2 (en) * 2008-02-01 2011-01-04 Air Products And Chemicals, Inc. Removal of gaseous contaminants from argon
EP2476645B1 (en) * 2009-09-09 2018-10-10 Panasonic Corporation Xenon adsorption device
JP2011057491A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Panasonic Corp ガス回収方法
CN101985081A (zh) * 2010-06-10 2011-03-16 中国人民解放军63653部队 一种碳分子筛用于氡和氙气的分离方法
CN101985080A (zh) * 2010-06-10 2011-03-16 中国人民解放军63653部队 一种活性炭用于氙气的富集分离方法
US8551217B2 (en) 2011-01-11 2013-10-08 Praxair Technology, Inc. Six bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US8435328B2 (en) 2011-01-11 2013-05-07 Praxair Technology, Inc. Ten bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US8491704B2 (en) 2011-01-11 2013-07-23 Praxair Technology, Inc. Six bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US8496733B2 (en) 2011-01-11 2013-07-30 Praxair Technology, Inc. Large scale pressure swing adsorption systems having process cycles operating in normal and turndown modes
JP6328098B2 (ja) * 2012-03-29 2018-05-23 フィリップス ライティング ホールディング ビー ヴィ 暖房デバイス及び暖房方法
US20150165388A1 (en) * 2013-12-17 2015-06-18 Pall Corporation Skinless polyethersulfone membrane
EP3554673B1 (en) * 2016-12-13 2022-11-09 Linde GmbH Methods for separating ozone
JP6677181B2 (ja) * 2017-01-19 2020-04-08 Jfeスチール株式会社 ガス分離回収方法及び設備
US11557462B2 (en) * 2019-03-13 2023-01-17 Kla Corporation Collecting and recycling rare gases in semiconductor processing equipment
CN111359371A (zh) * 2020-03-30 2020-07-03 浙江勤策空分设备有限公司 一种处理尾气的psa制氮设备

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4190424A (en) * 1975-07-17 1980-02-26 Boc Limited Gas separation
GB1551824A (en) 1975-07-17 1979-09-05 Boc Ltd Gas separation
GB2011272A (en) 1977-12-28 1979-07-11 Boc Ltd Air separation by adsorption
US4264340A (en) 1979-02-28 1981-04-28 Air Products And Chemicals, Inc. Vacuum swing adsorption for air fractionation
US4369048A (en) * 1980-01-28 1983-01-18 Dallas T. Pence Method for treating gaseous effluents emitted from a nuclear reactor
DE3108745C2 (de) * 1981-03-07 1985-01-10 Paul Forkardt GmbH & Co KG, 4000 Düsseldorf Kraftbetätigtes Spannfutter
DE3132572A1 (de) * 1981-08-18 1983-03-10 Linde Ag, 6200 Wiesbaden Verfahren zur adsorptiven zerlegung eines gasgemisches
US4386945A (en) * 1982-02-01 1983-06-07 Litton Systems, Inc. Process and compound bed means for evolving a first component enriched gas
JPS5992907A (ja) * 1982-11-19 1984-05-29 Seitetsu Kagaku Co Ltd 高濃度アルゴンの製造方法
DE3402533A1 (de) * 1984-01-26 1985-08-01 Bergwerksverband Gmbh, 4300 Essen Verfahren zur gewinnung von sauerstoff mit einem argon-anteil unter o,5 % aus feuchter luft
JPS60246206A (ja) * 1984-05-22 1985-12-05 Seitetsu Kagaku Co Ltd 高濃度酸素の製造方法
US4744803A (en) * 1985-08-19 1988-05-17 The Ohio State University Research Foundation Complementary pressure swing adsorption
JP2562326B2 (ja) * 1987-08-07 1996-12-11 住友精化株式会社 空気から高濃度酸素を取得する方法
US4810265A (en) 1987-12-29 1989-03-07 Union Carbide Corporation Pressure swing adsorption process for gas separation
JPH01184016A (ja) 1988-01-20 1989-07-21 Tokico Ltd 気体分離装置
JP2691991B2 (ja) 1988-05-12 1997-12-17 豊 野口 気体分離方法
JPH02115016A (ja) 1988-10-24 1990-04-27 Yutaka Noguchi 酸素ガス分離方法
JPH0251405A (ja) 1988-08-12 1990-02-21 Yutaka Noguchi 窒素ガス分離方法
US4948391A (en) * 1988-05-12 1990-08-14 Vacuum Optics Corporation Of Japan Pressure swing adsorption process for gas separation
GB8812642D0 (en) * 1988-05-27 1988-06-29 Boc Group Plc Separation of gas mixtures
GB8826584D0 (en) * 1988-11-14 1988-12-21 Boc Group Plc Pressure swing adsorption process
US4914218A (en) * 1989-02-17 1990-04-03 Ravi Kumar Adsorptive process for separating multicomponent gas mixtures
GB9107999D0 (en) * 1991-04-16 1991-06-05 Boc Group Plc Improved apparatus for the separation of a gaseous mixture
FR2682611B1 (fr) * 1991-10-17 1993-12-03 Air Liquide Procede et installation d'epuration d'un gaz par adsorption.
CA2102775C (en) * 1992-11-16 1999-01-19 Ravi Kumar Extended vacuum swing adsorption process
US5330561A (en) * 1992-11-16 1994-07-19 Air Products And Chemicals, Inc. Extended vacuum swing adsorption process
JP2534614B2 (ja) * 1993-06-03 1996-09-18 テイサン株式会社 ガス精製装置
JP3654658B2 (ja) 1994-03-28 2005-06-02 大陽日酸株式会社 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置
US5707425A (en) * 1994-10-21 1998-01-13 Nitrotec Corporation Helium recovery from higher helium content streams
US5658371A (en) * 1995-11-06 1997-08-19 Praxair Technology, Inc. Single bed pressure swing adsorption process for recovery of oxygen from air
JP3628439B2 (ja) * 1996-05-20 2005-03-09 財団法人産業創造研究所 酸素−窒素混合ガス中のクリプトンの濃縮法
JP2000241590A (ja) * 1999-02-23 2000-09-08 Japan Atom Power Co Ltd:The 希ガス濃縮方法及び希ガス濃縮装置
JP3891773B2 (ja) * 2000-10-20 2007-03-14 大陽日酸株式会社 ガスの分離精製方法及びその装置
US6500235B2 (en) * 2000-12-29 2002-12-31 Praxair Technology, Inc. Pressure swing adsorption process for high recovery of high purity gas

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003045536A1 (fr) * 2001-11-27 2003-06-05 Nippon Sanso Corporation Procede et dispositif de separation de gaz
US6923844B2 (en) 2001-11-27 2005-08-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device
WO2003086586A1 (fr) * 2002-04-15 2003-10-23 Nippon Sanso Corporation Procede de separation de gaz
US7300497B2 (en) 2002-04-15 2007-11-27 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separating method
EP1504782A1 (fr) * 2003-08-04 2005-02-09 L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Générateur autonome d'oxygène
FR2858606A1 (fr) * 2003-08-04 2005-02-11 Air Liquide Generateur autonome d'oxygene
US7195028B2 (en) 2003-08-04 2007-03-27 L'Air Liquide, Société Anonyme Á Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Étude Et l'Exploitation des Procedes Georges Claude Self-contained oxygen generator
JP2011110521A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 精製ガス有圧ガス取得方法および精製ガス有圧ガス取得装置
CN103693623A (zh) * 2013-12-13 2014-04-02 合肥江航飞机装备有限公司 一种分子筛与中空纤维膜氧氮分离装置

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