WO2002085496A1 - Procede et systeme de separation de gaz - Google Patents

Procede et systeme de separation de gaz Download PDF

Info

Publication number
WO2002085496A1
WO2002085496A1 PCT/JP2002/002656 JP0202656W WO02085496A1 WO 2002085496 A1 WO2002085496 A1 WO 2002085496A1 JP 0202656 W JP0202656 W JP 0202656W WO 02085496 A1 WO02085496 A1 WO 02085496A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gas
product
component
adsorption
adsorbent
Prior art date
Application number
PCT/JP2002/002656
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Masato Kawai
Akihiro Nakamura
Tatsuya Hidano
Original Assignee
Nippon Sanso Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sanso Corporation filed Critical Nippon Sanso Corporation
Priority to EP02708631A priority Critical patent/EP1380335A4/en
Priority to KR1020037013477A priority patent/KR100838166B1/ko
Priority to US10/474,325 priority patent/US6955711B2/en
Publication of WO2002085496A1 publication Critical patent/WO2002085496A1/ja

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/047Pressure swing adsorption
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10Inorganic adsorbents
    • B01D2253/102Carbon
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10Inorganic adsorbents
    • B01D2253/104Alumina
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10Inorganic adsorbents
    • B01D2253/106Silica or silicates
    • B01D2253/108Zeolites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10Inorganic adsorbents
    • B01D2253/116Molecular sieves other than zeolites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2253/00Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/25Coated, impregnated or composite adsorbents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2256/00Main component in the product gas stream after treatment
    • B01D2256/10Nitrogen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2256/00Main component in the product gas stream after treatment
    • B01D2256/12Oxygen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2256/00Main component in the product gas stream after treatment
    • B01D2256/18Noble gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2257/00Components to be removed
    • B01D2257/10Single element gases other than halogens
    • B01D2257/102Nitrogen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2257/00Components to be removed
    • B01D2257/10Single element gases other than halogens
    • B01D2257/104Oxygen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2257/00Components to be removed
    • B01D2257/10Single element gases other than halogens
    • B01D2257/11Noble gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2257/00Components to be removed
    • B01D2257/80Water
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/40011Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
    • B01D2259/40043Purging
    • B01D2259/4005Nature of purge gas
    • B01D2259/40052Recycled product or process gas
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/40011Methods relating to the process cycle in pressure or temperature swing adsorption
    • B01D2259/40077Direction of flow
    • B01D2259/40081Counter-current
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/402Further details for adsorption processes and devices using two beds
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2259/00Type of treatment
    • B01D2259/40Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/414Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/047Pressure swing adsorption
    • B01D53/053Pressure swing adsorption with storage or buffer vessel
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26Drying gases or vapours
    • B01D53/261Drying gases or vapours by adsorption

Definitions

  • the present invention relates to a gas separation method and apparatus for separating and recovering useful component gases from a gas mixture containing a plurality of components.
  • it is suitable for separating oxygen gas and nitrogen gas from air and recovering them as product gas, or for separating and recovering rare gas and nitrogen from a gas mixture of rare gas and nitrogen, respectively.
  • the present invention relates to a gas separation method and an apparatus therefor. Background art
  • a cryogenic air separation method As a method for separating and recovering both oxygen and nitrogen components of air using air as a raw material, a cryogenic air separation method has been widely used conventionally. This method liquefies raw air and separates it by rectification using the difference in boiling point between oxygen and nitrogen.It requires a large investment in the separation equipment and therefore consumes a relatively large amount. It is said to be suitable for large-scale production to supply equipment.
  • a pressure swing adsorption (hereinafter referred to as ⁇ ⁇ pSAJ) separation method using an adsorbent has been widely adopted in recent years.
  • This method uses zeolite as an adsorbent when oxygen is to be separated and recovered as a product using air as a raw material, for example, and pressurizes and distributes air through an adsorption column filled with zeolite. Then, nitrogen, which is an easily adsorbed component, is adsorbed and fixed on the adsorbent of the zeolite, while oxygen, which is a poorly adsorbed component, flows out through the adsorption column (adsorption step).
  • the interior of the adsorption cylinder is released to atmospheric pressure so as to reduce the pressure of the adsorption cylinder filled with the zeolite adsorbent to a pressure lower than that of the adsorption step, and the nitrogen adsorbed and fixed on the zeolite adsorbent in the adsorption step is released. Is desorbed and flows out of the adsorption column and is collected (regeneration process).
  • the adsorption step is performed at a relatively high pressure, and the regeneration step is performed at a relatively low pressure. Since the operation is repeated, it is easy to increase the collection amount of the desired product per unit mass of the adsorbent, and therefore, there is an advantage that the equipment becomes a compact device. For example, if two adsorption cylinders are used and the PSA operations of the adsorption step and the regeneration step are performed in different steps in each cylinder and are alternately performed, the same desired product can be continuously collected. In many cases, poorly adsorbed components that are not adsorbed and fixed to the adsorbent and pass through the adsorption column and flow out are collected as high-purity products.
  • the adsorbent adsorbs the easily adsorbable components and simultaneously adsorbs the hardly adsorbable components a little.
  • the hardly adsorbable components are also present in the gaps between the adsorbents, the hardly adsorbable gas is extracted from the adsorption cylinder together with the desorbed gas in the adsorption cylinder depressurization regeneration step. Therefore, the easily adsorbed components to be made into products contain a considerable amount of hardly adsorbed components.
  • the mixing ratio of the easily adsorbed component and the hardly adsorbed component desorbed and derived in the regeneration step depends on the characteristics of the adsorbent used.
  • the pretreatment column Yl packed with an adsorbent which selectively adsorbs the H 2 0 and C0 2, v2, and nitrogen selectively of the intake Chakusuru zeolite DOO
  • the main rams Zl and ⁇ 2 filled with the adsorbent are connected to the pretreatment column Y1 and main ram Zl, respectively, and the pretreatment column ⁇ 2 and main ram ⁇ 2. It is connected so that it can be switched to another. While the raw material air is supplied to one of the sets and the nitrogen component is adsorbed to collect oxygen-enriched air (adsorption step), the other set is adsorbed by the adsorbent in the previous adsorption step. The desorbed nitrogen component is desorbed and high purity nitrogen is derived and collected (regeneration step).
  • the operation state is as follows.
  • the raw material air ⁇ is introduced into the pipe 51, and while being pressurized to a predetermined pressure by the blower 52 via the valve V51, the pipe 53, It is supplied to the pretreatment column Y1 via the valve V52 and the line 54. Then, H 20 and CO 2 are adsorbed and removed by the pretreatment column Y1, and then supplied to the main ram Z1 filled with the adsorbent zeolite via the valve V53.
  • the nitrogen component in the air M is adsorbed by the adsorbent, and the non-adsorbed oxygen component is enriched to become oxygen-enriched air, and this oxygen-enriched air is led out to the pipeline 55. Then, it is collected and stored in the oxygen-enriched air storage tank 57 through the valve V 54 and the line 56. Then, it is appropriately supplied to a use destination through a pipe 58.
  • the pretreatment column Y2-the main ram Z2 in the regeneration step first opens the valve V65, and derives nitrogen gas containing oxygen components remaining in the main ram Z2 from the pipe 65, and the valve V65, The gas is stored in the exhaust gas storage tank 61 via the pipeline 69 and the pipeline 60. The exhaust gas is used for regenerating and cleaning the pretreatment column Yl, # 2. Thereafter, the valve V65 is closed, the valves V63 and V66 are opened, and the vacuum pump 62 is driven.
  • the set of the pretreatment column Y 1—the main ram Z 1 and the set of the pretreatment column Y 2—the main ram Z 2 are operated by alternately switching the adsorption process and the regeneration process by appropriately operating the valve. Is done.
  • the sampled nitrogen was transferred from the nitrogen storage tank 68 to the valve V67 in line 71 and to the line 72. It is introduced into the main ram Zl or Z2 through the circulation blower 73 and the valve V75 or the valve V76 in the line 74, and is subjected to a cleaning process to perform the cleaning in the main ram Z1 or Z2.
  • Hei 11-29711 has a basic configuration similar to that of the air separation method disclosed in the aforementioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-147119.
  • the exhaust gas containing a relatively high concentration of oxygen discharged in the cleaning step of cleaning the main ram with the product nitrogen obtained by concentration is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-147119.
  • the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. Hei 11-29771 is different from the method disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 11-29711 in that it is collected as a part of oxygen-enriched air as a product. Are different.
  • oxygen is extracted from air using zeolite as an adsorbent, but argon is contained in the product oxygen sampled from the adsorption characteristics of zeolite.
  • the upper limit of the oxygen concentration is at most about 95%, and in order to obtain oxygen at a concentration of 95% or more, adsorbents having different adsorption characteristics according to the composition of the gas mixture of the raw material are required depending on the composition. It is used to increase the concentration of oxygen to be collected by adsorption and separation.
  • the adsorption separation method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-52181 discloses that a gas mixture obtained from an adsorption bed filled with a first adsorbent is a raw material.
  • the ratio of the main gas component to the gas is increased and used as feed to the next second adsorbent bed in the chain or the last in the chain of adsorbed beds. It is characterized by being used as product gas from an adsorption bed. Therefore, it is necessary to provide an air supply pump unit that recirculates the desorbed gas from one adsorbent bed to the other adsorbent bed or to its own adsorbent bed, which complicates the equipment configuration. There was an inevitable inconvenience that power and equipment costs were also high.
  • the high-purity product to be sampled is often separated and sampled for only one component in the gas mixture as the raw material. There is no excellent method or apparatus suitable for separating and collecting multiple components with high purity to obtain a product, and its appearance has been desired.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and it has been made possible to simultaneously separate and collect a plurality of components constituting a gas mixture at a high purity concentration, and to simplify the equipment. It is an object of the present invention to provide a gas separation method and apparatus by the PSA method, which are inexpensive and easy to operate. Disclosure of the invention
  • the first main gas component is converted to the first main gas component using the first adsorbent that is hardly adsorbable to the first main gas component and easily adsorbable to the second main gas component. Separating the gas mixture after the pressure is easily adsorbed to the first main gas component and hardly adsorbed to the second main gas component.
  • a step of separating the second main gas component as the second product gas using the adsorbent of the second mixture, the first product gas and the second product gas are combined from the gas mixture. It is characterized by producing.
  • the gas separation method of the invention according to claim 2 is characterized in that, in the gas separation method of the invention according to claim 1, the step of separating as a first product gas and the step of separating as a second product gas each comprise: A step of accumulating product gas separated in the product gas separation step in the product tank, and separating the product gas accumulated in the product tank after each product gas separation step into the product gas as an adsorbent And performing a step of purging and cleaning.
  • a gas separation method according to a third aspect of the invention is the gas separation method according to the first or second aspect, wherein the gas mixture is air.
  • the gas separation method of the invention according to claim 4 is the gas separation method according to claim 1 or 2, wherein the main component of the gas mixture contains at least one component of krypton and xenon. It is characterized by comprising nitrogen.
  • a gas separation method according to a fifth aspect of the present invention is the gas separation method according to the first or second aspect, wherein the first adsorbent is zeolite, and the second adsorbent is a molecular sieve. It is characterized by being activated carbon.
  • the gas separation method according to claim 6 is the gas separation method according to claim 1 or 2, wherein the main component is nitrogen containing at least one component of krypton and xenon.
  • the first adsorbent is a Na-A zeolite that selectively adsorbs nitrogen
  • the second adsorbent is activated carbon that selectively adsorbs krypton and xenon. .
  • the invention according to claim 7 is a gas separation device, wherein the gas mixture containing at least two main gas components is separated into the main gas components by a pressure fluctuation adsorption device, wherein the gas mixture is added.
  • a valve and a valve means means.
  • the gas separation device of the invention according to claim 8 is the gas separation device of the invention according to claim 7, wherein the first main gas component and the second main gas component are respectively derived.
  • First pipes which are attached to the first adsorption cylinder and store the separated and derived first main components, in respective pipes arranged in the first adsorption cylinder and the second adsorption cylinder.
  • FIG. 1 is a system diagram illustrating a first embodiment of a gas separation apparatus using the PSA method of the present invention.
  • FIG. 2 illustrates a second embodiment of the gas separation apparatus based on the PSA method of the present invention.
  • Figure 3 is a best mode for carrying out the c invention is a system schematic diagram showing an example of an air separation method according to the conventional PSA process
  • FIG. 1 is a system diagram for explaining a first embodiment of the gas separation method according to the PSA method of the present invention.
  • air MA is used as a raw material gas mixture M, and its main gas components, oxygen and nitrogen, are separated and collected as product gas.
  • the apparatus of this embodiment has a compressor 1 that compresses air MA as a raw material gas mixture M, and has different adsorption characteristics for oxygen ( ⁇ 2 ) and nitrogen (N 2 ), which are the main gas components of air MA.
  • Adsorption columns 2A and 2B filled with adsorbents are installed. That is, the adsorption column 2A is filled with zeolite that selectively adsorbs nitrogen and hardly adsorbs oxygen components, and the adsorption column 2B is a molecular sieve activated carbon that selectively adsorbs oxygen and hardly adsorbs nitrogen components. (MSC, abbreviation for rMolecular Sieves Carbon).
  • the components of the compressor 1, the adsorption cylinder 2A, and the adsorption cylinder 2B for these raw material gases switch the raw material air MA into the adsorption cylinders 2A and 2B, respectively, and circulate the extracted gas. It is connected to the pipeline by a required valve for recovery.
  • the raw material air MA is compressed in the compressor 1 to a pressure of 100 kPa to 1,000 kPa (hereinafter referred to as a gauge pressure), preferably to a pressure of 200 kPa to 800 kPa. Then, the gas flows through the pipes 3 and 4, and is introduced into the adsorption column 2A from the raw material supply valve 5a. Since adsorption column 2A is filled with zeolite that selectively adsorbs nitrogen as described above, nitrogen (N 2 ), which is an easily adsorbed component, is preferentially adsorbed from the introduced raw material air MA.
  • the oxygen-enriched gas M0 is obtained as a product.
  • the region of the filled zeolite that has adsorbed nitrogen advances sequentially toward the outlet of the adsorption column 2A.
  • the nitrogen content in the oxygen-enriched gas M0 derived from the outlet line 7 of the adsorption column 2A exceeds the allowable range, the adsorption process in the adsorption column 2A is terminated. Confuse. That is, the raw material supply valve 5a and the product discharge valve 6a are closed. At the same time, the raw material supply valve 5b and the product outlet valve 6b connected to the adsorption tube 2B are opened.
  • the raw material air MA is introduced into the adsorption column 2A, and is passed through the pipeline 8 and the raw material supply valve 5b. Is introduced into the adsorption cylinder 2B.
  • the adsorption column 2B is filled with the molecular sieve activated carbon (MSC) that selectively adsorbs oxygen as described above, and the raw material air MA introduced into the adsorption column 2B is easily adsorbed by the molecular sieve activated carbon (MSC).
  • MSC molecular sieve activated carbon
  • Oxygen (0 2 ) as a component is selectively adsorbed, and nitrogen (N 2 ), a hardly adsorbable component, is pushed out to the outlet side and flows out to a pipe 9 through a product discharge valve 6 b to form nitrogen.
  • Nitrogen-rich gas MN with a concentration of 99-99.99% is obtained as a product.
  • the region in which the filled molecular sieve activated carbon (MSC) has adsorbed oxygen advances sequentially toward the outlet of the adsorption column 2b as time elapses from the start of adsorption.
  • the oxygen content in the nitrogen-enriched gas MN derived from the pipe 9 at the outlet of the adsorption cylinder 2b exceeds the allowable range, the raw material supply valve 5b and the product discharge valve 6b Is closed, and the adsorption process of the adsorption cylinder 2B is terminated.
  • the raw material supply valve 5a and the product outlet valve 6a connected to the adsorption cylinder 2A are opened, and the raw material air MA is filled in the regeneration step after the previous adsorption step.
  • the supply of zeolite is switched to supply to the adsorber 2A, which has been regenerated, and the oxygen-enriched gas M0 is collected again as a product.
  • valve switching operation is repeated to switch the supply of the raw material air MA to the adsorption column 2A and the adsorption column 2B, and to supply the oxygen-enriched gas M0 from one adsorption column 2A. It is collected as a product, and the nitrogen-enriched gas MN is collected as a product from the other adsorption column 2B.
  • the one adsorption cylinder 2 A or 2 B is operating in the adsorption step, In the other adsorption column 2B or 2A, since the adsorbent filled in each adsorption column is saturated with easily adsorbed components in the previous adsorption step, it is desorbed and removed. A regenerating step is performed for regenerating.
  • This regeneration step is performed in the following manner.
  • the raw material supply valve 5a and the product outlet valve 6a are closed, and then the exhaust valve 1 Open 0 a to open the interior of the adsorption cylinder 2 A to the atmosphere, and discharge the adsorbent and the gas held in the cylinder to the atmosphere from the pipe 11.
  • the pressure in the adsorption column 2A decreases, and the nitrogen adsorbed on the adsorbent (zeolite) is desorbed and regenerated.
  • the exhaust valve 10a is closed and the operation waits for the next operation of the adsorption step.
  • the regeneration step in the adsorption cylinder 2B is performed in a similar manner.
  • the exhaust valve 10b disposed on the adsorption cylinder 2B is opened to open the interior of the adsorption cylinder 2B to the atmosphere, and the adsorbent is Then, the gas held in the cylinder is released from the pipe 12 to the atmosphere.
  • the exhaust valve 10b is closed and the operation waits for the next operation of the adsorption step.
  • the adsorption process in both adsorption columns 2A and 2B, the Z regeneration process that is, the regeneration process time of adsorption column 2B in the adsorption process of adsorption column 2A, and the adsorption column 2 in the regeneration process of adsorption column 2A It is desirable that the time between the adsorption step and the regeneration step, such as the time for the adsorption step B, be in a corresponding relationship, but either step can be lengthened. At that time, the process which does not need to be extended may be continued as it is, or all valves may be closed to be in a standby state.
  • the air MA is used as the raw material gas mixture M and the oxygen-enriched gas M0 and the nitrogen-enriched gas MN are separated and sampled.
  • these can be separated and collected by using zeolite and activated carbon as adsorbents having different adsorption characteristics.
  • the gas mixture compressed by the compressor 1 to a pressure of 100 kPa to 200 kPa, preferably to 200 kPa Krypton concentration 9 Separation into 9-99.99% krypton-rich gas and nitrogen concentration 99-9.9.99% nitrogen-rich gas, both of which are obtained as products.
  • the feature of the second embodiment is that, in the first embodiment shown in FIG. 1 described above, the pipes 7 and 9 for leading out the products of the adsorption cylinder 2A and the adsorption cylinder 2B respectively.
  • the product storage tanks 13 A and 13 B are connected in series, and the products collected in the adsorption process in the adsorption columns 2 A and 2 B are stored in the product storage tanks 13 A and 13 A, respectively.
  • the gas is stored in the storage tank 13B, and is supplied as a purge gas to each adsorption column during the regeneration process of each adsorption column 2A, 2B. This will be described below.
  • FIG. 2 devices common to FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as in FIG. 1, and detailed description is omitted.
  • the product oxygen-enriched gas M0 derived from the product outlet valve 6a and the pipe 7 is stored in the oxygen-enriched gas product storage tank 13a.
  • the introduced product is stored, and the stored product is supplied to the user through pipe 14 as appropriate.
  • the adsorption step is operated by switching the adsorption cylinder 2B to the inlet cylinder 2B, the raw material air M is introduced into the adsorption cylinder 2B, and the adsorption cylinder 2A is operated and operated in the regeneration step.
  • the purge valve 16a and the exhaust valve 10a are opened, and the product tank 13A is connected to the pipeline 15 through the purge valve 16a.
  • the oxygen-enriched gas MO stored in 3 A is back-flowed and introduced into the adsorption column 2 A, and the nitrogen (N 2 ) adsorbed on the adsorbent zeolite is desorbed and accompanying the exhaust valve 10 a, Discharge to outside of the system through pipeline 11.
  • the component (nitrogen) force adsorbed on the adsorbent (zeolite) in the adsorption column 2A is purged with the poorly adsorbable component (oxygen-enriched gas M0) collected as a product during the adsorption process.
  • the poorly adsorbable component oxygen-enriched gas M0
  • the same operation is performed to purge the adsorbent molecular sieve activated carbon MSC filled in the adsorption column 2B by purging with the nitrogen-enriched gas MN as a product.
  • the component (oxygen) power absorbed by the adsorbent (molecular sieve activated carbon MSC) in the adsorption column 2B is the poorly adsorbable component (nitrogen-enriched gas MN) collected as a product during the adsorption process. Purging promotes the desorption of easily adsorbable components, and it is possible to regenerate efficiently and with improved desorption effects.
  • Equalizing tanks are individually provided in the outlet lines 7 and 9 of the adsorption cylinder 2A and the adsorption cylinder 2B of the gas separation device according to the first and second embodiments.
  • a gas with a concentration close to that of the product in the adsorption cylinder is introduced into the pressure equalization tank, collected and stored prior to the regeneration step after the adsorption step.
  • a gas having a concentration close to that of the product recovered in the equalizing tank is introduced into the adsorption cylinder in a lower pressure state from the equalizing tank so that the two have an equal pressure.
  • the supplied raw material gas can be used effectively without waste, and the product recovery rate can be improved.
  • one adsorption column 2A was filled with Na-X type zeolite and the other adsorption column 2B was filled with molecular sieve activated carbon MSC.
  • activated alumina was filled and disposed on the raw air inflow end side of each adsorbent to remove moisture.
  • Air MA was compressed to 700 kPa using compressor 1, and supplied as raw material gas mixture M to adsorption column 2A and adsorption column 2B, respectively.
  • the zeolite is not limited to the Na—X type, and some or all of the Na ions of the Na—X type zeolite may be replaced with another alkali metal or an alkaline earth metal. Zeolite, Ca-A zeolite, mordenite, etc., which have been ion-exchanged in step 1, can also be used.
  • one adsorption column 2A was filled with Na-A type zeolite, and the other adsorption column 2B was filled with activated carbon.
  • a compressed gas mixture of nitrogen and krypton was compressed to 700 kPa as a raw material gas mixture M using a compressor 1, and then supplied to the adsorption cylinder 2A and the adsorption cylinder 2B, respectively.
  • a 99.9% pure krypton-enriched gas was obtained from the adsorption column 2A filled with, and a 99.5% nitrogen-enriched gas was obtained from the adsorption column 2B filled with activated carbon. .
  • Example 2 the raw material gas mixture M was changed to a gas mixture of nitrogen and xenon, and the compressor 1 was pressurized to the same pressure as described above, so that each of the adsorption columns 2A filled with the adsorbent described above and When supplied to the adsorption column to 2B, the zeolite-filled adsorption column 2A, like krypton, derives a 99.9-99% pure xenon-enriched gas from the adsorption column 2B, which is filled with activated carbon. As a result, a nitrogen-enriched gas having a purity of 99.5 ° / 0 was obtained.
  • Krypton and xenon separated and collected in Example 2 are extremely rare gases, and it is not economically appropriate to discharge the gases outside the separation system. Therefore, by combining the exhaust gas pipelines 11 and 12 shown in FIG. 1 with the raw material suction pipeline of the compressor 1 and circulating the exhaust gas, rare and expensive krypton, This was effective in reducing the loss associated with the separation of Zenone. Industrial applicability
  • the gas separation method and apparatus of the present invention are carried out in the above-described form, and are produced as follows. Has industrial applicability.
  • a raw material gas mixture consisting of multiple components was introduced into a gas separation device equipped with an adsorption cylinder filled with adsorbents with different adsorption characteristics, and each of the multiple components was separated and sampled, making it extremely simple.
  • the two components can be concentrated and extracted as a product from the raw gas mixture with the PSA system configuration.
  • these product gases are taken out as hardly adsorbable components in the adsorption step, they can be obtained while maintaining the pressure at which the raw material gas mixture is introduced into the adsorption column, so that the gas products produced by the gas separation device of the present invention are: Since it is not necessary to install a compressor for pumping when supplying to the destination, equipment costs can be reduced and operating costs can be reduced.
  • the compressor for the raw material gas mixture supplies the raw material gas alternately to the two adsorption cylinders, so that there is no downtime, so that the compressor can be operated effectively.
  • the compressor for the raw material gas mixture does not need to perform a severe operation such as alternately repeating the compression operation and the exhaust operation as seen in a single-cylinder PSA, and is operated continuously in a steady driving state. Therefore, the life of the machine can be extended.
  • a product tank is additionally provided in connection with the product lead-out line of each adsorption column, and product gas collected and stored in the product tank in the adsorption step is adsorbed in the regeneration step of each adsorption column.
  • the adsorption cylinder in the low pressure state after the regeneration step of the adsorption cylinder can be connected to the adsorption cylinder in the regeneration step after the adsorption step.
  • the exhaust gas, which has been collected in the pressure equalization tank, is used for the pressure equalization process of supplying and equalizing the gas, so that the introduced raw material gas mixture can be used effectively without wasteful discharge. This has the effect of improving the recovery rate.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Description

明細書
ガス分離方法とその装置 技術分野
本発明は、 複数の成分を含有するガス混合物から、 有用な成分ガスを分離回収 するガス分離方法とその装置に関するものである。 特に、 空気中から酸素ガス及 び窒素ガスを分離し、 これらを製品ガスとして回収したり、 又、 希ガスと窒素と のガス混合物から希ガスと窒素とそれぞれ分離し、 回収するのに適したガス分離 方法とその装置に関する。 背景技術
空気を原料として、 空気を構成している酸素及び窒素の両成分を分離し、 回収 する方法として、 従来より深冷空気分離方法が広く採用されている。 この方法は 原料空気を液化し、 酸素と窒素との沸点の差違を利用して精留分離するもので、 そのための分離装置設備に多大の投資を必要とすることから、 比較的大量に消費 する設備に供給するための、 大規模な量の生産に適しているとされている。 又、 上記空気成分の分離回収方法として、 吸着剤を使用して分離する圧力変動 吸着 (プレッシャー · スイング ·アドソープシヨン、 以下 Γ p S A J という) 法 による分離方法が、 近年広く採用されている。 この方法は、 例えば空気を原料と して酸素を製品として分離回収しょうとする場合、 吸着剤としてゼォライ トを使 用して、 このゼォライ トを充填した吸着筒に、 空気を加圧して流通せしめると、 易吸着成分である窒素が前記ゼォライ トの吸着剤に吸着固定され、 一方難吸着成 分である酸素が吸着筒を通過して流出する (吸着工程) 。 次いで、 ゼォライ ト吸 着剤を充填した吸着筒を前記吸着工程よりも低い圧力に減圧するよう、 吸着筒内 を大気圧に向けて解放すると、 前記吸着工程ゼォライ ト吸着剤に吸着固定された 窒素が脱着されて、 吸着筒より流出して回収される (再生工程) 。
このような P S A法によるガスの分離方法では、 相対的に高い圧力で吸着工程 を行い、 そして相対的に低い圧力で再生工程を行い、 これを短い時間で順次切替 操作して繰り返すので、 吸着剤の単位質量当たりの所望製品の回収採取量を高く することが容易であり、 それ故、 設備がコンパク トな装置になる利点がある。 例えば、 2筒の吸着筒を用いて、 前記した吸着工程、 再生工程の P S A操作を それぞれの筒で異なる工程にして交互に行うと、 同一の所望製品を連続的に採取 することができる。 そして、 多くの場合、 吸着剤に吸着固定されずに吸着筒を通 過して流出する難吸着成分を高純度の製品として採取している。 これは、 吸着筒 から導出される成分の純度によるところが大きく、 易吸着成分を所望する採取製 品とする場合、 吸着剤には易吸着成分が吸着されると同時に難吸着成分が少々吸 着されるとともに、 吸着剤間の空隙にも難吸着成分が存在するので、 吸着筒の減 圧再生工程で吸着筒から脱着ガスとともに難吸着ガスが導出される。 したがって 、 製品とすべき易吸着成分中にはかなりの量の難吸着成分を含むこととなる。 な お、 この再生工程で脱着導出される易吸着成分と難吸着成分との混合割合は、 使 用する吸着剤の特性に依存するものである。
このようなことより、 上記易吸着成分を高純度化して製品として採取する場合 には、 再生工程で吸着工程に入る前に、 製品とされた易吸着成分 (前工程で脱着 導出して採取された) を用いて、 吸着工程終了後の状態にある吸着筒内をパージ する工程を行うことが必要となり、 分離採取するための工程を複雑化するととも に、 前記パージのために圧縮機を追加することが必要となる等、 設備の構成機器 を増大せしめることとなっていた。
又、 従来の P S A法に るガスの分離方法や装置においては、 所望する高純度 の製品ガスを分離採取するに当たっては、 複数成分よりなるガス混合物中の 1成 分のみを目標成分にすることが多かった。
P S A法により、 ガス混合物を構成している成分から複数成分を高純度で製品 として分離採取しようとする試みは、 例えば特開昭 5 5— 1 4 7 1 1 9号公報に 開示された技術が提案されている。 該公報に開示されている技術は、 空気を原料 として、 空気中に含まれている H 2 0及び C O 2を選択的に吸着する吸着剤を充 填した予備処理カラム、 及び酸素より窒素を選択的に吸着する吸着剤を充填した 主力ラムとからなる吸着装置を使用したもので、 酸素を富化した酸素富化空気と 高純度の窒素との 2種の製品を分離採取する方法に関するものである。
上記した特開昭 5 5 - 1 4 7 1 1 9号公報に開示された、 従来の P S A法によ る空気の分離方法について、 図 3の系統概略図を参照して説明する。
この方法に使用する P S A法空気分離装置 5 0では、 H20及びC02を選択 的に吸着する吸着剤を充填した予備処理カラム Yl、 Υ2、 及び窒素を選択的に吸 着するゼオライ トのごとき吸着剤を充填した主力ラム Zl、 Ζ2とが、 それぞれ予 備処理カラム Y1—主力ラム Zl、 予備処理カラム Υ2—主力ラム Ζ2と連結して 2 組の処理装置が、 原料空気の供給を交互に切替可能に行えるように連結されてい る。 そして、 一方の 1組に原料空気を供給して窒素成分を吸着し酸素富化空気を 採取している間 (吸着工程) 、 他方の 1組は前工程の吸着工程で吸着剤に吸着さ れた窒素成分を脱着して高純度窒素を導出して採取する (再生工程) 。
即ち、 例えば、 予備処理カラム Y1—主力ラム Z1の組が吸着工程にあって、 予 備処理カラム Υ2—主力ラム Ζ2の組が再生工程にある場合には、 次のごとき運転 状態とされる。
予備処理カラム Y1—主力ラム Z1での吸着工程では、 原料空気 ΜΑが管路 5 1 に導入され、 弁 V51を介してブロワ一 5 2で所定圧力に加圧された状態で管路 5 3、 弁 V52、 及び管路 54を介して予備処理カラム Y1に供給される。 そして該 予備処理カラム Y1で H20及び CO 2が吸着除去され、 次いで弁 V53を介して吸 着剤ゼォライ トが充填された主力ラム Z1に供給される。 そして主力ラム Z1を通 過する際、 空気 M中の窒素成分が吸着剤に吸着され、 吸着されない酸素成分が富 化されて酸素富化空気となり、 この酸素富化空気が管路 5 5に導出されて、 弁 V 54、 管路 5 6を経て酸素富化空気貯槽 5 7に採取貯蔵される。 そして管路 5 8に よって適宜使用先に供給される。
一方、 再生工程にある予備処理カラム Y2—主力ラム Z2は、 まず弁 V65を開状 態にして、 主力ラム Z2に滞留する酸素成分を含む窒素ガスを管路 6 5より導出 し、 弁 V65、 管路 6 9、 及ぴ管路 60を介して排出ガス貯槽 6 1に貯蔵する。 該 排出ガスは予備処理カラム Yl、 Υ2の再生洗浄用に使用される。 その後、 前記弁 V65を閉止し、 弁 V63、 V66を開状態にするとともに、 真空ポンプ 6 2を駆動し て、 主力ラム Z 2の吸着剤に吸着されている窒素成分を脱着し、 V63、 予備処理 カラム Y 2、 管路 6 4 , 弁 V 66、 管路 6 3、 管路 6 7を介して真空ポンプ 6 2に 吸引し、 窒素貯槽 6 8に製品として高純度窒素ガスを採取貯蔵する。 そして、 管 路 7 0より適宜使用先に供給される。
このようにして、 予備処理カラム Y 1—主力ラム Z 1の組と予備処理カラム Y 2 —主力ラム Z 2組とは、 吸着工程と再生工程とを適宜弁操作により工程を交互に 切り替えて運転される。 然るに、 上記した製品窒素を、 純度を維持して採取する ため、 再生工程後、 吸着工程に先駆けて、 採取された窒素を窒素貯槽 6 8より管 路 7 1の弁 V67、 管路 7 2の循環ブロヮー 7 3、 管路 7 4の弁 V 7 5又は弁 V 7 6を介して主力ラム Z l、 又は Z 2に導入し、 洗浄工程を行って、 主力ラム Z 1又 は Z 2内の窒素成分濃度をより一層高めておいて、 製品窒素の高純度化を達成せ しめていた。
しかしながら、 再生工程での窒素の脱着は、 吸着工程における原料空気の導入 流に対して向流で行われるため、 再生工程で脱着して得られる高純度窒素は予備 処理カラムを通って導出されるので、 予備処理カラムで吸着されていた H 2 0、 c o 2が導出される高純度窒素に同伴されてきて、 高純度窒素の不純物として含 まれることとなる。 それ故、 これらを除く必要が生じ、 これらを除くためには、 追加のブロワ一等の送気手段や、 乾燥器等の精製手段が必要となり、 設備全体の 構成が複雑化するとともに、 増大し、 更には設備価格を高めることとなる。 又、 特開平 1一 2 9 7 1 1 9号公報には、 前記した特開昭 5 5 - 1 4 7 1 1 9 号公報に開示されている空気の分離方法と基本的な構成は類似しているが、 濃縮 して得られた製品窒素によって主力ラムを洗浄する洗浄工程で排出される酸素を 比較的高濃度に含有する排出ガスを、 特開昭 5 5 - 1 4 7 1 1 9号公報の方法で は原料空気の系統に回収していたのを、 特開平 1一 2 9 7 1 1 9号公報の方法で は、 製品として酸素富化空気の一部として採取するようにした点に相異が認めら れる。 しかしながら、 採取する製品窒素に不純物として H 2 0、 C〇2が含有し てくるという、 不都合な点や、 全体構成が複雑である点等においては、 両者に共 通している。 更に又、 特開昭 5 2— 5 2 1 8 1号公報には、 吸着特性の異なる 2種類の吸着 剤、 モレキユラシーブカーボン (分子篩活性炭、 以下 「M S C」 という) とゼォ ライ トを用いて、 これらの吸着剤を充填した吸着床を連鎖して連結せしめて構成 し、 これらの連鎖的に連結した吸着床に原料を順次接触通過せしめて、 9 9 %の 高純度酸素ガスを採取する方法が開示されている。 この方法は、 ゼォライ トを吸 着剤として使用して空気から酸素を採取する方法が、 ゼォライ トの吸着特性から 採取される製品酸素中にアルゴンが含有されることとなって、 吸着分離後の酸素 濃度の上限がせいぜい 9 5 %程度であって、 9 5 %以上の濃度の酸素を得るため 、 原料のガス混合物の組成に対応して、 それぞれの組成に応じて異なる吸着特性 の吸着剤を用いて、 吸着分離するようにして、 採取すべき酸素の濃度の高濃度化 を図ったものである。
し力、し、 この特開昭 5 2 - 5 2 1 8 1号公報に開示されている吸着分離方法は 、 第 1の吸着剤を充填した吸着床から導出して得られるガス混合物が、 原料ガス に対して主要ガス成分の含有比率が高められた状態にあって、 連鎖されている次 の第 2の吸着床への供給原料として使用されたり、 あるいは連鎖連結されている 吸着床の最後の吸着床からの製品ガスとして使用されることを特徴としている。 それ故、 装置の構成として、 一方の吸着床からの脱着ガスを他方の吸着床又は自 らの吸着床に再循環する送気用のポンプュニットを設備する必要となり、 装置構 成が複雑となるばかり力、 設備費用も高価となることは避けられない不都合があ つた。
以上のように、 従来の P S A法によるガス分離方法と装置にあっては、 採取さ れる高純度の製品は、 原料であるガス混合物中の 1成分のみを対象として分離採 取することが多く、 複数の成分を高純度で分離採取して製品とするのに適した優 れた方法や装置が無く、 その出現が望まれていた。
本発明は、 上記事情に鑑みてなさ.れたもので、 ガス混合物よりこれを構成して いる複数成分を同時に高純度の濃度にして分離採取することを可能とし、 かつ装 置設備が簡略で装置価格が安価であるとともに、 操作が容易な P S A法によるガ ス分離方法と装置を提供することを本発明の課題とするものである。 発明の開示
上記した課題を解決するため、
請求項 1に係わる発明のガス分離方法は、 少なくとも 2成分の主要ガス成分を 含有するガス混合物を圧力変動吸着方法により、 前記主要成分を分離して採取す るガス分離方法において、 前記ガス混合物を加圧した後、 第 1の主要ガス成分に 対して難吸着性であって第 2の主要ガス成分に対して易吸着性である第 1の吸着 剤を用いて第 1の主要ガス成分を第 1の製品ガスとして分離する工程と、 前記加 圧後のガス混合物を前記第 1の主要ガス成分に対して易吸着性であって前記第 2 の主要ガス成分に対して難吸着性である第 2の吸着剤を用いて第 2の主要ガス成 分を第 2の製品ガスとして分離する工程とを、 交互に繰り返すことにより、 前記 ガス混合物から第 1の製品ガスおよび第 2の製品ガスを併産することを特徴とす るものである。
請求項 2に係わる発明のガス分離方法は、 上記請求項 1に係わる発明のガス分 離方法において、 第 1の製品ガスとして分離する工程と第 2の製品ガスとして分 離する工程とが、 各製品ガス分離工程中で分離する製品ガスを製品槽に蓄積する 工程を備えてなるとともに、 各製品ガス分離工程の後に前記製品槽に蓄積した製 品ガスを、 該各製品ガスとして分離した吸着剤をパージ洗浄する工程を行うこと を特徴とするものである。
請求項 3に係わる発明のガス分離方法は、 上記請求項 1又は請求項 2に係わる 発明のガス分離方法おいて、 前記ガス混合物が空気であることを特徴とするもの である。
請求項 4に係わる発明のガス分離方法は、 上記請求項 1又は請求項 2に係わる 発明のガス分離方法おいて、 前記ガス混合物の主要成分が、 クリプトン及ぴゼノ ンの少なく とも 1成分を含有する窒素からなることを特徴とするものである。 請求項 5に係わる発明のガス分離方法は、 上記請求項 1又は請求項 2に係わる 発明のガス分離方法おいて、 前記第 1の吸着剤がゼォライ トであり、 前記第 2の 吸着剤が分子篩活性炭であることを特徴とするものである。 請求項 6に係わる発明のガス分離方法は、 上記請求項 1又は請求項 2に係わる 発明のガス分離方法おいて、 前記主要成分がクリプトン及びゼノンの少なくとも 1成分を含有する窒素からなり、 前記第 1の吸着剤が窒素を選択的に吸着する N a一 A型ゼォライ トであり、 前記第 2の吸着剤がクリプトン及ぴゼノンを選択的 に吸着する活性炭であることを特徴とするものである。
又、 請求項 7に係わる発明はガス分離装置であって、 少なく とも 2つの主要ガ ス成分を含有するガス混合物を圧力変動吸着装置により主要ガス成分に分離する ガス分離装置において、 ガス混合物を加圧する手段と、 ガス混合物中の第 1の主 要ガス成分に対して難吸着性であって第 2の主要ガス成分に対して易吸着性であ る第 1の吸着剤を充填した第 1の吸着筒と、 前記第 1の主要ガス成分に対して易 吸着性でつて前記第 2の主要ガス成分に対して難吸着性である第 2の吸着剤を充 填した第 2の吸着筒と、 前記第 1の吸着筒と前記第 2の吸着筒を交互に切換えて ガス混合物を流通せしめて、 前記第 1の主要ガス成分と前記第 2の主要ガス成分 とをそれぞれ導出するよう配された管路及び弁手段とを備えてなることを特徴と するものである。
請求項 8に係わる発明のガス分離装置は、 上記請求項 7に係わる発明のガス分 離装置において、 前記第 1の主要ガス成分と前記第 2の主要ガス成分とをそれぞ れ導出するよう前記第 1の吸着筒と前記第 2の吸着筒とに配されたそれぞれの管 路に、 第 1の吸着筒に付属して、 分離して導出された第 1の主要成分を貯蔵する 第 1の製品槽と該第 1の製品槽から前記第 1の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管 路を設けてなり、 又第 2の吸着筒に付属して、 分離して導出された第 2の主要成 分を貯蔵する第 2の製品槽と該第 2の製品槽から前記第 2の吸着筒へ製品ガスを 逆流させる管路とを設けてなることを特徴とするものである。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の P S A法によるガス分離装置の第 1の実施の形態を説明す る系統図である。
図 2は、 本発明の P S A法によるガス分離装置の第 2の実施の形態を説明す る系統図である。 ,
図 3は、 従来の P S A法による空気分離方法の一例を示す系統概略図である c 発明を実施するための最良の形態
以下本発明のガス分離方法及び装 gの実施の形態について図面を参照して説明 する。
<第 1の実施の形態〉
図 1は、 本発明の P S A法によるガス分離方法の第 1の実施形態を説明する系 統図である。 この第 1の実施形態では、 原料のガス混合物 Mとして空気 MAを用 い、 その主要ガス成分である酸素及び窒素を製品ガスとして分離採取するもので める。
本実施形態の装置は、 原料ガス混合物 Mとして空気 MAを圧縮する圧縮機 1、 空気 MAの主要ガス成分である酸素 (〇2) 及びび窒素 (N2) に対し、 それぞれ 異なった吸着特性を持つ吸着剤を充填した吸着筒 2 A、 2 Bが設備されている。 即ち、 吸着筒 2 Aには窒素を選択的に吸着し、 酸素成分を吸着し難いゼォライ ト を充填し、 吸着筒 2 Bには酸素を選択的に吸着し、 窒素成分を吸着し難い分子篩 活性炭 (MS C 、 rMolecular Sieves Carbon」の略 ) を充填してなるものであ る。 そしてこれらの原料ガスの圧縮機 1、 吸着筒 2A、 及び吸着筒 2 Bの構成機 器は、 原料の空気 MAを吸着筒 2 A、 2 Bそれぞれに切替導入し、 流通せしめて 、 導出ガスを回収するよう管路と必要な弁によって連結されている。
原料の空気 MAは圧縮機 1で 1 00 k P a〜1 000 k P aの圧力 (以降ゲー ジ圧力を示す。 ) 、 好ましくは 2 00 k P a〜8 00 k P aの圧力まで圧縮され 、 管路 3、 管路 4を流通して、 原料供給弁 5 aより吸着筒 2Aに導入する。 吸着 筒 2 Aには前述のごとく窒素を選択的に吸着するゼォライ トが充填されているの で、 導入された原料空気 MAから易吸着成分である窒素 (N2) を優先的に吸着 し、 難吸着性成分である酸素 (〇2) が出口側に導出され、 製品導出弁 6 aを介 して管路 7より酸素濃度 8 5〜 9 5% (以降%は容積%を示す。 ) の酸素富化ガ ス M0が製品として得られる。 この間、 吸着筒 2 Aでは、 吸着開始から時間の経過とともに、 充填されている ゼォライ トは窒素を吸着した領域が吸着筒 2 Aの出口に向かって順次前進する。 そして、 吸着筒 2 Aの出口の管路 7より導出される酸素富化ガス M0の中に含ま れる窒素分が許容できる範囲を超えた時、 該吸着筒 2 Aでの吸着工程を終了せし める。 即ち、 原料供給弁 5 aと製品導出弁 6 aを閉とする。 これとともに、 吸着 筒 2 Bに連結されている原料供給弁 5 bと製品導出弁 6 bを開状態にする。
このようにして原料供給弁 5 bと製品導出弁 6 b弁を開状態とした結果、 原料 の空気 MAは吸着筒 2 Aへの導入に代わって、 管路 8、 原料供給弁 5 bを介して 吸着筒 2 Bに導入される。 吸着筒 2 Bには前記した如く酸素を選択的に吸着する 分子篩活性炭 (M S C ) が充填されていて、 該吸着筒 2 Bに導入された原料の空 気 MAは分子篩活性炭 (M S C ) で易吸着成分である酸素 (0 2 ) が選択的に吸 着されて、 難吸着性成分である窒素 (N 2 ) が出口側に押し出され製品導出弁 6 bを介して管路 9に流出して窒素濃度 9 9〜 9 9 . 9 9 %の窒素富化ガス MNが 製品として得られる。
この間、 吸着筒 2 Bにおいて、 吸着開始から時間の経過とともに、 充填されて いる分子篩活性炭 (M S C ) は酸素を吸着した領域が吸着筒 2 bの出口に向かつ て順次前進する。 そして、 吸着筒 2 bの出口の管路 9より導出される窒素富化ガ ス MN中に含まれる酸素分が許容できる範囲を超えた時に、 原料供給弁 5 bと製 品導出弁 6 bとを閉止して、 吸着筒 2 Bの吸着工程を打ち切る。 そして同時に、 これに代えて、 吸着筒 2 Aに連接してある原料供給弁 5 a、 製品導出弁 6 aを開 状態として、 原料の空気 MAを、 先の吸着工程後の再生工程によって充填されて いるゼォライ トを再生せしめておいた吸着筒 2 Aに、 供給するように切り替えて 、 再度酸素富化ガス M0を製品として採取する。
以下同様な弁の切替操作を繰り返して行って、 原料の空気 MAを吸着筒 2 Aと 吸着筒 2 Bに切り替えて供給するようにして、 一方の吸着筒 2 Aより酸素富化ガ ス M0を製品として採取し、 他方の吸着筒 2 Bより窒素富化ガス MNを製品として 採取する。
上記した如く、 一方の吸着筒2 A又は 2 Bが吸着工程にして運転している間、 他方の吸着筒 2 B又は 2 Aは、 それぞれの吸着筒に充填されている吸着剤が前ェ 程の吸着工程で易吸着成分によって飽和状態となっているので、 これを脱着せし めて排除して再生するための再生工程がなされる。
この再生工程は次の如き態様で行われる。
例えば、 前工程で吸着工程を終えた吸着筒 2 Aの再生工程とする場合、 原料供 給弁 5 a及び製品導出弁 6 aを閉とした後、 吸着筒 2 Aに配設した排気弁 1 0 a を開として吸着筒 2 A内を大気に開放して、 吸着剤及び筒内に保持されたガスを 管路 1 1から大気に放出する。 これにより、 吸着筒 2 A内の圧力が下がるととも に、 吸着剤 (ゼオライ ト) に吸着されていた窒素分が脱着して、 再生するもので ある。 再生後は前記排気弁 1 0 aを閉止し次回の吸着工程の運転まで待機する。 なお、 吸着筒 2 Bにおける再生工程も同様な態様で行うものである。 この場合 、 原料供給弁 5 b及び製品導出弁 6 bを閉とした後、 吸着筒 2 Bに配設した排気 弁 1 0 bを開として吸着筒 2 B内を大気に開放して、 吸着剤及び筒内に保持され たガスを管路 1 2から大気に放出する。 再生後は前記排気弁 1 0 bを閉止し次回 の吸着工程の運転まで待機する。
ここで、 両吸着筒 2 A、 2 Bにおける吸着工程 Z再生工程、 即ち吸着筒 2 Aの 吸着工程時における吸着筒 2 Bの再生工程時間、 吸着筒 2 Aの再生工程時におけ る吸着筒 2 Bの吸着工程時間の如き、 吸着工程と再生工程とのそれぞれ相互間の 時間は、 対応した関係であることが望ましいが、 どちらかの工程を長くすること も可能である。 その時、 時間を長くする必要のない工程はそのまま工程を継続す るか、 あるいはすべての弁を閉じて休止待機状態とすればよい。
上記した実施の形態では、 空気 MAを原料ガス混合物 Mとし、 酸素富化ガス M0 と窒素富化ガス MNをそれぞれ分離採取する例について説明したが、 原料ガス混 合物 Mとして、 主要ガス成分をクリプトン及び窒素とした場合には、 異なる吸着 特性を持つ吸着剤として、 ゼォライ トと活性炭を使用することによつても、 これ らを分離採取することができる。
この場合、 '圧縮機 1で圧力 1 0 0 k P a〜2 0 0 0 k P aまで、 好ましくは 2 0 0 k P a〜 1 0 0 0 k P aまでに圧縮されたガス混合物を、 クリプトン濃度 9 9〜 9 9 . 9 9 9 %のクリプトン富化ガスと、 窒素濃度 9 9 ~ 9 9 . 9 9 9 %の 窒素富化ガスとに分離し、 両者が製品として得られる。、
く第 2の実施の形態 >
次に、 第 2の実施の形態を図 2に図示した系統図を参照して説明する。 この第 2の実施の形態の特徴は、 上記した図 1に図示した第 1の実施の形態における、 吸着筒 2 A及び吸着筒 2 Bのそれぞれの製品を導出する管路 7及び管路 9に、 製 品貯槽 1 3 A、 1 3 Bを連設して設け、 それぞれの吸着筒 2 A及び吸着筒 2 Bで の吸着工程で採取される各製品をそれぞれ、 これら製品貯槽 1 3 A及び製品貯槽 1 3 Bに貯蔵するとともに、 各吸着筒 2 A、 2 Bの再生工程時において各吸着筒 にパージガスとして流すようにしたものである。 以下にこれを説明する。
図 2において、 図 1と共通する機器については図 1と同一符号を付して詳細な 説明は省略する。
上記した第 1の実施の形態での如き吸着筒 2 Aの吸着工程で、 製品導出弁 6 a 、 管路 7より導出した製品酸素富化ガス M0は、 酸素富化ガス製品貯槽 1 3 aに 導入されて貯蔵され、 貯蔵された製品は管路 1 4より適宜使用先に供給される。 そして吸着筒 2 Aの吸着工程が終了すると、 吸着工程は吸着筒 2 Bに切替弁操作 され該吸着筒 2 Bに原料空気 Mが導入され、 吸着筒 2 Aは再生工程に操作運転さ れる。
この実施の形態の吸着筒 2 Aの再生工程では、 パージ弁 1 6 a、 排気弁 1 0 a を開にして、 製品槽 1 3 Aから管路 1 5、 パージ弁 1 6 aを通して製品槽 1 3 A に貯蔵されている酸素富化ガス MOを逆流させ吸着筒 2 A内に導入し、 吸着剤ゼ ォライ トに吸着している窒素 (N 2 ) を脱着同伴して排気弁 1 0 a、 管路 1 1力、 ら系外に放出する。 このようにすることで吸着筒 2 A内の吸着剤 (ゼオライ ト) に吸着されている成分 (窒素) 力 吸着工程中に製品として採取された難吸着性 成分 (酸素富化ガス M0) でパージされ、 易吸着性成分の脱着が促進される。 又、 吸着筒 2 Bの再生工程でも同様な操作によって製品である窒素富化ガス M Nによってパージして吸着筒 2 Bに充填されている吸着剤分子篩活性炭 M S Cを 再生する。 即ち、 この場合、 パージ弁 1 6 b、 排気弁 1 0 bを開にして、 製品槽 1 3 Bから管路 1 8、 パージ弁 1 6 bを通して、 吸着工程時に分離採取して製品 槽 1 3 Bに貯蔵されている窒素富化ガス MNを逆流させ吸着筒 2 B内に導入し、 吸着剤分子篩活性炭 M S Cに吸着している酸素 (0 2 ) を脱着同伴して排気弁 1 0 b、 管路 1 2から系外に放出する。 このようにすることで吸着筒 2 B内の吸着 剤 (分子篩活性炭 M S C ) に吸着されている成分 (酸素) 力 吸着工程中に製品 として採取された難吸着性成分 (窒素富化ガス MN) でパージされ、 易吸着性成 分の脱着が促進され、 効率よく、 かつ脱着効果を向上せしめて再生することが出 来る。
上記第 1の実施の形態及び第 2の実施の形態におけるガス分離装置の吸着筒 2 A及び吸着筒 2 Bのそれぞれの出口側の管路 7及び 9に個別に均圧タンク (図示 せず) を配設しておいて、 吸着工程終了後の再生工程に先駆けて吸着筒内の製品 に近い濃度のガスを均圧タンクに導入して回収して貯蔵しておく。 そして、 再生 工程終了後に、 より低圧状態にある当該吸着筒に、 前記均圧タンクに回収した製 品に近い濃度のガスを、 両者が等圧になるよう均圧タンクより導入して戻すこと により、 供給した原料ガスを無駄なく有効に使用することとなり、 製品の回収率 を向上せしめることが出来る。
なお、 上記実施の形態では、 主要成分が 2成分での分離例について説明したが 、 本発明はこれに限定されるものでなく、 他のガス成分が混在している多成分系 においても、 各ガス成分に対応する吸着剤を用いた吸着筒を設備付加することに より、 前記各実施の形態と同様に、 多種の異種成分をそれぞれ同時に採取できる 作用効果を奏することは勿論で.ある。
実施例
<実施例 1 >
図 1に図示する装置を用いて、 一方の吸着筒 2 Aに N a—X型ゼオライ ト、 他 方の吸着筒 2 Bに分子篩活性炭 M S Cを充填して使用した。 両吸着筒ともそれぞ れの吸着剤の原料空気流入端側に水分吸着除去用として活性アルミナを充填して 配した。 圧縮機 1を用いて空気 MAを 7 0 0 k P aに圧縮して、 原料ガス混合物 Mとして吸着筒 2 A及び吸着筒 2 Bにそれぞれ供給した。 そして、 ^^ &ー 型ゼ ォライ トを充填した吸着筒 2 Aからは酸素 9 3 %の酸素富化ガスを、 分子篩活性 炭 M S Cを充填した吸着筒 2 Bからは窒素 9 9 %の窒素富化ガスを得ることがで きた。
なお、 本実施例において、 ゼォライ トは N a—X型に限られるものではなく、 N a—X型ゼォライ トの N aイオンの一部又は全部を他のアル力リあるいはアル カリ土類金属でイオン交換したゼォライ ト、 C a— A型ゼオライト、 モルデナィ ト等を使うこともできる。
<実施例 2 >
図 1に図示する装置を用いて、 一方の吸着筒 2 Aに N a—A型ゼオライ ト、 他 方の吸着筒 2 Bに活性炭を充填して用いた。 圧縮機 1を用いて乾燥した窒素とク リプトンのガス混合物を原料ガス混合物 Mとして 7 0 0 k P aに圧縮した後、 吸 着筒 2 A及び吸着筒 2 Bのそれぞれに供給し、 ゼォライ トを充填した吸着筒 2 A からは純度 9 9 . 9 9 %のクリプトン富化ガスを、 活性炭を充填した吸着筒 2 B からは純度 9 9 . 5 %の窒素富化ガスを得ることができた。
次に、 本実施例 2において、 原料ガス混合物 Mを窒素とゼノンのガス混合物に 変更して圧縮機 1により前記と同じ圧力に加圧して、 前記した吸着剤を充填した 各吸着筒 2 A及び吸着筒に 2 Bに供給したところ、 クリプトンと同様にゼォライ トを充填した吸着筒 2 Aから、 純度 9 9 . 9 9 %のゼノン富化ガスが導出され、 活性炭を充填した吸着筒 2 Bからは、 純度 9 9 . 5 °/0の窒素富化ガスを得ること ができた。
本実施例 2で分離採取したクリプトンおよびゼノンは極めて希少なガスであり 、 該ガスを分離系の系外に排出することは経済的に適当でない。 そこで、 図 1に 図示された排ガスの管路 1 1、 管路 1 2を圧縮機 1の原料吸入管路に合流させて 、 排ガスを循環させるように配管することによって、 希少で高価なクリプトン, ゼノンの分離に伴うロスを低減せしめる上で有効であった。 産業上の利用可能性
本発明のガス分離方法及び装置は上記した如き形態で実施され、 以下の如き産 業上の利用可能性を有する。
吸着特性の相異なる吸着剤を充填した吸着筒を設備したガス分離装置に、 複数 成分をよりなる原料ガス混合物導入して、 それぞれの複数成分をそれぞれ分離採 取するようにしたので、 極めて簡略化された P S A装置構成で原料ガス混合物か ら二つの成分をそれぞれ濃縮して製品として取り出すことができる。
しかも、 それら製品ガスは吸着工程で難吸着性成分として取り出されるため、 原料ガス混合物の吸着筒への導入圧力を保持した状態で得られるので、 本発明の ガス分離装置により製造したガス製品は、 使用先へ供給する際に、 圧送するため の圧縮機の設置を必要としないので、 設備費が節減できるとともに、 運転費をも 節減できる。
又、 原料ガス混合物の圧縮機は、 2つの吸着筒に対して交互に原料ガスを供給 するため、 休止する時間がないので有効に稼動させることができる。
その上更に、 原料ガス混合物の圧縮機は、 1筒式 P S Aで見られるような圧縮 操作と排気操作を交互に繰り返すような過酷な運転をする必要が無く、 定常駆動 状態を継続して運転されるので、 機械の寿命を延ばすことができる。
そして又、 製品槽を各吸着筒の製品導出管路に連結して付加して設けて、 該製 品槽に吸着工程で採取して貯蔵した製品ガスを、 各吸着筒の再生工程における吸 着剤に吸着された易吸着成分の脱着のためのパージガスに使用して、 パージ工程 を実施することにより、 大幅に収率の向上を図ることが出来る。
又、 各吸着筒に連結して個別の均圧タンクを配設して設けることにより、 吸着 筒の再生工程後の低圧状態にある吸着筒に、 吸着工程後の再生工程に当たって吸 着筒よりの排出するガスを均圧タンクに回収しておいた該排出ガスを、 供給して 均圧化する均圧工程に利用することによって、 導入した原料ガス混合物を無駄に 排出することなく、 有効活用することとなって 回収率の向上を図ることが出来 る等の効果を奏する。

Claims

請求の範囲
1 . 少なく とも 2成分の主要ガス成分を含有するガス混合物を圧力変動吸着方 法により、 前記主要成分を分離して採取するガス分離方法において、 前記ガス混 合物を加圧した後、 第 1の主要ガス成分に対して難吸着性であって第 2の主要ガ ス成分に対して易吸着性である第 1の吸着剤を用いて第 1の主要ガス成分を第 1 の製品ガスとして分離する工程と、 前記加圧後のガス混合物を前記第 1の主要ガ ス成分に対して易吸着性であって前記第 2の主要ガス成分に対して難吸着性であ る第 2の吸着剤を用いて第 2の主要ガス成分を第 2の製品ガスとして分離するェ 程とを、 交互に繰り返すことにより、 前記ガス混合物から第 1の製品ガスおよび 第 2の製品ガスを併産することを特徴とするガス分離方法。
2 . 第 1の製品ガスとして分離する工程と第 2の製品ガスとして分離する工程 とが、 各製品ガス分離工程中で分離する製品ガスを製品槽に蓄積する工程を備え てなるとともに、 各製品ガス分離工程の後に前記製品槽に蓄積した製品ガスを、 該各製品ガスとして分離した吸着剤をパージ洗浄する工程を行うことを特徴とす る請求の範囲第 1項記載のガス分離方法。
3 . 前記ガス混合物が、 空気であることを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項記載のガス分離方法。
4 . 前記ガス混合物の主要成分が、 ク リプトン及びゼノンの少なくとも 1成分 を含有する窒素からなることを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項記载のガ ス分離方法。
5 . 前記第 1の吸着剤がゼォライ トであり、 前記第 2の吸着剤が分子篩活性炭 であることを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項記載のガス分離方法。
6 . 前記主要成分が、 ク リプトン及びゼノンの少なく とも 1成分を含有する窒 素からなり、 前記第 1の吸着剤が、 窒素を選択的に吸着する N a — A型ゼォライ トであり、 前記第 2の吸着剤が、 クリプトン及びゼノンを選択的に吸着する活性 炭であることを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項記載のガス分離方法。
7 . 少なく とも 2つの主要ガス成分を含有するガス混合物を圧力変動吸着装置 により主要ガス成分に分離するガス分離装置において、 ガス混合物を加圧する手 段と、 ガス混合物中の第 1の主要ガス成分に対して難吸着性であって第 2の主要 ガス成分に対して易吸着性である第 1の吸着剤を充填した第 1の吸着筒と、 前記 第 1の主要ガス成分に対して易吸着性であって前記第 2の主要ガス成分に対して 難吸着性である第 2の吸着剤を充填した第 2の吸着筒と、 前記第 1の吸着筒と前 記第 2の吸着筒を交互に切換えてガス混合物を流通せしめて、 前記第 1の主要ガ ス成分と前記第 2の主要ガス成分とをそれぞれ導出するよう配された管路及び弁 手段とを備えてなることを特徴とするガス分離装置。
8 . 前記第 1の主要ガス成分と前記第 2の主要ガス成分とをそれぞれ導出する よう前記第 1の吸着筒と前記第 2の吸着筒とに配されたそれぞれの管路に、 第 1 の吸着筒に付属して、 分離して導出された第 1の主要成分を貯蔵する第 1の製品 槽と該第 1の製品槽から前記第 1の吸着筒へ製品ガスを逆流させる管路を設けて なり、 又第 2の吸着筒に付属して、 分離して導出された第 2の主要成分を貯蔵す る第 2の製品槽と該第 2の製品槽から前記第 2の吸着筒へ製品ガスを逆流させる 管路とを設けてなることを特徴とする請求の範囲第 7項記載のガス分離装置。
PCT/JP2002/002656 2001-04-16 2002-03-20 Procede et systeme de separation de gaz WO2002085496A1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP02708631A EP1380335A4 (en) 2001-04-16 2002-03-20 METHOD AND SYSTEM FOR SEPARATING GASES
KR1020037013477A KR100838166B1 (ko) 2001-04-16 2002-03-20 가스 분리 방법 및 그 장치
US10/474,325 US6955711B2 (en) 2001-04-16 2002-03-20 Method and system for separating gas

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001116836A JP3902416B2 (ja) 2001-04-16 2001-04-16 ガス分離方法
JP2001-116836 2001-04-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2002085496A1 true WO2002085496A1 (fr) 2002-10-31

Family

ID=18967500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2002/002656 WO2002085496A1 (fr) 2001-04-16 2002-03-20 Procede et systeme de separation de gaz

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6955711B2 (ja)
EP (1) EP1380335A4 (ja)
JP (1) JP3902416B2 (ja)
KR (1) KR100838166B1 (ja)
CN (1) CN1267181C (ja)
TW (1) TWI299672B (ja)
WO (1) WO2002085496A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6923844B2 (en) 2001-11-27 2005-08-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3899282B2 (ja) 2002-04-15 2007-03-28 大陽日酸株式会社 ガス分離方法
FR2858606B1 (fr) * 2003-08-04 2006-01-20 Air Liquide Generateur autonome d'oxygene
US7306652B2 (en) * 2005-03-30 2007-12-11 Parker-Hannifin Corporation Siloxane removal process
US7507273B1 (en) * 2005-06-20 2009-03-24 6Solutions, Llc Chromatographic rectification of ethanol
US7862645B2 (en) * 2008-02-01 2011-01-04 Air Products And Chemicals, Inc. Removal of gaseous contaminants from argon
US8679239B2 (en) * 2009-09-09 2014-03-25 Panasonic Corporation Adsorbent material and xenon adsorption device using same
JP2011057491A (ja) * 2009-09-09 2011-03-24 Panasonic Corp ガス回収方法
JP5601829B2 (ja) * 2009-11-30 2014-10-08 住友精化株式会社 精製ガス・脱着ガス取得方法および精製ガス・脱着ガス取得装置
CN101985081A (zh) * 2010-06-10 2011-03-16 中国人民解放军63653部队 一种碳分子筛用于氡和氙气的分离方法
CN101985080A (zh) * 2010-06-10 2011-03-16 中国人民解放军63653部队 一种活性炭用于氙气的富集分离方法
US8496733B2 (en) 2011-01-11 2013-07-30 Praxair Technology, Inc. Large scale pressure swing adsorption systems having process cycles operating in normal and turndown modes
US8491704B2 (en) 2011-01-11 2013-07-23 Praxair Technology, Inc. Six bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US8435328B2 (en) 2011-01-11 2013-05-07 Praxair Technology, Inc. Ten bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US8551217B2 (en) 2011-01-11 2013-10-08 Praxair Technology, Inc. Six bed pressure swing adsorption process operating in normal and turndown modes
US10661633B2 (en) * 2012-03-29 2020-05-26 Signify Holding B.V. Heating device
CN103693623B (zh) * 2013-12-13 2016-03-02 合肥江航飞机装备有限公司 一种分子筛与中空纤维膜氧氮分离装置
US20150165388A1 (en) * 2013-12-17 2015-06-18 Pall Corporation Skinless polyethersulfone membrane
KR20190096377A (ko) * 2016-12-13 2019-08-19 린데 악티엔게젤샤프트 오존 분리 방법
JP6677181B2 (ja) 2017-01-19 2020-04-08 Jfeスチール株式会社 ガス分離回収方法及び設備
US11557462B2 (en) * 2019-03-13 2023-01-17 Kla Corporation Collecting and recycling rare gases in semiconductor processing equipment
CN111359371A (zh) * 2020-03-30 2020-07-03 浙江勤策空分设备有限公司 一种处理尾气的psa制氮设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4661125A (en) * 1984-05-22 1987-04-28 Seitetsu Kagaku Co., Ltd. Process for producing high concentration oxygen by a pressure-swing-adsorption method
JPH01184016A (ja) * 1988-01-20 1989-07-21 Tokico Ltd 気体分離装置
US4948391A (en) * 1988-05-12 1990-08-14 Vacuum Optics Corporation Of Japan Pressure swing adsorption process for gas separation
EP0598319A1 (en) * 1992-11-16 1994-05-25 Air Products And Chemicals, Inc. Extended vacuum swing adsorption process
JP2000241590A (ja) * 1999-02-23 2000-09-08 Japan Atom Power Co Ltd:The 希ガス濃縮方法及び希ガス濃縮装置

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4190424A (en) * 1975-07-17 1980-02-26 Boc Limited Gas separation
GB1551824A (en) 1975-07-17 1979-09-05 Boc Ltd Gas separation
GB2011272A (en) 1977-12-28 1979-07-11 Boc Ltd Air separation by adsorption
US4264340A (en) 1979-02-28 1981-04-28 Air Products And Chemicals, Inc. Vacuum swing adsorption for air fractionation
US4369048A (en) * 1980-01-28 1983-01-18 Dallas T. Pence Method for treating gaseous effluents emitted from a nuclear reactor
DE3108745C2 (de) * 1981-03-07 1985-01-10 Paul Forkardt GmbH & Co KG, 4000 Düsseldorf Kraftbetätigtes Spannfutter
DE3132572A1 (de) * 1981-08-18 1983-03-10 Linde Ag, 6200 Wiesbaden Verfahren zur adsorptiven zerlegung eines gasgemisches
US4386945A (en) * 1982-02-01 1983-06-07 Litton Systems, Inc. Process and compound bed means for evolving a first component enriched gas
JPS5992907A (ja) * 1982-11-19 1984-05-29 Seitetsu Kagaku Co Ltd 高濃度アルゴンの製造方法
DE3402533A1 (de) * 1984-01-26 1985-08-01 Bergwerksverband Gmbh, 4300 Essen Verfahren zur gewinnung von sauerstoff mit einem argon-anteil unter o,5 % aus feuchter luft
US4744803A (en) * 1985-08-19 1988-05-17 The Ohio State University Research Foundation Complementary pressure swing adsorption
JP2562326B2 (ja) * 1987-08-07 1996-12-11 住友精化株式会社 空気から高濃度酸素を取得する方法
US4810265A (en) 1987-12-29 1989-03-07 Union Carbide Corporation Pressure swing adsorption process for gas separation
JPH02115016A (ja) 1988-10-24 1990-04-27 Yutaka Noguchi 酸素ガス分離方法
JP2691991B2 (ja) 1988-05-12 1997-12-17 豊 野口 気体分離方法
JPH0251405A (ja) 1988-08-12 1990-02-21 Yutaka Noguchi 窒素ガス分離方法
GB8812642D0 (en) * 1988-05-27 1988-06-29 Boc Group Plc Separation of gas mixtures
GB8826584D0 (en) * 1988-11-14 1988-12-21 Boc Group Plc Pressure swing adsorption process
US4914218A (en) * 1989-02-17 1990-04-03 Ravi Kumar Adsorptive process for separating multicomponent gas mixtures
GB9107999D0 (en) * 1991-04-16 1991-06-05 Boc Group Plc Improved apparatus for the separation of a gaseous mixture
FR2682611B1 (fr) * 1991-10-17 1993-12-03 Air Liquide Procede et installation d'epuration d'un gaz par adsorption.
US5328503A (en) 1992-11-16 1994-07-12 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorption process with mixed repressurization and purge/equalization
JP2534614B2 (ja) * 1993-06-03 1996-09-18 テイサン株式会社 ガス精製装置
JP3654658B2 (ja) 1994-03-28 2005-06-02 大陽日酸株式会社 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置
US5707425A (en) * 1994-10-21 1998-01-13 Nitrotec Corporation Helium recovery from higher helium content streams
US5658371A (en) * 1995-11-06 1997-08-19 Praxair Technology, Inc. Single bed pressure swing adsorption process for recovery of oxygen from air
JP3628439B2 (ja) * 1996-05-20 2005-03-09 財団法人産業創造研究所 酸素−窒素混合ガス中のクリプトンの濃縮法
JP3891773B2 (ja) * 2000-10-20 2007-03-14 大陽日酸株式会社 ガスの分離精製方法及びその装置
US6500235B2 (en) * 2000-12-29 2002-12-31 Praxair Technology, Inc. Pressure swing adsorption process for high recovery of high purity gas

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4661125A (en) * 1984-05-22 1987-04-28 Seitetsu Kagaku Co., Ltd. Process for producing high concentration oxygen by a pressure-swing-adsorption method
JPH01184016A (ja) * 1988-01-20 1989-07-21 Tokico Ltd 気体分離装置
US4948391A (en) * 1988-05-12 1990-08-14 Vacuum Optics Corporation Of Japan Pressure swing adsorption process for gas separation
EP0598319A1 (en) * 1992-11-16 1994-05-25 Air Products And Chemicals, Inc. Extended vacuum swing adsorption process
JP2000241590A (ja) * 1999-02-23 2000-09-08 Japan Atom Power Co Ltd:The 希ガス濃縮方法及び希ガス濃縮装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1380335A4 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6923844B2 (en) 2001-11-27 2005-08-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device

Also Published As

Publication number Publication date
EP1380335A1 (en) 2004-01-14
TWI299672B (ja) 2008-08-11
JP3902416B2 (ja) 2007-04-04
KR100838166B1 (ko) 2008-06-13
CN1267181C (zh) 2006-08-02
KR20040010623A (ko) 2004-01-31
US6955711B2 (en) 2005-10-18
CN1503687A (zh) 2004-06-09
EP1380335A4 (en) 2004-08-18
JP2002306918A (ja) 2002-10-22
US20040118278A1 (en) 2004-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2002085496A1 (fr) Procede et systeme de separation de gaz
KR960004606B1 (ko) 공기로부터 고순도의 산소가스를 제조하는 방법
KR100254295B1 (ko) 단일 흡착 베드를 이용한 압력 스윙 흡착 방법
JP2634022B2 (ja) 真空スイング吸着法によるガス成分の分離方法
US4566881A (en) Process and apparatus for producing oxygen with a low proportion of argon from air
JP3310249B2 (ja) 1つの吸着器と1つのブロワーを使用する酸素製造方法及び装置
EP1018359A2 (en) Pressure swing adsorption process and system with product storage tank(s)
US6524370B2 (en) Oxygen production
EP0791388A2 (en) VSA adsorption process with energy recovery
JPH08224428A (ja) 圧力スイング吸着によってガス混合物の成分を分離するための連続法
US6102985A (en) Pressure swing adsorption process and system with dual product storage tanks
JP2000153124A (ja) 酸素が富化されたガスを製造する圧力スイング吸着方法
JP3073917B2 (ja) 同時段階圧力変化式吸着方法
JPH0577604B2 (ja)
KR19980081620A (ko) 압력 스윙 흡착방법 및 장치
US6083299A (en) High pressure purge pressure swing adsorption process
JP3654658B2 (ja) 圧力変動吸着式酸素製造方法及び装置
JPH10272332A (ja) ガス分離装置及びその運転方法
KR0173399B1 (ko) 압력변동흡착식 고순도 이산화탄소 제조방법
KR100228239B1 (ko) 제품질소 농도에 따른 압력변동흡착식 질소제조장치와 방법
TW200304849A (en) Pressure swing adsorption process with controlled internal depressurization flow
JPH0351647B2 (ja)
JPS6238281B2 (ja)
JP3561886B2 (ja) 圧力変動吸着分離方法
JPH0351646B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CN KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10474325

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002708631

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 02808232X

Country of ref document: CN

Ref document number: 1020037013477

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2002708631

Country of ref document: EP