JPS5992907A - 高濃度アルゴンの製造方法 - Google Patents
高濃度アルゴンの製造方法Info
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- JPS5992907A JPS5992907A JP57203853A JP20385382A JPS5992907A JP S5992907 A JPS5992907 A JP S5992907A JP 57203853 A JP57203853 A JP 57203853A JP 20385382 A JP20385382 A JP 20385382A JP S5992907 A JPS5992907 A JP S5992907A
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は空気を原料としてプレッシャースイング法番こ
より高濃度アルゴンを製造する方法に関するものである
。
より高濃度アルゴンを製造する方法に関するものである
。
アルゴンは不活性ガスとして知１：）れ、電気−品用、
溶接用、ｒＬｊｌｌｌ悦ガス用などに用いられる。
溶接用、ｒＬｊｌｌｌ悦ガス用などに用いられる。
従来アルゴンは空気から深冷分１ｌｔｆｔｉ Ｇこよっ
て製造されているが、液体酸素製造プラント中番こ主精
留塔【こよつＣ液体空気を精留し、酸素留分のうちアル
ゴン濃度の高い部分のガスを抜出し、これを更（こ精留
すること番こより粗アルゴンを得る。更（ここれをこボ
ンベから水素ガスを導入し、パラジウムなどの触媒を具
えた酸素除去装置番こより酸素を除去再び精留塔に通し
°Ｃ精製し高純度のアルゴン醗得られていた。
て製造されているが、液体酸素製造プラント中番こ主精
留塔【こよつＣ液体空気を精留し、酸素留分のうちアル
ゴン濃度の高い部分のガスを抜出し、これを更（こ精留
すること番こより粗アルゴンを得る。更（ここれをこボ
ンベから水素ガスを導入し、パラジウムなどの触媒を具
えた酸素除去装置番こより酸素を除去再び精留塔に通し
°Ｃ精製し高純度のアルゴン醗得られていた。
アルゴンは化学的に不活性であす、シかも第１表に示す
よう（こその物性が酸素と酷似しＣいるため分離しくこ
くく精留するをこも多くの段数を要する。
よう（こその物性が酸素と酷似しＣいるため分離しくこ
くく精留するをこも多くの段数を要する。
第１表 気体分子の物性定数
一方吸着剤を用いた分離法も提案されている。
例えばオーヌトラリャ特許５１５０１旧こはアルゴン。
酸素及び窒素を含むガス混合物からアルゴンを得るため
、同一の塔（こ酸素及び窒４ｉこ対してそれぞれ吸着性
の異なるＡ１・Ｂ２柿の吸着剤を光Ｊパし、これに混合
ガスを通して吸着−放圧一説唐一均圧逆洗一蓄圧一吸着
の操作を繰返Ｌ １９ｉ望純度以上のアルゴンをイ！す
る方法が記載されている。２種の吸着剤によって酸素及
び窒素をそれぞれ吸青しアルゴンの濃度を高めようとす
るものであるが、こｊｌは単（こ吸着剤の窒活、酸素、
アルゴンに対する吸着容量の差を利用したものであり空
気の中から窒素、酸素を順番こ吸着除去しＣ行つでアル
ゴンを残す方法である。
、同一の塔（こ酸素及び窒４ｉこ対してそれぞれ吸着性
の異なるＡ１・Ｂ２柿の吸着剤を光Ｊパし、これに混合
ガスを通して吸着−放圧一説唐一均圧逆洗一蓄圧一吸着
の操作を繰返Ｌ １９ｉ望純度以上のアルゴンをイ！す
る方法が記載されている。２種の吸着剤によって酸素及
び窒素をそれぞれ吸青しアルゴンの濃度を高めようとす
るものであるが、こｊｌは単（こ吸着剤の窒活、酸素、
アルゴンに対する吸着容量の差を利用したものであり空
気の中から窒素、酸素を順番こ吸着除去しＣ行つでアル
ゴンを残す方法である。
この方法は同−吸肴塔番こ異種の吸着剤を充填しである
ため、それぞれの最適条件となしＯこくく純−着するが
、他の吸着剤は最適条件とはならないので窒素は充分吸
ｊＭ Ｌない。従つ′Ｃ窒素がかなりアルゴンに混つＣ
出てくる。このような関係があるので、充分な分峠はで
きない。該明細書には純度（３ついて明確な記載はない
がこのような方法では、せいぜい５０％程度のアルゴン
しか回収でさないものと推定される。このような状況Ｑ
こ鑑み本発明者らは種々の吸着剤の吸／ｎ特゛訃番こつ
ぃ′ｃ１悦意研究を重ねた結果、３人を中心とした細孔
径を有するカーボンモレキュラーシープと５λを中心と
した細孔径を有するゼオライトモレキュラーシープとは
吸音の初期段階やこ３いては異なる′性質を有している
こと、例えばカーボンモレキュラーシープでは数分間以
上のごとき長時間吸着させると選択吸着性がなくなって
しまうことが１４」った。すなわち前記カーボンモレキ
ュラーシープとゼオライトモレキュラーシープを同−吸
着槽又は同−機溝丙に充填してプレッシャースイング（
以１’ＰｓＡと略する。）を行なってもそれぞれの分１
’ｉｆト待１’Ｊ：を充分生かすことができないことが
わかった１、すなわちカ −ホンモレキュラーシーブの
吸着ｆ；Ｙ性は長時間吸着させると結局窒素も酸素も等
１吸ＩＩＶするが、短時間の間は窒素より酸素が速く細
孔内に拡散するので、この吸ｊ７ｆ速度差を利用して分
離操作を行なう。
ため、それぞれの最適条件となしＯこくく純−着するが
、他の吸着剤は最適条件とはならないので窒素は充分吸
ｊＭ Ｌない。従つ′Ｃ窒素がかなりアルゴンに混つＣ
出てくる。このような関係があるので、充分な分峠はで
きない。該明細書には純度（３ついて明確な記載はない
がこのような方法では、せいぜい５０％程度のアルゴン
しか回収でさないものと推定される。このような状況Ｑ
こ鑑み本発明者らは種々の吸着剤の吸／ｎ特゛訃番こつ
ぃ′ｃ１悦意研究を重ねた結果、３人を中心とした細孔
径を有するカーボンモレキュラーシープと５λを中心と
した細孔径を有するゼオライトモレキュラーシープとは
吸音の初期段階やこ３いては異なる′性質を有している
こと、例えばカーボンモレキュラーシープでは数分間以
上のごとき長時間吸着させると選択吸着性がなくなって
しまうことが１４」った。すなわち前記カーボンモレキ
ュラーシープとゼオライトモレキュラーシープを同−吸
着槽又は同−機溝丙に充填してプレッシャースイング（
以１’ＰｓＡと略する。）を行なってもそれぞれの分１
’ｉｆト待１’Ｊ：を充分生かすことができないことが
わかった１、すなわちカ −ホンモレキュラーシーブの
吸着ｆ；Ｙ性は長時間吸着させると結局窒素も酸素も等
１吸ＩＩＶするが、短時間の間は窒素より酸素が速く細
孔内に拡散するので、この吸ｊ７ｆ速度差を利用して分
離操作を行なう。
従つ〔、均圧サイクルを含め、１〜２分間内の短時間吸
着操作時間１を採用すること力釦β素吸ａ分離のため（
こは絶対的Ｇこ心数である。
着操作時間１を採用すること力釦β素吸ａ分離のため（
こは絶対的Ｇこ心数である。
一方ゼオライドモレキュラーシーブは【酸素より窒素を
優先的（こ吸着する特性をｆＴ Ｌ、吸音操作時間と窒
素の吸〃ｆ分離性能とは全く無関係でちる。
優先的（こ吸着する特性をｆＴ Ｌ、吸音操作時間と窒
素の吸〃ｆ分離性能とは全く無関係でちる。
本発明はこの特性の差を生かすだうに同一吸着それぞれ
の吸ｉｎ剤（こ対する最１；４操作条件で窒素及び酸素
を段階的に分離除去し、アルゴンを取得す？４訝なわち
本発明の要旨は空気を原料とＬ’Ｃプレッシャースイン
グ法やこよりアルゴンを製造するＧこ当り、ゼオライト
モレキュラーシーブまたは／およびカーホンモレキュラ
ーシーブを別個の膜管装置Ｇこ充填し１それぞれに直列
に空気を」［０過さぜ、それぞれ独立してＰＳＡＬ同時
を二重純度酸素を取得することを特徴とする高濃度アル
ゴンの製へ方法である。
の吸ｉｎ剤（こ対する最１；４操作条件で窒素及び酸素
を段階的に分離除去し、アルゴンを取得す？４訝なわち
本発明の要旨は空気を原料とＬ’Ｃプレッシャースイン
グ法やこよりアルゴンを製造するＧこ当り、ゼオライト
モレキュラーシーブまたは／およびカーホンモレキュラ
ーシーブを別個の膜管装置Ｇこ充填し１それぞれに直列
に空気を」［０過さぜ、それぞれ独立してＰＳＡＬ同時
を二重純度酸素を取得することを特徴とする高濃度アル
ゴンの製へ方法である。
本発明の標皓的７．１′実施態様のＩｉ、Ｖ；’吠を説
明すると、第１段のＰＳＡ装置にゼオライトモレキュラ
ーシーブを充填し柴気を原料としてｊｌｌ」過させＰＳ
Ａ操作を行なっＣ例凡ば酸素：９４％、窒素＝１％。
明すると、第１段のＰＳＡ装置にゼオライトモレキュラ
ーシーブを充填し柴気を原料としてｊｌｌ」過させＰＳ
Ａ操作を行なっＣ例凡ば酸素：９４％、窒素＝１％。
アルコン：５％程度のガスを得る。このガスの原料とＬ
第２段のＰＳＡ装置）こカーホンモレキュラーシーブを
充填し、短時間のＰＳＡ操作を行なって酸素を１及尉Ｌ
１アルゴ／を約４．０％γ１３１ぼＧこ倣４拍する。こ
のプロセスで原料ガスより四（こ高濃度、純度９７％程
度の［窒素ガスが脱着ガスとしＣ得られ、原料ガスの［
１２素濃縮をこ富与する。これはそれぞれの吸Ｊｕ剤を
独立したＰＳＡ４幾ｆｉ’？ ＜こ充填し別個Ｇ″−Ｐ
ＳＡ−ＰＳＡ標作効果であり、単Ｏこ吸ｍさぜただけ、
あるいは異なった吸ｊｆ、’を剤を−ｉｉ’ｉｉこＬ’
ｊＣＰＳＡ操作を行なった場合（こはこのような結果は
得られない。Ｗ＋こ第３段のＰＳＡｉν２１１負こ同じ
くカーホンモレキュラーシープを充ＩＤｔ Ｌ １同様
＋こＰＳＡ操作を行なってＩ（’？素を吸着除去しアル
ゴン８５％濃度まで濃縮する。この間（こ窒がもアルゴ
ンとほぼ同じ組成割合を保持りながら濃縮される。従っ
てアルゴンと′窒素との比は変らずさらに窒素を減少さ
きるには他の４ｎ製法を必要とする。この２１々階濃縮
により酸素は数％程度まで除去されるが、これを完全に
１余失するため（こは水素を酸素（こ対し２倍モル添加
しパラジウムを１０持した脱酸閃触媒で反応させ水とし
て除去する。中た１４’ｌ ４第２１′ｌ！とを切替え
（ＰＳＡをｒ〒なう。しかしながら本発明者らは、＋ｊ
ｔｌ記第２段と１１３８段の装置イを一つＧこまとめ、
３基の吸着塔を用い、吸着−放圧一威圧脱着一均圧一蓄
圧一吸着の５行程をＧＪ替え−（ＰＳＡを行なうことさ
らに効率よく同様のＣ″！１度の粗アルゴ牧を得ること
ができることを見出した。酸素を水茸鈴力１目こより１
１．負犬できるのはｕｉｌ記と同（狼である。
第２段のＰＳＡ装置）こカーホンモレキュラーシーブを
充填し、短時間のＰＳＡ操作を行なって酸素を１及尉Ｌ
１アルゴ／を約４．０％γ１３１ぼＧこ倣４拍する。こ
のプロセスで原料ガスより四（こ高濃度、純度９７％程
度の［窒素ガスが脱着ガスとしＣ得られ、原料ガスの［
１２素濃縮をこ富与する。これはそれぞれの吸Ｊｕ剤を
独立したＰＳＡ４幾ｆｉ’？ ＜こ充填し別個Ｇ″−Ｐ
ＳＡ−ＰＳＡ標作効果であり、単Ｏこ吸ｍさぜただけ、
あるいは異なった吸ｊｆ、’を剤を−ｉｉ’ｉｉこＬ’
ｊＣＰＳＡ操作を行なった場合（こはこのような結果は
得られない。Ｗ＋こ第３段のＰＳＡｉν２１１負こ同じ
くカーホンモレキュラーシープを充ＩＤｔ Ｌ １同様
＋こＰＳＡ操作を行なってＩ（’？素を吸着除去しアル
ゴン８５％濃度まで濃縮する。この間（こ窒がもアルゴ
ンとほぼ同じ組成割合を保持りながら濃縮される。従っ
てアルゴンと′窒素との比は変らずさらに窒素を減少さ
きるには他の４ｎ製法を必要とする。この２１々階濃縮
により酸素は数％程度まで除去されるが、これを完全に
１余失するため（こは水素を酸素（こ対し２倍モル添加
しパラジウムを１０持した脱酸閃触媒で反応させ水とし
て除去する。中た１４’ｌ ４第２１′ｌ！とを切替え
（ＰＳＡをｒ〒なう。しかしながら本発明者らは、＋ｊ
ｔｌ記第２段と１１３８段の装置イを一つＧこまとめ、
３基の吸着塔を用い、吸着−放圧一威圧脱着一均圧一蓄
圧一吸着の５行程をＧＪ替え−（ＰＳＡを行なうことさ
らに効率よく同様のＣ″！１度の粗アルゴ牧を得ること
ができることを見出した。酸素を水茸鈴力１目こより１
１．負犬できるのはｕｉｌ記と同（狼である。
この後さらにアルゴンを９９％以十、の濃度にまで純度
を一ヒげるためには必要番こ応じゼオライトモレキュラ
ーシーブを充填した第４段ＰＳＡ・内置（こより・４１
素を吸ｒＭ除去する。またこのＰ Ｓ Ａ −ｋ ｂｔ
のかわりに低温液化装置を用い−〔アルゴンを液化させ
、沸点の高いアルゴンを分Ｊ４＋ｐ ｉボ去１−ればさ
らに高純度のアルゴンを得ることもでさる。
を一ヒげるためには必要番こ応じゼオライトモレキュラ
ーシーブを充填した第４段ＰＳＡ・内置（こより・４１
素を吸ｒＭ除去する。またこのＰ Ｓ Ａ −ｋ ｂｔ
のかわりに低温液化装置を用い−〔アルゴンを液化させ
、沸点の高いアルゴンを分Ｊ４＋ｐ ｉボ去１−ればさ
らに高純度のアルゴンを得ることもでさる。
ｉ１段のゼオライトモレキュラーシーブ元Ｉη（ＰＳＡ
装置ｄで発生ずる４、５％アルゴンガスのかわり（こ、
適当な空気深冷装置の液化オＮ留塔サイドカット成分た
る１２％＋’＋ｉｌ後のアルゴノ混合ガスを原料とＬ′
Ｃ利用４−れば第２段以丁の操作を咀（こ効率的に行な
うこともでき、これも本発明の１１が囲である。
装置ｄで発生ずる４、５％アルゴンガスのかわり（こ、
適当な空気深冷装置の液化オＮ留塔サイドカット成分た
る１２％＋’＋ｉｌ後のアルゴノ混合ガスを原料とＬ′
Ｃ利用４−れば第２段以丁の操作を咀（こ効率的に行な
うこともでき、これも本発明の１１が囲である。
本発明で用いるゼオライトモレキュラーシープはｆｉｌ
ｌ孔径５人を中心とするものが１１４当であり、カーホ
ンモレキュラーシーブは細孔径８＾を中心とするものが
適当である。吸ｔｌＮ圧力は０．３〜ｌＯＲｇ／ｅｌＴ
ｌ’の範囲が１関当であり史に好ましくは、０．３〜−
８． ｋｇ／ （！ｍ’程度で行なうのが経済的である
。−）ｉ脱着圧力は低い程効率がよいわけであるが、通
゛Ｉ６′４００トール以下、好ましくは２００トール以
Ｆの減王をこして脱着を行なうつ吸着、脱Ｑ’ｔは理論
的には吸７７？はの閂１糸から吸ＩＨに低温で脱＋４７
は品温て行なう方が効率がよいわけであるが、ＰＳＡは
ｌす１イト≠作であり、吸着熱（虻熱）が脱責熱（吸熱
）（こ）−リ用されることからＮ ７＋？温において効
果的に３行なわれろう 本発明でいう高７７、’ｉ Ｉ役アルゴ／とは純度少く
とも９０％のアルゴンガスを指す。ＪＩＳで可／／）も
れている溶接用アルゴンガスのような純度９１１１．９
％以−にのような高純度のものは得ゆれないが、例えば
製鋼脱ガス用などの用途Ｑこはこのｔうな高純度のもの
でなくとも９０％程度のもので充分に没（こ立つので、
本５れ明の方法はこのような場合、待（二経済的７エ艶
地から有効である。不発明の方法（こ於い（は、第１段
、４Ｓ２段、弔３段の谷Ｐ Ｓ Ａ装置を谷１基の吸着
塔で賄うこともできるがτＬ］〕１諜外段階番外段階数
個の１及唐塔をｔＭｉえ【吸ｒｎ−均圧−減圧呪ト均圧
−蓄圧一吸着の各操作を各塔切替えで行値（９）のがよ
い。１同んば第２段装置瀕３哄弐の場合のフローを示せ
ば第１図のａｎ ＜であり七のシーケンスは第２表（こ
示すとおりである。
ｌ孔径５人を中心とするものが１１４当であり、カーホ
ンモレキュラーシーブは細孔径８＾を中心とするものが
適当である。吸ｔｌＮ圧力は０．３〜ｌＯＲｇ／ｅｌＴ
ｌ’の範囲が１関当であり史に好ましくは、０．３〜−
８． ｋｇ／ （！ｍ’程度で行なうのが経済的である
。−）ｉ脱着圧力は低い程効率がよいわけであるが、通
゛Ｉ６′４００トール以下、好ましくは２００トール以
Ｆの減王をこして脱着を行なうつ吸着、脱Ｑ’ｔは理論
的には吸７７？はの閂１糸から吸ＩＨに低温で脱＋４７
は品温て行なう方が効率がよいわけであるが、ＰＳＡは
ｌす１イト≠作であり、吸着熱（虻熱）が脱責熱（吸熱
）（こ）−リ用されることからＮ ７＋？温において効
果的に３行なわれろう 本発明でいう高７７、’ｉ Ｉ役アルゴ／とは純度少く
とも９０％のアルゴンガスを指す。ＪＩＳで可／／）も
れている溶接用アルゴンガスのような純度９１１１．９
％以−にのような高純度のものは得ゆれないが、例えば
製鋼脱ガス用などの用途Ｑこはこのｔうな高純度のもの
でなくとも９０％程度のもので充分に没（こ立つので、
本５れ明の方法はこのような場合、待（二経済的７エ艶
地から有効である。不発明の方法（こ於い（は、第１段
、４Ｓ２段、弔３段の谷Ｐ Ｓ Ａ装置を谷１基の吸着
塔で賄うこともできるがτＬ］〕１諜外段階番外段階数
個の１及唐塔をｔＭｉえ【吸ｒｎ−均圧−減圧呪ト均圧
−蓄圧一吸着の各操作を各塔切替えで行値（９）のがよ
い。１同んば第２段装置瀕３哄弐の場合のフローを示せ
ば第１図のａｎ ＜であり七のシーケンスは第２表（こ
示すとおりである。
・第 ２ 表
第１図をこおいて吸着塔■・■・ＩＩＩにはそ（１ぞれ
４４１１孔径３人のカーボンモレキュラーシーブが充填
されＣいる。原料ガスアルゴン（酸素： ９４．５％。
４４１１孔径３人のカーボンモレキュラーシーブが充填
されＣいる。原料ガスアルゴン（酸素： ９４．５％。
アルゴン：４・、５％、窒素＝１％、２１（ＶＣ「丁１
２ジはプロ／”−ＢをＪ川つＣＪｉｌに導かれ、酸素吸
吉１７に狛１アルゴングンク１〕（こ蓄えられる。（ア
ルゴン＝８３％、窒素＝１５％、 ＋’ｉｕ素＝２％９
一方”ｉ’ｔ ｒｉ゛（Ｆ ３れた酸素は真空ポツプＣ
を経て高純度１俊（く夕／りＥ（こ蓄える。（酸素二９
７％、アルゴン：２名、ギ素二１％９この操作を第２表
にｌＩＣ−′）Ｃ切替弁１〜１６を逐次開閉し又行なう
。ここＱこ答弁のｅ！ｔｆｉｌ彊よ下記Ｑ二足ずごとく
である。
２ジはプロ／”−ＢをＪ川つＣＪｉｌに導かれ、酸素吸
吉１７に狛１アルゴングンク１〕（こ蓄えられる。（ア
ルゴン＝８３％、窒素＝１５％、 ＋’ｉｕ素＝２％９
一方”ｉ’ｔ ｒｉ゛（Ｆ ３れた酸素は真空ポツプＣ
を経て高純度１俊（く夕／りＥ（こ蓄える。（酸素二９
７％、アルゴン：２名、ギ素二１％９この操作を第２表
にｌＩＣ−′）Ｃ切替弁１〜１６を逐次開閉し又行なう
。ここＱこ答弁のｅ！ｔｆｉｌ彊よ下記Ｑ二足ずごとく
である。
１、Ｏ，１＋：放圧弁
２．７．１２： 減圧弁
ａ、ｓ、ｌａ： 原料供給弁
４、 り、 １４ ： 製品抜出弁５、Ｉ Ｏ，ｌ
５ ： 均圧供給弁 １３６： 製晶貯藏弁 ５Ａ１１■作Ｑこおいては組成と収率に相関間１糸があ
り、純度を高くすると収率が減るので、要求される製品
純度Ｑこ応じて適宜操作条件を遠足４−る。
５ ： 均圧供給弁 １３６： 製晶貯藏弁 ５Ａ１１■作Ｑこおいては組成と収率に相関間１糸があ
り、純度を高くすると収率が減るので、要求される製品
純度Ｑこ応じて適宜操作条件を遠足４−る。
（吸１１圧υ＋ ！Ｎ ％？圧力、タイムザイクル等）
以「実施例（こより不発明をさらをこ詳；冊（こ説明す
るがイぐ発１！／ｊがこれをこ限ポさＪ’ＬろものでＣ
よｌ工い。
以「実施例（こより不発明をさらをこ詳；冊（こ説明す
るがイぐ発１！／ｊがこれをこ限ポさＪ’ＬろものでＣ
よｌ工い。
実施例１
ゼオライトモレキュラーシーブを光）ｒｉ した第１段
ＰＳＡ装置１ｔにより得た酸素−アルゴンー−マ素ζ昆
合ガス（酸素９４．７％、アルゴン４ 、３ 客、窒素
１．０％ジを原料として、カーボンモレキュラーシープ
を吸着媒とするＰＳＡ分離を行なった。・Ａ３２段吸着
塔は塔径４Ｑｔｎｍ、高さ１０００ｍ１１１の二基かり
なり、各基には下、′ｉｌＩ ｉ： 原料ＩＪ（給ｒ’
＋シバ’ 、脱右配’ｌ’！” ＋ ｌ−Ａｌ１には
製品抜出し配管を設け、史Ｑ二各基の上Ｆｆ二徐塔開の
均圧配管を設け〔いる。徐配・１〒へのガス流は＼れぞ
れの電磁弁を制御装Ｒ）こより制御した。製鎖抜用し過
程での原料供給峻度は原料入１’Ｊ ；；ＩＸの絞り弁
での調節と製品槽かもの製品抜出しＪ用度（こより一”
ａ１４＋１だ。
ＰＳＡ装置１ｔにより得た酸素−アルゴンー−マ素ζ昆
合ガス（酸素９４．７％、アルゴン４ 、３ 客、窒素
１．０％ジを原料として、カーボンモレキュラーシープ
を吸着媒とするＰＳＡ分離を行なった。・Ａ３２段吸着
塔は塔径４Ｑｔｎｍ、高さ１０００ｍ１１１の二基かり
なり、各基には下、′ｉｌＩ ｉ： 原料ＩＪ（給ｒ’
＋シバ’ 、脱右配’ｌ’！” ＋ ｌ−Ａｌ１には
製品抜出し配管を設け、史Ｑ二各基の上Ｆｆ二徐塔開の
均圧配管を設け〔いる。徐配・１〒へのガス流は＼れぞ
れの電磁弁を制御装Ｒ）こより制御した。製鎖抜用し過
程での原料供給峻度は原料入１’Ｊ ；；ＩＸの絞り弁
での調節と製品槽かもの製品抜出しＪ用度（こより一”
ａ１４＋１だ。
各基のタイムザイクルは第３表のとおりである、第
３ 表 １ｄ ｉｆｆ 行４Ｍ テノノ１を高ＪＪＥ 力ヲ２
ｋｇ／ｃｍ’ Ｇ トＬ ｓ ｉｌＱ 着ｆｔ＋低圧力
を１５０トールで行なった。（及１１１行＋’ｉ″て０
．−） Ｍｌ圧速度は原料供給始めからの時間の５０秒
俊（こＪ（）高圧力（二到達するように調Ｉｉ） Ｌだ
。
３ 表 １ｄ ｉｆｆ 行４Ｍ テノノ１を高ＪＪＥ 力ヲ２
ｋｇ／ｃｍ’ Ｇ トＬ ｓ ｉｌＱ 着ｆｔ＋低圧力
を１５０トールで行なった。（及１１１行＋’ｉ″て０
．−） Ｍｌ圧速度は原料供給始めからの時間の５０秒
俊（こＪ（）高圧力（二到達するように調Ｉｉ） Ｌだ
。
４′埒品抜出し速度Ｑ、ＯＮＩ／＋ｎｉｎのとき、製品
アルゴン４２．３％、Ｉ“１ν素５１．５％、窒素６．
２％であり、アルゴン収率は６１％であった。）ｊ見Ｉ
ｎガス（酸素製品）組成はアルゴン１．８％、酸素９７
．６％、窒素０．６％であり、ｉｖｉ収率は９７％であ
った。
アルゴン４２．３％、Ｉ“１ν素５１．５％、窒素６．
２％であり、アルゴン収率は６１％であった。）ｊ見Ｉ
ｎガス（酸素製品）組成はアルゴン１．８％、酸素９７
．６％、窒素０．６％であり、ｉｖｉ収率は９７％であ
った。
第２段Ｐ Ｓ Ａ ＡＡｉｌ’＃で１：ｔた７ ／Ｌ／
−ｒ ７ ｉ足台Ｍ ス（：／’ルゴン４２．３零、
１゛トン素５１．５％ｒ ”１素（１，２％）をＦ１′
）として第２段と同一の第３段装漬、をハ１い、吸着圧
力１ 、５ ｋｇ／Ｃｎ’ 、脱着圧力１５０トール、
タイムサイクルは第３表と同様にしてＰ Ｓ Ａ分離を
行なった。
−ｒ ７ ｉ足台Ｍ ス（：／’ルゴン４２．３零、
１゛トン素５１．５％ｒ ”１素（１，２％）をＦ１′
）として第２段と同一の第３段装漬、をハ１い、吸着圧
力１ 、５ ｋｇ／Ｃｎ’ 、脱着圧力１５０トール、
タイムサイクルは第３表と同様にしてＰ Ｓ Ａ分離を
行なった。
製品抜出し速度を２．２ ＮＩ、／ｍｉｎとしたとき、
・縛品イ１１或はアルゴン８８．７％、酸素１，８％、
窒素９．５％であり、アルゴン収率は７０％であった。
・縛品イ１１或はアルゴン８８．７％、酸素１，８％、
窒素９．５％であり、アルゴン収率は７０％であった。
製品抜出し速度を上けるとアルゴン収率は上るが、酸素
ン製度も大となった。
ン製度も大となった。
実施例２
吸着媒としてカーボン”ｅレキュラーンープを用い、４
０ ｍｍ ｌ Ｘ １．０００ ｍｍｈの吸、ｃ！を塔
を第１１＜目こ示す３塔に組立て、アルゴン−酸素−窒
素混合ガス（アルゴン４．３％＋ Ｉ’ｌ’ｆ素９４．
７％、４’ｔｇ１．０％）を原料としＣＰＳＡ分離を行
なった。吸１ｎ圧力（最高）は２゜Ｏｋｇ ／ ｃ ＋
１１′、 脱ｌ／！′圧力は１５０トールであり、タ
イムサイクルを第２表（こおいｃ１放圧〜・鴫用脱青行
程６０秒、他塔からの均圧行程１５秒、゛撃渦抜出し行
程４５秒、他塔への均月巳行程１５秒、他塔への供給行
程４５秒（１サイクル合計１８０（ｉ＋）とした。製品
抜出し速度を１．１ＮＬ／＋ηｉｎとしたとき、製品の
アルゴン組成はアルゴン８ ：（、ｆｉ％、酸Ｘ ２．
０％、 窒素１４．５％であり、アルゴンのＩＩＭ −
、％は５０％であった。このときの放圧Ｊ６よび脱ｒｌ
ｆカス（ｎ’２素製品９のキ１１成は１俊素９７．１％
’７１Ｌ／ゴノ２．２％、窒素０．７％であり、酸素
収率は９９．９％であった。
０ ｍｍ ｌ Ｘ １．０００ ｍｍｈの吸、ｃ！を塔
を第１１＜目こ示す３塔に組立て、アルゴン−酸素−窒
素混合ガス（アルゴン４．３％＋ Ｉ’ｌ’ｆ素９４．
７％、４’ｔｇ１．０％）を原料としＣＰＳＡ分離を行
なった。吸１ｎ圧力（最高）は２゜Ｏｋｇ ／ ｃ ＋
１１′、 脱ｌ／！′圧力は１５０トールであり、タ
イムサイクルを第２表（こおいｃ１放圧〜・鴫用脱青行
程６０秒、他塔からの均圧行程１５秒、゛撃渦抜出し行
程４５秒、他塔への均月巳行程１５秒、他塔への供給行
程４５秒（１サイクル合計１８０（ｉ＋）とした。製品
抜出し速度を１．１ＮＬ／＋ηｉｎとしたとき、製品の
アルゴン組成はアルゴン８ ：（、ｆｉ％、酸Ｘ ２．
０％、 窒素１４．５％であり、アルゴンのＩＩＭ −
、％は５０％であった。このときの放圧Ｊ６よび脱ｒｌ
ｆカス（ｎ’２素製品９のキ１１成は１俊素９７．１％
’７１Ｌ／ゴノ２．２％、窒素０．７％であり、酸素
収率は９９．９％であった。
第１図は本発明の実施態様を示１−フローシートである
。 ｔ＋ｊ＋１：１１人 製鉄化学工業株式会ｆＬ代表者
佐々木 浩 手続袖ｉＥ書（方式） １１ｆイ和５８年３月／ρ日 １、事件の表示 昭和５７年特許願第２０３８５３号３
、補正をする者 事件との関係 特許用（植入 郵１更番号 ６７５−０１ 住 所 兵庫県加古郡播磨町宮西３４６イ止地の１（内
容をこ変更なし） １ 事件の表示 昭和５７年特訂願第２０３８５３号２
弁明の名称 高濃度アルゴンの製造り法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 〒６７５−０１ １ｔ ２１ ／Ｉツ７ｒノう’ｆ＝−７住所 兵庫県加
古郡播磨町言西３４６番地の１４？ｉ１ｉ正命令の日イ
」 自 什５ 補正の対蒙 明細書あ
・Ｊか′層面６？ＩＩｉ正の内容 （り本願明細用の全
文を別％［Ｊ正灯モ明 ｍ 山 １、発明の名称 高濃度アルゴンの製）貴方法２、特許
請求の範囲 （１）空気を１爪料としてブレッシ＼・−ス（フグ法に
よりアルゴンを製造覆るに当り、ゼΔライ１へモレキュ
ラーシーブまたは、／およびｈ−ホンモレキュラーシー
ブとを別個の吸着装置に光穎し人々独立してプレッシャ
ース（ンクし、高温用アルゴンを取１クリ−ると同時に
高純度酸素を取１［１覆ることを特徴と覆る高濃度アル
ゴンの製造方法。 （２）ゼＡラーイ１〜モレキュラーシーブを充填した一
第１段装圓を用い空気を原料としてブレツシＶ−スー（
ングし、アルゴンを含有Ｊる畠捌度酸素ヲ冑、ついてカ
ーボンモレヤ］−ラーシーブを充填した第２段装置によ
り中間濃度のアルゴンど高純度酸素に分離し、更にカー
ボンモレキュラーシーブを充填した第３段装置に前記中
間濃度のアルゴンを通してプレッシャースーｒングを行
ない粗アルゴンを１ｑ１．：後さらに高濃度アルゴンに
精製する特許請求の範囲（１）記載の方法。 〈３）第２段装置を３塔式とし第３段装ｊｔを２ｊｂ式
どして、第３段ｌｌＩ２着ガスを第２段入］」カスに混
合循環させる１４泊請求の範囲（１）ま１こ（よ（２）
記載の方法。 （４）空気深冷弁頭１装置の液化精留塔４ノイドカット
成分たる１２つ６程度のアルゴンを含む混合ガスを第２
段装置の原料ガスとして用いる特ｆ′［請求の範囲（２
）または（３）記載のジノ法。 （５）前記相アルゴンをさらにゼオラ、イ１ヘモレ４：
ユラーシーフを充填した装置に通してブレッシ！−スイ
ングして窒素を分離し高濃度アルゴンを１９る特許請求
の範囲（２）または（３）記載の方法。 ６）前記粗アルゴンを低温液化装置にＪ、リアルボンを
液化させ窒素を分離し高淵ｒ−ａ ノフルーｊ゛ンを得
る特δ′Ｆ請求の範囲（２）または（３）記載の方法。 （７）前記粗ノアルゴンに水素を添加し−Ｕ １１１２
酸素を行ない高濃度アルゴンを冑る特許請求の範囲（２
）または（３）記載の方法。 （Ｅ３）吸着圧力が０．−３〜１０ｋｇ、’ｃｍ’ で
ある特許請求の範囲（１）記載の方法。 （９） ＩＢＭ着圧力が７６０１〜−ル以下の減圧であ
る特許請求の範囲（１）記載の方法。 （１０）ピＡライ１〜モレキュラーシーブを充填した第
４段装置により窒素を吸着分１１１１１１．’で高ｉ１
８度アルゴンを行、第４段ｌｌ１ｌ ｅ４ガスを原料と
してさらにピＡライ１〜モレキュラーシーブを充填した
第５段装置によりアルゴンを濃縮し、ｆｆ１４段装置の
原料ガスにリリ°イクルするｑ４ｊ ％＋（請求の範囲
（１）また は（５）記載の方法。 １１）第４段装置および第５段装置がでれぞれ３塔式か
らなるＱｎ Ｍ’ｆ請求の範囲（１０）記載の方法。 ３、発明の詳細な説明 本発明は空気を原料としてプレッシャースｒング法によ
り８ｍ度アルゴンを製造づる方法に関するものである。 アルゴンは不活性ガスとして知られ、電気製品用、溶接
用、製鋼脱ガス用などに用いられる。 従来アルゴンは空気から深冷分離にＪ−）で製）告され
ているが、液体酸素製造プラント中に主精留塔によって
液体空気を精留し、酸素留分のうち）ノルボン濃度の高
い部分のガスを扱出し、これを更に精留することにより
相アルゴンをｔｑる。更にこれにボンベから水素カスを
導入し、パラジウムなどの触媒を具えた酸素除去製画に
より酸素を除去し再ひ精留塔に通して精製し高純１長の
ｊ２ルゴンが背られていた。 アルゴンは化学的に不活性であり、しかも第１表に示す
ようにその物性が酸素と酷似しているため分離しにくく
精留するにも多くの段数を要覆る。 第１表 気体分子の物性定数 ｌ勿 矧−ノ７ルゴン 窒素 ｈ匂索比重１，
７８３４（１／１１．２５０７ｕ／ｌ １．４２８０ｇ
７／１１．３８
１．１０！ｉ３（空気−１） 融点 −１８０，２−２０９，８−２１８，４沸点 −
１８５，７−１９５，８１８２，９分子径 長さ ３．８４ ４．１
３．！’１１＋
３．０ ２，８ｖａｎ ｄｅｒ
Ｗａｄ Ｉｇ索数 ａ ＋ｏ’ｃｒｎ＆／ｒＮＩ／−’ １，３５
１，３９ １．３６：’ｂ ｃビ制ノー’３２．３
３９．２ ３１．９１１・ｚ、’、１゜ ｉ′臨界定数 ｔｅ／’ご−１２２，４−４７，０１１８，５Ｐｃｂね
４８，１ ３３，５ ４９．７”１１ｃ”
０．５３３ ０．３１３ ０．４３６ 一方吸る剤を用いた分離法も提案されている。 例えばＡ−ストラリャ特訂５１５０１０にはアルゴン、
酸素及び′窒素を含むカス混合物がらアル：ｊンを１ｑ
るため、同一の堝に酸素及び窒ダそにり・ｊして人々吸
着性の異なる△・８２種の吸着剤を充填し、これに混合
ガスを通して吸着−放圧−ＩＢ２ ’Ｃ３〜均圧−逆洗
−蓄圧一吸着の操作を繰返し所望純Ｉ哀以」のノフルゴ
ンを胃る方法が記載されている。２種の吸着剤によって
酸素及び′窒素を大々吸着しアルゴンの濃度を高めよう
とＪるものであるが、これ【よ甲に吸着剤の窒素、酸素
、アルゴンに対づる吸着容量の差を利用したものであり
３゛−気の中から窒素、酸素を順に吸着除去して行って
アルゴンを残り方法である。 この方法は同一吸着塔に異種の吸着剤をヂ６填しｔある
ため、それぞれの最適条件となしに（く純ｌ）高いフノ
ルゴンカスどはならない。叩Ｉ３Δ・］３のうらどちら
かの最）商条件をどれば１９１えは゛酸素は充分吸着覆
るが、他の吸着剤は最適条イ！１どはならないので窒素
は充分吸着しない。従って゛イメ素ががなりアルゴンに
混って出てくる。このようなｌＩＩ係があるの（−１充
分な分離はできない。該明細書には純度について明確な
記載はないがこのような方法で【、１、せいぜい５０％
程度のアルゴンしか回収できないしのと１■定される。 この様な状況に鑑み本発明者らは種々の吸着剤の吸着Ｔ
ｆ ｔｌについη鋭意ｆσ１究を重ねた結果、３Ａを中
心どした細孔径を有でるカーボンモレキュラーシーブと
５Ａを中心とした細孔径を有するゼオライトモレキコラ
−シーブとは吸着の初期段階にｉＪ３いて）、、Ｌ異な
る↑」買を有していること、例えばカーボンモレキュラ
ーシーブでは数分間以上のごどき長時間吸着さＵるど選
択吸着性が無くなってしまうことが判った。即＾前記カ
ーボンモレ°１ニュラーシーブとヒ刃ライ）〜Ｗレキュ
ラ〜シーブを同−吸着槽又は同一（幾椙内に充填してプ
レッシャースイング（以下ＰＳ△と略りる。）を行なっ
ても夫々の分離Ｑ４ｊ ｌ！Ｉを充分生かすことが出来
ないことがわかった。即ちカーボンモレキュラーシーブ
の吸着特性は良ｎ間吸名させると結局窒素も酸素もＷｍ
吸着するが、短時間の間は窒素より酸素が速く細几内に
拡散４るの−（、この吸着法１褒差を利用して分離操作
を１１なう。従って、均圧４）、イクルを含め、１〜２
分間内の知１１．ｌ１間吸着操作時間を採用することが
酸素吸着分離の為には絶対的に必要である。 一方ゼΔライトモレキュラーシーブ（ま酸素より窒素を
濠先的に吸着する特性を有し、吸ね操作時間と窒素の吸
着分離性能とは全く無関係である。 本発明はこの特性の差を生かづ為に同一吸着槽内あるい
は同−機椙内に両者を充１眞づるのＣ′ｆＪなく全く別
個の独立したＰ Ｓ Ａ装置に別々に充填し、それぞれ
の吸着剤に対する最適操作条件で窒素及び酸素を段階的
に分離除去し、アルゴンを取１３）覆る。 即ち本発明の要旨は空気を原車３１としてプレッシャ−
スイング法によりアルゴンを製’／’−，Ｊるに当り、
１ゼＡラーイトモレキユラーシーフ゛または、′おＪ、
び力・１ボンモレキユラーシーブを別個の吸着装置に光
Ｉ直し、夫々に直ダＪに空気を通過さυ、人々独立して
ＰＳ△し同時に高純度酸素を取１胃りることをＱ！ｒ取
と覆る高部１宴アルゴンの製ン市方法である。 本発明の標４１、的な実施態様の概要を説明すると、第
１段Ｑ月−’ＳＡ装置に１Ａライ１〜七レキ−７ラーシ
ーブを充填し空気を原わ１として通過させＩ） Ｓ Ａ
操作を行なって例えば酸素：９４％、窒素：１％、アル
ゴン：５％稈度のガスを１ｑる。このカス４１県わ１と
し第２段のＰＳＡＩ置にカーボンしレキ−１ラーシーブ
を充）眞し、′Ｊ１０時間のＰＳΔ操作を行なって酸素
を吸着し、アルゴンを約／ＩＯ％）９３度に詣縮する。 このブｉコレスで原石ガスより更にＨ’％淵磨、細度９
７％程！其の酸素ガスが１１１２着ガスどじで１１１ら
れ、原料ガスの酸素醜縮に′Ｎ勺する。これ（Ｊぞれそ
パれの吸着剤を独立したＩ）ＳΔ１戊構に充ｊ眞し別個
にＰ Ｓ Ａ操作を１１なった効果であり、甲に吸６さ
まただ（」、あるい１よ異なった吸着剤を一紡１０ブ（
酸お△操作を行なった場合にはこのような１・−１果は
得られない。更に第３段のＰ Ｓ Ａ装置に同しくカー
ボンモレキコラーシーブを充１眞し、同様ｔこＰＳＡ操
作を行なって酸素を吸着除去しアルゴン８５％ｉＩｉ！
１度まｒＦａ縮Ｊる。この間に窒素しアルゴンとってア
ルコンと窒素との比は変らずさらに窒素を減少さけるに
は他の精製法を必要とりる。この２段階濃縮にＪ、り酸
素は数％程度まで除去されるが、これを完全に除入りる
為には水１．７を酸素に対Ｉｌ２イ８［ル添加しパラジ
ウムを１１１持した脱酸素ｍ！媒て反応させ水として除
去づる。また前記第２段の装置ＬＬ ２ ＋６式以」二
の多塔式を用いＩｌ７るが、／ｌ塔式以」−では装置費
が大となる割には収率の向上がＩＴＪられづ“、２塔式
１は逆に低下Ｊるので３塔式が最し右利である。例え（
：Ｊ、第２段装置３〕？１式のｊ、９合のソ［」−を示
せば第１図の如くでありそのシーケンスは第２表に示す
とＩｌ３りである。 第２表 注′：゛・：・開 「コ閉 第１図に於て吸着塔１． Ｉｌ、 ＩＩＩにはイれそ゛
４′目ＩＩＩ ＩＬ仔３Ａのツノ−ボンモレキュラーシ
ーブが充填されている。原料カスアルゴン（酸素： ９
７′１．５ ％、アルゴン：／Ｉ＋、、５９６、窒素１
９６．３１＜ ｇ／’ Ｃｍ ’ ）はｆｆ稲はΔを通
って塔１に専がれ、酸素吸着１１コｊ′１１アルゴンタ
ンクＣに蓄えられる。一方吸着されｌζＭ素は真空ポン
プＢを経て高純度酸素タンクｌ〕に蓄える。この操作を
第２表に従って切ｔ）弁゛１へ・１Ｇを逐次開閉して行
なう。 第３段の装置は２塔式で吸盲−均圧−背圧−１１１（着
の４行程を切問えて１）ｓΔを行う。第３３段のｎ＋昌
５刀又は第２段の原石カスとしてリリーイクルざぜノ′
ルゴンを回収づる。 酸素を水素添加により除去覆るのは前記ど同様である。 この後さ１うにアルゴンを９９％以上の）１１３度（鴫
口゛純度を上げる為には必要に応じゼオライ１−モレ１
−襟→−シーブを充填した第４段ＰＳ△装置により姑徳
を吸着除去づる。第４段のｎり）着ガスをＤ；（判とし
て＃５４段と同様にゼＡライｊ〜モレキ１）−シーブを
充填した第Ｊ （ｙ ｌ〕Ｓ△によりノノル」ンを回収
し、回収ｊ′ルゴンを第４段の原料にり４）ｒクルＪる
ことがＣきる。この第５段ＰＳ Ａ （／、） ！Ｉｔ
） ４Ｓ刀スは窒素を主成分どした！フルゴンｉｌＰ合
ガスー（あり、イナー１〜カスとして利用される。 またこのＰ Ｓ Ａ ”Ａ ｎのかわりに低温液化駅間
を用いてノノルゴンをｌｋ化さｌ！、ｉＪ９ 、ｊ、の
高いアルー］ンを分離除人Ｊれほさらに高純度のノフル
ゴンを１ｑることｂできる。 第１を受の１Ａう、イ１〜七し−１ニコーラーシー１充
１眞１）Ｓ△装置で発【１！Ｊる４、５％アルゴンカス
のか４つり１＝、適当４１空気深冷装胃の液化粕留場り
Ｉ’１〜カット成分！ζる′１２％Ｏ［１後のアルゴン
製品カスを川）わ１とし−て利用りれは第２段以下の操
作を更にダ戸片ｚ的に行な・うこともでき、これら本発
明の範囲一（ある。 １、？’ｐ発明−Ｃ用いるじオラ、イトモレキュラーシ
ーブー直細孔径５人を中心どりるらのが適当て゛あり、
カーボン−しレキュラーシーブは細孔径３△を中心とす
るものが適当で゛ある。吸着圧力は０．３〜１０ｋ ｇ
／ ｃ ｒｎ ’の範囲が適当てあり更に好ましく（
Ｊ１１〜３ＲＣＩ、’（１：ｍ’稈ＩＩ Ｔ’ １ｊｌ
ｉ ウ（１） カｆ（’ｆ、 ’ｏ’＋ 的−’Ｃする
。一方１１ｔＪ ６１エカは低い程効＝ｔｈかよいわ１
Ｊ−（あるが通ｍ４００ｈ−ル以下、りｒましく（ま２
００１−−ル以上の減Ｊ１にしてｌ１ｆ２着を１ｊなう
。吸ｒ１、脱１°、（４１、Ｊ！ｌｊ論的（こは吸着用
の関係から吸着ＩＪ低記で１Ｉｌ） ’ｉ′ｉ ｔ、Ｉ
。 高温て行なう方か効率がよいわ（）て（あるかｌ）Ｓ△
ｔＪ Ｉ’、７ｉ熱操作（・あり、ＩＧ ｉｌｔ熱く什
熱）がＩＢＪ Ｍ熱（１９に熱）（こ利用されることか
ら、７！’＋ ７ＫＡにａ５い（効５１↓的に行な４つ
れる。 小発明Ｃ′いう品ｉ ：ｌｆｍ度ノフルーｊンと（よ紬
度少くとし’、）８ ％のノ′ルゴンカスを１旨づ。Ｊ
Ｉ Ｓ ’Ｃ” ：ｔ、めら１′シている溶ｊ妄用ア
ル」ンカスのよう４ヱ紬１良ｇｇ、ｇ％以上のような高
純度のものも１η６１′シるが収率は低い。例えば製鋼
脱カス用などの用途に１．Ｌこの様な高純度のものでな
くとも９（３％程度のもので充分役に立つので、本発明
の方法はこの様な場合、算（こ経済的な見地から７１効
である。本発明の方法”ζｐては、第′１段、第２段、
第３段の各１’ｓＡ￥。 置を各１基の吸着塔で行なうことしてきるが通常各段階
に複数個の吸着塔をｈｉｎえて吸着−均珪−放圧−減圧
；１；２看−均圧−蓄肚−吸着の各操作を各」１１切り
替え（行なうのがよい。 ＰＳΔ操作に於ては組成と収率に相関関係があり、純度
を高くづると、収率が減るのＣ，要求される製品純度に
応じて適宜操作条１′１を選定づる。 （吸着圧力、ｎ）（着圧力、タイムサイクル等）以下実
施例により本発明をさらに詳細に説明りるが本発明がこ
れに限定されるもので【よむい。 実施例１ 吸着媒どしてカーボン上レキ１ラーシーブを用い、４
Ｑ ＩＴＩ ｒｒ’ｌφＸ ５ Ｑ Ｑ Ｉｎ ｍ ｈ
の吸ｔｊ１？！Ｉを第１ ［７１ｆコ示す３ Ｊｂに引
立Ｃ１アルゴンー酸素−窒累ｊ１コ含んス（アルゴン４
．５％、酸素９３．６％、窒素１゜９％）を原わ１どし
で第２段１） Ｓ Ａ分前を？’ｊ ’、ｒ ・ノた。 吸着圧ツノ（最高）【よ３．Ｏｋｇ／ｃｍ’ 、ＩＩＪ
着圧：叫よ１５０ ｔ−−ルであり、夕２イムサイクル
を第２剣′においで、吸着３８．５秒、４文１］、〜脱
着３８５秒、均圧１．５秒（１サイクル合甜゛１２０秒
）としＩζ。製品法用し速度を０．８Ｎ ｌ／ｍｉ ｎ
としたどき、製品ガス組成はアルゴン３３．０％、酸素
５２．３％、窒素１４．７％てあり、アル二ｉンの収２
ｒは６９％てあっ７ｊ０ このときのｈ（斤およびＩＩＩＪ ｉｆｆ万スガス素製
品）の組成はアルゴン１．５％、酸素９７．９％、窒素
０゜５％Ｃあり、酸素収率は９／１．７％Ｃあった。 実施例２ 実施例１のアルゴン製品カスをＤｊｉ第３１刀スど想定
し′Ｃ第３段ｐ３△分餠を行なった。吸着ｊハとして４
０１１１ｍφＸ５００ｍｈにカーボン［レキュラーシ−
１を充填した２塔を用いた。原わ１ガス組成に１アルゴ
ン３５．５％、酸素５０％、窒素１４−５９６てあった
。吸着圧力（最高）を２ 、０ Ｋ （、ｌ 、’ｃｍ
’、１１１２着圧力を１００１〜−ルどした。 タイム」ノイクルは吸着４５秒、＋１５ｆ着４８，５秒
、均圧１．５秒、ｙ７圧３．５秒（１（ノイクル合５「
１００秒）とし１．：。製品火山し速度を１．ＯＮｌ、
、／ｍ ｉｎどしたとさ、製品ガス組成はアルゴン７１
゜・１Ｉｌ％、酸素２．６７％、窒素２６．２％であり
、−チルボン収率は５３％であった。脱着ガス組成はア
ルゴン２２，７％、酸素６６．７％、窒素１０゜６％で
あった。 実施例３、 第３段ＰＳΔ１１；２着ガスを第２段Ｐ Ｓ Ａ原η″
３ＩガスにりυＹクルした。 第２段Ｃよ３塔、第３段は２場の吸着Ｊｉを用いた。 吸着圧力（最高）を３Ｋｇ／ｃｍ’と（）、ｑ ２ ｅ
Ｕ １１１２着ＬＬ力を１５０１ヘール、第３段１Ｉ１
２着１１力を−１００１−−ルどした。原わ１ガスとし
て第′１段１ｆｆｉｉライ１−モレ１ニュラーシーブＰ
Ｓ△の製品カス（アル」ン４．３５％、酸素９３．５％
、窒素２．１５％）を用いた。 第３膜製品ガス相成はノフルゴン７ ’ｌ 、 ８９６
、酸素２．５％窒素２５．６％であり、ｊ’ ル胃ン１
５！ ”ｉ’は５６％であった。 第２段１１；２ねガス（酸素製品）組成はノフルゴン２
゜リシ、ｌ’ｉ０素９Ｇ、６％、窒素１．３％−しあり
、酸楓鍜率は９９．９％−Ｃあった。 □実施例４、 第３段１−１８ Ａ製品ガスをデＡキソ装置Ｃ悦酸季し
、次いで第４段ビオラ−ｆ１〜Ｅレキュラ＝シーブＰＳ
△により窒素を分離してアルゴンガスを冑た１、第４印
税着ガスを第５段ゼオライ１〜しレキュラーシーブＰＳ
△により更に窒素を分制し、第５段製品カスを第４段Ｉ
”Ｓ△の原料供給ラーｒンにリリイクルした。第４段お
Ｊ、び第５段（Ｊ何れも３場式でｉｔ）す、吸着行稈の
間、脱着行稈後の、ＩＪクラム蓄圧づるシーケンスで行
なった。 ターｒム」ノイクルは第４段、第５段其に吸？！ ６０
秒、ＩＢ２着５０秒、均圧１０秒、蓄圧５０秒とした。 第４段の吸着圧力（よ１ 、５ Ｋ（１／ａｍ’ 、Ｉ
Ｂ）着ｊ１力５０１〜−ルとした。第４段の八Ｌ」カス
、第５５段ｔ１品（リザイクル）カスと合せ、その組成
（よアル」ン７８．１％、窒素２１．９％τあつ）Ｊ。 製品ノ１ルゴン料度は９９％であり、入［」カス１こ幻
づるノフルゴン収率は５５％であり、第３段からのぞれ
【よ７９，８％であった。 第５段脱活ガス組成はアルゴン３６．／１％、窒素゛呻
他、６％であった。 なお、第５段吸着圧は１ 、２ Ｋｇ／Ｃｍ２、脱ｉ′
１圧は５０トールであった。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の実施態様を承り第２段具間のノロ−シ
ー１・ である。 出願人 製鉄化学工業株式愈着 代表者 佐々木 浩
。 ｔ＋ｊ＋１：１１人 製鉄化学工業株式会ｆＬ代表者
佐々木 浩 手続袖ｉＥ書（方式） １１ｆイ和５８年３月／ρ日 １、事件の表示 昭和５７年特許願第２０３８５３号３
、補正をする者 事件との関係 特許用（植入 郵１更番号 ６７５−０１ 住 所 兵庫県加古郡播磨町宮西３４６イ止地の１（内
容をこ変更なし） １ 事件の表示 昭和５７年特訂願第２０３８５３号２
弁明の名称 高濃度アルゴンの製造り法３ 補正を
する者 事件との関係 特許出願人 〒６７５−０１ １ｔ ２１ ／Ｉツ７ｒノう’ｆ＝−７住所 兵庫県加
古郡播磨町言西３４６番地の１４？ｉ１ｉ正命令の日イ
」 自 什５ 補正の対蒙 明細書あ
・Ｊか′層面６？ＩＩｉ正の内容 （り本願明細用の全
文を別％［Ｊ正灯モ明 ｍ 山 １、発明の名称 高濃度アルゴンの製）貴方法２、特許
請求の範囲 （１）空気を１爪料としてブレッシ＼・−ス（フグ法に
よりアルゴンを製造覆るに当り、ゼΔライ１へモレキュ
ラーシーブまたは、／およびｈ−ホンモレキュラーシー
ブとを別個の吸着装置に光穎し人々独立してプレッシャ
ース（ンクし、高温用アルゴンを取１クリ−ると同時に
高純度酸素を取１［１覆ることを特徴と覆る高濃度アル
ゴンの製造方法。 （２）ゼＡラーイ１〜モレキュラーシーブを充填した一
第１段装圓を用い空気を原料としてブレツシＶ−スー（
ングし、アルゴンを含有Ｊる畠捌度酸素ヲ冑、ついてカ
ーボンモレヤ］−ラーシーブを充填した第２段装置によ
り中間濃度のアルゴンど高純度酸素に分離し、更にカー
ボンモレキュラーシーブを充填した第３段装置に前記中
間濃度のアルゴンを通してプレッシャースーｒングを行
ない粗アルゴンを１ｑ１．：後さらに高濃度アルゴンに
精製する特許請求の範囲（１）記載の方法。 〈３）第２段装置を３塔式とし第３段装ｊｔを２ｊｂ式
どして、第３段ｌｌＩ２着ガスを第２段入］」カスに混
合循環させる１４泊請求の範囲（１）ま１こ（よ（２）
記載の方法。 （４）空気深冷弁頭１装置の液化精留塔４ノイドカット
成分たる１２つ６程度のアルゴンを含む混合ガスを第２
段装置の原料ガスとして用いる特ｆ′［請求の範囲（２
）または（３）記載のジノ法。 （５）前記相アルゴンをさらにゼオラ、イ１ヘモレ４：
ユラーシーフを充填した装置に通してブレッシ！−スイ
ングして窒素を分離し高濃度アルゴンを１９る特許請求
の範囲（２）または（３）記載の方法。 ６）前記粗アルゴンを低温液化装置にＪ、リアルボンを
液化させ窒素を分離し高淵ｒ−ａ ノフルーｊ゛ンを得
る特δ′Ｆ請求の範囲（２）または（３）記載の方法。 （７）前記粗ノアルゴンに水素を添加し−Ｕ １１１２
酸素を行ない高濃度アルゴンを冑る特許請求の範囲（２
）または（３）記載の方法。 （Ｅ３）吸着圧力が０．−３〜１０ｋｇ、’ｃｍ’ で
ある特許請求の範囲（１）記載の方法。 （９） ＩＢＭ着圧力が７６０１〜−ル以下の減圧であ
る特許請求の範囲（１）記載の方法。 （１０）ピＡライ１〜モレキュラーシーブを充填した第
４段装置により窒素を吸着分１１１１１１．’で高ｉ１
８度アルゴンを行、第４段ｌｌ１ｌ ｅ４ガスを原料と
してさらにピＡライ１〜モレキュラーシーブを充填した
第５段装置によりアルゴンを濃縮し、ｆｆ１４段装置の
原料ガスにリリ°イクルするｑ４ｊ ％＋（請求の範囲
（１）また は（５）記載の方法。 １１）第４段装置および第５段装置がでれぞれ３塔式か
らなるＱｎ Ｍ’ｆ請求の範囲（１０）記載の方法。 ３、発明の詳細な説明 本発明は空気を原料としてプレッシャースｒング法によ
り８ｍ度アルゴンを製造づる方法に関するものである。 アルゴンは不活性ガスとして知られ、電気製品用、溶接
用、製鋼脱ガス用などに用いられる。 従来アルゴンは空気から深冷分離にＪ−）で製）告され
ているが、液体酸素製造プラント中に主精留塔によって
液体空気を精留し、酸素留分のうち）ノルボン濃度の高
い部分のガスを扱出し、これを更に精留することにより
相アルゴンをｔｑる。更にこれにボンベから水素カスを
導入し、パラジウムなどの触媒を具えた酸素除去製画に
より酸素を除去し再ひ精留塔に通して精製し高純１長の
ｊ２ルゴンが背られていた。 アルゴンは化学的に不活性であり、しかも第１表に示す
ようにその物性が酸素と酷似しているため分離しにくく
精留するにも多くの段数を要覆る。 第１表 気体分子の物性定数 ｌ勿 矧−ノ７ルゴン 窒素 ｈ匂索比重１，
７８３４（１／１１．２５０７ｕ／ｌ １．４２８０ｇ
７／１１．３８
１．１０！ｉ３（空気−１） 融点 −１８０，２−２０９，８−２１８，４沸点 −
１８５，７−１９５，８１８２，９分子径 長さ ３．８４ ４．１
３．！’１１＋
３．０ ２，８ｖａｎ ｄｅｒ
Ｗａｄ Ｉｇ索数 ａ ＋ｏ’ｃｒｎ＆／ｒＮＩ／−’ １，３５
１，３９ １．３６：’ｂ ｃビ制ノー’３２．３
３９．２ ３１．９１１・ｚ、’、１゜ ｉ′臨界定数 ｔｅ／’ご−１２２，４−４７，０１１８，５Ｐｃｂね
４８，１ ３３，５ ４９．７”１１ｃ”
０．５３３ ０．３１３ ０．４３６ 一方吸る剤を用いた分離法も提案されている。 例えばＡ−ストラリャ特訂５１５０１０にはアルゴン、
酸素及び′窒素を含むカス混合物がらアル：ｊンを１ｑ
るため、同一の堝に酸素及び窒ダそにり・ｊして人々吸
着性の異なる△・８２種の吸着剤を充填し、これに混合
ガスを通して吸着−放圧−ＩＢ２ ’Ｃ３〜均圧−逆洗
−蓄圧一吸着の操作を繰返し所望純Ｉ哀以」のノフルゴ
ンを胃る方法が記載されている。２種の吸着剤によって
酸素及び′窒素を大々吸着しアルゴンの濃度を高めよう
とＪるものであるが、これ【よ甲に吸着剤の窒素、酸素
、アルゴンに対づる吸着容量の差を利用したものであり
３゛−気の中から窒素、酸素を順に吸着除去して行って
アルゴンを残り方法である。 この方法は同一吸着塔に異種の吸着剤をヂ６填しｔある
ため、それぞれの最適条件となしに（く純ｌ）高いフノ
ルゴンカスどはならない。叩Ｉ３Δ・］３のうらどちら
かの最）商条件をどれば１９１えは゛酸素は充分吸着覆
るが、他の吸着剤は最適条イ！１どはならないので窒素
は充分吸着しない。従って゛イメ素ががなりアルゴンに
混って出てくる。このようなｌＩＩ係があるの（−１充
分な分離はできない。該明細書には純度について明確な
記載はないがこのような方法で【、１、せいぜい５０％
程度のアルゴンしか回収できないしのと１■定される。 この様な状況に鑑み本発明者らは種々の吸着剤の吸着Ｔ
ｆ ｔｌについη鋭意ｆσ１究を重ねた結果、３Ａを中
心どした細孔径を有でるカーボンモレキュラーシーブと
５Ａを中心とした細孔径を有するゼオライトモレキコラ
−シーブとは吸着の初期段階にｉＪ３いて）、、Ｌ異な
る↑」買を有していること、例えばカーボンモレキュラ
ーシーブでは数分間以上のごどき長時間吸着さＵるど選
択吸着性が無くなってしまうことが判った。即＾前記カ
ーボンモレ°１ニュラーシーブとヒ刃ライ）〜Ｗレキュ
ラ〜シーブを同−吸着槽又は同一（幾椙内に充填してプ
レッシャースイング（以下ＰＳ△と略りる。）を行なっ
ても夫々の分離Ｑ４ｊ ｌ！Ｉを充分生かすことが出来
ないことがわかった。即ちカーボンモレキュラーシーブ
の吸着特性は良ｎ間吸名させると結局窒素も酸素もＷｍ
吸着するが、短時間の間は窒素より酸素が速く細几内に
拡散４るの−（、この吸着法１褒差を利用して分離操作
を１１なう。従って、均圧４）、イクルを含め、１〜２
分間内の知１１．ｌ１間吸着操作時間を採用することが
酸素吸着分離の為には絶対的に必要である。 一方ゼΔライトモレキュラーシーブ（ま酸素より窒素を
濠先的に吸着する特性を有し、吸ね操作時間と窒素の吸
着分離性能とは全く無関係である。 本発明はこの特性の差を生かづ為に同一吸着槽内あるい
は同−機椙内に両者を充１眞づるのＣ′ｆＪなく全く別
個の独立したＰ Ｓ Ａ装置に別々に充填し、それぞれ
の吸着剤に対する最適操作条件で窒素及び酸素を段階的
に分離除去し、アルゴンを取１３）覆る。 即ち本発明の要旨は空気を原車３１としてプレッシャ−
スイング法によりアルゴンを製’／’−，Ｊるに当り、
１ゼＡラーイトモレキユラーシーフ゛または、′おＪ、
び力・１ボンモレキユラーシーブを別個の吸着装置に光
Ｉ直し、夫々に直ダＪに空気を通過さυ、人々独立して
ＰＳ△し同時に高純度酸素を取１胃りることをＱ！ｒ取
と覆る高部１宴アルゴンの製ン市方法である。 本発明の標４１、的な実施態様の概要を説明すると、第
１段Ｑ月−’ＳＡ装置に１Ａライ１〜七レキ−７ラーシ
ーブを充填し空気を原わ１として通過させＩ） Ｓ Ａ
操作を行なって例えば酸素：９４％、窒素：１％、アル
ゴン：５％稈度のガスを１ｑる。このカス４１県わ１と
し第２段のＰＳＡＩ置にカーボンしレキ−１ラーシーブ
を充）眞し、′Ｊ１０時間のＰＳΔ操作を行なって酸素
を吸着し、アルゴンを約／ＩＯ％）９３度に詣縮する。 このブｉコレスで原石ガスより更にＨ’％淵磨、細度９
７％程！其の酸素ガスが１１１２着ガスどじで１１１ら
れ、原料ガスの酸素醜縮に′Ｎ勺する。これ（Ｊぞれそ
パれの吸着剤を独立したＩ）ＳΔ１戊構に充ｊ眞し別個
にＰ Ｓ Ａ操作を１１なった効果であり、甲に吸６さ
まただ（」、あるい１よ異なった吸着剤を一紡１０ブ（
酸お△操作を行なった場合にはこのような１・−１果は
得られない。更に第３段のＰ Ｓ Ａ装置に同しくカー
ボンモレキコラーシーブを充１眞し、同様ｔこＰＳＡ操
作を行なって酸素を吸着除去しアルゴン８５％ｉＩｉ！
１度まｒＦａ縮Ｊる。この間に窒素しアルゴンとってア
ルコンと窒素との比は変らずさらに窒素を減少さけるに
は他の精製法を必要とりる。この２段階濃縮にＪ、り酸
素は数％程度まで除去されるが、これを完全に除入りる
為には水１．７を酸素に対Ｉｌ２イ８［ル添加しパラジ
ウムを１１１持した脱酸素ｍ！媒て反応させ水として除
去づる。また前記第２段の装置ＬＬ ２ ＋６式以」二
の多塔式を用いＩｌ７るが、／ｌ塔式以」−では装置費
が大となる割には収率の向上がＩＴＪられづ“、２塔式
１は逆に低下Ｊるので３塔式が最し右利である。例え（
：Ｊ、第２段装置３〕？１式のｊ、９合のソ［」−を示
せば第１図の如くでありそのシーケンスは第２表に示す
とＩｌ３りである。 第２表 注′：゛・：・開 「コ閉 第１図に於て吸着塔１． Ｉｌ、 ＩＩＩにはイれそ゛
４′目ＩＩＩ ＩＬ仔３Ａのツノ−ボンモレキュラーシ
ーブが充填されている。原料カスアルゴン（酸素： ９
７′１．５ ％、アルゴン：／Ｉ＋、、５９６、窒素１
９６．３１＜ ｇ／’ Ｃｍ ’ ）はｆｆ稲はΔを通
って塔１に専がれ、酸素吸着１１コｊ′１１アルゴンタ
ンクＣに蓄えられる。一方吸着されｌζＭ素は真空ポン
プＢを経て高純度酸素タンクｌ〕に蓄える。この操作を
第２表に従って切ｔ）弁゛１へ・１Ｇを逐次開閉して行
なう。 第３段の装置は２塔式で吸盲−均圧−背圧−１１１（着
の４行程を切問えて１）ｓΔを行う。第３３段のｎ＋昌
５刀又は第２段の原石カスとしてリリーイクルざぜノ′
ルゴンを回収づる。 酸素を水素添加により除去覆るのは前記ど同様である。 この後さ１うにアルゴンを９９％以上の）１１３度（鴫
口゛純度を上げる為には必要に応じゼオライ１−モレ１
−襟→−シーブを充填した第４段ＰＳ△装置により姑徳
を吸着除去づる。第４段のｎり）着ガスをＤ；（判とし
て＃５４段と同様にゼＡライｊ〜モレキ１）−シーブを
充填した第Ｊ （ｙ ｌ〕Ｓ△によりノノル」ンを回収
し、回収ｊ′ルゴンを第４段の原料にり４）ｒクルＪる
ことがＣきる。この第５段ＰＳ Ａ （／、） ！Ｉｔ
） ４Ｓ刀スは窒素を主成分どした！フルゴンｉｌＰ合
ガスー（あり、イナー１〜カスとして利用される。 またこのＰ Ｓ Ａ ”Ａ ｎのかわりに低温液化駅間
を用いてノノルゴンをｌｋ化さｌ！、ｉＪ９ 、ｊ、の
高いアルー］ンを分離除人Ｊれほさらに高純度のノフル
ゴンを１ｑることｂできる。 第１を受の１Ａう、イ１〜七し−１ニコーラーシー１充
１眞１）Ｓ△装置で発【１！Ｊる４、５％アルゴンカス
のか４つり１＝、適当４１空気深冷装胃の液化粕留場り
Ｉ’１〜カット成分！ζる′１２％Ｏ［１後のアルゴン
製品カスを川）わ１とし−て利用りれは第２段以下の操
作を更にダ戸片ｚ的に行な・うこともでき、これら本発
明の範囲一（ある。 １、？’ｐ発明−Ｃ用いるじオラ、イトモレキュラーシ
ーブー直細孔径５人を中心どりるらのが適当て゛あり、
カーボン−しレキュラーシーブは細孔径３△を中心とす
るものが適当で゛ある。吸着圧力は０．３〜１０ｋ ｇ
／ ｃ ｒｎ ’の範囲が適当てあり更に好ましく（
Ｊ１１〜３ＲＣＩ、’（１：ｍ’稈ＩＩ Ｔ’ １ｊｌ
ｉ ウ（１） カｆ（’ｆ、 ’ｏ’＋ 的−’Ｃする
。一方１１ｔＪ ６１エカは低い程効＝ｔｈかよいわ１
Ｊ−（あるが通ｍ４００ｈ−ル以下、りｒましく（ま２
００１−−ル以上の減Ｊ１にしてｌ１ｆ２着を１ｊなう
。吸ｒ１、脱１°、（４１、Ｊ！ｌｊ論的（こは吸着用
の関係から吸着ＩＪ低記で１Ｉｌ） ’ｉ′ｉ ｔ、Ｉ
。 高温て行なう方か効率がよいわ（）て（あるかｌ）Ｓ△
ｔＪ Ｉ’、７ｉ熱操作（・あり、ＩＧ ｉｌｔ熱く什
熱）がＩＢＪ Ｍ熱（１９に熱）（こ利用されることか
ら、７！’＋ ７ＫＡにａ５い（効５１↓的に行な４つ
れる。 小発明Ｃ′いう品ｉ ：ｌｆｍ度ノフルーｊンと（よ紬
度少くとし’、）８ ％のノ′ルゴンカスを１旨づ。Ｊ
Ｉ Ｓ ’Ｃ” ：ｔ、めら１′シている溶ｊ妄用ア
ル」ンカスのよう４ヱ紬１良ｇｇ、ｇ％以上のような高
純度のものも１η６１′シるが収率は低い。例えば製鋼
脱カス用などの用途に１．Ｌこの様な高純度のものでな
くとも９（３％程度のもので充分役に立つので、本発明
の方法はこの様な場合、算（こ経済的な見地から７１効
である。本発明の方法”ζｐては、第′１段、第２段、
第３段の各１’ｓＡ￥。 置を各１基の吸着塔で行なうことしてきるが通常各段階
に複数個の吸着塔をｈｉｎえて吸着−均珪−放圧−減圧
；１；２看−均圧−蓄肚−吸着の各操作を各」１１切り
替え（行なうのがよい。 ＰＳΔ操作に於ては組成と収率に相関関係があり、純度
を高くづると、収率が減るのＣ，要求される製品純度に
応じて適宜操作条１′１を選定づる。 （吸着圧力、ｎ）（着圧力、タイムサイクル等）以下実
施例により本発明をさらに詳細に説明りるが本発明がこ
れに限定されるもので【よむい。 実施例１ 吸着媒どしてカーボン上レキ１ラーシーブを用い、４
Ｑ ＩＴＩ ｒｒ’ｌφＸ ５ Ｑ Ｑ Ｉｎ ｍ ｈ
の吸ｔｊ１？！Ｉを第１ ［７１ｆコ示す３ Ｊｂに引
立Ｃ１アルゴンー酸素−窒累ｊ１コ含んス（アルゴン４
．５％、酸素９３．６％、窒素１゜９％）を原わ１どし
で第２段１） Ｓ Ａ分前を？’ｊ ’、ｒ ・ノた。 吸着圧ツノ（最高）【よ３．Ｏｋｇ／ｃｍ’ 、ＩＩＪ
着圧：叫よ１５０ ｔ−−ルであり、夕２イムサイクル
を第２剣′においで、吸着３８．５秒、４文１］、〜脱
着３８５秒、均圧１．５秒（１サイクル合甜゛１２０秒
）としＩζ。製品法用し速度を０．８Ｎ ｌ／ｍｉ ｎ
としたどき、製品ガス組成はアルゴン３３．０％、酸素
５２．３％、窒素１４．７％てあり、アル二ｉンの収２
ｒは６９％てあっ７ｊ０ このときのｈ（斤およびＩＩＩＪ ｉｆｆ万スガス素製
品）の組成はアルゴン１．５％、酸素９７．９％、窒素
０゜５％Ｃあり、酸素収率は９／１．７％Ｃあった。 実施例２ 実施例１のアルゴン製品カスをＤｊｉ第３１刀スど想定
し′Ｃ第３段ｐ３△分餠を行なった。吸着ｊハとして４
０１１１ｍφＸ５００ｍｈにカーボン［レキュラーシ−
１を充填した２塔を用いた。原わ１ガス組成に１アルゴ
ン３５．５％、酸素５０％、窒素１４−５９６てあった
。吸着圧力（最高）を２ 、０ Ｋ （、ｌ 、’ｃｍ
’、１１１２着圧力を１００１〜−ルどした。 タイム」ノイクルは吸着４５秒、＋１５ｆ着４８，５秒
、均圧１．５秒、ｙ７圧３．５秒（１（ノイクル合５「
１００秒）とし１．：。製品火山し速度を１．ＯＮｌ、
、／ｍ ｉｎどしたとさ、製品ガス組成はアルゴン７１
゜・１Ｉｌ％、酸素２．６７％、窒素２６．２％であり
、−チルボン収率は５３％であった。脱着ガス組成はア
ルゴン２２，７％、酸素６６．７％、窒素１０゜６％で
あった。 実施例３、 第３段ＰＳΔ１１；２着ガスを第２段Ｐ Ｓ Ａ原η″
３ＩガスにりυＹクルした。 第２段Ｃよ３塔、第３段は２場の吸着Ｊｉを用いた。 吸着圧力（最高）を３Ｋｇ／ｃｍ’と（）、ｑ ２ ｅ
Ｕ １１１２着ＬＬ力を１５０１ヘール、第３段１Ｉ１
２着１１力を−１００１−−ルどした。原わ１ガスとし
て第′１段１ｆｆｉｉライ１−モレ１ニュラーシーブＰ
Ｓ△の製品カス（アル」ン４．３５％、酸素９３．５％
、窒素２．１５％）を用いた。 第３膜製品ガス相成はノフルゴン７ ’ｌ 、 ８９６
、酸素２．５％窒素２５．６％であり、ｊ’ ル胃ン１
５！ ”ｉ’は５６％であった。 第２段１１；２ねガス（酸素製品）組成はノフルゴン２
゜リシ、ｌ’ｉ０素９Ｇ、６％、窒素１．３％−しあり
、酸楓鍜率は９９．９％−Ｃあった。 □実施例４、 第３段１−１８ Ａ製品ガスをデＡキソ装置Ｃ悦酸季し
、次いで第４段ビオラ−ｆ１〜Ｅレキュラ＝シーブＰＳ
△により窒素を分離してアルゴンガスを冑た１、第４印
税着ガスを第５段ゼオライ１〜しレキュラーシーブＰＳ
△により更に窒素を分制し、第５段製品カスを第４段Ｉ
”Ｓ△の原料供給ラーｒンにリリイクルした。第４段お
Ｊ、び第５段（Ｊ何れも３場式でｉｔ）す、吸着行稈の
間、脱着行稈後の、ＩＪクラム蓄圧づるシーケンスで行
なった。 ターｒム」ノイクルは第４段、第５段其に吸？！ ６０
秒、ＩＢ２着５０秒、均圧１０秒、蓄圧５０秒とした。 第４段の吸着圧力（よ１ 、５ Ｋ（１／ａｍ’ 、Ｉ
Ｂ）着ｊ１力５０１〜−ルとした。第４段の八Ｌ」カス
、第５５段ｔ１品（リザイクル）カスと合せ、その組成
（よアル」ン７８．１％、窒素２１．９％τあつ）Ｊ。 製品ノ１ルゴン料度は９９％であり、入［」カス１こ幻
づるノフルゴン収率は５５％であり、第３段からのぞれ
【よ７９，８％であった。 第５段脱活ガス組成はアルゴン３６．／１％、窒素゛呻
他、６％であった。 なお、第５段吸着圧は１ 、２ Ｋｇ／Ｃｍ２、脱ｉ′
１圧は５０トールであった。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の実施態様を承り第２段具間のノロ−シ
ー１・ である。 出願人 製鉄化学工業株式愈着 代表者 佐々木 浩
Claims (9)
- （１） 空気を原料としてプレッシャースイング法に
よりアルゴンを製造する（二当り、ゼオライトモレキュ
ラーシープまたは／およびカーボンモレキュラーシーブ
とを別個の吸着装置（こ充＋ｔ’ｒ＜ Ｌ、それぞれ独
立してプレッシャースイングし、晶赫度アルゴ／を取得
すると同時に高純度酸素を収得することを特徴とする高
濃度アルゴンの製造方法。 - （２） ゼオライトモレキュラーシーブを充１１“ｊ
（した第１段装置を用い空気を原料としてプレッシャー
スイングし、アルゴンを含有Ｖる高濃度酸素を得、つい
でカーボンモレキュラーシーブを光１眞した第２段装ｂ
ｔＧこより中間濃度のアルゴンと高純度酸素を５分離し
、史（こカーボンモレキュラーシーブを光ＩＮ した第
３段装置ｇ、 ＋こｌ′ＩｉＪ記中間濃度のアルゴンを
ｉｌｊしてプレッシャースイングを行ない粗アルゴンを
１町た後さらをこ高濃度アルゴンをこ精製する＋１．ｖ
許請求彰範ＩＪＩＩｃＩ）記載の方法。 - （３） ゼオライトモレキュラーシーブを充１ｇした
第１段装置を用い空気を原料とＬ／Ｃプレツンヤースイ
ングし、アルゴンを含有する高ａ′ｂ度酸素をス：へつ
いでカーボンモレキュラーシーブを充１ｉ４ したｉｆ
２段装置番こよりイ１［アルゴンと高純度酸素（二分離
した後、尚濃度アルゴン（こ精製する特許請求の範囲（
１）記載の方法。 - （４） 空気深冷分Ｉ！ｉｆｔ’装ｊｄの液化精留塔サ
イドカット成分たる１２％程度のアルゴンを含む混合ガ
スを第２段装置の原料ガスとして用いる特許請求の範囲
（２）または（３）記載の方法。 - （５） ｒｎｆ記徂アルゴンをさらＧこゼオライトモ
レキュラーシーブを充填した装置（５通してプレッシャ
ースイングして窒素を分１１ｉ１ｊ Ｌ ＋％ 濃度ア
ルゴンを得る特許請求の範囲（２）または（３）記載の
方法。 - （６） 前記組アルゴンを低温液化装置瘉こよりアル
ゴンを液化させ窒素を分離し高濃度アルゴンを得る特許
請求の範囲（２）または（３）記載の方法。 - （７） ｒ’ｒｉＩ記粗アルゴン（こ水素を重加しｃ
ｔｒｙ、酸素を行ない高濃度アルゴンを得る特許請求
の範囲（２）または（３）記載の方法。 - （８） 吸Ａが０．３〜１０ ｋｇ／ｅｎｄ”である
特許請求の範囲（Ｌｌ記載の方法。 - （９） 脱荷圧力が４００トール以「の減圧である特
許請求の範囲（１）記載１の方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57203853A JPS5992907A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 高濃度アルゴンの製造方法 |
| CA000441140A CA1219814A (en) | 1982-11-19 | 1983-11-15 | Process for obtaining high concentration argon by pressure-swing-adsorption |
| AU21372/83A AU563081B2 (en) | 1982-11-19 | 1983-11-15 | Producing argon by pressure swing adsorption of oxygen |
| EP83307013A EP0112640B1 (en) | 1982-11-19 | 1983-11-16 | Process for obtaining high concentration argon by pressure-swing-adsorption |
| DE8383307013T DE3380486D1 (en) | 1982-11-19 | 1983-11-16 | Process for obtaining high concentration argon by pressure-swing-adsorption |
| US06/552,895 US4529412A (en) | 1982-11-19 | 1983-11-17 | Process for obtaining high concentration argon by pressure-swing-adsorption |
| KR1019830005473A KR870000758B1 (ko) | 1982-11-19 | 1983-11-18 | 아르곤 분리방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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