JPS5949818A - 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化炭素を濃縮する方法 - Google Patents

吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化炭素を濃縮する方法

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JPS5949818A
JPS5949818A JP57159211A JP15921182A JPS5949818A JP S5949818 A JPS5949818 A JP S5949818A JP 57159211 A JP57159211 A JP 57159211A JP 15921182 A JP15921182 A JP 15921182A JP S5949818 A JPS5949818 A JP S5949818A
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松井 滋夫
Yogo Tsukahara
塚原 要吾
Shigeki Hayashi
茂樹 林
Masahiko Kumagai
昌彦 熊谷
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧力変動式吸着分離方法(PEA法)によっ
て、転炉又は高炉等の排ガス、主として二酸化炭素、−
酸化炭素、窒素及び水素ガスを含む混合ガス中の一酸化
炭素濃度を上昇させ、または−酸化炭素を分離精製する
目的で、該混合ガス成分に対して選択吸着性を有する吸
着成分、例えばゼオライト系吸着剤を充填した吸着塔を
用いて効率よく上記混合ガス中の一1暎化炭素の分離又
は精製する際の−e化灰素収率を」−昇させる方法に関
する。
本発明によれば転炉又(1、高炉等の排ガスを出発原料
として使用して、技術的にみても容易に一酸化炭素濃度
の上昇が01能でありかつ、従来のP SA法による一
酸化炭素収率法に比べて一酸化炭素収率は著しく高く1
よる特徴hす)るので極め℃経済的な方法と云える。
周知の如(、−酸化炭素は一般に天然ガス、プロパンま
たは製油所ガスを活性炭を通して脱硫したのら、水蒸気
およびCO2と11−、イ)し、ンーダーで洗浄・脱水
の工程な一\て深冷分離塔法により工業的規模で現在製
造されでいる。。
しかしながら、この方法は、腋産り目的とした高純度ガ
スの1+A造にはM)aと考えられるが、本方式には、
低温と高温を必要とするために液化設イ萌が高価になる
欠点nある。しかるに吸着法による一酸化炭素の分離・
精製法は使用する装置自身の経済性や、吸着塔内に充填
する吸着剤の再生可能な点よりみて好ましい方法の一つ
と考えられる。本発明方法に従って一酸化炭素、含有の
製鉄所排ガスの精製を例えば、従来法の低温分離法の如
N、低温や高圧操作を必要とぜず、また吸着剤の再生処
理も簡便に行うことが出来、非常に低置にに経済的に行
なうことができ、さらに装置や設備は複雑なものを要せ
ず、コントロールが容易であり、技術的、経済的に非常
に有利に一酸化炭素ガスを得ることが容易で、而も高い
収率が可能なため、非常に大きな利点となる等、今迄の
方法に比較して多くの利点がある混合ガス中の特定成分
の濃縮や分離精製を目的として各種吸着剤を使用する吸
着法が広(行なわれてきた。特にモレキュラーシーブ(
M−8)を使用する分子節作用を利用して、分子の大き
さの異なる気体状混合物を選択吸着させることにより、
特定成分を吸着除去或いは吸着させたのち脱着回収なは
かるガス分離またはガス精製法は工業的に広汎に利用さ
れている。
本出願人は、先にN、及びC02M1N2、CO2及び
COからから成る混合物からP S A法によシN2を
除去する方法について出入【]を行X(つた(特願昭5
7−130899号参1)α)。
この特願昭57−130899号の発明(先願発明)は
、本発明σバ1)〜(vl)工4へ1と同じ工程から成
る−しかL、先願発明についてはパージ工程からのガス
を廃棄していた。
本願発明では、パージ工程かC)のガスを他の塔の加圧
(吸着)に利用することを特徴とし、COの回収率を増
加させることを目的としている。
本発明は前述の如くガス吸着現象の差異を利用して、−
酸化炭素を効率よく濃縮するものであるが、発明者はこ
れに伴う吸着塔の吸着・減圧・排気・パージ・加圧の諸
工程を鋭意検討するとともに関連する各種ガスの濃縮実
験を実施した結果下記の方式が最適であるとの結論に達
した。
原料加圧−吸着(I)−並流減圧−並流バージ−向流排
気−吸着(II)−吸着0川。なおこれの細部説明は後
述しである。
以下に本発明の詳細な説明する。
本発明は主成分どして一酸化炭素ガス及び窒素ガスまた
は一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス及び窒素ガスから成
る原料ガスから圧力変動式吸着分離方法により一酸化炭
素ガス又は−酸化炭素ガスを濃縮及び分離精製する方法
において、ゼオライト系吸着剤からなる吸着剤を収納し
た2つ以−ヒの吸着塔を用いその方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程(4)
さらに原料ガスを吸着塔に流して、吸着塔出口における
易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着成分の濃
度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる点の少し前
まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着工程、 (tit)  吸着工程終了後、その吸着塔と真空脱着
が終った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを後
者の吸着塔に導入して後者の吸着剤に吸着させる吸着(
U)、このとき前者の吸着塔の圧力を大気圧近くまで降
下させ、 (iv)  減圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
て難吸着成分をパージするパージ工程、このときの吸着
塔出口より放出されるパージガスを真空脱着が終った吸
着塔に導入し吸着剤いニ吸14させる吸着(財)の工程
、 (v)吸着剤に吸着されている易吸着成分を真空ポンプ
を用いて脱着させ製品ガスを回収する回収工程、及び (vl)製品回収が終った吸着塔と、吸着工程が終った
吸着塔とを連結して、後者の吸着塔からのガスによる加
圧工程(吸着It )、 (vi−他の吸着塔のパージ工程からのガスによる吸着
(ホ)工程、から成り、定期的に吸着塔間の流れを変え
て、全ての吸着塔において上記操作を繰返すことを特徴
とした方法に関する。
本発明の工程(1)は吸着塔に原料ガスを導入する吸着
塔の加圧工程である 本発明では回収すべきガスは易吸
着成分であるので高い吸着圧は必要ではなく、1に9/
ff1G程度の吸着圧で十分であり、それより低い吸着
圧でありても良い。
工程(it)は吸着(I)工程である、吸着塔出口にお
ける易吸着成分(−酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス)の
濃度が吸着塔入口における易吸着成分の濃度と等しくな
った点というのは、吸着剤の破過点を意味する。回収す
べき成分が難吸着成分(例えば空気から酸素ガスを分離
する場合においては酸素ガス)であるならば、高純度の
難吸着成分を得るためには破過点よりも上の水準で吸着
工程を終了することが望ましい。しかし本発明では、回
収すべき成分は易吸着成分であるから破過点または破過
点に達する少し前まで吸着を行なう。
工程1it)は吸着(I)工程が終った吸着塔と真空脱
着が終った吸着塔とを連結し、好ましくは並流方向に前
者の吸着塔からガスを後者の吸着塔に導入し、前者の吸
着塔の圧力を大気圧または大気圧近(まで降下させる。
この工程では吸着塔に収納されている執着剤間の空間中
のガスが放出され、真空脱着が終った吸着塔の吸着(I
I)加圧に使用される。前者の吸着塔の圧力がほぼ大気
圧になるまでこの操作を維持する。
工程(1v)は減圧した吸着塔に並流に製品カスを導入
して吸着塔内に残っている難吸着成分(窒素ガス等)を
ノ(−ンする。この場合の製品ガスの導入圧は吸着IJ
:′)J 、l:り低く、大気圧、1−り高い方が望ま
しく、この場合ポンプ等を使用する必要がなく、製品カ
スタンクと吸ytf塔をj114結することによってパ
ージを実施する。又このとき吸X1塔出口のノで−ジガ
ス濃度は製品ガス濃度に吸着塔内に残っている難吸着成
分が加わるのみで製品ガス濃度より少し低下するのみで
原料混合ガスp度よりも充分に一酸化炭素に富んだ部分
(IIl猫?1)j′ス濃度に近い部分)第1図の漏出
曲線で云えば平担部分に相当する。この部分を回収利用
1.て連1F4的に一酸化炭素ガスを濃縮する際の、他
塔の加圧用ガス(吸着(Ill)として使用する。
工程(■)はパージ工程が終った1jψ1着塔を真空ポ
ンプを川℃・て好ましくは60〜60 Tnrr まで
真空にし、吸着剤に吸着されていた成分(−酸化炭素ガ
ス等)を脱着させ製品ガスと1.て回収する。
工程(vl)は製品回収が終った吸着塔易吸着工程が終
ったe、着塔とを連結し、後者の吸着塔からのガスによ
って前者の吸着塔を加圧吸治させる。吸着(■1)この
場合、後者の吸f’+ ”%がほぼ大気圧になった時ガ
スの導入を中止するので前者の吸着塔の圧力は大気圧に
達しない。
工程(vii)は、他の吸熱塔のパージ工程からのガス
による吸着(@から7上る。
本発明で使用される吸着剤としては、モルデナイト系ゼ
オライト、モルデナイト系ゼオライトを粉砕して適当な
結合剤を加えて成形し、焼結したものが挙げられる。
本発明は特願昭57−130899号の発明と比べて下
記の利点を有する。
(1)パージガスを回収することにより、系外への放出
量が減少し、COの収率が上昇する。
(2)パージ工程からの濃度の高いガスを回収すること
により、吸着剤表面の清浄度が長く保たれ、吸着剤の一
酸化炭素吸着能力が旨められた。これは、難吸着ガスに
よる表面級着或いは汚染が減少する(易吸着成分の吸着
時に於ける難吸着成分の同伴吸着量が減少する)からで
ある。
以下本発明の代表的な具体例でk)る転炉排ガス中の窒
素ガス、を除去し、−酸化炭素ガスを分離回収する方法
に基づいて、本発明の詳細な説明するが本発明の方法は
、これらの具体例に限定されるものではない。
第2図は吸着法により連続的に転炉排ガスから難吸着成
分である窒素ガスを除去し2、易吸着成分の一酸化炭素
ガスを分離濃縮するフローシートである。
吸着塔A、13、は易吸着成分を選択的に吸着する吸着
剤が収納されている。吸着塔A、JJを真空ポンプ0υ
を用いて減圧排気をろQTorr好ましくは6QTor
r まで行い、今吸着塔へに原料ガスを加圧導入、真空
状態より昇圧させるためA)レズ(1)を開くことによ
って行う。この時バルブ(2)(31(4)(5)(6
)(7)(8)(9)(L唱ま、すべて閉である。
吸着塔Bはこのステップでは、ま)、−直空状態を保持
している。吸着塔Aは昇圧後、吸着圧力0.1ゆ/cJ
 Gから6.0ゆ7cnr G、好ま(〜(はo、2k
y/α(Gから1.01ψ/cr!Gの吸着圧力を保つ
様にバルブ(3)は開かれ、難吸着ガスはガスポルクー
に回収される。一定時間或は一定量の吸着工程終f後原
料供給パルプ(1)及び出口バルブ(3)は閉じ、吸着
塔Bへの連結パイプにあるバルブ(5)を開き、吸着塔
への塔内圧力を大気圧附近まで減圧放出させ、吸着塔B
の吸着剤に減圧放圧されたガスを吸着きぜる。吸着塔A
が大気圧附近になると吸着塔内の空隙(吸着剤間の空間
)にたまつCいる難吸着成分ガスを追出すために製品ガ
スタンク卸よりバルブ(7)を開いて吸着塔Aの下部よ
りパージ工程を行う。このときの吸着塔出口のパージガ
ス濃度は製品ガス濃度に吸着塔内に残っている難吸着成
分ガスが加わり第1図の漏出曲線の(B)の様に製品ガ
ス濃度より少し低下するのみである。このパージ工程終
了ガスを吸着塔Bの先に減圧加圧工程に引き続き吸着剤
に易吸着成分を吸着させるこの時点で吸着塔Bは大気圧
近くまで減圧加圧された状態になっている。
パージ工程が終了するとバルブ(5)及び(力は閉じら
れ吸着塔下部よりバルブ(9)を開にし真空ポンプを用
いて減圧排気を行い吸第1剤に吸着している易吸着成分
を脱着Δせるこの際の排気圧力は60IllOrr好ま
しくは(、Q i、’o r r まで行って易吸着成
分であるCOを製品ガスとして回収するものである。
上記操作をそれぞれの吸着塔において順次繰返すことに
よって連続的に吸着剤に易吸着成分であるCOガスを分
離精製することが出来る。なお(13)は廃ガスタンク
である。
実施例1゜ 以下本発明をさらに具体的に説明するため、−酸化炭素
混合ガス(CO=96.0% N2=7.0%)の精製
を試みた。
精製工程として既述の如([原料加圧−吸着(1)(並
流)−減圧(並流)吸着(11)−・ξ−ジ(並流)吸
着011)−真空排気(向流)−加圧(吸着を)(並流
)」の精製サイクルにもどづいて実施しブこ、活性化し
たゼオライ) (0,5に!1F ) 1 / 8”’
レット)を充填したステンレススチール製の吸着塔(I
 D I  X 1 m )を真空排気して6QTor
rの真空に保った後、上記の混合ガス(CO=96.0
% N2=ZO%)を線速2cm/secで塔の下部よ
り導入して混合ガスの精製を実施した。この場合供給ガ
ス量13.15Neに対し減圧放圧u’(1,8Ne 
)のみを回収した場合、精製−酸化炭素ガス量は6.8
5Neで収率は66.1%でパージ工程のガスも回収し
た場合供給ガス量は10.45Neと減少し、精製−酸
化炭素ガス量は7.35Neで収率は57.2%と向上
した。
実施例2゜ 実施例(1)と同一装置を用いて下記実験条件で転炉排
ガスを用いた精製分離を行った結果である。
実験条件 ガス組成  C0−88%、C07−2,0%N、=4
.o%、H2= 5−9% 0t=0.1% 吸着剤 ZE−501 操作温度  25℃ 吸着圧力  1.okg7criG 吸着速度  2儂/see 原料供給量 11. (3Ne 上記真空ポンプを用いて6 U i”イ、+ r r 
まで脱気、回収を行って製品ノノスでk)る−酸化炭素
ガスを回収した 従来法では製品ガス量は5.15Neで回収率は22゜
5%であったが本発明の方法では5.85Neの製品ガ
スが回収出来収率も52,5%と向−トした。残留窒素
濃度は0.9%以下であった。
実施例3゜ 実施例2.と同一条件で吸着時の廃棄ガス牡を約半分(
原料ガス濃度に達する手前で吸着工程を終rさせた場合
)にした場合の転炉排ガスのM製・分離を行った結果で
ある。
実験条件 カス組成  C0=88%、C07== 2.0%N2
 =4.o%、I−12”” 5.9%0□−01% 吸着剤 ZJ号−501 操作温度  25°C 吸着圧力  1.0kg/dG 吸着速度  2. OCrrL/ 5ec−原料供給量
 9.26Ne 上記を真空ポンプを用いて60Torrまで排気を行っ
て製品ガスである一酸化炭素ガスを脱着回収をはかった
従来法では製品ガス蹴5.9Ne収率ろ72%であった
のに対して本発明の方法では製品ガス吊62N/’収率
72.6%と向上1〜だ。残留窒素濃度は0.8%以下
でt)つた。
2塔式の場合の工程 →吸着(T) (−no/iG) 吸着圧−減圧放圧−パージ (Oゆ/dG)  (製品タンク圧力)他塔へ 本発明は少なくとも2つの吸着塔を使用して実施するが
、それ以」二の吸着塔を使用してもよい。
本発明は高炉又は転炉排ガスから窒素ガスを除去するの
に適用できるが、産業上発生するC O−1−N、又は
CO+N、 +CO,その他からなるガスからN、を除
去するのに使用できる1、
【図面の簡単な説明】
第1図は吸着工程及びパージ工程における流量と一酸化
炭素ガス濃度との関係を示す。第2図は、本発明を実施
するための2塔式装置のフローシートで)、る。 特許出願人 大阪酸素工業株式会社 98− 手  続  袖  正  書 昭和58年2月2日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和57年特許願第15921 号 2、発明の名称 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化
炭素を濃縮する方法 6、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 名称 大阪酸素工業株式会社 4、代理人 6、補正の内容 (1)明細書第17頁の表における原石ガス濃度チの行
に [ とあるな 「 と削正する。 (2)明細有°を次のようKil市する。 頁  行    削正前    訂正後6 20   
 高温     高紙 4 6    例えば    行えば 4 8   低順にに軒   低順に経5   ろ  
  COからから成る COかも成る11  16  
    (1)    (1)(2) fj    行     泊正前     名Yil−
後12  4     (1)(1) 16 17    ノJiff七(吸着を)   加n
−(を吸産マ)14     1       (ID
 ぜX  I Il+ )     (1,1)、11
3X  1 lノL)16 下ろ〜1 吸カー出−−減
圧放圧−ノヒーノ 吸着CI、)→敲几放■−→(0顆
G)      パ・−ジ (0%G)他塔へ    
  (製品ガス 他塔 タンク)上刃) 見、 上 手  わl:  袖  if   21:昭和58イ1
づ2月 2日 1・1\ 特許庁長官 若杉和夫 殿  S(、、;、、、、:、
、31、事件の表示 昭和57年特許願第159211  シじ−2、発明の
名称 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化
炭素を濃縮する力θく 6補正をする者 事件との関係  特許出廓1人 住所 名 称  (125)川崎製鉄株式会社4代 理 人 明細書の〔特許請求の範囲〕と〔発明の詳細な説明〕の
欄(別紙) (1)肪H’l°1jl−求の範囲を次のように削正す
る。 「吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸
化炭素を濃縮する方法において、該混合ガス中の一酸化
炭素に対して選択性を有する吸着物p1を充填した2つ
以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原産1ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、(
11)さらに原オー1ガスを吸着塔に流して、吸着塔出
]」における易吸着成分の濃度が吸着塔人に1における
易吸着成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しく
なる点の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着さぜる吸
!(1,)工程、011)吸着(1)工程終了後その吸
着塔と真空脱着が終った吸着塔とを連結し、前者の吸着
塔からガスを後者の吸着塔に導入し、前者の吸X、稲の
圧力を大気圧又は大気圧近くまで降下さぜる減圧放圧工
程、 (功 減圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入してヲ1
6吸着成分をパージするパージエ稈、吸着塔」二部より
流出してくろカスを工f’i’ (Vllか終った吸着
塔に導入してその吸ノド、」1;の加11−い一1bl
llllし、 (v)パージエイ′、4を終った]νシ・ガ゛j塔な大
気川堤、Fに排気して、吸メ″1首11に吸A”F 3
 ;tじ(′(・ろ易1νで・〕:“1成分を脱着さぜ
製品カスな回収すイ)回収下不買(vll  製品回収
が終った吸〃1塔と吸着−口゛1゛が終った吸着塔とを
連結し゛(後者の販オ゛1塔かしのガスを前者の吸着塔
に導入−4” 7)II!輸・; CI +)工程、及
び Ql)  他の吸怖塔のパージ1口′、゛がらのカッに
よイ)吸M 111m 丁[X呈、 から成り、定期的に吸着塔間のb;1.れを変えて、上
記操作を繰返すことを’12+徴としたノー1法。jl
(2)明細1第2百下から6〜2行の「主として・・・
・・・・・及び水素ガス」をlすムーわち少なくとも一
酸化炭素及び窒素ガス」に汎1市ずイ)。 (ろ)明細書第6頁第6行〜第7L″J第15行全部を
下記に削正する。 「本発明は、吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガ
ス中の一酸化炭素を濃縮する方法におし・て、該混合ガ
ス中の一酸化炭素に交]して’)lji択性をイfする
吸危物質を充填した2つ以上の吸着塔を使用し、その方
法は (1)原註ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、(1
1)  さらに原に1ガスを吸着塔に流して、吸着浴出
]」における易吸着成分の濃度が吸着塔入口に、lt6
ける易吸着成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等
しくなる点の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させ
ろ吸着(I)1.1稈、曲)吸着(1)工程終了後その
吸着塔と;’C,イ?II(+’菖・′iが終った吸着
塔とを連結し、nl」者の吸/l′1塔からガスを後者
の吸着塔に嗜、入し、前者の吸71′1″塔の圧力を大
気圧又は大気用近くよて降−トさ猜る減圧放圧工程、 (1い 減圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入して難
吸着成分をパージするパージ工程、吸着コ苔上部より流
出(−てくるガスを工程(vlが終った吸着塔に導入し
てその吸着塔の加圧に使用(■)ハージエ私“を終−)
12−吸メ゛1塔を大気月−以下に排気して、吸2Ff
i剤に吸1”fさA]ている易吸着成分を脱着さぜ製品
カスを回収する回収下+l、j、(Vi)  製品回収
が終−った吸危廖谷と吸着ゴー程かXiりった吸着塔と
を連結してr−1−Rの吸后」roからのガクを前者の
吸着塔にノ、1)人する吸ノ1’f (l l) :’
IT程、及び (Vli)  他の吸着塔のパー/工程かl)のカスに
よる吸M 0JI)工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流ハを変えて、上記操作
を繰返すことを乍1徴とした方法に(jj−1する。」
1 (4)明細■第9亘第16〜17行41部を下記に削正
する。 「工程(V)は、パージ工程か終った吸危各を真空ポン
プ、エセクター、グu+ノー等を川℃・て、大気圧以下
に排気して好:t: L <む]、ろOOi、’01−
 r以下、最も好ましくは300〜30 Torrのr
lii’も囲まで真空」 (5)1す抹11書第10頁第2〜6行全部を下記に訂
正する・ [スを前者の吸着塔に導入する吸着(11)工程である
。この場合、後者の吸着塔がほぼ大気圧になつプこ 1 (6)  +、!l信1++ ib第110第13〜1
4行全部を下記に汗j市する。 11゛ポンプ、エゼクタ−、プロ゛ノー等を用いて大気
j−[・以下に減圧ill気して、今吸着塔へに原オ′
1ガスを」 (ハ 明細書第1ろ頁第2〜4行全部を下記に削正ずイ
)。 [”等を用いて減圧排気を行い吸着剤に吸着している易
吸着成分を脱着させる。この除の排気圧力は大気圧以下
、好ましくはろOOTorr以下、最も好ましくは60
0〜ろOTorrの範囲まで行って易吸着成」 ガス」 (9)明細椙な次のように泪11−寸ろ。 頁   行      ]止Mii        剖
11:後10 9   モルテナイI・系  活(’l
化したゼオライゼオライトを   1・(入熱又は合r
JQ )、こ」(へ・ 1つ15    加圧〕3「ス人    加Iト罵1人
1゜す、 1−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化
    炭素を濃縮する方法におい−で、該混合ガス中の一酸化
    炭素に対して選択性を有する吸着物質を充填した2つ以
    上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程(11
    )さらに原料ガスを吸着塔に流1て、吸着塔出口におけ
    る易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着成分の
    濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる点の少し
    前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着(I)工程
    、 (iifl吸着(【)工程路r後その吸着塔と真空脱着
    が終った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを後
    者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を大気圧又は
    大気圧近くまで降下さぜる減圧放圧工程(IV)  減
    圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入して難吸着成分な
    パージするパージ工程、吸着塔上部よシ流出して(るガ
    スを工程(vl)かが終った吸着塔に導入してその吸着
    塔の加圧に使用しくV)  吸着剤に吸着されている易
    吸着成分を真空ボンノを用いて脱着させ製品ガスを回収
    する回収工程、及び (vD  製品回収が終った吸着塔と吸着工程が終った
    吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスによる吸着
    (U)工程、 (vl)他の吸着塔のパージ工程からのガスによる吸着
    α10工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流れを変えて、全ての吸
    着塔において上記操作を繰返すことを特徴とした方法。
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