JPS607920A - 非凝縮性混合ガスの分離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は複数の成分を含有する原料ガス中の不純物を選
択的に吸着する吸着剤を使用して目的とする製品ガスを
高純度及び高収率で回収する圧力差吸着法による混合ガ
ス分離方法及びその装置に関する。

〔発明の背景〕

従来、圧力差吸着法によって混合ガスを分離する方法と
しては例えば特公昭４２−２６１６４号、特公昭５７−
４２３６７号あるいは特公昭５７−５０７２２号公報記
載の方法が提案されている。しかし、従来の圧力差吸着
法の問題点として製品ガスの収率が低いこと、特に高純
度製品を回収する場合に収率が大巾に低下することが挙
げられ、より収率を向上し省資源を達成する圧力差吸着
法の開発が要求されている。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、高純度の製品を高収率で回収しイクる
混合ガス分離方法及びその装置を提供することにある３
゜ 〔発明の釈り要Ｊ 本発明の混合ガス分離方法は、吸着剤を充填した少なく
とも１個の吸着塔を備え、加圧吸着操作及び降圧脱着操
作を順次行なう基本操作によシ混合ガスを分離する圧力
差吸着ユニットを複数ユニット直列に配管接続し、多段
に亘って吸着分離処理を行なう混合ガスの分離方法にお
いて、第１段の圧力差吸着ユニットの降圧脱着操作にお
ける排気ガスを系外に排出し、第２段以降の圧力差吸着
こし二ントの少なくとも１つのユニットの降圧脱着掃作
時の排気ガスを前段−またはそれ以前の圧力差吸着ユニ
ットに帰還して加圧吸着操作のための昇圧に用いること
を特徴とする。

本発明においては第２段以降の圧力差ｙＢ１．ＲＭユニ
ットからの排気ガスを前段またはそれ以前の圧力差吸着
ユニットに帰還する際、リザーバを介して帰還すること
もできる。これにより、一層効率的な運転が可能になる
。また、該リザーバは排気ガス景に応じて容積が変化し
うる容器を用いるのはよシ有利である。

第１図に本発明に用いられる圧力差吸着ユニットを２段
使用した場合のガス分離装置の系統図を示す。

配管１からの加圧された原料ガスを第１段の圧力差吸着
ユニツ）ＵＡに供給して加圧吸着処理し、この処理ガス
を配管２人を経由して第２段の圧力差吸着ユニツ）ＵＢ
に供給して再度加圧吸着処理したのち配管２Ｂから製品
を取シ出す。圧力差吸着ユニットＵＡの降圧脱着操作に
おける排気ガスは配管３Ａを経由して系外に排出する。

圧力差吸着ユニツ）ＵＢの降圧脱着操作における排気ガ
スは配管３Ｂ、！Ｊザーバ４Ａ及び配管５Ａを経由して
圧力差吸着ユニツ１４ＪＡに帰還し、降圧脱着操作が終
了した吸着塔の昇圧に使用する。ここで、真空再生方式
の圧力差吸着ユニツ）ＵＡにおいて、吸着剤の再生のた
めには降圧脱着操作の最終圧力を低くすることが望まし
く、そのためには排気時間を長くすることが重要である
。一方、加圧吸着操作を行うために吸着塔を昇圧する加
圧操作としては原料ガスによるものと、加圧吸着操作を
終了した吸着塔内に残留するガスの移動によるものが既
に有シ、これに上記配管３Ｂからのガスによるものが追
加される。配管３Ｂからのガスによる加圧操作の時間と
圧力差吸着ユニットＵＡの降圧脱着操作の時間を一致さ
せることはサイクル当りの圧力差吸着ユニツ）ＵＡの加
圧操作の割合を過大にするか、まだはザイクル当シの圧
力差吸着ユニツ）ＵＢの降圧脱湿操作の割合を過小にす
ることになり、ガス分離の効率向上の面から、配管３Ｂ
を経由して流れる排気ガスを一時的に貯蔵し、その後圧
力差吸’Ａｆユニツ）［ＪＡに供給するという方法が、
加圧操作及び降圧脱着操作の両者を最適な時間にするこ
とができることを確認した。リザーバ４Ａはこの目的Ｃ
設けられたもので、リザーバ４Ａの設置によって本発明
がよシ効率的に作用する。なお、リザーバ４Ａを設置し
ないで、かつ加圧操作と降圧脱着操作の時間を一致させ
ないでプロセスを組むことは可能である。その場合は圧
力差吸着ユニットＵＢの真空ポンプの吐出圧力を若干上
昇させることになる。

本発明を実施する場合加圧操作は（１）後段の排気ガス
によるもの、（２）吸着工程終了後の塔内残留ガスの移
動によるもの及び（３）原料ガスによるも易へ種類とな
シ、通常（１）、（２）及び（３）順序で実施させる。

なお、（２）の塔内残留ガスによるものは複数回に分割
して加圧操作を行なわせることができる。また、（２）
を複数回に分割した場合、その一部による加圧操作を行
ったのち（１）の加圧操作を行わせ、その後（２）の残
シによる加圧操作及び（３）の原料ガスによる加圧操作
を行わせることができる。まだ、圧力差吸着ユニットＵ
Ａの加圧吸着操作における処理ガスの一部を同ユニット
の加圧操作のために使用できることは言うまでもない。

本発明は圧力差吸着ユニッ）ＵＢの降圧脱着操作の排気
ガスを全量利用することができるが、サイクル構成を変
更して、上記排気ガスの一部を系外に排出し、部分利用
することも可能である。第２図は吸着ユニットを多段使
用した場合のガス分離装置の系統図を示す。

隣接する２つの圧力差吸着ユ云ットにおいて後段の排気
ガスを前段の加圧工程で使用するもので、より’に純度
のガスを高収率で回収するために有効である。

第３図及び第４図に示す装置は本発明の変形例であシ、
後段の複数の圧力差吸着ユニットの排気ガスをそれらよ
り前段の圧力差吸着ユニットの加圧操作に使用するもの
である。

本発明は複数の成分を含む各種原料ガスとその原料ガス
中の不純物を選択的に吸着する吸着剤を組合わせること
によって原料ガス中の不純物を除去して高純度の製品を
高収率で回収することを可能にする。例えば、合成ゼオ
ライト５Ａに関してガスの吸着選択性の比較例を示すと
、水素く酸素く窒素〈−酸化炭素〈炭酸ガスく水分の順
となる。

また、アルゴンは酸素とほぼ同等の選択性を有する。し
たがって、合成ゼオライト５Ａと上記成分の混合ガスを
組合わせた場合に本発明によｐ高純度の水素を高収率で
回収することができる。また、窒素及び酸素を主成分と
する空気と合成ゼオライ）５Ａを組合せだ場合に本発明
によυ高純度の酸素を高収率で回収することができる。

このケースでは酸素とアルゴンの分離が困難なため酸素
純度は最大で約９５％となる。まだ、窒素とアルゴンの
混合ガスと合成ゼオライト５Ａを組合わせた場合に、本
発明によｐ高純度アルゴンを高収率で回収することがで
きる。他の吸着剤、例えばガスの吸着速度の差によって
ガスを分離する分子ふるいカーボンと空気を組合わせた
場合、本発明によって高純度の窒素を高収率で回収する
ことができる。

マタ、活性炭を用い、メタン、エタン、プロパン。

ブタンなどの炭化水素類混合ガスに適用した場合は、よ
シ沸点の高い炭化水素類を吸着除去し、低沸点の炭化水
素、例えは、メタンあるいはメタンとエタンの混合ガス
などに富む製品を高収率で回収することができる。

本発明を効率的に実施するためには、（ａ）被処理ガス
導入口及び精製ガス送出口を有し、かつ吸着剤を充填し
／ζ少なくとも２個の吸着塔、各吸着塔の被処理ガス導
入口を結ぶ配管、各吸着塔の精製ガス送出口を結ぶ配管
、該吸着塔の１個の吸着塔の被処理ガス導入口と他の吸
着塔の精製ガス送出口を結ぶ配管、随時上記各配管のう
ち特定の配管のみをガスが流通できるようにするのに必
要な切替弁及び真空ボンダを主構成侠素としで備えた圧
力差吸着ユニットの複数個、（ｂ）上記圧力差吸着ユニ
ット相互を直列に接続づ−る配管であって、前段ユニッ
トから送出される加圧吸着操作の処理ガスを後段ユニッ
トで再び加圧吸着操作するために該後段ユニットの吸着
塔の被処理ガス導入口に導くだめの配管、（Ｃ）後段ユ
ニットの降圧脱着操作を実施している吸着塔からの排気
ガスを前段またはそれ以前のユニットの降圧脱着操作の
終了しフヒ吸着塔の精製カス送出口に帰還させるだめの
配管、などから構成される混合ガス分離装置を使用する
。

１だ、上記（Ｃ）で示した配管にリザーバを設けること
によってより効率的な装置にすることができる。

第５図は２基の吸着塔から成る圧力差吸着ユニットを２
段使用した場合の本発明ガス分離装置の第統図を示す。

２基の吸着塔Ａ１及びＡ２、各吸着塔の下部及び上部配
管に設けられた切替弁１１Ａないし１６ＡＸ真空ポンプ
６Ａ及びこれらを連結する配管から構成される第１段の
圧力差吸着ユニットと、２基の吸着塔Ｂ１及びＢ２、各
吸着塔の下部及び上部配管に設けられだ切椿弁１１Ｂな
いし１６Ｂ、真空ポンプ６Ｂ及びこれらを連結する配管
から構成される第２段の圧力差吸着ユニットと、リザー
バ４Ａと泄品タンク１８などから構成される。

第１表は第５図のガス分離装置を運転するだめの圧力差
吸着ザイクルの一例を示すものであり、第１段の圧力差
吸着ユニットに関して、加圧吸着操作は加圧１−３工程
及び眩オ＝Ｘ工程で、降圧脱着操作は排気ｌ工程で、還
流加圧操作は加圧Ｉ−１工程で、塔間均圧操作は均圧Ｉ
工程寸たは加圧１−２工程でそれぞれ実施され、第２段
の圧力差吸着ユニットに関して、加圧吸着操作は加圧■
−２工程及び吸着ｎ工程で、降圧脱藩操作は排気１１工
程で、塔間均圧操作は均圧■工程まだは加圧１１−１工
程でそれぞれ実施される。各工程は第１段の圧力差吸着
ユニットに関しては吸着塔Ａ１を、第２段の圧力差吸着
ユニットに鴛しては吸着塔Ｂ１を例として次のように操
作する。

第１表 吸着■工程は配管１からの大気圧以上に加圧された原料
ガスを切替弁１１Ａ１を経由して吸着塔Ａ１に供給して
不純物を吸着除去し、切替弁１４Ａ１゜配管２Ａ及び切
替弁１１Ｂ１を経由して精製ガスを吸着塔Ｂ１に供給す
る。均圧Ｉ工程は吸着■工程の終了した吸着塔へ１の残
留ガスを切替弁１５Ａ１　。

配管７Ａ及び切替弁１５Ａ２のラインまたは切替弁１６
Ａ１．配管８Ａ及び切替弁１３Ａ２のラインのいずれか
を経由して吸着塔Ａ２に供給する。排気■工程は均圧■
工程の終了した吸着塔Ａ１の残留ガスを切替弁１２Ａ１
及び配管９Ａを経由して真空ポンプ６Ａで吸引して吸着
剤を再生し、真空ポンプ吐出ガスを配管３Ａから系外に
排気する。加圧Ｉ−１工程は排気■工程の終了した吸着
塔ＡＩにリザーバ４Ａに保有されるガスを配管５Ａ、切
替弁１７Ａ、配管１０Ａ、切替弁１６Ａ１を経由して供
給し吸着塔Ａ１を昇圧する。加圧Ｉ−２工程は加圧１−
１工程の終了した吸着塔Ａ１に吸着塔Ａ２の残留ガスを
切替弁１５Ａ２．配管７Ａ及び切替弁１５Ａ１のライン
または切替弁１６Ａ２．配管８Ａ及び切替弁１３Ａ１の
ラインのいずれかを経由して供給して吸着塔Ａ１を昇圧
する。加圧１−３は加圧Ｉ−２工程の終了した吸着塔Ａ
１に配管１からの大気圧以上に加圧された原料ガスを切
替弁１１Ａ１を経由して供給し吸着塔Ａ１を昇圧する１
、吸着１１工程は配管２人からのガスを９ノ替弁１１Ｂ
１を経由し吸着塔Ｂ１に供給して不純物を吸着除去し、
さらに、切替弁１４Ｂ１及び配管２Ｂを経由して分離し
だガス（、＃！品）を製品タンク１８に供給する。

均圧■工程は吸着■工程の終了した吸着塔Ｂ１の残留カ
スを切替弁１５Ｂ１．配管７Ｂ及び切替弁１５Ｂ２のラ
インまたは切替弁１６Ｂ１．配管８Ｂ及び切替弁１３Ｂ
２のラインのいずれかを経由して吸着塔Ｂ２に供給する
。排気■工程は均圧■工程の終了した吸着塔Ｂ１の残留
ガスを切替弁１２Ｂ１及び配管９Ｂを経由して真空ポン
プ６Ｂで吸引して吸着剤を再生し、真空ポンプ吐出ガス
を配管３Ｂを経由してリザーバ４Ａに供給する。加圧１
１−１工程は減圧Ｉ工程の終了した吸着塔Ｂ１に吸着塔
Ｂ２の残留ガスを切替弁１５Ｂ２．配管７Ｂ及び切替弁
１５Ｂ１のラインまたは切替弁１６Ｂ２．配管８Ｂ及び
切替弁１３Ｂ１のラインのいずれかを経由して供給し、
吸着塔Ｂ１を昇圧する。加圧１１−２工程は加圧■−１
工程の終了した吸着塔Ｂ１に配管２Ａからのガスを切替
弁１１Ｂ１を経由して供給し吸着塔Ｂ１を昇圧する。

第１表から明らかなように、本発明によるとリザーバ４
Ａを利用してサイクルを構成しているため第２段の吸着
塔の吸着剤再生を行なって残留ガスを回収する排気■工
程と回収したガスを再利用する加圧Ｉ　−１工程を異な
った時間中で操作することができ、排気■工程の時間を
長ぐすることによって吸着剤の再生を効率的に行ない、
まだ回収ガスを十分に利用するメリットが生じる。また
、吸着■工程と加圧Ｉｆ−２工程及び吸着ＩＩ工程の時
間帯を調節することが本発明を有効に働かせるだめに重
要である。本発明によると、従来法の欠点即ち、製品ガ
スの純度が高くなるにつれて実質的な吸着帯長さが長く
なって一操作当シの製品取り出し量が少なくなり、その
結果として製品ガスの回収率が低下するという問題点に
対して、（１）Ｍ　１段の吸着塔から排出される精製ガ
スの純度を、目的とする製品ガスの純度に比較して低く
設定し、その分処理量を増加させることができ、ガスの
取シ出し量を大きくできる。（２）第１段の吸着塔から
取り出した精製ガスを第２段の吸着塔で濃縮して容易に
高純度の製品ガスを得る。ことができ、濃縮操作で不要
となる脱着ガスは全量第１段の原料として利用できるだ
め第２段の吸着ユニットによる製品ガスの損失を防止で
きる。（３）第２段からの脱着ガス中のガスの純度は原
料ガスに比べて十分に高い値であシ、この脱着ガスを真
空下の吸着塔の昇圧に用いることによシ外圧による吸着
帯の乱れを最小１５１遍に抑制することが可能となシ吸
着工程にお（・）る精製ガスの取り出し量の増加に対し
て有効に働く、などの効果によって高純度の製品ガスを
高収率で回収することができ、従来の問題点を解消する
ことができる。

本発明の他の操作方法を第５図の吸着塔Ａ１及び１３１
ケ中心に説明する。

吸着１工程に関し、配管１からの原料ガスを切替弁１１
Ａ１を経由して供給しながら切替弁１４Ａ１から精製ガ
スを送出する吸着１−ｉ工１３及び切替弁１１Ａｉ’＆
ｌ；Ｉじ原料ガスの供給を停止した状態で切替弁１４Ａ
１から精製ガスを送出する吸着１−２工程の２段階で実
施させる。これによって、原料ガスの圧力が一定の条件
で吸着Ｉ工程の終了した吸着塔Ａ１の残留ガスを低減し
、結果として配管３Ａから系外に排気するガス量の低減
に結びつけることを可能にする。

加圧１−２工程に関し、吸着塔Ａ２の残留ガスを切替弁
１５Ａ２．配管７Ａ及び切替弁１５Ａ１を経由して吸着
塔Ａ１に供給する加圧１−２−ａ工程を行い、次に切替
弁１６Ａ２　、配管８Ａ及び切替弁１３Ａ１を経由して
供給する加圧Ｉ　−２−ｂ工程を行う。こ１れにより、
比較的高純度の精製ガスを吸着塔の一端から、比較的低
純度のガスを吸着塔の他端から供給することができ、ｆ
；ｒＳ　１段の吸着塔の吸着帯の長さの低減に役立つ。

吸着■工程に関し、配管２　Ａ、からの精製ガスを切替
弁１１Ｂ１を経由して供給しながら切替弁１４Ｂ１から
製品を送出する吸着ＩＴ−１工程及び切替弁１１Ｂ１を
閉じガスの供給を停止した状態で切替弁１４Ｂ１から製
品を送出する吸着１１−２工程の２段階で実施させる。

これによって、精製ガスを送出する吸着Ｉ工程と精製ガ
スを使用する加圧■−２工程及び吸着■工程の時間帯を
調節する自由度が犬となシ、よシ効釆的である。

加圧ｎ−１工程に関し、吸着塔Ｂ２の残留ガスを切替弁
１５Ｂ２．配管７Ｂ及び切替弁１５Ｂ１を経由して吸着
塔Ｂ１に供給する加圧１−１’−ａ工程を行い、次に切
替弁１６Ｂ２．配管８Ｂ及び切替弁１３Ｂ１を経由して
供給する加圧ｌｌ−１−ｂ工程を行う。これによシ、比
較的高純度の精製ガスを吸着塔の一端から、比較的低純
度のガスを他端から供給することができ、第２段の吸着
塔の吸着帯の長さの低減に役立つ。

第２表に上記改良された工程によって構成される圧力差
吸着サイクルの例を示す。

第２表 また、本発明によれば、第６図に示したように、配管１
，２Ａ、７Ａ、８Ａ、ＩＯＡ、２Ｂ、７Ｂ及び８Ｂに流
量調節弁、オリフィスなどの流量調節器２１，２２Ａ、
２３Ａ、２４Ａ、２５Ａ。

２２Ｂ、２３Ｂ及び２４Ｂを設け、吸着Ｉ工程。

加圧Ｉ−１工程、加圧Ｉ−２工程、加圧Ｉ　−３工程、
吸着■工程、加圧１−１工程、及び加圧ｎ−２工程にお
けるガス流量を調節することによシ各工程における吸着
塔内を流れるガス流速の最大値を抑制し、吸着帯の長さ
を低減することができる。

なお、上記流量調節器の一部を省略し、一部工程のガス
流量を調節して運転する方法が可能であることはいうま
でもない。

〔発明の実施例〕

実施例１ 第６図に示したガス分離装置を用い、第２表に示した圧
力差吸着サイクルで運転した。吸着塔ＡＩ、Ａ２．Ｂｌ
及びＢ２の形状はいずれも内径３８ｍｍ、充填層高１．
７ｍであり、塔内にゼオライ）５Ａを充填している。リ
ザーバ４Ａ及び製品タンク１８の内存績はそれぞれ５を
及び２ｔである。

原料ガスの組成はアルゴン７０％及び窒素３０％であシ
、圧力３８０　ｋ）＋ａ　、温度は２０ｃである。

排気Ｉ工程における到達圧力は１３　ｋｌ）ａ　、排気
■工程における到達圧力は１１　ｋｐａであった。これ
らの条件下で配管１９から製品ガスを取シ出してそのア
ルゴン純度を測定し、（１）式でアルゴンの回収率ηを
めた。ここで、Ｑｉｎは１ザイクル当シの原料ガスの供
給量（Ｎｍ８）　、　Ｑｏｕｔは１ザイクル当シの製品
の取シ出し景（ＮＩＴＩ’　）　、　Ｃｉｎは原料ガス
中のアルゴン濃度（％）、Ｃｏ旧は製品中のアルゴン濃
度（チ）である。

第７図に製品中のアルゴン濃度ＣＩｎとアルゴン回収率
ηの関係を示した。アルゴン回収率はアルゴン濃度が９
９％で７８ｇ６と高い値を示し、また、アルゴン濃度が
９９．９９９％と非常に高い場合においてもアルゴン回
収率が６８チ１となった。この結果から本発明によって
高純度の製品ガスを高収率て回収できることが実証され
た。

実が１１例２ 実施例１と同一装置、同一ザイクルで、圧力２５０ｋＰ
ａ、温度２０ｔ？の空気を原料ガスとし、排気Ｉ工程に
おける到達圧力が１５　ｋｐａ　、刊気■工穆における
到達圧力が１４　ｋＰａの条件下で運転した。その結果
、製品ガス中の酸素濃度が９５％における酸素ガスの回
収率は７３チと疫り、本発明の効果が確認された。

〔発明の効果〕

本発明によれば、多段吸着処理を実施することによる製
品の純度向上、吸着剤再生時の排気ガスを前段の吸着塔
の昇圧に使用することによる後段の排気ガスの有効利用
及び前段の吸着塔の加圧工程における塔内濃度分布の乱
れの縮小などが可能となり、高純度の製品ガスを高収率
で回収できる。

まだ、原料ガス中の有効成分の損失を少なくし経済的に
ガス分離を行うことができるとともに回収率の向上によ
シ製品ガスを製造するだめの電力原単位を低減できる効
果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本発明の一実施例になるガス分離
装置の系統図、第７図は本発明における精製ガスの純度
と収率との関係を示すグラフである。 １・・・原料ガス送入用配管、ＵＡ、ＵＪ３．ＵＸ・・
・吸着ユニツ）、２Ａ、２Ｂ、２Ｘ・・・精製ガス用配
管、３Ａ・・・初段排気ガス用配管、３Ｔ３，３Ｘ・・
・第２段以降の排気ガス用配管、４Ａ、４Ｂ・・・リザ
ーバ、ＡＩ、Ａ２．Ｂｌ、Ｂ２・・・吸着塔、６Ａ・・
・排出用７１図 ７２図 ７３図 １５図 ／ｌ’ 舅６図 ノ９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、吸着剤を充填した少なくとも１個の吸着塔を備え、
   加圧吸着操作および降圧脱着操作を順次行なう基本操作
   により混合ガスを分離する圧力差吸７ｉ′ｊユニットを
   複数ユニット直列に配管接続し、多段に亘って吸着分離
   処理を行なう混合ガスの分離方法において、第１段の圧
   力差Ｖ、着着工ニット脱着扮作における排気ガスを系外
   に排出し、第２段以降の圧力差吸着ユニットの少なくと
   も１つのユニットの降圧脱着操作時の排気ガスを前段ま
   たはそれ以前の圧力差収拾ユニットに帰還して加圧吸着
   操作のための昇圧に用いることを特徴とする混住ガスの
   分離方法。 ２、第２段以降の圧力差吸着ユニットからの排気ガスを
   前段またはそれ以前の圧力差吸着ユニットに帰還するに
   当り、リザーバを介して帰還するようにすることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の混合ガスの分離方法
   。 ３、リザーバは排気ガス量に応じて容積が変化しうる容
   器を用いることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
   の混合ガスの分離方法。 ４、圧力差吸着ユニットは少なくとも２個の吸着塔を備
   え、該圧力差吸着ユニットの少なくとも１つのユニット
   は吸着塔を交互に切替えて加圧吸着操作、降圧脱着操作
   、塔間均圧操作及び還流加圧操作を行なうようにしだも
   のを、他のユニットは吸着塔を交互に切替えて加圧吸着
   操作、降圧脱着操作及び塔間均圧操作を行なうようにし
   だものをそれぞれ用いることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項、第２項または第３項記載の混合ガスの分離方
   法。 ５、次の（ａ）〜（Ｃ）の要素、 （ａ）被処理ガス導入口及び精製カス送出口を有し、か
   つ吸Ｘｆ剤を充填した少なくとも２個の吸Ａ塔、各吸着
   塔の被処理ガス導入口を結ぶ配管、各吸着塔の精製ガス
   送出口を結ぶ配管、該吸着塔の１個の吸着塔の被処理ガ
   ス導入口と他の吸着塔の精製ガス送出口とを結ぶ配管、
   随時上記配管のうち特定の配管のみｔガスが流通−〇き
   るようにするのに必要な切替弁及び真荒ボン７′と金主
   構成要素として備えた圧力差吸、１１ユニットの複数１
   固、 （１〕ノ上記圧力差吸着ユニット相互を直列に接続する
   配管でのって、前段ユニットから送出される力１ｊ圧吸
   着操１′ドの処理ガスケ後段ユニットで内び加圧吸着操
   作するために該後段ユニットの吸着塔の被処理ガス導入
   １」へ導くだめの配管、 ＜Ｃ＞後段ユニットの降圧脱着操作を実施している吸Ａ
   ′ｌ：ｌＬ；からの排気ガスをｌ′ＪｉＪ設またはそれ
   以前りユニットの降圧脱着操作の終了した吸着塔の和装
   ガス送出口に帰還させるための配管、をＪむことを特徴
   とする混合ガス分離装置。 ６、後段ユニットの降圧脱着操作を実施している吸ｋｆ
   ！からの排気ガスを前段まだはそれ以前のユニットのμ
   ト圧脱渚操作の終了した吸着塔の精製カス送出口に帰還
   さぜるための配管にリーリーバを設けたことを特徴とす
   る特許由りの範囲第５項記載の混合ガス分離装置。