JPH09285719A - 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置 - Google Patents
六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置Info
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- JPH09285719A JPH09285719A JP8101203A JP10120396A JPH09285719A JP H09285719 A JPH09285719 A JP H09285719A JP 8101203 A JP8101203 A JP 8101203A JP 10120396 A JP10120396 A JP 10120396A JP H09285719 A JPH09285719 A JP H09285719A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス絶縁開閉装置の内部の混合ガスを回収再
生し、液化した六弗化硫黄ガスにして貯蔵するととも
に、これを気化して再充填することができる簡単かつ小
形にして能率のよい六弗化硫黄ガスの回収再生装置を得
る。 【解決手段】 混合ガス中の粉末状の金属弗化物を濾過
し除去する金属弗化物除去部、混合ガスを圧力により直
接流出、送気流出、吸気流出させる送気吸気部、水酸化
カルシウム水溶液で中和し混合ガス中の分解ガスを除去
する分解ガス除去部、混合ガスを凝縮し、合成ゼオライ
トに吸着させて水蒸気を除去する水分除去部、混合ガス
を圧縮し、液化六弗化硫黄ガスとその上に溜る他のガス
とを分離貯蔵して、液化ガスだけを流出可能にした空気
除去部、この液化ガスを加熱気化させる気化部、気化し
た六弗化硫黄ガスを減圧する減圧弁、金属弗化物除去部
の流入側の第一開閉弁、減圧弁の流出側の第二開閉弁を
備えたものである。
生し、液化した六弗化硫黄ガスにして貯蔵するととも
に、これを気化して再充填することができる簡単かつ小
形にして能率のよい六弗化硫黄ガスの回収再生装置を得
る。 【解決手段】 混合ガス中の粉末状の金属弗化物を濾過
し除去する金属弗化物除去部、混合ガスを圧力により直
接流出、送気流出、吸気流出させる送気吸気部、水酸化
カルシウム水溶液で中和し混合ガス中の分解ガスを除去
する分解ガス除去部、混合ガスを凝縮し、合成ゼオライ
トに吸着させて水蒸気を除去する水分除去部、混合ガス
を圧縮し、液化六弗化硫黄ガスとその上に溜る他のガス
とを分離貯蔵して、液化ガスだけを流出可能にした空気
除去部、この液化ガスを加熱気化させる気化部、気化し
た六弗化硫黄ガスを減圧する減圧弁、金属弗化物除去部
の流入側の第一開閉弁、減圧弁の流出側の第二開閉弁を
備えたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】ガス絶縁開閉装置に封入した
六弗化硫黄ガスは電力の開閉アークによりその分解ガス
や反応生成物を生じるが、この発明は六弗化硫黄ガスと
分解ガス、反応生成物などとの混合ガスを回収再生し、
再充填することができる六弗化硫黄ガスの回収再生装置
に関する。
六弗化硫黄ガスは電力の開閉アークによりその分解ガス
や反応生成物を生じるが、この発明は六弗化硫黄ガスと
分解ガス、反応生成物などとの混合ガスを回収再生し、
再充填することができる六弗化硫黄ガスの回収再生装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス絶縁電気機器、とくに、ガス絶縁変
圧器の内部にはポリエステルフィルム、フェノール樹脂
含浸紙の積層体、セルロース紙などの有機高分子絶縁物
を多く使用しているので、その内部で閃絡事故が発生す
ると六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスのほかに、こ
れらの有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと
の反応生成物、さらに、これらの有機高分子絶縁物その
ものの熱分解ガスを発生する。六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの分解ガスとして弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化
硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ
2 ）が生じ、有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物として四弗化炭素（ＣＦ4 ）が、ま
た、有機高分子絶縁物の熱分解ガスとして一酸化炭素
（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）が生じる。これらのガ
スのうち分解ガスや一酸化炭素（ＣＯ）は人体に有害で
ある。実公昭６３−３３６２０号公報に公告されたもの
は有害な一酸化炭素（ＣＯ）も除去しようとするもので
ある。
圧器の内部にはポリエステルフィルム、フェノール樹脂
含浸紙の積層体、セルロース紙などの有機高分子絶縁物
を多く使用しているので、その内部で閃絡事故が発生す
ると六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスのほかに、こ
れらの有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと
の反応生成物、さらに、これらの有機高分子絶縁物その
ものの熱分解ガスを発生する。六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの分解ガスとして弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化
硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ
2 ）が生じ、有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物として四弗化炭素（ＣＦ4 ）が、ま
た、有機高分子絶縁物の熱分解ガスとして一酸化炭素
（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）が生じる。これらのガ
スのうち分解ガスや一酸化炭素（ＣＯ）は人体に有害で
ある。実公昭６３−３３６２０号公報に公告されたもの
は有害な一酸化炭素（ＣＯ）も除去しようとするもので
ある。
【０００３】図１２はその実公昭６３−３３６２０号公
報に掲載された六弗化硫黄ガスの回収再生装置を示す概
略構成図である。図において、１は六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）を封入したガス絶縁変圧器、１１は真空ポンプな
どからなる吸気部、１２は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが
アークにより分解した分解ガスを水酸化カルシウム（Ｃ
ａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して除去する分
解ガス除去部、１３は粉末状の合成ゼオライトにより水
蒸気を吸着して除去する水分除去部、１４は酸化マンガ
ン、酸化銅などの金属酸化物触媒により一酸化炭素（Ｃ
Ｏ）を二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換して除去する一酸化
炭素除去部、１５は二酸化炭素（ＣＯ2 ）を水酸化カル
シウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して
除去する二酸化炭素除去部、１６は粉末状の合成ゼオラ
イトにより水蒸気を吸着して除去する水分除去部、１７
は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスなどを圧縮する圧縮機と六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを液化して貯蔵する液体タンク
とからなる液化貯蔵部、１８は開閉弁である。なお、ガ
ス絶縁変圧器１、吸気部１１、分解ガス除去部１２、水
分除去部１３、一酸化炭素除去部１４、二酸化炭素除去
部１５、水分除去部１６、液化貯蔵部１７は管路で接続
されている。
報に掲載された六弗化硫黄ガスの回収再生装置を示す概
略構成図である。図において、１は六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）を封入したガス絶縁変圧器、１１は真空ポンプな
どからなる吸気部、１２は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが
アークにより分解した分解ガスを水酸化カルシウム（Ｃ
ａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して除去する分
解ガス除去部、１３は粉末状の合成ゼオライトにより水
蒸気を吸着して除去する水分除去部、１４は酸化マンガ
ン、酸化銅などの金属酸化物触媒により一酸化炭素（Ｃ
Ｏ）を二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換して除去する一酸化
炭素除去部、１５は二酸化炭素（ＣＯ2 ）を水酸化カル
シウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して
除去する二酸化炭素除去部、１６は粉末状の合成ゼオラ
イトにより水蒸気を吸着して除去する水分除去部、１７
は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスなどを圧縮する圧縮機と六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを液化して貯蔵する液体タンク
とからなる液化貯蔵部、１８は開閉弁である。なお、ガ
ス絶縁変圧器１、吸気部１１、分解ガス除去部１２、水
分除去部１３、一酸化炭素除去部１４、二酸化炭素除去
部１５、水分除去部１６、液化貯蔵部１７は管路で接続
されている。
【０００４】次に、その機能について説明する。ガス絶
縁変圧器１１には絶縁媒体として数気圧の六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスが封入されているが、内部で閃絡事故な
どが発生すると、弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫
黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（Ｓ
Ｏ2 ）、四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素（ＣＯ）、
二酸化炭素（ＣＯ2 ）などの不純物ガスと六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガスとなる。開閉弁１８を開く
と、この混合ガスは所定気圧以上のときは吸気部１１が
作動することなく分解ガス除去１２に流入するが、所定
気圧以下になると吸気部１１が自動的に作動してガス絶
縁変圧器１の内部に残留した混合ガスを吸気し、分解ガ
ス除去部１２へ流入させる。分解ガス除去部１２では弗
化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化
水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2 ）のほとんどが水酸化カルシウム（Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 ）の過剰水溶液と中和して除去され、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素
（ＣＯ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除
去部１３ではこの混合ガスの中の水蒸気を粉末状の合成
ゼオライトに吸着させて除去する。これは次の一酸化炭
素除去部１４に用いる金属酸化物触媒が湿った状態では
活性が低下するので、これを防ぐためでもある。一酸化
炭素除去部１４では一酸化炭素（ＣＯ）は金属酸化物触
媒により二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換され、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスとこの二酸化炭素（ＣＯ2 ）、四弗化炭
素（ＣＦ4 ）との混合ガスが流出する。二酸化炭素除去
部１５ではこの混合ガス中の二酸化炭素（ＣＯ2）が水
酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の水溶液と中和して
除去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）と四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除去
部１６ではこの水蒸気が合成ゼオライトに吸着されて除
去される。最後に、液化貯蔵部１７で六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと微量の四弗化炭素（ＣＦ4 ）との混合ガスを
圧縮機で圧縮し、液体タンクに容れて六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを液化して貯蔵する。液体タンクの液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）の上には気体状態の四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）が溜り、純度の高い液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）との分離が行なわれ
る。なお、四弗化炭素（ＣＦ4）はごく微量であるし、
人体にも無害である。
縁変圧器１１には絶縁媒体として数気圧の六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスが封入されているが、内部で閃絡事故な
どが発生すると、弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫
黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（Ｓ
Ｏ2 ）、四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素（ＣＯ）、
二酸化炭素（ＣＯ2 ）などの不純物ガスと六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガスとなる。開閉弁１８を開く
と、この混合ガスは所定気圧以上のときは吸気部１１が
作動することなく分解ガス除去１２に流入するが、所定
気圧以下になると吸気部１１が自動的に作動してガス絶
縁変圧器１の内部に残留した混合ガスを吸気し、分解ガ
ス除去部１２へ流入させる。分解ガス除去部１２では弗
化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化
水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2 ）のほとんどが水酸化カルシウム（Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 ）の過剰水溶液と中和して除去され、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素
（ＣＯ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除
去部１３ではこの混合ガスの中の水蒸気を粉末状の合成
ゼオライトに吸着させて除去する。これは次の一酸化炭
素除去部１４に用いる金属酸化物触媒が湿った状態では
活性が低下するので、これを防ぐためでもある。一酸化
炭素除去部１４では一酸化炭素（ＣＯ）は金属酸化物触
媒により二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換され、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスとこの二酸化炭素（ＣＯ2 ）、四弗化炭
素（ＣＦ4 ）との混合ガスが流出する。二酸化炭素除去
部１５ではこの混合ガス中の二酸化炭素（ＣＯ2）が水
酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の水溶液と中和して
除去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）と四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除去
部１６ではこの水蒸気が合成ゼオライトに吸着されて除
去される。最後に、液化貯蔵部１７で六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと微量の四弗化炭素（ＣＦ4 ）との混合ガスを
圧縮機で圧縮し、液体タンクに容れて六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを液化して貯蔵する。液体タンクの液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）の上には気体状態の四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）が溜り、純度の高い液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）との分離が行なわれ
る。なお、四弗化炭素（ＣＦ4）はごく微量であるし、
人体にも無害である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ガス絶縁開閉装置、ガ
ス絶縁変圧器が普及するのに伴なって六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスの使用量も大気中への排出量も増加している。
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスは大気中での寿命が極めて長
く、二酸化炭素（ＣＯ2 ）ガスに対する地球温暖化指数
（ＧＷＰ）の約２５，０００倍に達するとされている
が、現在の状況では大気中の六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
の濃度は極めて低く、地球の温暖化への影響はまだ少な
いと考えられている。しかし、大気中への排出量がこの
まま増加すると、長期的にみてその影響は無視すること
ができなくなり、国際電気委員会（ＩＥＣ）では六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの取扱いに関するガイドラインを示
している。したがって、ガス絶縁開閉装置、ガス絶縁変
圧器の分解点検などを行なう際に内部に封入した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを回収、再生することは重要な課題
である。
ス絶縁変圧器が普及するのに伴なって六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスの使用量も大気中への排出量も増加している。
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスは大気中での寿命が極めて長
く、二酸化炭素（ＣＯ2 ）ガスに対する地球温暖化指数
（ＧＷＰ）の約２５，０００倍に達するとされている
が、現在の状況では大気中の六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
の濃度は極めて低く、地球の温暖化への影響はまだ少な
いと考えられている。しかし、大気中への排出量がこの
まま増加すると、長期的にみてその影響は無視すること
ができなくなり、国際電気委員会（ＩＥＣ）では六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの取扱いに関するガイドラインを示
している。したがって、ガス絶縁開閉装置、ガス絶縁変
圧器の分解点検などを行なう際に内部に封入した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを回収、再生することは重要な課題
である。
【０００６】ガス絶縁開閉装置は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスを絶縁媒体および消弧媒体として使用しているの
で、電力を開閉する際の開閉アークにより主に、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生する。したがっ
て、内部を分解して点検する頻度はガス絶縁変圧器の内
部で閃絡事故などが発生する場合よりもはるかに高く、
また、上記のような観点からすれば、封入した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスを回収再生して再利用することを考え
ねばならない。
ガスを絶縁媒体および消弧媒体として使用しているの
で、電力を開閉する際の開閉アークにより主に、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生する。したがっ
て、内部を分解して点検する頻度はガス絶縁変圧器の内
部で閃絡事故などが発生する場合よりもはるかに高く、
また、上記のような観点からすれば、封入した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスを回収再生して再利用することを考え
ねばならない。
【０００７】ところが、従来の技術で引用した実公昭６
３−３３６２０号公報に記載のものは有機高分子絶縁物
を多く使用したガス絶縁変圧器を対象として有機高分子
絶縁物の熱分解ガスである一酸化炭素（ＣＯ）をも除去
することを目的としている。したがって、ガス絶縁開閉
装置のように使用する有機高分子絶縁物の種類も量も少
なく、電力を開閉する際の開閉アークにより主に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生して、一酸化炭素
（ＣＯ）を発生しないものを対象とする六弗化硫黄ガス
の回収再生装置とは用途が異なって複雑、大形であり、
また、ガス絶縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物を
除去することができないので、吸気部などに不具合を生
じて能率が悪いと云う課題があった。
３−３３６２０号公報に記載のものは有機高分子絶縁物
を多く使用したガス絶縁変圧器を対象として有機高分子
絶縁物の熱分解ガスである一酸化炭素（ＣＯ）をも除去
することを目的としている。したがって、ガス絶縁開閉
装置のように使用する有機高分子絶縁物の種類も量も少
なく、電力を開閉する際の開閉アークにより主に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生して、一酸化炭素
（ＣＯ）を発生しないものを対象とする六弗化硫黄ガス
の回収再生装置とは用途が異なって複雑、大形であり、
また、ガス絶縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物を
除去することができないので、吸気部などに不具合を生
じて能率が悪いと云う課題があった。
【０００８】この発明の第一の目的はガス絶縁開閉装置
に封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開
閉アークにより分解して生じた分解ガス、開閉接触子お
よび消弧室の部材物質と反応して生じた反応生成物、窒
素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスとの混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを再
び、気化してガス絶縁開閉装置などに再充填することが
できる簡単かつ小形にして能率のよい六弗化硫黄ガスの
回収再生装置を得ることである。
に封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開
閉アークにより分解して生じた分解ガス、開閉接触子お
よび消弧室の部材物質と反応して生じた反応生成物、窒
素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスとの混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを再
び、気化してガス絶縁開閉装置などに再充填することが
できる簡単かつ小形にして能率のよい六弗化硫黄ガスの
回収再生装置を得ることである。
【０００９】この発明の第二の目的はガス絶縁開閉装置
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化して再充填するに
先立って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空
にすることができる簡単かつ小形にして能率のよい六弗
化硫黄ガスの回収再生装置を得ることである。
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化して再充填するに
先立って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空
にすることができる簡単かつ小形にして能率のよい六弗
化硫黄ガスの回収再生装置を得ることである。
【００１０】この発明の第三の目的はガス絶縁開閉装置
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）を再び気化して再充填するに先立
って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にす
ることができる簡単かつ小形にして能率がよく、また、
必要なところへ移動させることができる六弗化硫黄ガス
の移動式回収再生装置を得ることである。
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）を再び気化して再充填するに先立
って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にす
ることができる簡単かつ小形にして能率がよく、また、
必要なところへ移動させることができる六弗化硫黄ガス
の移動式回収再生装置を得ることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る六弗化硫黄ガスの回収再生装置はガス絶縁開閉装置に
封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開閉
アークにより分解して生じた酸性の分解ガス、開閉アー
クにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部とガス絶縁開
閉装置の開閉接触子および消弧室に用いた部材物質とが
反応して生じた反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）との混合
ガスを流入させ、フィルタ容器に装着したフィルタに通
して固体状態の反応生成物である粉末状の金属弗化物を
濾過して除去する金属弗化物除去部、この金属弗化物除
去部から流入する混合ガスの圧力がガス絶縁開閉装置の
封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は直接流出さ
せ、所定気圧と１気圧との間はブロアで送気して流出さ
せ、１気圧と所定真空度との間は真空ポンプで吸気して
流出させる送気吸気部、この送気吸気部から流入する混
合ガスを反応容器に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 ）の過剰水溶液に浸漬した多孔流出管から流出さ
せ、分解ガスを中和して除去する分解ガス除去部、この
分解ガス除去部から流入する混合ガスを通して冷却容器
に装着した凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器に装填し
た粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロ
ーム）に吸着させて水蒸気を除去する水分除去部、この
水分除去部から流入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液
化容器に容れ、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとそ
の上に溜る気体状態の反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵するとともに、液化容器をし
て液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出可能に
した空気除去部、この空気除去部から流入する液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に容れヒータで加
熱して気化させる気化部、この気化部から流入する六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、金
属弗化物除去部の流入側を開閉する第一開閉弁、減圧弁
の流出側を開閉する第二開閉弁を備えたものである。し
たがって、全体の構成が簡単かつ小形であり、また、ガ
ス絶縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物によって送
気吸気部などに不具合を生じることがなく、さらに、ガ
ス絶縁開閉装置の内部の混合ガスをその圧力が高い間は
直接流出させ、低くなると強制流出させるので、能率よ
く混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスにして貯蔵することができる。
る六弗化硫黄ガスの回収再生装置はガス絶縁開閉装置に
封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開閉
アークにより分解して生じた酸性の分解ガス、開閉アー
クにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部とガス絶縁開
閉装置の開閉接触子および消弧室に用いた部材物質とが
反応して生じた反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）との混合
ガスを流入させ、フィルタ容器に装着したフィルタに通
して固体状態の反応生成物である粉末状の金属弗化物を
濾過して除去する金属弗化物除去部、この金属弗化物除
去部から流入する混合ガスの圧力がガス絶縁開閉装置の
封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は直接流出さ
せ、所定気圧と１気圧との間はブロアで送気して流出さ
せ、１気圧と所定真空度との間は真空ポンプで吸気して
流出させる送気吸気部、この送気吸気部から流入する混
合ガスを反応容器に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2 ）の過剰水溶液に浸漬した多孔流出管から流出さ
せ、分解ガスを中和して除去する分解ガス除去部、この
分解ガス除去部から流入する混合ガスを通して冷却容器
に装着した凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器に装填し
た粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロ
ーム）に吸着させて水蒸気を除去する水分除去部、この
水分除去部から流入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液
化容器に容れ、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとそ
の上に溜る気体状態の反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵するとともに、液化容器をし
て液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出可能に
した空気除去部、この空気除去部から流入する液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に容れヒータで加
熱して気化させる気化部、この気化部から流入する六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、金
属弗化物除去部の流入側を開閉する第一開閉弁、減圧弁
の流出側を開閉する第二開閉弁を備えたものである。し
たがって、全体の構成が簡単かつ小形であり、また、ガ
ス絶縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物によって送
気吸気部などに不具合を生じることがなく、さらに、ガ
ス絶縁開閉装置の内部の混合ガスをその圧力が高い間は
直接流出させ、低くなると強制流出させるので、能率よ
く混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスにして貯蔵することができる。
【００１２】この発明の請求項２に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その水分除去部の乾燥容器に装填した粉末状の
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）を加
熱する乾燥ヒータ、乾燥容器の内部の混合ガスを外部へ
排出する排気ポンプ、乾燥容器の流入側を開閉する第一
バルブ、乾燥容器の流出側を開閉する第二バルブ、排気
ポンプの流入側を開閉する第三バルブを設けたものであ
る。したがって、合成ゼオライト（細孔径：約９オング
ストローム）の吸着した水分の量が増えて吸着能力が低
下すると、乾燥ヒータで合成ゼオライト（細孔径：約９
オングストローム）を加熱して水分を蒸発させ、その水
蒸気を排気ポンプで外部へ排出すれば、吸着能力が回復
する。
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その水分除去部の乾燥容器に装填した粉末状の
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）を加
熱する乾燥ヒータ、乾燥容器の内部の混合ガスを外部へ
排出する排気ポンプ、乾燥容器の流入側を開閉する第一
バルブ、乾燥容器の流出側を開閉する第二バルブ、排気
ポンプの流入側を開閉する第三バルブを設けたものであ
る。したがって、合成ゼオライト（細孔径：約９オング
ストローム）の吸着した水分の量が増えて吸着能力が低
下すると、乾燥ヒータで合成ゼオライト（細孔径：約９
オングストローム）を加熱して水分を蒸発させ、その水
蒸気を排気ポンプで外部へ排出すれば、吸着能力が回復
する。
【００１３】この発明の請求項３に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の圧縮機から流出する混合ガス
を通して第一空気吸着容器に装填した粉末状の合成ゼオ
ライト（細孔径：約５オングストローム）に混合ガス中
の窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を吸着させたのち、
液化容器に流入させるので、液化容器の液化した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスの純度が高くなる。
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の圧縮機から流出する混合ガス
を通して第一空気吸着容器に装填した粉末状の合成ゼオ
ライト（細孔径：約５オングストローム）に混合ガス中
の窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を吸着させたのち、
液化容器に流入させるので、液化容器の液化した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスの純度が高くなる。
【００１４】この発明の請求項４に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の液化容器に容れた液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る気体状態の反応生成
物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通して第二空気吸着
容器に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約５
オングストローム）に窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）
を吸着させたのち、残りの混合ガスを所定気圧に減圧し
て圧縮機の流入側に戻すので、液化容器の液化した六弗
化硫黄ガス（ＳＦ6 ）の上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄ガス
（ＳＦ6 ）の純度が高くなる。
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の液化容器に容れた液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る気体状態の反応生成
物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通して第二空気吸着
容器に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約５
オングストローム）に窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）
を吸着させたのち、残りの混合ガスを所定気圧に減圧し
て圧縮機の流入側に戻すので、液化容器の液化した六弗
化硫黄ガス（ＳＦ6 ）の上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄ガス
（ＳＦ6 ）の純度が高くなる。
【００１５】この発明の請求項５に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、この送気吸気部の真空ポンプの流出側を二つに
分岐して、一方の分解ガス除去部への流入側を開閉する
第三開閉弁、他方の大気中への排出側を開閉する第四開
閉弁を設けるので、空気除去部の液化容器に貯蔵する液
化した六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を再び気化して所定気
圧に減圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置
などの内部を排気して真空にすることができる。
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、この送気吸気部の真空ポンプの流出側を二つに
分岐して、一方の分解ガス除去部への流入側を開閉する
第三開閉弁、他方の大気中への排出側を開閉する第四開
閉弁を設けるので、空気除去部の液化容器に貯蔵する液
化した六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を再び気化して所定気
圧に減圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置
などの内部を排気して真空にすることができる。
【００１６】この発明の請求項６に係る六弗化硫黄ガス
の移動式回収再生装置は請求項５の六弗化硫黄ガスの回
収再生装置の金属弗化物除去部、送気吸気部、分解ガス
除去部、水分除去部、空気除去部、気化部、減圧弁、第
一開閉弁、第二開閉弁を台車に装着して移動可能にした
ものであるので、必要なところへ移動してガス絶縁開閉
装置の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄ガス（ＳＦ6 ）にして貯蔵したり、この液化した六弗
化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を、再び、気化して所定気圧に減
圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置などの
内部を排気して真空にすることができる。
の移動式回収再生装置は請求項５の六弗化硫黄ガスの回
収再生装置の金属弗化物除去部、送気吸気部、分解ガス
除去部、水分除去部、空気除去部、気化部、減圧弁、第
一開閉弁、第二開閉弁を台車に装着して移動可能にした
ものであるので、必要なところへ移動してガス絶縁開閉
装置の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄ガス（ＳＦ6 ）にして貯蔵したり、この液化した六弗
化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を、再び、気化して所定気圧に減
圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置などの
内部を排気して真空にすることができる。
【００１７】
実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を示す全
体構成図である。図において、２１は六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを封入したガス絶縁開閉装置、２１は開閉アー
クにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部と開閉接触子
の部材物質とが反応して生じた反応生成物の金属弗化物
をフィルタ容器に装着したフィルタにより濾過して除去
する金属弗化物除去部、２２は金属弗化物除去部２１か
ら流入する混合ガスの圧力が封入気圧と１気圧以上の所
定気圧との間は直接流出させ、この所定気圧と１気圧と
の間はブロアで送気して流出させ、１気圧と所定真空度
との間は真空ポンプで吸気して流出させる送気吸気部、
２３は送気吸気部２２から流入する混合ガスを反応容器
に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水
溶液に浸漬した多孔流出管から流出させ、分解ガスを中
和して除去する分解ガス除去部、２４は分解ガス除去部
２３から流入する混合ガスを通じて冷却容器に装着した
凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器に装填した粉末状の
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）に吸
着させてその水蒸気を除去する水分除去部、２５は水分
除去部２４から流入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液
化容器に容れ、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとそ
の上に溜る気体状態の反応生成物、窒素（Ｎ2）、酸素
（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵するとともに、液化容器から
液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけが流出できるよ
うにした空気除去部、２６は空気除去部２５から流入す
る液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に入
れ、ヒータで加熱して気化させる気化部、２７は気化部
２６から流入する六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧
に減圧する減圧弁、２８は金属弗化物除去部２１の流入
側を開閉する第一開閉弁、２９は減圧弁２７の流出側を
開閉する第二開閉弁である。なお、ガス絶縁開閉装置
２、第一開閉弁２８、金属弗化物除去部２１、送気吸気
部２２、分解ガス除去部２３、水分除去部２４、空気除
去部２５、気化部２６、減圧弁２７、第二開閉弁２９は
管路で接続されている。
体構成図である。図において、２１は六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを封入したガス絶縁開閉装置、２１は開閉アー
クにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部と開閉接触子
の部材物質とが反応して生じた反応生成物の金属弗化物
をフィルタ容器に装着したフィルタにより濾過して除去
する金属弗化物除去部、２２は金属弗化物除去部２１か
ら流入する混合ガスの圧力が封入気圧と１気圧以上の所
定気圧との間は直接流出させ、この所定気圧と１気圧と
の間はブロアで送気して流出させ、１気圧と所定真空度
との間は真空ポンプで吸気して流出させる送気吸気部、
２３は送気吸気部２２から流入する混合ガスを反応容器
に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水
溶液に浸漬した多孔流出管から流出させ、分解ガスを中
和して除去する分解ガス除去部、２４は分解ガス除去部
２３から流入する混合ガスを通じて冷却容器に装着した
凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器に装填した粉末状の
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）に吸
着させてその水蒸気を除去する水分除去部、２５は水分
除去部２４から流入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液
化容器に容れ、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとそ
の上に溜る気体状態の反応生成物、窒素（Ｎ2）、酸素
（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵するとともに、液化容器から
液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけが流出できるよ
うにした空気除去部、２６は空気除去部２５から流入す
る液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に入
れ、ヒータで加熱して気化させる気化部、２７は気化部
２６から流入する六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧
に減圧する減圧弁、２８は金属弗化物除去部２１の流入
側を開閉する第一開閉弁、２９は減圧弁２７の流出側を
開閉する第二開閉弁である。なお、ガス絶縁開閉装置
２、第一開閉弁２８、金属弗化物除去部２１、送気吸気
部２２、分解ガス除去部２３、水分除去部２４、空気除
去部２５、気化部２６、減圧弁２７、第二開閉弁２９は
管路で接続されている。
【００１８】図２は金属弗化物除去部２１の概念を示す
断面図、図３は送気吸気部２２を示す構成図、図４は分
解ガス除去部２３の概念を示す断面図、図５は水分除去
部２４の概念を示す断面図、図６は空気除去部２５の概
念を示す断面図、図７は気化部２６の概念を示す断面図
である。図２において、２１１は密閉したフィルタ容
器、２１２はフィルタ容器２１１の内部に装着した２０
μｍメッシュのフィルタであり、金属弗化物除去部２１
はフィルタ容器２１１とフィルタ２１２とからなる。図
３において、２２１、２２２、２２３はそれぞれ第一電
磁弁、第二電磁弁、第三電磁弁、２２４はブロア、２２
５は真空ポンプ、２２６は送気吸気部２２の入口側の圧
力を検出する圧力センサ、２２７は圧力センサ２２６の
圧力信号により第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、
第三電磁弁２２３とブロア２２４、真空ポンプ２２５を
制御する制御器であり、送気吸気部２２は第一電磁弁２
２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２３、ブロア２
２４、真空ポンプ２２５、圧力センサ２６、制御器２７
からなる。図４において、２３１は密閉した反応容器、
２３２は反応容器２３１に容れた水酸化カルシウム（Ｃ
ａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液、２３３は水酸化カルシウ
ム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液２３２に浸漬した多
孔流出管であり、分解ガス除去部２３は反応容器２３
１、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液
２３２、多孔流出管２３３からなる。図５において、２
４１は密閉した冷却容器、２４２は冷却容器２４１の内
部に装着した凝縮器、２４３は密閉した乾燥容器、２４
４は乾燥容器２４３に装填した粉末状の合成ゼオライト
（細孔径：約９オングストローム）であり、水分除去部
２４は冷却容器２４１、凝縮器２４２、乾燥容器２４
３、合成ゼオライト２４４からなる。図６において、２
５１は混合ガスを圧縮する圧縮機、２５２は液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとその上に溜る気体状態の反応
生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を容れ、分離して
貯蔵する液化容器で、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スだけを底部近くから流出させるようになっている。空
気除去部２５は圧縮機２５１、液化容器２５２からな
る。図７において、２６１は液化した六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを容れ気化させる気化容器、２６２は気化容器
に装着して液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを加熱す
るヒータ、２６３は気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
にごく僅かに含まれる可能性がある水蒸気を除去するた
めの再乾燥容器、２６４は再乾燥容器２６３に装填した
粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）であり、気化部２６は気化容器２６１、ヒータ２６
２、再乾燥容器２６３、合成ゼオライト２６４からな
る。
断面図、図３は送気吸気部２２を示す構成図、図４は分
解ガス除去部２３の概念を示す断面図、図５は水分除去
部２４の概念を示す断面図、図６は空気除去部２５の概
念を示す断面図、図７は気化部２６の概念を示す断面図
である。図２において、２１１は密閉したフィルタ容
器、２１２はフィルタ容器２１１の内部に装着した２０
μｍメッシュのフィルタであり、金属弗化物除去部２１
はフィルタ容器２１１とフィルタ２１２とからなる。図
３において、２２１、２２２、２２３はそれぞれ第一電
磁弁、第二電磁弁、第三電磁弁、２２４はブロア、２２
５は真空ポンプ、２２６は送気吸気部２２の入口側の圧
力を検出する圧力センサ、２２７は圧力センサ２２６の
圧力信号により第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、
第三電磁弁２２３とブロア２２４、真空ポンプ２２５を
制御する制御器であり、送気吸気部２２は第一電磁弁２
２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２３、ブロア２
２４、真空ポンプ２２５、圧力センサ２６、制御器２７
からなる。図４において、２３１は密閉した反応容器、
２３２は反応容器２３１に容れた水酸化カルシウム（Ｃ
ａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液、２３３は水酸化カルシウ
ム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液２３２に浸漬した多
孔流出管であり、分解ガス除去部２３は反応容器２３
１、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液
２３２、多孔流出管２３３からなる。図５において、２
４１は密閉した冷却容器、２４２は冷却容器２４１の内
部に装着した凝縮器、２４３は密閉した乾燥容器、２４
４は乾燥容器２４３に装填した粉末状の合成ゼオライト
（細孔径：約９オングストローム）であり、水分除去部
２４は冷却容器２４１、凝縮器２４２、乾燥容器２４
３、合成ゼオライト２４４からなる。図６において、２
５１は混合ガスを圧縮する圧縮機、２５２は液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとその上に溜る気体状態の反応
生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を容れ、分離して
貯蔵する液化容器で、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スだけを底部近くから流出させるようになっている。空
気除去部２５は圧縮機２５１、液化容器２５２からな
る。図７において、２６１は液化した六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを容れ気化させる気化容器、２６２は気化容器
に装着して液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを加熱す
るヒータ、２６３は気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
にごく僅かに含まれる可能性がある水蒸気を除去するた
めの再乾燥容器、２６４は再乾燥容器２６３に装填した
粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）であり、気化部２６は気化容器２６１、ヒータ２６
２、再乾燥容器２６３、合成ゼオライト２６４からな
る。
【００１９】ガス絶縁開閉装置の内部に使用している有
機高分子絶縁物は円筒形状の金属容器の内部に導電部分
を支持するとともに、ガス空間を仕切る絶縁スペーサの
エポキシ樹脂、消弧室を金属容器から支持する支持物の
エポキシ樹脂、開閉接触子を操作する操作ロッドに用い
るエポキシ樹脂、消弧室に装着する絶縁ノズルに用いる
弗素樹脂であり、種類、使用量ともにガス絶縁変圧器の
ように多くはない。このうち、電力を開閉する際の開閉
アークに触れるのは絶縁ノズルの弗素樹脂だけである。
したがって、開閉アークによって生じるガスは六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスである弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、弗素樹脂と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物である四弗化炭素（ＣＦ4 ）、この
他ごく微量の二酸化炭素（ＣＯ2）と水蒸気などであ
る。これらのガスに加えて、ガス絶縁開閉装置に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを充填する際にその内部を排気して
真空にするが、そのときに残留する空気の窒素（Ｎ2 ）
と酸素（Ｏ2 ）とが混在する。また、開閉接触子には銅
（Ｃｕ）とタングステン（Ｗ）との焼結合金が用いられ
るが、開閉アークによりこれらの金属と六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスとの反応生成物である粉末状の弗化銅（Ｃｕ
Ｆ2 ）と弗化タングステン（ＷＦ2 ）とが生じる。
機高分子絶縁物は円筒形状の金属容器の内部に導電部分
を支持するとともに、ガス空間を仕切る絶縁スペーサの
エポキシ樹脂、消弧室を金属容器から支持する支持物の
エポキシ樹脂、開閉接触子を操作する操作ロッドに用い
るエポキシ樹脂、消弧室に装着する絶縁ノズルに用いる
弗素樹脂であり、種類、使用量ともにガス絶縁変圧器の
ように多くはない。このうち、電力を開閉する際の開閉
アークに触れるのは絶縁ノズルの弗素樹脂だけである。
したがって、開閉アークによって生じるガスは六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスである弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、弗素樹脂と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物である四弗化炭素（ＣＦ4 ）、この
他ごく微量の二酸化炭素（ＣＯ2）と水蒸気などであ
る。これらのガスに加えて、ガス絶縁開閉装置に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを充填する際にその内部を排気して
真空にするが、そのときに残留する空気の窒素（Ｎ2 ）
と酸素（Ｏ2 ）とが混在する。また、開閉接触子には銅
（Ｃｕ）とタングステン（Ｗ）との焼結合金が用いられ
るが、開閉アークによりこれらの金属と六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスとの反応生成物である粉末状の弗化銅（Ｃｕ
Ｆ2 ）と弗化タングステン（ＷＦ2 ）とが生じる。
【００２０】次に、実施の形態１の機能について説明す
る。第二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くと弗
化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化
水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガ
スに弗化銅（ＣｕＦ2 ）、弗化タングステン（ＷＦ2 ）
の粉末状の金属弗化物がまじってガス絶縁開閉装置から
流出する。金属弗化物除去部２１では粉末状の金属弗化
物がフィルタで濾過されてフィルタ容器２１１の底に溜
り、混合ガスは流出する。送気吸気部２２では圧力セン
サ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制御器２２７で第
一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２
３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制御する。圧力
が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は第一電磁弁
２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁弁２２３を閉
にして混合ガスを直接流出させる。圧力が所定気圧と１
気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一電磁弁２２１
と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２４を作動さ
せ、送気して流出させる。また、圧力が１気圧と所定真
空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２２５を作動
させ、吸気して流出させる。これにより回収再生の速度
が早くなり、また、粉末状の金属弗化物が濾過して除去
されるので、ブロア２２４、真空ポンプ２２５に不具合
を生じることはない。分解ガス除去部２３では多孔流出
管２３３から混合ガスを流出させ、弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）などの酸性
ガスを水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶
液で中和して除去する。分解ガス除去部２３からは六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気との混合ガスが流出す
るが、反応熱によって温度が上昇し、多くの水蒸気を含
んでいる。この混合ガスが水分除去部２４に流入する
と、凝縮器２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に
溜り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２
４３で合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）に吸着されて除去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
と四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）
との混合ガスが流出する。空気除去部２５ではこの乾燥
した混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２
に容れる。液化容器２５２の中の混合ガスの圧力が高く
なると、沸点の高い六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化し
て溜り、その上に沸点の低い四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒
素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）が気体状態で溜る。これによ
り純度の高い液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが四弗
化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離
して貯蔵される。液化容器２５２に貯蔵する液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化してガス絶縁開閉装
置などに再充填するには、第一開閉弁２８を閉じ、第二
開閉弁２９を開いて液化容器２５２の底部近くから液化
した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出させ、気化部
２６の気化容器２６１に容れてヒータ２６２で加熱す
る。気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにはごく僅かに
水蒸気が含まれる可能性があるので、再乾燥容器２６３
の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）に
吸着させて完全に除去する。その後、六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充填す
る。なお、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置の
内部を排気して、真空にしておくことが必要である。こ
の実施の形態１ではガス絶縁開閉装置の内部の混合ガス
について説明したが、この発明の六弗化硫黄ガスの回収
再生装置はガス絶縁開閉装置に限らず、開閉器部分を有
しないガス絶縁母線やガス絶縁変圧器でも使用すること
ができる。
る。第二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くと弗
化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化
水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガ
スに弗化銅（ＣｕＦ2 ）、弗化タングステン（ＷＦ2 ）
の粉末状の金属弗化物がまじってガス絶縁開閉装置から
流出する。金属弗化物除去部２１では粉末状の金属弗化
物がフィルタで濾過されてフィルタ容器２１１の底に溜
り、混合ガスは流出する。送気吸気部２２では圧力セン
サ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制御器２２７で第
一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２
３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制御する。圧力
が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は第一電磁弁
２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁弁２２３を閉
にして混合ガスを直接流出させる。圧力が所定気圧と１
気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一電磁弁２２１
と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２４を作動さ
せ、送気して流出させる。また、圧力が１気圧と所定真
空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２２５を作動
させ、吸気して流出させる。これにより回収再生の速度
が早くなり、また、粉末状の金属弗化物が濾過して除去
されるので、ブロア２２４、真空ポンプ２２５に不具合
を生じることはない。分解ガス除去部２３では多孔流出
管２３３から混合ガスを流出させ、弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）などの酸性
ガスを水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶
液で中和して除去する。分解ガス除去部２３からは六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気との混合ガスが流出す
るが、反応熱によって温度が上昇し、多くの水蒸気を含
んでいる。この混合ガスが水分除去部２４に流入する
と、凝縮器２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に
溜り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２
４３で合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）に吸着されて除去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
と四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）
との混合ガスが流出する。空気除去部２５ではこの乾燥
した混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２
に容れる。液化容器２５２の中の混合ガスの圧力が高く
なると、沸点の高い六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化し
て溜り、その上に沸点の低い四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒
素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）が気体状態で溜る。これによ
り純度の高い液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが四弗
化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離
して貯蔵される。液化容器２５２に貯蔵する液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化してガス絶縁開閉装
置などに再充填するには、第一開閉弁２８を閉じ、第二
開閉弁２９を開いて液化容器２５２の底部近くから液化
した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出させ、気化部
２６の気化容器２６１に容れてヒータ２６２で加熱す
る。気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにはごく僅かに
水蒸気が含まれる可能性があるので、再乾燥容器２６３
の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）に
吸着させて完全に除去する。その後、六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充填す
る。なお、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置の
内部を排気して、真空にしておくことが必要である。こ
の実施の形態１ではガス絶縁開閉装置の内部の混合ガス
について説明したが、この発明の六弗化硫黄ガスの回収
再生装置はガス絶縁開閉装置に限らず、開閉器部分を有
しないガス絶縁母線やガス絶縁変圧器でも使用すること
ができる。
【００２１】実施の形態２．実施の形態２は実施の形態
１の水分除去部２４の構成を異にするものである。図８
はその水分除去部２４を示す概念構成図であり、図にお
いて、２４１は冷却容器、２４２は凝縮機、２４３は乾
燥容器、２４４は合成ゼオライト（細孔径：約９オング
ストローム）であり、実施の形態１で説明したとおりで
ある。２４５は乾燥容器２４３の流入側を開閉する第一
バルブ、２４６は乾燥容器２４３の流出側を開閉する第
二バルブ、２４７は乾燥容器２４３の内部の混合ガスを
外部へ排出する排気ポンプ、２４８は排気ポンプの流入
側を開閉する第三バルブ、２４９は乾燥容器２４３に装
填した合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）を加熱乾燥させる乾燥ヒータである。
１の水分除去部２４の構成を異にするものである。図８
はその水分除去部２４を示す概念構成図であり、図にお
いて、２４１は冷却容器、２４２は凝縮機、２４３は乾
燥容器、２４４は合成ゼオライト（細孔径：約９オング
ストローム）であり、実施の形態１で説明したとおりで
ある。２４５は乾燥容器２４３の流入側を開閉する第一
バルブ、２４６は乾燥容器２４３の流出側を開閉する第
二バルブ、２４７は乾燥容器２４３の内部の混合ガスを
外部へ排出する排気ポンプ、２４８は排気ポンプの流入
側を開閉する第三バルブ、２４９は乾燥容器２４３に装
填した合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロー
ム）を加熱乾燥させる乾燥ヒータである。
【００２２】実施の形態２の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは水分除去部２４の機能に
ついて説明する。分解ガス除去部２３では弗化チオニル
（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（Ｈ
Ｆ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）な
どの酸性ガスが水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の
過剰水溶液で中和して除去されるので、分解ガス除去部
２３から流出する六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭
素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と
の混合ガスは反応熱によって温度が上昇し、水蒸気の量
が多い。この混合ガスが水分除去部２４に流入すると、
凝縮機２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に溜
り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２４
３に装填した合成ゼオライト（細孔径：約９オングスト
ローム）に吸着されて除去されるが、合成ゼオライト
（細孔径：約９オングストローム）の吸着する水蒸気の
量が蓄積してくると吸着能力が次第に低下する。このよ
うな場合に、第一バルブ２４５と第二バルブ２４６を閉
じ、第三バルブ２４８を開いて乾燥ヒータ２４９で合成
ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）を加熱乾
燥させ、排気ポンプ２４７で水蒸気を多く含んだ混合ガ
スを外部へ排出すれば、合成ゼオライト（細孔径：約９
オングストローム）の吸着能力が回復する。したがっ
て、新しい合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロ
ーム）と交換する必要がなく、保守が簡単になり、コス
トも安くなる。
のそれと同じである。ここでは水分除去部２４の機能に
ついて説明する。分解ガス除去部２３では弗化チオニル
（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（Ｈ
Ｆ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）な
どの酸性ガスが水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の
過剰水溶液で中和して除去されるので、分解ガス除去部
２３から流出する六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭
素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と
の混合ガスは反応熱によって温度が上昇し、水蒸気の量
が多い。この混合ガスが水分除去部２４に流入すると、
凝縮機２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に溜
り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２４
３に装填した合成ゼオライト（細孔径：約９オングスト
ローム）に吸着されて除去されるが、合成ゼオライト
（細孔径：約９オングストローム）の吸着する水蒸気の
量が蓄積してくると吸着能力が次第に低下する。このよ
うな場合に、第一バルブ２４５と第二バルブ２４６を閉
じ、第三バルブ２４８を開いて乾燥ヒータ２４９で合成
ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）を加熱乾
燥させ、排気ポンプ２４７で水蒸気を多く含んだ混合ガ
スを外部へ排出すれば、合成ゼオライト（細孔径：約９
オングストローム）の吸着能力が回復する。したがっ
て、新しい合成ゼオライト（細孔径：約９オングストロ
ーム）と交換する必要がなく、保守が簡単になり、コス
トも安くなる。
【００２３】実施の形態３．実施の形態３は実施の形態
１の空気除去部２５の構成を異にするものである。図９
はその空気除去部２５を示す概念構成図である。図にお
いて、２５１は圧縮機、２５２は液化容器であり、実施
の形態１で説明したとおりである。２５３は圧縮機２５
１の流出側に設けた第一空気吸着容器、２５４は第一空
気吸着容器２５３に装填して圧縮機２５１から流出する
混合ガスの中の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）を吸着する
合成ゼオライト（細孔径：約５オングストローム）であ
る。
１の空気除去部２５の構成を異にするものである。図９
はその空気除去部２５を示す概念構成図である。図にお
いて、２５１は圧縮機、２５２は液化容器であり、実施
の形態１で説明したとおりである。２５３は圧縮機２５
１の流出側に設けた第一空気吸着容器、２５４は第一空
気吸着容器２５３に装填して圧縮機２５１から流出する
混合ガスの中の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）を吸着する
合成ゼオライト（細孔径：約５オングストローム）であ
る。
【００２４】実施の形態３の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが流出する。空気除去部２５では
この乾燥した混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して合成ゼ
オライト（細孔径：約５オングストローム）を装填した
第一空気吸着容器２５３に通し、混合ガスの中の窒素
（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：約
５オングストローム）に吸着させて除去し、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスと主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）の混合ガス
にして液化容器２５２に容れる。液化容器２５２の中の
混合ガスの圧力が高くなると、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スが液化して溜り、その上に主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）
が気体状態で溜る。これにより液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスが四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵され
るが、気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液化し
た六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆んどな
く、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの純度が高くな
る。
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが流出する。空気除去部２５では
この乾燥した混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して合成ゼ
オライト（細孔径：約５オングストローム）を装填した
第一空気吸着容器２５３に通し、混合ガスの中の窒素
（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：約
５オングストローム）に吸着させて除去し、六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスと主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）の混合ガス
にして液化容器２５２に容れる。液化容器２５２の中の
混合ガスの圧力が高くなると、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スが液化して溜り、その上に主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）
が気体状態で溜る。これにより液化した六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスが四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵され
るが、気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液化し
た六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆んどな
く、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの純度が高くな
る。
【００２５】実施の形態４．実施の形態４は実施の形態
１の空気除去部２５の構成を異にするものである。図１
０はその空気除去部２５を示す概念構成図であり、図に
おいて、２５１は圧縮機、２５２は液化容器で、いずれ
も実施の形態１で説明したとおりである。２５５は液化
容器２５２で液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に
溜る気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、
酸素（Ｏ2 ）を通す第二空気吸着容器、２５６は第二空
気吸着容器２５５に装填して窒素（Ｎ2 ）と酸素
（Ｏ2 ）を吸着する合成ゼオライト（細孔径：約５オン
グストローム）、２５７は第二空気吸着容器２５５から
流出する残りの混合ガスを所定気圧に減圧する減圧バル
ブである。
１の空気除去部２５の構成を異にするものである。図１
０はその空気除去部２５を示す概念構成図であり、図に
おいて、２５１は圧縮機、２５２は液化容器で、いずれ
も実施の形態１で説明したとおりである。２５５は液化
容器２５２で液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に
溜る気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、
酸素（Ｏ2 ）を通す第二空気吸着容器、２５６は第二空
気吸着容器２５５に装填して窒素（Ｎ2 ）と酸素
（Ｏ2 ）を吸着する合成ゼオライト（細孔径：約５オン
グストローム）、２５７は第二空気吸着容器２５５から
流出する残りの混合ガスを所定気圧に減圧する減圧バル
ブである。
【００２６】実施の形態４の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが空気除去部２５に流入すると、
圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２に容れる。液化
容器２５２の中の混合ガスの圧力が高くなると、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化して溜り、その上に気体状態
の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）
が溜る。この四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸
素（Ｏ2 ）を第二空気吸着容器２５５に通して窒素（Ｎ
2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：約５オ
ングストローム）２５６に吸着させて除去する。第二空
気吸着容器２５５から流出する主に四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）からなる残りの混合ガスを減圧バルブ２５７で所
定気圧に減圧して圧縮機２５１の流入側に戻す。これに
より液化容器２５２には液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスが気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵
されるが、気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液
化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆ん
どなくなるので、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの
純度が高くなる。
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが空気除去部２５に流入すると、
圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２に容れる。液化
容器２５２の中の混合ガスの圧力が高くなると、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化して溜り、その上に気体状態
の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）
が溜る。この四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸
素（Ｏ2 ）を第二空気吸着容器２５５に通して窒素（Ｎ
2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：約５オ
ングストローム）２５６に吸着させて除去する。第二空
気吸着容器２５５から流出する主に四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）からなる残りの混合ガスを減圧バルブ２５７で所
定気圧に減圧して圧縮機２５１の流入側に戻す。これに
より液化容器２５２には液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスが気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵
されるが、気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液
化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆ん
どなくなるので、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの
純度が高くなる。
【００２７】実施の形態５．実施の形態５は実施の形態
１の送気吸気部２２の構成を異にするものである。図１
１はその送気吸気部２２を示す構成図であり、図におい
て、２２１は第一電磁弁、２２２は第二電磁弁、２２３
は第三電磁弁、２２４はブロア、２２５は真空ポンプ、
２２６は圧力センサ、２２７は制御器であり、いずれも
実施の形態１で説明したとおりである。２２８は真空ポ
ンプ２２５の流出側を二つに分岐した一方の分解ガス除
去部２３への流入側を開閉する第三開閉弁、２２９は真
空ポンプ２２５の流出側を二つに分岐した他方の大気中
への排出側を開閉する第四開閉弁である。
１の送気吸気部２２の構成を異にするものである。図１
１はその送気吸気部２２を示す構成図であり、図におい
て、２２１は第一電磁弁、２２２は第二電磁弁、２２３
は第三電磁弁、２２４はブロア、２２５は真空ポンプ、
２２６は圧力センサ、２２７は制御器であり、いずれも
実施の形態１で説明したとおりである。２２８は真空ポ
ンプ２２５の流出側を二つに分岐した一方の分解ガス除
去部２３への流入側を開閉する第三開閉弁、２２９は真
空ポンプ２２５の流出側を二つに分岐した他方の大気中
への排出側を開閉する第四開閉弁である。
【００２８】実施の形態５の全体構成は実施の形態１の
それと同じであるので、図１を引用して実施の形態５の
機能を説明する。まず、送気吸気部２２の第三開閉弁２
２８を開き、第四開閉弁２２９を閉じておく。そして第
二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くとガス絶縁
開閉装置の内部の混合ガスが流出して金属弗化物除去部
２１で粉末状の金属弗化物が除去される。送気吸気部２
２では圧力センサ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制
御器２２７で第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第
三電磁弁２２３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制
御する。圧力が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間
は第一電磁弁２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁
弁２２３を閉にして混合ガスを直接流出させる。圧力が
所定気圧と１気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一
電磁弁２２１と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２
４を作動させ、送気して流出させる。また、圧力が１気
圧と所定真空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電
磁弁２２１と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２
２５を作動させ、吸気して流出させる。分解ガス除去部
２３では混合ガスの中の酸性ガスを水酸化カルシウム
（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液で中和して除去する。
次の水分除去部２４では混合ガスの中の水蒸気を凝縮と
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）の吸
着により除去し、乾燥した混合ガスとする。空気除去部
２５ではこの混合ガスを圧縮し、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスを液化して気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離して貯蔵する。この過程
までは送気吸気部２２の第三開閉弁２２８、第四開閉弁
２２９の開閉を除いて実施の形態１と全く同じである。
次に、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化し
てガス絶縁開閉装置などに再充填するにはその内部を排
気して真空にしておく必要がある。これを行なうには第
三開閉弁２２８を閉じ、第四開閉弁２２９を開く、そし
て圧力センサ２２６で圧力を検出するが、最初は１気圧
であるので、制御器２２７で制御して第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉、第三電磁弁２２３を開にして
真空ポンプ２２５を作動させ、所定真空度まで吸気して
大気中へ排出する。所定真空度に達すると、第一開閉弁
２８を閉、第二開閉弁２９を開にして空気除去部２５か
ら液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを流出させ、気化
部２６で気化し、減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充
填する。この実施の形態５によれば、再充填するに先立
って別の真空ポンプを必要としないので、非常に便利で
ある。
それと同じであるので、図１を引用して実施の形態５の
機能を説明する。まず、送気吸気部２２の第三開閉弁２
２８を開き、第四開閉弁２２９を閉じておく。そして第
二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くとガス絶縁
開閉装置の内部の混合ガスが流出して金属弗化物除去部
２１で粉末状の金属弗化物が除去される。送気吸気部２
２では圧力センサ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制
御器２２７で第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第
三電磁弁２２３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制
御する。圧力が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間
は第一電磁弁２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁
弁２２３を閉にして混合ガスを直接流出させる。圧力が
所定気圧と１気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一
電磁弁２２１と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２
４を作動させ、送気して流出させる。また、圧力が１気
圧と所定真空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電
磁弁２２１と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２
２５を作動させ、吸気して流出させる。分解ガス除去部
２３では混合ガスの中の酸性ガスを水酸化カルシウム
（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液で中和して除去する。
次の水分除去部２４では混合ガスの中の水蒸気を凝縮と
合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）の吸
着により除去し、乾燥した混合ガスとする。空気除去部
２５ではこの混合ガスを圧縮し、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスを液化して気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離して貯蔵する。この過程
までは送気吸気部２２の第三開閉弁２２８、第四開閉弁
２２９の開閉を除いて実施の形態１と全く同じである。
次に、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化し
てガス絶縁開閉装置などに再充填するにはその内部を排
気して真空にしておく必要がある。これを行なうには第
三開閉弁２２８を閉じ、第四開閉弁２２９を開く、そし
て圧力センサ２２６で圧力を検出するが、最初は１気圧
であるので、制御器２２７で制御して第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉、第三電磁弁２２３を開にして
真空ポンプ２２５を作動させ、所定真空度まで吸気して
大気中へ排出する。所定真空度に達すると、第一開閉弁
２８を閉、第二開閉弁２９を開にして空気除去部２５か
ら液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを流出させ、気化
部２６で気化し、減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充
填する。この実施の形態５によれば、再充填するに先立
って別の真空ポンプを必要としないので、非常に便利で
ある。
【００２９】実施の形態６．実施の形態６は図を省略す
るが、実施の形態５の金属弗化物除去部２１（図２を参
照）、送気吸気部（図１１を参照）、分解ガス除去部
（図４を参照）、水分除去部（図５を参照）、空気除去
部（図６を参照）、気化部（図７を参照）、第一開閉弁
２８、第二開閉弁２９を台車に装着して移動可能にした
ものである。この実施の形態６によれば、機動性を備え
ているので、各地の変電所などへ移動して六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの回収再生、再充填が可能であり、ま
た、必要な設置台数を少なくすることができる。
るが、実施の形態５の金属弗化物除去部２１（図２を参
照）、送気吸気部（図１１を参照）、分解ガス除去部
（図４を参照）、水分除去部（図５を参照）、空気除去
部（図６を参照）、気化部（図７を参照）、第一開閉弁
２８、第二開閉弁２９を台車に装着して移動可能にした
ものである。この実施の形態６によれば、機動性を備え
ているので、各地の変電所などへ移動して六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの回収再生、再充填が可能であり、ま
た、必要な設置台数を少なくすることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明によれば、
次のような効果がある。
次のような効果がある。
【００３１】請求項１に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、ガス絶縁開閉装置に封入した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの一部が開閉アークにより分解して生じ
た分解ガス、開閉アークにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの一部とガス絶縁開閉装置の開閉接触子および消弧室
に用いた部材物質とが反応して生じた反応生成物、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（Ｓ
Ｆ6 ）との混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができる。
生装置では、ガス絶縁開閉装置に封入した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの一部が開閉アークにより分解して生じ
た分解ガス、開閉アークにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの一部とガス絶縁開閉装置の開閉接触子および消弧室
に用いた部材物質とが反応して生じた反応生成物、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（Ｓ
Ｆ6 ）との混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができる。
【００３２】請求項２に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、水分除去部の合成ゼオライト（細
孔径：約９オングストローム）を新しいものと交換する
必要がなく、保守が簡単になりコストも安くなる。
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、水分除去部の合成ゼオライト（細
孔径：約９オングストローム）を新しいものと交換する
必要がなく、保守が簡単になりコストも安くなる。
【００３３】請求項３に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。
【００３４】請求項４に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。
【００３５】請求項５に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、再充填するに先立ってガス絶縁開
閉装置などの内部を排気して真空にすることができる。
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、再充填するに先立ってガス絶縁開
閉装置などの内部を排気して真空にすることができる。
【００３６】請求項６に記載の六弗化硫黄ガスの移動式
回収再生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを
気化して再充填すること、および、再充填するに先立っ
てガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にするこ
とを簡単かつ小形にして能率よく、必要なところへ移動
して行なうことができる。
回収再生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを
気化して再充填すること、および、再充填するに先立っ
てガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にするこ
とを簡単かつ小形にして能率よく、必要なところへ移動
して行なうことができる。
【図１】 この発明の実施の形態１を示す全体構成図で
ある。
ある。
【図２】 金属弗化物除去部の概念を示す断面図であ
る。
る。
【図３】 送気、吸気部を示す構成図である。
【図４】 分解ガス除去部の概念を示す断面図である。
【図５】 水分除去部の概念を示す断面図である。
【図６】 空気除去部の概念を示す断面図である。
【図７】 気化部の概念を示す断面図である。
【図８】 実施の形態２の水分除去部を示す概念構成図
である。
である。
【図９】 実施の形態３の空気除去部を示す概念構成図
である。
である。
【図１０】 実施の形態４の空気除去部を示す概念構成
図である。
図である。
【図１１】 実施の形態５の送気吸気部を示す構成図で
ある。
ある。
【図１２】 従来の六弗化硫黄ガスの回収再生装置を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
２ ガス絶縁開閉装置 ２１ 金属弗化物除
去部 ２２ 送気吸気部 ２３ 分解ガス除去
部 ２４ 水分除去部 ２５ 空気除去部 ２６ 気化部 ２７ 減圧弁 ２８ 第一開閉弁 ２９ 第二開閉弁 ２１１ フィルタ容器 ２１２ フィルタ ２２１ 第一電磁弁 ２２２ 第二電磁弁 ２２３ 第三電磁弁 ２２４ ブロア ２２５ 真空ポンプ ２２６ 圧力センサ ２２７ 制御器 ２２８ 第三開閉弁 ２２９ 第四開閉弁 ２３１ 反応容器 ２３２ 水酸化カルシウムの過剰水溶液 ２４１ 冷却容器 ２４２ 凝縮器 ２４３ 乾燥容器 ２４４ 合成ゼオラ
イト ２４５ 第一バルブ ２４６ 第二バルブ ２４７ 排気ポンプ ２４８ 第三バルブ ２４９ 乾燥ヒータ ２５１ 圧縮機 ２５２ 液化容器 ２５３ 第一空気吸
着容器 ２５４ 合成ゼオライト ２５５ 第二空気吸
着容器 ２５６ 合成ゼオライト ２５７ 減圧バルブ ２６１ 気化容器 ２６２ ヒータ ２６３ 再乾燥容器 ２６４ 合成ゼオラ
イト
去部 ２２ 送気吸気部 ２３ 分解ガス除去
部 ２４ 水分除去部 ２５ 空気除去部 ２６ 気化部 ２７ 減圧弁 ２８ 第一開閉弁 ２９ 第二開閉弁 ２１１ フィルタ容器 ２１２ フィルタ ２２１ 第一電磁弁 ２２２ 第二電磁弁 ２２３ 第三電磁弁 ２２４ ブロア ２２５ 真空ポンプ ２２６ 圧力センサ ２２７ 制御器 ２２８ 第三開閉弁 ２２９ 第四開閉弁 ２３１ 反応容器 ２３２ 水酸化カルシウムの過剰水溶液 ２４１ 冷却容器 ２４２ 凝縮器 ２４３ 乾燥容器 ２４４ 合成ゼオラ
イト ２４５ 第一バルブ ２４６ 第二バルブ ２４７ 排気ポンプ ２４８ 第三バルブ ２４９ 乾燥ヒータ ２５１ 圧縮機 ２５２ 液化容器 ２５３ 第一空気吸
着容器 ２５４ 合成ゼオライト ２５５ 第二空気吸
着容器 ２５６ 合成ゼオライト ２５７ 減圧バルブ ２６１ 気化容器 ２６２ ヒータ ２６３ 再乾燥容器 ２６４ 合成ゼオラ
イト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三ヶ月 隆文 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 中村 等 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 ガス絶縁開閉装置に封入した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開閉アークにより分解し
て生じた酸性の分解ガス、前記開閉アークにより前記六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部と前記ガス絶縁開閉装置
の開閉接触子および消弧室に用いた部材物質とが反応し
て生じた反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水
蒸気と前記六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガスを流
入させ、フィルタ容器に装着したフィルタに通して固体
状態の前記反応生成物である粉末状の金属弗化物を濾過
して除去する金属弗化物除去部、この金属弗化物除去部
から流入する混合ガスの圧力が前記ガス絶縁開閉装置の
封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は直接流出さ
せ、前記所定気圧と１気圧との間はブロアで送気して流
出させ、１気圧と所定真空度との間は真空ポンプで吸気
して流出させる送気吸気部、この送気吸気部から流入す
る混合ガスを反応容器に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ
（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液に浸漬した多孔流出管から流
出させ、前記分解ガスを中和して除去する分解ガス除去
部、この分解ガス除去部から流入する混合ガスを通して
冷却容器に装着した凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器
に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約９オン
グストローム）に吸着させて水蒸気を除去する水分除去
部、この水分除去部から流入する混合ガスを圧縮機で圧
縮して液化容器に容れ、液化した前記六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスとその上に溜る気体状態の前記反応生成物、前
記窒素（Ｎ2 ）、前記酸素（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵す
るとともに、前記液化容器をして液化した前記六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出可能にした空気除去部、こ
の空気除去部から流入する液化した前記六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスを気化容器に容れヒータで加熱して気化させ
る気化部、この気化部から流入する前記六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、前記金属弗化
物除去部の流入側を開閉する第一開閉弁、前記減圧弁の
流出側を開閉する第二開閉弁を備えたことを特徴とする
六弗化硫黄ガスの回収再生装置。 - 【請求項２】 水分除去部で乾燥容器に装填した粉末状
の合成ゼオライト（細孔径：約９オングストローム）を
加熱する乾燥ヒータ、前記乾燥容器の内部の混合ガスを
外部へ排出する排気ポンプ、前記乾燥容器の流入側を開
閉する第一バルブ、前記乾燥容器の流出側を開閉する第
二バルブ、前記排気ポンプの流入側を開閉する第三バル
ブを設けたことを特徴とする請求項１に記載の六弗化硫
黄ガスの回収再生装置。 - 【請求項３】 空気除去部で圧縮機から流出する混合ガ
スを通して第一空気吸着容器に装填した粉末状の合成ゼ
オライト（細孔径：約５オングストローム）に前記混合
ガス中の窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を吸着させた
のち、液化容器に流入させることを特徴とする請求項１
に記載の六弗化硫黄ガスの回収再生装置。 - 【請求項４】 空気除去部で液化容器に容れた液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6）ガスの上に溜る気体状態の反応生
成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通して第二空気吸
着容器に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：約
５オングストローム）に前記窒素（Ｎ2 ）および前記酸
素（Ｏ2 ）を吸着させたのち、残りの混合ガスを所定気
圧に減圧して圧縮機の流入側に戻すことを特徴とする請
求項１に記載の六弗化硫黄ガスの回収再生装置。 - 【請求項５】 送気吸気部で真空ポンプの流出側を二つ
に分岐して、一方の分解ガス除去部への流入側を開閉す
る第三開閉弁、他方の大気中への排出側を開閉する第四
開閉弁を設けたことを特徴とする請求項１に記載の六弗
化硫黄ガスの回収再生装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の金属弗化物除去部、送
気吸気部、分解ガス除去部、水分除去部、空気除去部、
気化部、減圧弁、第一開閉弁、第二開閉弁を台車に装着
して移動可能にしたことを特徴とする六弗化硫黄ガスの
移動式回収再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10120396A JP3237514B2 (ja) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10120396A JP3237514B2 (ja) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09285719A true JPH09285719A (ja) | 1997-11-04 |
| JP3237514B2 JP3237514B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=14294381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10120396A Expired - Lifetime JP3237514B2 (ja) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 六弗化硫黄ガスの回収再生装置、ならびに、移動式回収再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3237514B2 (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2013125791A1 (ko) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | (주) 파인텍 | 과불화화합물의 분리 및 재활용시스템 |
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-
1996
- 1996-04-23 JP JP10120396A patent/JP3237514B2/ja not_active Expired - Lifetime
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