JP3453342B2 - ガス分離回収充填装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電力用機器に絶縁
ガスとしてSF6ガス(6フッ化硫黄ガス、以下同じ)やSF6
ガスと希釈ガスとの混合ガスが充填されているが、この
電力用機器の点検,修理時にこのSF6ガスや希釈するため
の希釈ガスを抜き取って回収したり、あるいは点検,修
理終了後に再充填する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】SF6ガスは、変電所等の高電圧電力用ト
ランスや電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性、
電気的安定性、高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を
可能にし、都市部の変電所の小容積化でその貢献度は大
きい。トランスや遮断器に充填されているSF6ガスは、
そのガスの純度が100％のものや窒素ガス等の希釈ガス
により適度にうすめられて充填されているものがある。

【０００３】これ等が用いられている機器は定期的に点
検保守や修理が必要であり、その点検保守や修理のとき
はこら等のガスを抜き出して大気と置換した後に人が中
に入って装置内部の点検や修理を行なう。そして点検や
修理が完了すると再び絶縁ガスを充填して稼動に入る。
ガスの抜き取りに際してはSF6ガスが機器内に残留しな
いよう高真空になるまで真空引き回収を行い、そしてこ
の充填に際しては、電力機器等の容器に空気が残らない
よう高真空に空気を排出した後、所定濃度の絶縁ガスを
充填する必要があった。このため長時間を要した。従
来、ガス抜取に際しこれ等のガスによる人体等への害は
少ないので大気中に放出していた。

【０００４】しかし、SF6ガスは高価なガスであるため
経費的に容易に回収して再利用できる範囲の回収装置は
従来よりあり、このSF6ガスを回収して点検や修理後に
再び充填して再利用することもあった。抜き取ったSF6
ガスを加圧して圧縮した後に冷却して液化回収する装置
はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回収
したり、他の希釈ガスが混合している混合ガスからSF6
ガスのみを分離して回収する装置等はなかった。

【０００５】すなわち、他の希釈ガスと混合してSF6ガ
スの濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため
に高圧に圧縮し、いっそう低い温度までの冷却が必要と
なるため装置の価格が高額となるので、そのようなもの
は作られていなかった。

【０００６】近年、地球温暖化防止のために炭酸ガス等
の大気中への放出が規制されるようになってきた。1997
年世界環境会議が京都で開催され、その結果、炭酸ガス
の24000倍の温暖化係数を持つSF6ガスも大気中へ放出す
ることが厳しく規制されるようになった。SF6ガスが大
気中に漏出することが無いようにするためには、 (1) 充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを無
くする。 (2) 機器据付時、保守点検や修理時,解体廃棄時等で、
ガスの抜き取りや再充填にかかわるときに大気中に放出
されるSF6ガスを無くすることが重要である。

【０００７】この(1)については、機器のシール部が改
良されたことにより現在は大変少なくなっている。ま
た、(2)については、電力業界は電気共同研究会により
平成10年12月に「電力用SF6ガス取扱い基準」を作成し
て自主規制し、その排出を規制することとした。その規
制の主な内容は、点検修理時には0.015MPa・abs(回収率
97vol％以上)、解体撤去時には、0.005MPa・abs(回収率
99vol％以上)の高真空域まで吸引して回収する自主基準
を作成した。電力業界は点検修理に伴う停電時間をでき
るだけ短くするという公的使命がある。

【０００８】高真空域まで吸引して回収すると回収に長
時間を要するという欠点がある。点検修理時の回収率が
低いのは、装置停止による停電時間を可能な限り短くす
るための妥協案であり、撤去時は十分に時間をとって真
空引きするようになっている。すなわち、高真空域まで
吸引して回収し、大気中への漏出量を少なく押えてい
る。

【０００９】電力業界としては2005年までに上記基準に
合う回収装置を開発して実施することにしている。不活
性ガスである窒素ガスを50vol％混入してもインパルス
破壊電圧はSF6ガス単独時の85％,商用電力周波数の破壊
電力は同96.6％であり、性能劣化が少ないのでSF6ガス
をトランスや遮断器に封入する際に希釈ガスである窒素
ガス等によりうすめて使用するメーカーが増えつつあ
る。

【００１０】従来は、このような希釈ガスが混入した混
合ガスは回収しにくいガスであったために、点検や廃棄
時にその多くは大気中に放出して廃棄していた。更に、
点検保守作業や修理作業の終了後にSF6ガスを再充填す
るが、被回収容器内のSF6ガスが所定の濃度になるよう
にするため被回収容器内に外気が残らないよう高真空域
に吸引して外気を一旦排出した後に所定濃度のSF6ガス
を再充填していたために長時間を要していた。本発明で
は、このガスを分離回収することを目的とする。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】被回収容器(トランス
や遮断器等)からSF6ガスや希釈ガスを大気中に漏出する
ことなくほぼ全量を回収することであり、更に、回収や
再充填を含む点検作業にかかる時間の短縮をはかること
を目的とする。定期点検や修理に際し、絶縁ガスが充填
されているトランス等、被回収容器から被回収ガスを抜
き出した後、容器内を空気と置換した後、人が入り、電
力機器の修理、点検を行なう。その修理完了後、再び絶
縁ガスを充填する。これ等の時間は電力機器の動作を停
止するため停電となる。この停電時間の短縮のために
は、被回収容器内の機器・装置の修理や点検に要する時
間はガスの回収・再充填装置の性能の如何にかかわらず
所定時間は必要とするものであるから、この所定時間以
外のガスの抜き取り回収とガスの再充填時間の短縮が必
要であり、本発明はこの回収と再充填にかかわる新しい
方法でその時間短縮をはかろうとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、臨界温度45.64℃,臨界圧力3.66MPa・G,
融点−50.8℃,昇華点−63.8℃のSF6ガスの特徴を考慮し
ながら分離回収するものである。図1に本発明の1実施例
を示す。

【００１３】この被回収容器26にはSF6ガス等の被回収
ガスが約0.6MPa・Gの高圧で充填してある。そしてSF6ガ
スは易液化ガスであるため、これを加圧ポンプ31により
加圧する加圧部22と冷却して液化する液化部23を設け、
被回収ガス中のSF6ガスの濃度が高い範囲においては、
被回収ガス中のSF6ガスの分圧も高いので、液化するガ
スの液化温度と圧力との関係から容易に液化するために
必要とする圧力は比較的低い圧力範囲でもよく、また、
液化温度も比較的高い範囲でも容易に液化回収すること
ができる。

【００１４】まず、かかる方法により被回収容器内の圧
力が該加圧ポンプ31と液化部23により液化可能範囲まで
SF6ガスを回収する。そしてこの圧力が所定の圧力以下
になると外部のガス供給部25から窒素ガスなどの希釈ガ
スを被回収容器に導入してSF6ガスをうすめて、この希
釈ガスとSF6ガスが混合した被回収ガスを被回収容器か
らガス分離部に導入して希釈ガスとSF6ガスとに分離し
てSF6ガスを回収しようとするものである。

【００１５】被回収容器に充填されている被回収ガス
は、前述のようにSF6ガス100％のものと窒素ガス等の希
釈ガス等によりうすめられている場合とがある。この希
釈ガスとSF6ガスとの混合ガスからSF6ガスを分離するガ
ス分離部21を設けることにより、高真空に真空引きして
被回収ガスを取り出す代わりに希釈ガスを充填して被回
収容器内を陽圧にしてSF6ガスの濃度をうすめながら取
り出して分離回収する、この方法は回収時間が早くな
る。

【００１６】このガス分離部は、特定ガスを吸着する吸
着剤を用いるPSA方(Pressure SwingAdosorption)により
行なう。特定ガスと希釈ガスを含む混合ガスを該吸着剤
を充填した吸着筒に圧力を加えながら送り込むと、この
吸着剤に特定ガス(一方のガス)が吸着して除かれ、吸着
されない他方のガスが該吸着筒の多端から分離されて取
り出される、この工程を吸着工程といい、この吸着筒に
圧力を加えながらガスを送り込む圧力を操作圧という。

【００１７】そして吸着剤に特定ガスが吸着されて満杯
になる少し前に混合ガス(原料ガス)の送入を止め、その
吸着筒の入口端より吸着筒の圧力を減じてやると、該吸
着剤に吸着していた特定ガスが吸着剤より離脱して排出
され、吸着剤の吸着能力が再生するので、この工程を再
生工程という。

【００１８】この吸着工程と再生工程とを繰り返しなが
ら、すなわち、吸着筒に圧力を加えたり、減じたりしな
がらガスを分離するので圧力変動吸着(PSA)法という。

【００１９】そして吸着剤には、その種類により対象ガ
スであるSF6ガスを吸着し、希釈ガスである窒素ガス等
を吸着しないものと、反対に対象ガスであるSF6ガスを
吸着せずに混合している希釈ガスの方をよく吸着するも
のとがある。その使用する吸着剤により対象ガスを取り
出す方法が少し異なる。例えば、SF6ガスを対象ガスと
した場合に、前者の吸着剤は活性炭に分子篩機能をもた
せた分子篩炭があり、後者の吸着剤とてはゼオライトの
5Aタイプや4Aタイプ等がある。ゼオライトは窒素ガス,
水分,炭酸ガス,酸素,その他SF6の分解ガスの一部も吸着
するのでこれ等を混合ガスより分離できる。

【００２０】前者の場合は、SF6ガスが吸着剤に吸着す
ることにより分離されるのであるから、減圧再生工程で
吸着剤より離脱するSF6ガスを回収する。また、後者で
は加圧吸着工程でSF6ガスが吸着筒の他端より分離され
て出てくるので吸着工程でSF6ガスを回収する。この両
方の吸着剤の内から適当なものを選択してPSA方式によ
るガス分離回収充填装置を構成するもので、本発明はこ
れら両吸着剤を用いる方法を含むものである。

【００２１】かかる構成によるガス分離部によってSF6
ガスと他の希釈ガスとに分離した場合であっても希釈ガ
ス側にSF6ガスがわずかではあるが含まれる。被回収ガ
ス中のSF6ガス濃度が変わる全ての範囲にわたって、分
離されたこの希釈ガス中に含まれるSF6ガスをppmオーダ
ーに少なく押えることは技術的にも困難であり、このSF
6ガスがある程度の濃度で含まれる排出ガスを大気中に
放出することは問題となる。

【００２２】このため、微量ではあるがSF6ガスを含む
ガス分離部で分離した希釈ガスを大気中に放出するので
はなく、再び被回収容器に戻すように構成する。すなわ
ち、被回収容器とガス分離部とを導管で接続し、被回収
容器中の複数種類のガスが混合された被回収ガスを該ガ
ス分離部で分離して、分離した一方のガスを回収すると
共に、他方の希釈ガスを導管にて前記の被回収容器に戻
して充填するようにしたガス分離回収充填装置を構成す
る。そして、被回収ガスがSF6ガスと希釈ガスとが混合
した混合ガスであることを特徴とする前記のガス分離回
収充填装置を構成する。また、ガス分離部で分離した一
方のガスがSF6ガスであり、他方のガスが希釈ガスであ
ることを特徴とする前記のガス分離回収充填装置を構成
する。

【００２３】このように回収時には被回収容器とガス分
離部とを分離したSF6ガスの回収と共に希釈ガスを被回
収容器に戻すルートによりガスをサイクリックに廻しな
がらSF6ガスを回収していくと被回収容器中のSF6ガス濃
度がだんだん下がっていくとともに被回収容器の内部圧
力も下がっていく。この圧力を補うため希釈ガス供給源
を有するガス供給部100から希釈ガスを充填して一定圧
を維持しながらガス分離部21でガス分離を継続する。

【００２４】そして被回収ガス濃度が一定値以下になる
とガス分離部で分離される希釈ガス中に含まれるSF6ガ
ス濃度が大変低くなるので大気に放出することができ
る。該希釈ガスを供給するガス供給部はガス分離部で分
離可能なガスであればよく、窒素ガスあるいは空気(窒
素と酸素の混合ガス)でもよく、ゼオライトを吸着剤と
して用いればこれを十分分離できる。絶縁ガスを抜き取
った後は空気と入れ換えて、人が内部に入って仕事(修
理)を行なうので都合がよい。この電力機器を収容する
被回収容器の呼び名はガスを回収するときは良いが、点
検,修理後、再びガスを充填するときは充填容器となる
が、同一品で呼び名が変わるのはよくないので本文中で
はガス充填時であっても被回収容器と呼ぶこととする。

【００２５】

【発明の実施の形態】詳しく説明するとSF6ガスの濃度
センサー20とガス分離部21を有するガス分離回収充填装
置において、被回収容器26よりSF6ガスと他の希釈ガス
を含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6ガスと
他の希釈ガスとに分離せしめてSF6ガスをSF6ガスの出口
3より加圧部22,液化部23に取出し、液化回収すると同時
に、分離した希釈ガスを該ポンプ7にて被回収容器26に
戻すように構成する。

【００２６】該被回収ガス中のSF6ガスの濃度をSF6ガス
濃度センサー20で検出し、所定値以下になった場合は分
離した希釈ガスを弁52を開にして大気中に放気するよう
にする。

【００２７】また、ガス分離部21とポンプ7とガス供給
部25を有するガス分離回収充填装置において、被回収容
器26よりSF6ガスと他の希釈ガスを含む被回収ガスを該
ガス分離部21に導入し、SF6ガスと他の希釈ガスとに分
離せしめてSF6ガスを前記と同じく回収し、この希釈ガ
スを該ポンプ7にて被回収容器26内に戻すと共に、前記
のガス分離部21へ導入する被回収容器内のガスの圧力を
圧力センサー36により検出しながら所定の圧力よりも低
くなった場合には該ガス供給部25から弁29を開にしてガ
スを該被回収容器に導入して充填するように構成する。

【００２８】例えば、ガス分離部21の操作圧が0.2MPa・
Gであれば、このガス供給部25からガスを被回収容器26
へ導入して充填することを開始する圧力も0.2MPa・G以
上の圧力が基準となる。この場合はPSA方式によるガス
分離部21に被回収容器内の圧力で供給してPSAガス分離
を行なうものである。ガス供給部25より供給するガスは
ガス分離部21により分離可能な希釈ガスであればよく、
例えば窒素ガスボンベ27と減圧弁28との構成によるもの
で窒素ガスを供給する、あるいは空気ポンプ42による外
気を導入する装置、又は、空気ポンプとドライヤー43を
組合わせた装置で空気を供給するように構成することが
できる。

【００２９】他の実施例を図3に示す。濃縮SF6ガスを取
出すSF6ガス出口3以降は液化回収する部分は同じである
ので省略する。被回収容器から被回収ガスを取り出す場
合に、ガス取り出し部66を設けて、このガス取り出し部
を介在させてガス分離部に被回収ガスを供給する方法で
ある。これはガス取り出し部が減圧弁69と昇圧ポンプ65
と電磁弁等で構成されており、被回収容器26内に充填さ
れている被回収ガスの圧力がPSA方式のガス分離部の操
作圧よりも高いときには、減圧弁69を介してその操作圧
に必要な圧力に調節して供給し、回収作業が進行して被
回収容器26内の圧力が前記の操作圧よりも下がってきた
場合には昇圧ポンプ65を働かせて被回収容器26から被回
収ガスを抜き出してPSAの操作に必要な操作圧まで昇圧
調整して供給する機能を有するものである。

【００３０】このガス取り出し部を有する構成の場合
は、ガス取り出し部66とガス分離部21でポンプ7とを有
するガス分離回収充填装置において、該ガス分離部でSF
6ガスと他の希釈ガスとに分離したもので、該希釈ガス
中に一部SF6ガスが混在するガスを該ポンプにより被回
収容器に戻すように構成し、被回収容器のガスの圧力が
大気圧以下になったときには、弁29'を開にして外気取
り入れ口70から外気を被回収容器に導入して希釈ガスと
して充填するように構成する。

【００３１】図1は、加圧部22や液化部23を含む本発明
の全体的な構成を示すフロー図である。同図中のガス分
離部21の詳細は、図2 (A)あるいは図2 (B)のフロー図が
ここにあてはまる。被回収容器26の被回収ガスの出口1'
より被回収ガスをガス分離部21の被回収ガスの入口1と
接続し、ガス分離部21で濃縮したSF6ガスをSF6ガスの出
口3より加圧部22に導入し、他方の希釈ガスを主体とす
る分離されたガスは排ガスの出口2より被回収容器26の
排出ガスの入口2'に戻される。該加圧部22は、バッファ
タンク30と加圧ポンプ31及び一定圧力以上に過加圧しな
いように戻り回路を減圧弁32とで構成している。加圧さ
れたSF6ガスは液化部23に送り、冷却液化した後に貯留
タンク24に貯留する。液化部23は、冷却器33,電磁弁34,
37,液化タンク35より構成し、冷却器33で冷却して、液
化タンク35に送り冷却液化する。

【００３２】液化部23に入ってくるSF6ガスは、純度100
％でない限り、液化タンク35内で暫時SF6ガスが液化し
て貯留タンク24に取り出されるので、その液化しない不
純ガスを取り出してガス分離部より上流部に戻してやる
必要があるがこの構成の記載は図1においては省略して
ある。なお、SF6ガスが液化されて取り出されるに従い
被回収容器内の圧力が低下するのでガス供給部25より弁
29を開にしてガスを導入して充填し、ガス分離部21の動
作に必要なガス圧を保つように構成する。このガス供給
部25は例えば窒素ガスボンベ27と減圧弁28で構成する方
法もある。またガス供給部40として示すようにフィルタ
ー41より外気を取込みコンプレッサー42で昇圧した後、
ドライヤー43により水分を除去した外気を希釈ガスとし
て供給外気の出口44と弁29と接続して供給してもよい。

【００３３】図2にガス分離部21のフロー図を示す。図2
(A)は、吸着剤に対象ガスであるSF6ガスを強く吸着
し、窒素ガス等の希釈ガスをほとんど吸着しない分子篩
炭を用いるガス分離部のフロー図である。この例では、
トランス等の被回収容器26からのガスを被回収ガスの入
口1より導入し、電磁弁8,10を開として吸着筒4に導入し
て吸着剤にSF6ガスを吸着させ、吸着筒4の他端より希釈
ガスである窒素ガス等をSF6ガスと分離して取出し、電
磁弁14,9を介して排出ガスタンク6に貯える。この排出
ガスは、ポンプ7により排出ガスの出口2を介して加圧排
出されて図1に示す被回収容器26に戻して充填される。
入口1より導入する被回収ガスは圧力センサー36とSF6ガ
ス濃度センサー20に接続され圧力と濃度が計測される。

【００３４】被回収ガスを吸着筒4に導入して、吸着剤
がSF6ガスを吸着して満杯(吸着飽和する)になる前に導
入を止め、再生工程の終了した吸着筒5との間で均圧の
工程を行なう。すなわち、電磁弁8,10,16,11,14を閉と
し、吸着筒5のすべての電磁弁を閉として、均圧用の電
磁弁17を開として吸着筒4内に浮遊する窒素ガスを吸着
筒5へ向かって一部のSF6ガスと共に移動させる。

【００３５】その後電磁弁17を閉とし、吸着筒4の吸着
剤に吸着したSF6ガスは、電磁弁11,18を開とし、濃縮し
たSF6ガスをSF6ガスの出口3から図1に示すバッファタン
ク30に送り出す。この工程は、吸着筒4の吸着剤に吸着
しているSF6ガスを、該吸着筒内を減圧して離脱させ、
濃縮してSF6ガスの出口3より取り出すと共に、吸着剤の
吸着能力を再生するので再生工程という。

【００３６】その後、吸着筒5は、被回収ガスを電磁弁1
2を介して導入し、SF6ガスを吸着剤に吸着させて電磁弁
15,9を開とし、窒素ガスを排出ガスタンク6に送出し、
前記と同様ポンプ7により排出ガスの出口2を介して排出
させて図1に示す被回収容器26に戻して充填される。前
記SF6ガス濃度センサーにより被回収ガス中のSF6濃度が
一定値以下になると分離された希釈ガス(窒素ガス)中の
SF6濃度は大変少なくなるので電磁弁51を閉として被回
収容器に戻すのを止め、弁52を開にして、放出口50より
大気中に排出する。該圧力センサー36でその圧力が一定
値以下になった場合はガス供給部より希釈ガスまたは外
気を被回収容器内に導入する。かかる方法により、ガス
分離部で加圧吸着工程,均圧工程,再生工程を繰り返しな
がらガスの分離を行なう。このように、ガス分離を被回
収ガスの入口1から原料ガスである被回収ガスを取り込
み、吸着剤にSF6ガスを吸着して分離して再生工程で濃
縮したSF6ガスとして取り出し、SF6ガスの出口3より送
出する。一方、希釈ガスである窒素ガス等は排出ガスタ
ンク6に貯留してポンプ7により被回収容器26へ戻され
る。すなわち、2本の吸着筒4,5により一方が加圧吸着工
程にあるとき他方は再生工程にあり希釈ガス(窒素ガス)
とSF6は実質的に同時に2つに分離さけており一方は回収
され、他方は被回収容器に戻される。

【００３７】図2 (B)は、吸着剤として、対象ガスであ
るSF6ガスをほとんど吸着せず、希釈ガスである窒素ガ
ス,水分や酸素等の方をよく吸着するゼオライトを用い
る方式のガス分離部の構成を示すフロー図である。被回
収ガスの入口1から原料ガスである被回収ガスを導入
し、電磁弁8,10を開として吸着筒4に導入し、吸着剤に
希釈ガスである窒素ガス等を吸着させて、他端からほと
んど吸着しないSF6ガスが濃縮して電磁弁14,18を介して
SF6ガスの出口3から図1のバッファタンク30に送り出さ
れる。

【００３８】吸着筒4の吸着剤が希釈ガスである窒素ガ
ス等を吸着して満杯になる(吸着飽和する)少し前に原料
ガスの導入を止め、再生工程の終了した吸着筒5との間
に均圧化の工程を行なう。すなわち、電磁弁8,18,11,13
を閉とし、電磁弁14,15,10,12を開として、吸着筒4内に
浮遊するSF6ガスを吸着筒5の方へ一部の窒素ガスと共に
移動させた後に、電磁弁10,14,13を閉とし、電磁弁11,
9,8,12,15,18を開として原料ガスを吸着筒5へ導入する
とともに濃縮したSF6ガスは、電磁弁15,18を介してSF6
ガスの出口3より導出されるので吸着筒5が吸着工程に入
ることになる。

【００３９】吸着筒4の吸着剤に吸着された希釈ガスで
ある窒素ガス等は、この吸着筒内の圧力を低下させるこ
とより吸着していた窒素ガス等が離脱して電磁弁11,9を
介して排出ガスタンク6に貯留した後にポンプ7により弁
51を開にして排出ガスの出口2から図1の被回収容器26へ
送り出される。これも入口1により取入れる被回収ガス
中のSF6ガス濃度と圧力がSF6ガス濃度計20及び圧力セン
サー36により測定され、被回収ガス内のSF6ガス濃度が
一定値以下に下がった後の分離される希釈ガス中に含ま
れるSF6濃度は大変少ないので弁51を閉とし、大気中に
放出する。このように、2本の吸着筒により交互に吸着
工程,均圧工程,再生工程を繰り返すことにより連続して
SF6と希釈ガスに分離し、一方を回収すると同時に他方
を被回収容器に戻すようにした。

【００４０】なお、前記の図2 (A)及び図2 (B)のフロー
図の説明における均圧工程は装置の能力によっては省略
することもできる。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、希釈されたSF6ガスが
混在する混合ガスを大気中に放出させることなく、被回
収容器内のSF6ガスの回収が可能となる。 ［図面の簡単な説明］

【図１】 本発明の全体的な構成を示すフロー図であ
る。

【図２】 図2 (A),図2 (B)共にガス分離部21の詳細な
構成を示すフロー図である。

【図３】 被回収容器26とガス取り出し部66並びにガス
分離部21との相互接続状況を示すフロー図である。

【符号の説明】

1 被回収ガスの入口 1' 被回収ガスの出口 2 排出ガスの出口 2' 排出ガスの入口 3 SF6ガスの出口 4 吸着筒 5 吸着筒 6 排出ガスタンク 7 ポンプ 8〜19 電磁弁 20 SF6ガスの濃度センサー 21 ガス分離部 22 加圧部 23 液化部 24 貯留タンク 25 窒素ガス供給部 26 被回収容器 27 窒素ガスボンベ 28 減圧弁 29 電磁弁 29' 電磁弁 30 バッファタンク 31 加圧ポンプ 32 減圧弁 33 冷却器 34 電磁弁 35 液化タンク 36 圧力センサー 37 電磁弁 40 外気供給部 41 エアーフィルター 42 空気ポンプ 43 ドライヤー 44 供給外気の出口 51 電磁弁 52 電磁弁 64 電磁弁 64' 電磁弁 65 昇圧ポンプ 66 ガス取り出し部 67 電磁弁 68 電磁弁 69 減圧弁 70 外気取入れ口 100 ガス供給部

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の全体的な構成を示すフロー図であ
る。

【図２】 図２（Ａ），図２（Ｂ）共にガス分離部２１
の詳細な構成を示すフロー図である。

【図３】 被回収容器２６とガス取り出し部６６並びに
ガス分離部２１との相互接続状況を示すフロー図であ
る。

【図４】 ガス分離部２１の排出ガスの出口２に排出ガ
ス回収容器６３を、また、被回収容器２６にガス供給部
１００を接続した場合のフロー図である。

【符号の説明】

１ 被回収ガスの入口 １´ 被回収ガスの出口 ２ 排出ガスの出口 ２´ 排出ガスの入口 ３ ＳＦ６ガスの出口 ４ 吸着筒 ５ 吸着筒 ６ 排出ガスタンク ７ ポンプ ８〜１９ 電磁弁 ２０ ＳＦ６ガスの濃度センサー ２１ ガス分離部 ２２ 加圧部 ２３ 液化部 ２４ 貯留タンク ２５ 窒素ガス供給部 ２６ 被回収容器 ２７ 窒素ガスボンベ ２８ 減圧弁 ２９ 電磁弁 ２９´ 電磁弁 ３０ バッファタンク ３１ 加圧ポンプ ３２ 減圧弁 ３３ 冷却器 ３４ 電磁弁 ３５ 液化タンク ３６ 圧力センサー ３７ 電磁弁 ４０ 外気供給部 ４１ エアーフィルター ４２ 空気ポンプ ４３ ドライヤー ４４ 供給外気の出口 ５１ 電磁弁 ５２ 電磁弁 ５５ ＳＦ６ガスボンベ ５７ 減圧弁 ６３ 排出ガス回収容器 ６４ 電磁弁 ６４´ 電磁弁 ６５ 昇圧ポンプ ６６ ガス取り出し部 ６７ 電磁弁 ６８ 電磁弁 ６９ 減圧弁 ７０ 外気取り入れ口 １００ ガス供給部

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス分離部を有するガス分離回収充填装
   置において、被回収容器からSF6ガスを含む被回収ガス
   を該ガス分離部へ導入し、SF6ガスと他の希釈ガスとに
   分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、該希釈ガスを
   該被回収容器に戻して充填するように構成し、該被回収
   ガス中のSF6ガスの濃度が所定値以下になった場合に
   は、該希釈ガスを大気中に放出するように構成したこと
   を特徴とするガス分離回収充填装置。
2. 【請求項２】 ガス分離部とガス供給部を有するガス分
   離回収充填装置において、被回収容器からSF6ガスを含
   む被回収ガスを該ガス分離部へ導入し、SF6ガスと他の
   希釈ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収し、更に、該
   希釈ガスを被回収容器に戻すと共に、前記のガス分離部
   へ導入する被回収容器のガスの圧力が所定値よりも低く
   なった場合には、該ガス供給部から空気を該被回収容器
   へ導入して充填するように構成したことを特徴とするガ
   ス分離回収充填装置。
3. 【請求項３】 ガス分離部を有するガス分離回収充填装
   置において、被回収容器からSF6ガスを含む被回収ガス
   を該ガス分離部へ導入し、SF6ガスと他の希釈ガスとに
   分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、該希釈ガスを
   被回収容器に戻すよう構成し、被回収容器の圧力が大気
   圧以下になった場合には、外気を該被回収容器へ導入し
   て充填ようにしたことを特徴とするガス分離回収充填装
   置。