JP2001129344A - Sf6ガス回収装置 - Google Patents
Sf6ガス回収装置Info
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- JP2001129344A JP2001129344A JP2000010143A JP2000010143A JP2001129344A JP 2001129344 A JP2001129344 A JP 2001129344A JP 2000010143 A JP2000010143 A JP 2000010143A JP 2000010143 A JP2000010143 A JP 2000010143A JP 2001129344 A JP2001129344 A JP 2001129344A
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被回収容器26内のSF6ガスを回収するに
当って、ガス分離部でSF6ガスと他の混合ガスとに分
離する工程において分離しきれなかったSF6ガスが多
少あっても、大気中に一切放出することがないようなS
F6ガス回収装置を提供する。 【解決手段】 ガスの分離部21でSF6ガスと他の混
合ガスとに分離する過程において、混合ガスと共に微か
なSF6ガスが混在する排ガスを、排ガス入口20を介
してガス分離部21内の排ガスタンク6に一旦貯留した
後に排ガス出口2を介して被回収容器26へ再び還流す
る。
当って、ガス分離部でSF6ガスと他の混合ガスとに分
離する工程において分離しきれなかったSF6ガスが多
少あっても、大気中に一切放出することがないようなS
F6ガス回収装置を提供する。 【解決手段】 ガスの分離部21でSF6ガスと他の混
合ガスとに分離する過程において、混合ガスと共に微か
なSF6ガスが混在する排ガスを、排ガス入口20を介
してガス分離部21内の排ガスタンク6に一旦貯留した
後に排ガス出口2を介して被回収容器26へ再び還流す
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明はSF6ガス(6フ
ッ化硫黄ガス、以下同じ)の回収に関する。
ッ化硫黄ガス、以下同じ)の回収に関する。
【0002】
【従来の技術】 SF6ガスは高電圧電力用トランスや
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性,電気的安
定性,高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を可能に
し、都市の変電所の小容積化でその貢献は大きい。トラ
ンスや遮断器に充填されているSF6ガスはその純度1
00%のものや窒素ガスにより適度にうすめて充填され
るものがある。それ等が用いられている機器の点検保
守,修理のときはこれ等のガスを抜き出さなければなら
ないが、従来はこれ等のガスによる人体等への害は少な
いので大気中に放出していた。しかし、SF6ガスは高
価なガスであるため経費的に容易に回収再利用できる範
囲の回収装置は従来よりあり回収して再利用していた。
すなわち、抜取加圧と圧縮冷却によって液化回収する装
置はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回
収したり、他のガスが混合しているガスを分離してSF
6ガスのみを回収する装置などはなかった。
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性,電気的安
定性,高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を可能に
し、都市の変電所の小容積化でその貢献は大きい。トラ
ンスや遮断器に充填されているSF6ガスはその純度1
00%のものや窒素ガスにより適度にうすめて充填され
るものがある。それ等が用いられている機器の点検保
守,修理のときはこれ等のガスを抜き出さなければなら
ないが、従来はこれ等のガスによる人体等への害は少な
いので大気中に放出していた。しかし、SF6ガスは高
価なガスであるため経費的に容易に回収再利用できる範
囲の回収装置は従来よりあり回収して再利用していた。
すなわち、抜取加圧と圧縮冷却によって液化回収する装
置はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回
収したり、他のガスが混合しているガスを分離してSF
6ガスのみを回収する装置などはなかった。
【0003】 すなわち、他のガスが混入し、SF6ガ
ス濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため高
圧に圧縮し、そして低い温度までの冷却が必要となるた
め高額の装置価格となり、作られていなかった。そして
従来は、SF6ガスが使用中に遮断時のアークや熱によ
りわずかに分解されて生ずるSF4やSO2,SOF2
などの分解ガスは使用機器の特性劣化を生ずるものがあ
るためこれを防止するための除去する装置はあったが回
収時の分離精製装置はなかった。
ス濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため高
圧に圧縮し、そして低い温度までの冷却が必要となるた
め高額の装置価格となり、作られていなかった。そして
従来は、SF6ガスが使用中に遮断時のアークや熱によ
りわずかに分解されて生ずるSF4やSO2,SOF2
などの分解ガスは使用機器の特性劣化を生ずるものがあ
るためこれを防止するための除去する装置はあったが回
収時の分離精製装置はなかった。
【0004】 近年、地球温暖化防止による炭酸ガス等
の放出が規制されるようになってきた。1997年世界
環境会議が京都で開催され、その結果炭酸ガスの240
00倍の温暖化係数を持つSF6ガスもその放出が厳し
く規制されるようになった。SF6ガスを大気に漏出す
る事が無いようにするためには、 「イ」 充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを
無くする。 「ロ」 機器据付時,保守修理時,解体廃棄時等で、ガ
ス充填や抜取に係わるときに大気中に廃棄されるガスを
無くすることが重要である。この「イ」については、機
器のシール部の改良により現在は大変少なくなってい
る。また「ロ」については、電力業界は電気共同研究会
により「電力用SF6ガス取扱い基準」を平成10年1
2月に自主制定し、その排出を規制することとした。す
なわち、点検修理時は0.015MPa・abs(回収
率97vol%以上)解体撤去時は0.005MPa・
abs(回収率99vol%以上)の真空域まで吸引回
収する自主基準を作成した。高真空域まで回収すると回
収に長時間を要する欠点を生ずる。点検時の回収率が低
いのは装置停止による停電の時間を可能な限り短くする
ための妥協値であり、撤去時は十分に時間をとって真空
引きするようになっている。すなわち高真空域まで吸引
回収し、大気中への漏出量を少なく押さえている。
の放出が規制されるようになってきた。1997年世界
環境会議が京都で開催され、その結果炭酸ガスの240
00倍の温暖化係数を持つSF6ガスもその放出が厳し
く規制されるようになった。SF6ガスを大気に漏出す
る事が無いようにするためには、 「イ」 充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを
無くする。 「ロ」 機器据付時,保守修理時,解体廃棄時等で、ガ
ス充填や抜取に係わるときに大気中に廃棄されるガスを
無くすることが重要である。この「イ」については、機
器のシール部の改良により現在は大変少なくなってい
る。また「ロ」については、電力業界は電気共同研究会
により「電力用SF6ガス取扱い基準」を平成10年1
2月に自主制定し、その排出を規制することとした。す
なわち、点検修理時は0.015MPa・abs(回収
率97vol%以上)解体撤去時は0.005MPa・
abs(回収率99vol%以上)の真空域まで吸引回
収する自主基準を作成した。高真空域まで回収すると回
収に長時間を要する欠点を生ずる。点検時の回収率が低
いのは装置停止による停電の時間を可能な限り短くする
ための妥協値であり、撤去時は十分に時間をとって真空
引きするようになっている。すなわち高真空域まで吸引
回収し、大気中への漏出量を少なく押さえている。
【0005】 電力業界としては2005年までに上記
基準に合う回収装置を開発し、実施することとしてい
る。不活性ガスである窒素ガスを50vol%混入して
もインパルス破壊電圧はSF6ガス単独時の85%,商
用周波数破壊電圧は同96.6%であり、性能低下が少
ないのでSF6ガスをトランスや遮断器に封入する際に
窒素ガスによりうすめて使用するメーカーと高純度のS
F6ガスを使用するメーカーとがある。従来はこのよう
な窒素ガスが混入したガスは回収しにくいガスであった
ため,点検や廃棄時にその多くは放出廃棄していた。
基準に合う回収装置を開発し、実施することとしてい
る。不活性ガスである窒素ガスを50vol%混入して
もインパルス破壊電圧はSF6ガス単独時の85%,商
用周波数破壊電圧は同96.6%であり、性能低下が少
ないのでSF6ガスをトランスや遮断器に封入する際に
窒素ガスによりうすめて使用するメーカーと高純度のS
F6ガスを使用するメーカーとがある。従来はこのよう
な窒素ガスが混入したガスは回収しにくいガスであった
ため,点検や廃棄時にその多くは放出廃棄していた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】 トランスや遮断器で
ある被回収容器よりSF6ガスを大気中に漏出すること
なく回収することである。
ある被回収容器よりSF6ガスを大気中に漏出すること
なく回収することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】 本発明の目的は上記課
題を解決するため、臨界温度45.64℃,臨界圧力
3.66MPa・G,融点−50.8℃,昇華点−6
3.8℃のSF6ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にSF6ガスが高圧(約0.6MPa・G〜0.
3MPa・G)で充填されている。
題を解決するため、臨界温度45.64℃,臨界圧力
3.66MPa・G,融点−50.8℃,昇華点−6
3.8℃のSF6ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にSF6ガスが高圧(約0.6MPa・G〜0.
3MPa・G)で充填されている。
【0008】 被回収容器(トランス,遮断器など) に
は被回収ガス(SF6ガス)が前述の高圧で充填してあ
る。そしてSF6ガスは易液化ガスであるため、これを
加圧する加圧部と冷却液化する液化部を設け、被回収ガ
ス中のSF6ガスの濃度が高い範囲においては、加圧ガ
ス中のSF6ガス分圧も高くなるので、液化ガスの液化
温度と圧力の関係から加圧する圧力が比較的低い圧力範
囲または液化温度の比較的高い範囲で容易に液化回収で
きる。まずかかる方法により被回収容器内の内圧が加圧
ポンプにより液化可能な圧力範囲となるまで回収する。
前述のように被回収ガスはSF6ガス100%のものと
窒素ガス等によりうすめられている場合がある。この混
入ガスが存在していてもこれをSF6ガスと分離するガ
ス分離部を設ける。
は被回収ガス(SF6ガス)が前述の高圧で充填してあ
る。そしてSF6ガスは易液化ガスであるため、これを
加圧する加圧部と冷却液化する液化部を設け、被回収ガ
ス中のSF6ガスの濃度が高い範囲においては、加圧ガ
ス中のSF6ガス分圧も高くなるので、液化ガスの液化
温度と圧力の関係から加圧する圧力が比較的低い圧力範
囲または液化温度の比較的高い範囲で容易に液化回収で
きる。まずかかる方法により被回収容器内の内圧が加圧
ポンプにより液化可能な圧力範囲となるまで回収する。
前述のように被回収ガスはSF6ガス100%のものと
窒素ガス等によりうすめられている場合がある。この混
入ガスが存在していてもこれをSF6ガスと分離するガ
ス分離部を設ける。
【0009】 ガス分離部は特定ガスを吸着する吸着剤
を用いるPSA法(Pressure Swing A
dsorption)により行なう。特定ガスを含む混
合ガスを該吸着剤を充填した吸着筒に圧力を加えながら
送り込むと吸着剤に特定ガスが吸着して除かれ、吸着さ
れないガスが吸着筒の他端から分離されて取り出され
る。この工程を吸着工程という。
を用いるPSA法(Pressure Swing A
dsorption)により行なう。特定ガスを含む混
合ガスを該吸着剤を充填した吸着筒に圧力を加えながら
送り込むと吸着剤に特定ガスが吸着して除かれ、吸着さ
れないガスが吸着筒の他端から分離されて取り出され
る。この工程を吸着工程という。
【0010】 そして吸着剤に吸着ガスが吸着されてい
っぱいになる少し前に混合(原料)ガスの送入を止め、
その吸着筒の入口より吸着筒の圧力を減じてやると、吸
着剤に吸着した特定ガスが吸着剤より離脱して排出さ
れ、吸着剤の吸着能力が再生する。これを再生工程とい
う。
っぱいになる少し前に混合(原料)ガスの送入を止め、
その吸着筒の入口より吸着筒の圧力を減じてやると、吸
着剤に吸着した特定ガスが吸着剤より離脱して排出さ
れ、吸着剤の吸着能力が再生する。これを再生工程とい
う。
【0011】 この吸着工程と再生工程とを繰り返しな
がら、すなわち吸着筒に圧力を加えたり、減じたりしな
がらガスを分離するのでPressureSwing
Adsorption(圧力変動吸着) 法という。
がら、すなわち吸着筒に圧力を加えたり、減じたりしな
がらガスを分離するのでPressureSwing
Adsorption(圧力変動吸着) 法という。
【0012】 そして吸着剤には対象ガスであるSF6
ガスを吸着し、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象ガ
スであるSF6ガスを吸着せず混合している他のガスを
吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤により取
り出す対象ガスの方法が少し異なる。 例えばSF6ガ
スを対象ガスとした前者は活性炭に分子篩機能を持たせ
た分子篩炭がある。後者にはゼオライトの5Aタイプ,
4Aタイプ他がある。
ガスを吸着し、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象ガ
スであるSF6ガスを吸着せず混合している他のガスを
吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤により取
り出す対象ガスの方法が少し異なる。 例えばSF6ガ
スを対象ガスとした前者は活性炭に分子篩機能を持たせ
た分子篩炭がある。後者にはゼオライトの5Aタイプ,
4Aタイプ他がある。
【0013】 前者の場合はSF6ガスが吸着剤に吸着
し、分離されるのであるから、減圧再生工程で吸着剤よ
り離脱する工程内でSF6ガスを回収する。後者では加
圧吸着工程でSF6ガスが吸着筒の他端より分離されて
出てくるので吸着工程で得られる。かかるPSA法によ
るSF6ガスに混合しているガスから分離する排出ガス
側にSF6ガスがわずかではあるが含まれるのでこれを
大気側に廃棄することは問題となる。この排ガス中に含
まれるSF6ガスをppmオーダーに少なく押さえるこ
とは技術的にも困難である。
し、分離されるのであるから、減圧再生工程で吸着剤よ
り離脱する工程内でSF6ガスを回収する。後者では加
圧吸着工程でSF6ガスが吸着筒の他端より分離されて
出てくるので吸着工程で得られる。かかるPSA法によ
るSF6ガスに混合しているガスから分離する排出ガス
側にSF6ガスがわずかではあるが含まれるのでこれを
大気側に廃棄することは問題となる。この排ガス中に含
まれるSF6ガスをppmオーダーに少なく押さえるこ
とは技術的にも困難である。
【0014】 このため、SF6ガスを微量ではあるが
含む分離排出ガスを大気中に放出するのではなく、再び
被回収容器に戻すようにする。なお、加圧冷却し、SF
6ガスを液化する過程においても液化タンク上部空間に
はガス中に含まれる窒素等のガスが液化しないで,濃度
が高まるのでこれを抜き出し.前記分離排出ガス同様に
被回収容器に戻すようにする。すなわち、その構成は次
のようにする。
含む分離排出ガスを大気中に放出するのではなく、再び
被回収容器に戻すようにする。なお、加圧冷却し、SF
6ガスを液化する過程においても液化タンク上部空間に
はガス中に含まれる窒素等のガスが液化しないで,濃度
が高まるのでこれを抜き出し.前記分離排出ガス同様に
被回収容器に戻すようにする。すなわち、その構成は次
のようにする。
【0015】 ガス分離部とポンプを有するSF6ガス
回収装置において、被回収容器よりSF6ガスを含む被
回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6ガスと他の混
合ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、
該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成
する。
回収装置において、被回収容器よりSF6ガスを含む被
回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6ガスと他の混
合ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、
該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成
する。
【0016】 また、ガス分離部とポンプとガス供給部
を有するSF6ガス回収装置において、被回収容器より
SF6ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、
SF6ガスと他の混合ガスとに分離せしめてSF6ガス
を回収し、この混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻
すとともに、前記のガス分離部へ導入する被回収容器内
のガス圧力が前記のガス分離部の操作圧力よりも低くな
った場合には該ガス供給部内のガスを該被回収容器に導
入するように構成する。例えば、ガス分離部の操作圧力
が0.2MPa・Gであれば、このガス供給部からガス
を被回収容器へ導入することを開始する圧力も0.2M
Pa・Gが基準となる。
を有するSF6ガス回収装置において、被回収容器より
SF6ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、
SF6ガスと他の混合ガスとに分離せしめてSF6ガス
を回収し、この混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻
すとともに、前記のガス分離部へ導入する被回収容器内
のガス圧力が前記のガス分離部の操作圧力よりも低くな
った場合には該ガス供給部内のガスを該被回収容器に導
入するように構成する。例えば、ガス分離部の操作圧力
が0.2MPa・Gであれば、このガス供給部からガス
を被回収容器へ導入することを開始する圧力も0.2M
Pa・Gが基準となる。
【0017】 更に、ガス分離部と加圧部及び液化部を
有するSF6ガス回収装置において、該ガス分離部でS
F6ガスと他の混合ガスとに分離する過程、並びに該液
化部でSF6ガスを液化する過程で生ずる希釈されたS
F6ガスが混在する該混合ガスを被回収容器に戻すよう
に構成する。
有するSF6ガス回収装置において、該ガス分離部でS
F6ガスと他の混合ガスとに分離する過程、並びに該液
化部でSF6ガスを液化する過程で生ずる希釈されたS
F6ガスが混在する該混合ガスを被回収容器に戻すよう
に構成する。
【0018】
【実施例】 図1は、加圧部22や液化部23を含む本
発明の全体的な構成を示すフローシートである。図中ガ
ス分離部21の詳細は図2Aあるいは図2Bのフローシ
ートがここにあてはまる。被回収容器26の取出口より
被回収ガスをガス分離部21の被回収ガス入口1と接続
し、ガス分離部21で濃縮したSF6ガスを出口3より
加圧部22に導入し、該加圧部はバッファタンク30と
加圧ポンプ31及び一定圧以上に過加圧しないように戻
り回路を減圧弁32により構成している。
発明の全体的な構成を示すフローシートである。図中ガ
ス分離部21の詳細は図2Aあるいは図2Bのフローシ
ートがここにあてはまる。被回収容器26の取出口より
被回収ガスをガス分離部21の被回収ガス入口1と接続
し、ガス分離部21で濃縮したSF6ガスを出口3より
加圧部22に導入し、該加圧部はバッファタンク30と
加圧ポンプ31及び一定圧以上に過加圧しないように戻
り回路を減圧弁32により構成している。
【0019】 加圧されたSF6ガスは液化部23に送
り、冷却液化し貯留タンク24に貯留する。液化部23
は冷却器33,電磁弁34,36,37,液化タンク3
5より構成し、冷却器33で冷却し、液化タンク35に
送り冷却する。
り、冷却液化し貯留タンク24に貯留する。液化部23
は冷却器33,電磁弁34,36,37,液化タンク3
5より構成し、冷却器33で冷却し、液化タンク35に
送り冷却する。
【0020】 液化部23に入ってくるSF6ガスが純
度100%でない限り、液化タンク35内で暫時、SF
6ガスが液化し、貯留タンク24に取り出されると該液
化タンク内に不純ガス濃度が高くなり、液化温度や圧力
が高くなるのでその不純ガスを電磁弁36を開にして取
出し、ガス分離部以前に戻してやる必要があり、ガス分
離部21内の排ガスタンク6に排ガス入口20より入れ
てポンプ7により、被回収容器26に戻すよう構成して
いる。なお、SF6ガスが液化されて取り出されるに従
い被回収容器の圧力が低下するのでガス供給部25より
電磁弁29を開にしてガスを導入し、ガス分離部の動作
に支障のないガス圧を保つように構成する。ガス供給部
25は例えば窒素ボンベと減圧弁で構成することが好ま
しい。
度100%でない限り、液化タンク35内で暫時、SF
6ガスが液化し、貯留タンク24に取り出されると該液
化タンク内に不純ガス濃度が高くなり、液化温度や圧力
が高くなるのでその不純ガスを電磁弁36を開にして取
出し、ガス分離部以前に戻してやる必要があり、ガス分
離部21内の排ガスタンク6に排ガス入口20より入れ
てポンプ7により、被回収容器26に戻すよう構成して
いる。なお、SF6ガスが液化されて取り出されるに従
い被回収容器の圧力が低下するのでガス供給部25より
電磁弁29を開にしてガスを導入し、ガス分離部の動作
に支障のないガス圧を保つように構成する。ガス供給部
25は例えば窒素ボンベと減圧弁で構成することが好ま
しい。
【0021】 図2(A,B)にガス分離部21のフロ
ーシートを示す。図2Aは吸着剤に対象ガス(SF6ガ
ス)を強く吸着し、混合ガス(窒素ガス)を少ししか吸着
しない分子篩炭を用いるガス分離部のフローシートを示
す。 これはトランス等の被回収容器よりのガスを被回
収ガス入口1より導入し、電磁弁8,10を開として吸
着筒4に導入して吸着剤にSF6ガスを吸着させ、一部
SF6ガスを含む窒素ガス等のSF6ガスと分離した排
ガスを電磁弁14,9を通して排ガスタンク6に貯え
る。これはポンプ7により排ガス出口2より加圧排出さ
れる。これは図1の被回収容器26に戻される。
ーシートを示す。図2Aは吸着剤に対象ガス(SF6ガ
ス)を強く吸着し、混合ガス(窒素ガス)を少ししか吸着
しない分子篩炭を用いるガス分離部のフローシートを示
す。 これはトランス等の被回収容器よりのガスを被回
収ガス入口1より導入し、電磁弁8,10を開として吸
着筒4に導入して吸着剤にSF6ガスを吸着させ、一部
SF6ガスを含む窒素ガス等のSF6ガスと分離した排
ガスを電磁弁14,9を通して排ガスタンク6に貯え
る。これはポンプ7により排ガス出口2より加圧排出さ
れる。これは図1の被回収容器26に戻される。
【0022】 被回収ガスを吸着筒4に導入して、吸着
剤がSF6ガスを吸着して満杯になる前に導入を止め、
再生工程の終了した吸着筒5との間に均圧化の工程を行
う。 すなわち、電磁弁8,10,16,11,14を
閉とし、吸着筒5のすべての電磁弁を閉とし、均圧用の
電磁弁17を開とし、吸着筒4内に浮遊する窒素ガスを
吸着筒5へ一部のSF6ガスとともに移動させる。その
後電磁弁17を閉とし、吸着筒4の吸着剤に吸着したS
F6ガスは電磁弁11,18を開とし、濃縮したSF6
ガスを出口3より図1の貯留タンク30に送り出す。こ
の工程は吸着剤より吸着しているSF6ガスを減圧し、
離脱させて、出口3より取り出すとともに吸着剤の能力
を再生するので再生工程という。
剤がSF6ガスを吸着して満杯になる前に導入を止め、
再生工程の終了した吸着筒5との間に均圧化の工程を行
う。 すなわち、電磁弁8,10,16,11,14を
閉とし、吸着筒5のすべての電磁弁を閉とし、均圧用の
電磁弁17を開とし、吸着筒4内に浮遊する窒素ガスを
吸着筒5へ一部のSF6ガスとともに移動させる。その
後電磁弁17を閉とし、吸着筒4の吸着剤に吸着したS
F6ガスは電磁弁11,18を開とし、濃縮したSF6
ガスを出口3より図1の貯留タンク30に送り出す。こ
の工程は吸着剤より吸着しているSF6ガスを減圧し、
離脱させて、出口3より取り出すとともに吸着剤の能力
を再生するので再生工程という。
【0023】 吸着筒5は被回収ガスを電磁弁12より
導入し、SF6ガスを吸着剤に吸着させて電磁弁15,
9を開とし、窒素ガスを排ガスタンク6に送出し、ポン
プ7により排ガス出口2より図1の被回収容器26に送
り込む。加圧吸着工程,均圧工程,再生工程を繰り返
し、ガスの分離を行なう。このようにガス分離を被回収
ガス入口1より原料ガスを取り込み、吸着剤にSF6ガ
スを吸着して分離し再生工程で取出し、出口3より送出
する。一方、混合ガスである窒素ガスは排ガスタンク6
に貯められてポンプ7により、被回収容器に戻される。
導入し、SF6ガスを吸着剤に吸着させて電磁弁15,
9を開とし、窒素ガスを排ガスタンク6に送出し、ポン
プ7により排ガス出口2より図1の被回収容器26に送
り込む。加圧吸着工程,均圧工程,再生工程を繰り返
し、ガスの分離を行なう。このようにガス分離を被回収
ガス入口1より原料ガスを取り込み、吸着剤にSF6ガ
スを吸着して分離し再生工程で取出し、出口3より送出
する。一方、混合ガスである窒素ガスは排ガスタンク6
に貯められてポンプ7により、被回収容器に戻される。
【0024】 図2Bは吸着剤に対象ガス(SF6ガ
ス)をほとんど吸着せず、混合ガスである窒素ガスの方
を吸着するゼオライトを用いる方式の分離部のフローシ
ートを示す。被回収ガス入口1より原料ガスを導入し、
電磁弁8,10を開とし、吸着筒4に導き、吸着剤に窒
素ガス等を吸着し、他端よりSF6ガスが濃縮して電磁
弁14,18を通して出口3より図1のバッファタンク
30に送り出される。吸着筒4の吸着剤が窒素ガス等の
分離排ガスで満杯になる少し前に原料ガスの導入を止
め、再生工程の終了した吸着筒5との間に均圧化の工程
を行なう。すなわち電磁弁8,18,11,13を閉と
し、電磁弁14,15及び10と12を開とし、吸着筒
4内に浮遊するSF6ガスを吸着筒5へ一部の窒素ガス
とともに移動させた後、電磁弁10,14,13を閉と
し、電磁弁11,9,8,12,15,18を開とし、
原料ガスを吸着筒5へ導入するとともに濃縮したSF6
ガスは電磁弁15,18を通って出口3より導出され
る。吸着筒5が吸着工程に入ることになる。吸着筒4に
吸着された分離排ガスは吸着剤に吸着した窒素ガス等が
離脱し、電磁弁11,9を通り排ガスタンク6に貯えた
後、ポンプ7により排ガス出口2より図2の被回収容器
26へ送り出される。このように吸着工程,均圧工程,
再生工程が繰り返されてガスが分離される。なお、前記
の図2A及び図2Bのフローシートの説明における均圧
工程はSF6ガスの加圧液化の能力の関係で省くことも
できる。
ス)をほとんど吸着せず、混合ガスである窒素ガスの方
を吸着するゼオライトを用いる方式の分離部のフローシ
ートを示す。被回収ガス入口1より原料ガスを導入し、
電磁弁8,10を開とし、吸着筒4に導き、吸着剤に窒
素ガス等を吸着し、他端よりSF6ガスが濃縮して電磁
弁14,18を通して出口3より図1のバッファタンク
30に送り出される。吸着筒4の吸着剤が窒素ガス等の
分離排ガスで満杯になる少し前に原料ガスの導入を止
め、再生工程の終了した吸着筒5との間に均圧化の工程
を行なう。すなわち電磁弁8,18,11,13を閉と
し、電磁弁14,15及び10と12を開とし、吸着筒
4内に浮遊するSF6ガスを吸着筒5へ一部の窒素ガス
とともに移動させた後、電磁弁10,14,13を閉と
し、電磁弁11,9,8,12,15,18を開とし、
原料ガスを吸着筒5へ導入するとともに濃縮したSF6
ガスは電磁弁15,18を通って出口3より導出され
る。吸着筒5が吸着工程に入ることになる。吸着筒4に
吸着された分離排ガスは吸着剤に吸着した窒素ガス等が
離脱し、電磁弁11,9を通り排ガスタンク6に貯えた
後、ポンプ7により排ガス出口2より図2の被回収容器
26へ送り出される。このように吸着工程,均圧工程,
再生工程が繰り返されてガスが分離される。なお、前記
の図2A及び図2Bのフローシートの説明における均圧
工程はSF6ガスの加圧液化の能力の関係で省くことも
できる。
【0025】
【発明の効果】 SF6ガスと他の混合ガス(例えば窒
素ガス)とをPSA法によるガス分離部で分離する場合
に、100%完璧に分離することは技術的に困難である
が、そのような場合であっても、本発明を実施すること
により、希釈されたSF6ガスが混在する混合ガスを大
気中に放出させることなく前記の被回収容器のSF6ガ
スの処理が可能となる。
素ガス)とをPSA法によるガス分離部で分離する場合
に、100%完璧に分離することは技術的に困難である
が、そのような場合であっても、本発明を実施すること
により、希釈されたSF6ガスが混在する混合ガスを大
気中に放出させることなく前記の被回収容器のSF6ガ
スの処理が可能となる。
【図1】 本発明の全体的な構成を示すフローシートで
ある。
ある。
【図2】 ガス分離部21の詳細な説明用のフローシー
トである。図2Aは、吸着剤に分子篩炭を用いてSF6
ガスを主に吸着させる場合のフローシートであり、図2
Bは、吸着剤にゼオライトを用いてSF6ガス以外のN
2ガス等を主に吸着させる場合のフローシートである。
トである。図2Aは、吸着剤に分子篩炭を用いてSF6
ガスを主に吸着させる場合のフローシートであり、図2
Bは、吸着剤にゼオライトを用いてSF6ガス以外のN
2ガス等を主に吸着させる場合のフローシートである。
1 被回収ガス入口 2 排ガス出口 3 出口 4,5 吸着筒 6 排ガスタンク 7,7′ ポンプ 8〜19 電磁弁 20 排ガス入口 21 ガス分離部 22 加圧部 23 液化部 24 貯留タンク 25 ガス供給部 26 被回収容器 27 窒素ボンベ 28 減圧弁 30 バッファタンク 31 加圧ポンプ 32 減圧弁 33 冷却器 34,36,37 電磁弁 35 液化タンク
Claims (3)
- 【請求項1】 ガス分離部とポンプを有するSF6ガス
回収装置において、被回収容器よりSF6ガスを含む被
回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6ガスと他の混
合ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収すると共に、
該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すように構成
したことを特徴とするSF6ガス回収装置。 - 【請求項2】 ガス分離部とポンプとガス供給部を有す
るSF6ガス回収装置において、被回収容器よりSF6
ガスを含む被回収ガスを該ガス分離部に導入し、SF6
ガスと他の混合ガスとに分離せしめてSF6ガスを回収
し、更に該混合ガスを該ポンプにて被回収容器に戻すと
ともに、前記のガス分離部へ導入する被回収ガスの圧力
が前記のガス分離部の操作圧力よりも低くなった場合に
は該ガス供給部内のガスを該被回収容器に導入するよう
に構成したことを特徴とするSF6ガス回収装置。 - 【請求項3】 ガス分離部と加圧部及び液化部を有する
SF6ガス回収装置において、該ガス分離部でSF6ガ
スと他の混合ガスとに分離する過程、並びに該液化部で
SF6ガスを液化する過程で生ずる希釈されたSF6ガ
スが混在する該混合ガスを被回収容器に戻すように構成
したことを特徴とするSF6ガス回収装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000010143A JP2001129344A (ja) | 1999-08-23 | 2000-01-14 | Sf6ガス回収装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-235429 | 1999-08-23 | ||
JP23542999 | 1999-08-23 | ||
JP2000010143A JP2001129344A (ja) | 1999-08-23 | 2000-01-14 | Sf6ガス回収装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001129344A true JP2001129344A (ja) | 2001-05-15 |
Family
ID=26532123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000010143A Pending JP2001129344A (ja) | 1999-08-23 | 2000-01-14 | Sf6ガス回収装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001129344A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002355518A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | 特定ガス回収装置 |
JP2003044146A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | 特定ガスの充填濃度調節器 |
JP2003299931A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | ガス分離方法及びガス分離装置 |
CN106090601A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-11-09 | 国网福建省电力有限公司 | 便携式回收充气移动装置 |
CN116221620A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-06-06 | 江苏省送变电有限公司 | 一种六氟化硫快速气化系统及其控制方法 |
-
2000
- 2000-01-14 JP JP2000010143A patent/JP2001129344A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002355518A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-10 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | 特定ガス回収装置 |
JP2003044146A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | 特定ガスの充填濃度調節器 |
JP2003299931A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | ガス分離方法及びガス分離装置 |
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