JP2000288331A - 混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法 - Google Patents
混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 凝縮性ガスと不凝縮性ガスの混合ガスを電気
絶縁ガスとして使用するガス絶縁機器の処理に必要な、
凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収
方法を提供する。 【解決手段】 ガス絶縁装置１０１と、サージタンク１
０２と、真空ポンプ１０３と、ガス圧縮機１０４と、混
合ガスを冷却するクーラー１０５と、混合ガス分離器１
０６と、窒素ガスを吸着する吸着剤１０７と、ＳＦ6ガ
ス又は窒素ガスの濃度計１０８と、貯蔵タンク１０９
と、貯蔵タンク１０９に内蔵された冷却装置１０９ａ
と、ＳＦ6を加熱して気化させる気化器１１０と、切替
弁の制御を行うガス濃度制御装置１１１と、混合ガス分
離器１０６内の残ガスを排出する排気装置１１２と、を
備えた凝縮性ガス回収装置１００とした。
絶縁ガスとして使用するガス絶縁機器の処理に必要な、
凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収
方法を提供する。 【解決手段】 ガス絶縁装置１０１と、サージタンク１
０２と、真空ポンプ１０３と、ガス圧縮機１０４と、混
合ガスを冷却するクーラー１０５と、混合ガス分離器１
０６と、窒素ガスを吸着する吸着剤１０７と、ＳＦ6ガ
ス又は窒素ガスの濃度計１０８と、貯蔵タンク１０９
と、貯蔵タンク１０９に内蔵された冷却装置１０９ａ
と、ＳＦ6を加熱して気化させる気化器１１０と、切替
弁の制御を行うガス濃度制御装置１１１と、混合ガス分
離器１０６内の残ガスを排出する排気装置１１２と、を
備えた凝縮性ガス回収装置１００とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は凝縮性ガスと不凝縮
性ガスからなる混合ガスから凝縮性ガスと不凝縮性ガス
を分離し、凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及
び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法に関するもので、
特に電力機器に使用される電気絶縁ガスである、不凝縮
性ガスである窒素ガスと凝縮性ガスである６弗化硫黄
（以下、ＳＦ 6とする。）ガスよりなる混合ガスから、
窒素ガスと、ＳＦ6ガスを分離し、ＳＦ 6ガスを回収する
凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収
方法に関するものである。
性ガスからなる混合ガスから凝縮性ガスと不凝縮性ガス
を分離し、凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及
び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法に関するもので、
特に電力機器に使用される電気絶縁ガスである、不凝縮
性ガスである窒素ガスと凝縮性ガスである６弗化硫黄
（以下、ＳＦ 6とする。）ガスよりなる混合ガスから、
窒素ガスと、ＳＦ6ガスを分離し、ＳＦ 6ガスを回収する
凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電力プラントに設置されるガス絶縁開閉
装置等のガス絶縁装置には、絶縁ガスとしてＳＦ6ガス
等の凝縮性ガスが封入されているが、電力プラントの点
検時にはこのガス絶縁装置を開放する必要がある。この
際、装置に封入されたＳＦ6ガス等の凝縮性ガスを大気
中に放出することなく回収することが、経済性や、地球
温暖化防止の観点から求められるようになってきてい
る。
装置等のガス絶縁装置には、絶縁ガスとしてＳＦ6ガス
等の凝縮性ガスが封入されているが、電力プラントの点
検時にはこのガス絶縁装置を開放する必要がある。この
際、装置に封入されたＳＦ6ガス等の凝縮性ガスを大気
中に放出することなく回収することが、経済性や、地球
温暖化防止の観点から求められるようになってきてい
る。
【０００３】この要求に応えるべく、例えば特公平５−
７８７１８号公報においてＳＦ6 等の絶縁ガスとして用
いられる凝縮性ガスの回収を目的としたガス置換回収装
置が提案されており、図４にそのシステム系統図を示
す。
７８７１８号公報においてＳＦ6 等の絶縁ガスとして用
いられる凝縮性ガスの回収を目的としたガス置換回収装
置が提案されており、図４にそのシステム系統図を示
す。
【０００４】図において、５０１は絶縁ガス液化置換回
収装置であり、５０２はＳＦ6ガス絶縁機器等のガス置
換の対象となる機器を収納するための容器である。絶縁
ガス液化置換回収装置５０１は接続口５０５および５０
６を備えており、上部口５０３および下部口５０４を介
して容器５０２と接続している。
収装置であり、５０２はＳＦ6ガス絶縁機器等のガス置
換の対象となる機器を収納するための容器である。絶縁
ガス液化置換回収装置５０１は接続口５０５および５０
６を備えており、上部口５０３および下部口５０４を介
して容器５０２と接続している。
【０００５】次に、絶縁ガス液化置換回収装直５０１に
おいて、５０７、５１０、５１８、５３０、５３２、５
３４および５３６は弁であり、５０８は四方切替弁であ
る。また、５１２は活性ゼオライト等の固体乾燥剤を充
填した充填管よりなるドライヤであり、５１５はガス濃
度および水分を測定する濃度水分計であり、５１９は往
復動圧縮機、回転圧縮機等任意の公知の圧縮機を用いた
ガス圧縮機であり、５２２はオイルミストフィルタを備
えた油分離機であり、５２３はフィンチューブおよびフ
ァンを備えた空冷クーラであり、５２４は冷却分離器で
あり、５２５は冷媒を循環させるための冷凍機であり、
５２８は気化器である。
おいて、５０７、５１０、５１８、５３０、５３２、５
３４および５３６は弁であり、５０８は四方切替弁であ
る。また、５１２は活性ゼオライト等の固体乾燥剤を充
填した充填管よりなるドライヤであり、５１５はガス濃
度および水分を測定する濃度水分計であり、５１９は往
復動圧縮機、回転圧縮機等任意の公知の圧縮機を用いた
ガス圧縮機であり、５２２はオイルミストフィルタを備
えた油分離機であり、５２３はフィンチューブおよびフ
ァンを備えた空冷クーラであり、５２４は冷却分離器で
あり、５２５は冷媒を循環させるための冷凍機であり、
５２８は気化器である。
【０００６】次に絶縁ガス液化置換回収装置５０１の内
部系統を説明する。接続口５０５からは弁５０７を経て
配管５０９が、また接続口５０６からは弁５１０を経て
配管５１１が、それぞれ四方切替弁５０８に接続してい
る。同図に示すように、四方切替弁５０８において、配
管５０９と５１１とは対向しているが、互いに接続され
ないようになっている。また、接続口５０５から弁５０
７に至る配管は途中で分岐しており、空気流入弁５１６
を介して、回収装置５０１の外部、すなわち大気中へ開
口している空気導入配管５１７へ至る。
部系統を説明する。接続口５０５からは弁５０７を経て
配管５０９が、また接続口５０６からは弁５１０を経て
配管５１１が、それぞれ四方切替弁５０８に接続してい
る。同図に示すように、四方切替弁５０８において、配
管５０９と５１１とは対向しているが、互いに接続され
ないようになっている。また、接続口５０５から弁５０
７に至る配管は途中で分岐しており、空気流入弁５１６
を介して、回収装置５０１の外部、すなわち大気中へ開
口している空気導入配管５１７へ至る。
【０００７】四方切替弁５０８において、上記配管５０
６および５１１と直交する２つの口のうち、一方は回収
配管５Ｉ３を介してドライヤ５１２に接続している。ま
た回収配管５１３は途中で分岐してバイパス配管５１４
となり、濃度水分計５１５に接続している。
６および５１１と直交する２つの口のうち、一方は回収
配管５Ｉ３を介してドライヤ５１２に接続している。ま
た回収配管５１３は途中で分岐してバイパス配管５１４
となり、濃度水分計５１５に接続している。
【０００８】ドライヤ５１２から更にガス配管５２０が
延伸し、これは弁５１８および弁５３０がある２つの方
向に分岐している。弁５１８の側、ガス圧縮機５１９に
接続している。ガス圧縮機５１９からは更にガス配管５
２１が延伸し、油分離器５２２、空冷クーラ５２３およ
び冷却分離器５２４を順に接続している。冷却分離器５
２４からは液化ガス配管５２６および不凝縮性ガスの排
気管５２７がそれぞれ延伸している。液化ガス配管５２
６は気化器５２８に接続していて、気化器５２８、弁５
３７を介してガス送出配管５２９を経た後、四方切替弁
５０８に接表している。
延伸し、これは弁５１８および弁５３０がある２つの方
向に分岐している。弁５１８の側、ガス圧縮機５１９に
接続している。ガス圧縮機５１９からは更にガス配管５
２１が延伸し、油分離器５２２、空冷クーラ５２３およ
び冷却分離器５２４を順に接続している。冷却分離器５
２４からは液化ガス配管５２６および不凝縮性ガスの排
気管５２７がそれぞれ延伸している。液化ガス配管５２
６は気化器５２８に接続していて、気化器５２８、弁５
３７を介してガス送出配管５２９を経た後、四方切替弁
５０８に接表している。
【０００９】また、弁５３０の側に延伸したガス配管５
２０はブロワ５３１に接続しており、次いでブロワ５３
１から弁５３２を介してガス循環配管５３３に接続した
後、上記の気化器５２８から延伸したガス送出配管５２
９と合流する。なお、ここで同図に示すように四方切替
弁５０８において、ガス送出配管５２９と回収監管５１
３とは対向しているが、互いに接続されないようになっ
ている。
２０はブロワ５３１に接続しており、次いでブロワ５３
１から弁５３２を介してガス循環配管５３３に接続した
後、上記の気化器５２８から延伸したガス送出配管５２
９と合流する。なお、ここで同図に示すように四方切替
弁５０８において、ガス送出配管５２９と回収監管５１
３とは対向しているが、互いに接続されないようになっ
ている。
【００１０】また、ここでは図示しないＳＦ6ガスボン
ベに接続しているガス供給口５３４からはガス供給配管
５３５が延伸していて、液化ガス配管５２６に合流して
いる。
ベに接続しているガス供給口５３４からはガス供給配管
５３５が延伸していて、液化ガス配管５２６に合流して
いる。
【００１１】以上のような絶縁ガス液化置換回収装置５
０１による絶縁ガスの回収は、次のように行われる。ま
ずＳＦ6ガス絶縁機器等の容器５０２内にてＳＦ6ガスを
置換する場合には、四方切替弁５０８を図４に実線で示
す方向に切替えておき、配管５０９と回収配管５１３、
および配管５１１とガス送出配管５２９がそれぞれ接続
しているようにする。
０１による絶縁ガスの回収は、次のように行われる。ま
ずＳＦ6ガス絶縁機器等の容器５０２内にてＳＦ6ガスを
置換する場合には、四方切替弁５０８を図４に実線で示
す方向に切替えておき、配管５０９と回収配管５１３、
および配管５１１とガス送出配管５２９がそれぞれ接続
しているようにする。
【００１２】次に、ここでは図示しないＳＦ6ガスボン
ベよりガス供給口５３４を介して液化ＳＦ6ガスを回収
装置５０１へ導入する。導入された液化ＳＦ6ガスは気
化器５２８で完全に気化減圧され気体であるＳＦ6ガス
として、弁５３７を介してガス送出配管５２９へ送出さ
れ四方切替弁５０８を介して配管５１１を通過した後、
下都口５０４を経て容器５０２の内部へ導入される。
ベよりガス供給口５３４を介して液化ＳＦ6ガスを回収
装置５０１へ導入する。導入された液化ＳＦ6ガスは気
化器５２８で完全に気化減圧され気体であるＳＦ6ガス
として、弁５３７を介してガス送出配管５２９へ送出さ
れ四方切替弁５０８を介して配管５１１を通過した後、
下都口５０４を経て容器５０２の内部へ導入される。
【００１３】上記の下部口５０４からのＳＦ6ガスの導
入を受けて、容器５０２の上部口５０３からは空気とＳ
Ｆ6ガスの混合ガスが排出される。この混合ガスは上部
口５０３に連結された接続口５０５を介して回収装置１
へ導入される。次いで混合ガスは、四方切替弁５０８を
介して回収配管５１３へ送出されドライヤ５１２に導入
される。
入を受けて、容器５０２の上部口５０３からは空気とＳ
Ｆ6ガスの混合ガスが排出される。この混合ガスは上部
口５０３に連結された接続口５０５を介して回収装置１
へ導入される。次いで混合ガスは、四方切替弁５０８を
介して回収配管５１３へ送出されドライヤ５１２に導入
される。
【００１４】ドライヤ５１２において、上記混合ガスは
含有する微量の水分を取り除かれて完全に乾燥された
後、ガス圧縮機５１９に送出されて、ここで３０ｋｇ／
ｃｍ２Ｇ以上に圧縮される。さらに圧縮された混合ガス
は油分離器５２２に送られる。なお、ガス圧縮機５１９
の作業によって、混合ガスには微量の油がオイルミスト
として混入しており、油分離器５２２はこのオイルミス
トを混合ガスから除去するためのものである。
含有する微量の水分を取り除かれて完全に乾燥された
後、ガス圧縮機５１９に送出されて、ここで３０ｋｇ／
ｃｍ２Ｇ以上に圧縮される。さらに圧縮された混合ガス
は油分離器５２２に送られる。なお、ガス圧縮機５１９
の作業によって、混合ガスには微量の油がオイルミスト
として混入しており、油分離器５２２はこのオイルミス
トを混合ガスから除去するためのものである。
【００１５】油分離器５２２においてオイルミストが除
去された混合ガスは、次いで空冷クーラ５２３に送出さ
れここで常温付近まで冷却された後、冷却分離器５２４
に送られる。冷却分離器５２４は、冷凍機５２５より冷
媒を循環されることにより動作するものであり、混合ガ
スをその圧力に応じて−２０℃以下に冷却する。この段
階で混合ガスにおいてＳＦ6ガスの殆どは液化され空気
等の不凝縮性ガスと分離される。
去された混合ガスは、次いで空冷クーラ５２３に送出さ
れここで常温付近まで冷却された後、冷却分離器５２４
に送られる。冷却分離器５２４は、冷凍機５２５より冷
媒を循環されることにより動作するものであり、混合ガ
スをその圧力に応じて−２０℃以下に冷却する。この段
階で混合ガスにおいてＳＦ6ガスの殆どは液化され空気
等の不凝縮性ガスと分離される。
【００１６】分離された液化ＳＦ6ガスは冷却分離器５
２４の底部に貯蔵される。さらに液化ＳＦ6ガスは気化
器５２８に送られほぼ常圧にまで減圧・加熱して再び気
化される。気化した液化ＳＦ6ガスは、四方切替弁５０
８を介して配管５１１へ送出され、最後にＳＦ6ガス絶
息機器の容器５０２へと導入されて、循環のサイクルを
完了する。また循現しない場合は、ＳＦ6ガスは液化ガ
ス配管５２６から弁５３６を介して回収される。
２４の底部に貯蔵される。さらに液化ＳＦ6ガスは気化
器５２８に送られほぼ常圧にまで減圧・加熱して再び気
化される。気化した液化ＳＦ6ガスは、四方切替弁５０
８を介して配管５１１へ送出され、最後にＳＦ6ガス絶
息機器の容器５０２へと導入されて、循環のサイクルを
完了する。また循現しない場合は、ＳＦ6ガスは液化ガ
ス配管５２６から弁５３６を介して回収される。
【００１７】一方、混合ガスから分離された不凝縮性ガ
スは排気管５２７を通じて回収装置の外部、すなわち大
気中へ排出される。この排出された不凝縮性ガスには、
先に冷却分離器５２４の冷却温度における蒸気圧に応じ
て、液化しなかった微量のＳＦ6ガスが含まれている。
スは排気管５２７を通じて回収装置の外部、すなわち大
気中へ排出される。この排出された不凝縮性ガスには、
先に冷却分離器５２４の冷却温度における蒸気圧に応じ
て、液化しなかった微量のＳＦ6ガスが含まれている。
【００１８】
【発明が解決しようとする裸題】従来のガス液化置換回
収装置は、以上の動作によって絶縁ガスの液化置換を行
うものであるが、かかるガス液化置換回収装置において
は、系統内に混入した空気等の不凝縮性ガスは冷却分離
器５２４から排気管５２７を経て大気中に放出するよう
にしているために、不凝縮性ガスに含まれている、冷却
温度状態でのＳＦ 6の上記圧分であるＳＦ6ガスも同時に
大気中に放出されることになる。
収装置は、以上の動作によって絶縁ガスの液化置換を行
うものであるが、かかるガス液化置換回収装置において
は、系統内に混入した空気等の不凝縮性ガスは冷却分離
器５２４から排気管５２７を経て大気中に放出するよう
にしているために、不凝縮性ガスに含まれている、冷却
温度状態でのＳＦ 6の上記圧分であるＳＦ6ガスも同時に
大気中に放出されることになる。
【００１９】この時、処理する絶縁ガスが純粋なＳＦ6
ガスである場合は、含まれる不凝縮性ガスはガス回収操
作の過程で微量混入してくる程度のものとなり、その絶
対量が少ないため問題は軽微となるが、絶縁ガスが混合
ガスである場合のように、不凝縮性ガスの比率がＳＦ6
ガスの比率より大きいものを処理する際はＳＦ6の大気
放出量も大きくなるため、この問題は看過できないもの
となる。
ガスである場合は、含まれる不凝縮性ガスはガス回収操
作の過程で微量混入してくる程度のものとなり、その絶
対量が少ないため問題は軽微となるが、絶縁ガスが混合
ガスである場合のように、不凝縮性ガスの比率がＳＦ6
ガスの比率より大きいものを処理する際はＳＦ6の大気
放出量も大きくなるため、この問題は看過できないもの
となる。
【００２０】このような問題を防ぐために、ガス絶縁機
器の内部で発生したり、ガス置換する過程で混入してく
る微量の不凝縮性ガスを吸着材にすべて吸着させて、不
凝縮性ガスを除去しようという技術が、例えば特開平９
−２８５７１９号公報に開示されている。
器の内部で発生したり、ガス置換する過程で混入してく
る微量の不凝縮性ガスを吸着材にすべて吸着させて、不
凝縮性ガスを除去しようという技術が、例えば特開平９
−２８５７１９号公報に開示されている。
【００２１】この文献が開示する技術は、図５に示すよ
うに、不凝縮性ガスをわずかに含むＳＦ6ガスを圧縮器
２５１で圧縮してやリ、第１空気吸着容器２５３を経て
液化容器２５２に導入するようにしたものであり、第１
空気吸着容器２５３の内部には合成ゼオライト２３４が
充填されていて、これにＳＦガス中に含まれる窒素ガス
や酸素ガス等の不凝縮性ガスを吸着させることにより、
不凝縮性ガスの除去を行うというものである。
うに、不凝縮性ガスをわずかに含むＳＦ6ガスを圧縮器
２５１で圧縮してやリ、第１空気吸着容器２５３を経て
液化容器２５２に導入するようにしたものであり、第１
空気吸着容器２５３の内部には合成ゼオライト２３４が
充填されていて、これにＳＦガス中に含まれる窒素ガス
や酸素ガス等の不凝縮性ガスを吸着させることにより、
不凝縮性ガスの除去を行うというものである。
【００２２】しかしながら、上述のような技術は、不凝
縮性ガスの絶対量が微量である場合には有効であるが混
合ガスのように不凝縮性ガスの比率がＳＦ6ガスの比率
より明らかに大きいようなものに対しては適用できない
という欠点がある。
縮性ガスの絶対量が微量である場合には有効であるが混
合ガスのように不凝縮性ガスの比率がＳＦ6ガスの比率
より明らかに大きいようなものに対しては適用できない
という欠点がある。
【００２３】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであり、ＳＦ6ガス等の凝縮性ガスと、窒素ガス等
の不凝縮性ガスよりなる混合ガスを電気絶縁ガスとして
使用するガス絶縁機器の処理に必要な、凝縮性ガス回収
装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法を提供しよ
うとするものである。
ものであり、ＳＦ6ガス等の凝縮性ガスと、窒素ガス等
の不凝縮性ガスよりなる混合ガスを電気絶縁ガスとして
使用するガス絶縁機器の処理に必要な、凝縮性ガス回収
装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法を提供しよ
うとするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
め、本発明の請求項１に記載の混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置では、少なくとも、ガス
絶縁機器に封入された凝縮性ガスと不凝縮性ガスからな
る混合ガスを一時貯留するサージタンクと、前記ガス絶
縁機器内の前記混合ガスを負圧域まで回収する真空ポン
プと、前記混合ガスを高気圧に圧縮する圧縮機と、高気
圧に圧縮することにより温度上昇した前記混合ガスを冷
却するクーラと、少なくとも１対よりなる、前記クーラ
により冷却された前記混合ガス中の前記不凝縮性ガスを
吸着する吸着材を充填した混合ガス分離器と、前記混合
ガス分離器の出口から排出される気体に含まれる前記凝
縮性ガス濃度若しくは前記不凝縮ガス濃度を測定する、
予め基準濃度が設定可能なガス濃度計と、前記混合ガス
から回収した前記凝縮性ガスを貯蔵する、冷却手段を備
えた貯蔵タンクと、を備えた、混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置において、前記混合ガス
分離器より排出される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃
度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の
値より高いか、前記混合ガス分離器より排出される気体
に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に
予め設定されている基準濃度の値より低いか、いずれか
の場合においては、前記混合ガス分離器より排出される
前記不凝縮性ガスを含む前記凝縮性ガスを貯蔵タンクに
流入させ、前記混合ガス分離器より排出される気体に含
まれる前記凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設
定されている基準濃度の値より低いか、前記混合ガス分
離器より排出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃
度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の
値より高いか、いずれかの場合においては、前記混合ガ
ス分離器より排出される前記不凝縮性ガス及び前記凝縮
性ガスは前記圧縮機の低圧側に流入させるように構成し
たこと、を特徴とする。
め、本発明の請求項１に記載の混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置では、少なくとも、ガス
絶縁機器に封入された凝縮性ガスと不凝縮性ガスからな
る混合ガスを一時貯留するサージタンクと、前記ガス絶
縁機器内の前記混合ガスを負圧域まで回収する真空ポン
プと、前記混合ガスを高気圧に圧縮する圧縮機と、高気
圧に圧縮することにより温度上昇した前記混合ガスを冷
却するクーラと、少なくとも１対よりなる、前記クーラ
により冷却された前記混合ガス中の前記不凝縮性ガスを
吸着する吸着材を充填した混合ガス分離器と、前記混合
ガス分離器の出口から排出される気体に含まれる前記凝
縮性ガス濃度若しくは前記不凝縮ガス濃度を測定する、
予め基準濃度が設定可能なガス濃度計と、前記混合ガス
から回収した前記凝縮性ガスを貯蔵する、冷却手段を備
えた貯蔵タンクと、を備えた、混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置において、前記混合ガス
分離器より排出される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃
度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の
値より高いか、前記混合ガス分離器より排出される気体
に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に
予め設定されている基準濃度の値より低いか、いずれか
の場合においては、前記混合ガス分離器より排出される
前記不凝縮性ガスを含む前記凝縮性ガスを貯蔵タンクに
流入させ、前記混合ガス分離器より排出される気体に含
まれる前記凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設
定されている基準濃度の値より低いか、前記混合ガス分
離器より排出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃
度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の
値より高いか、いずれかの場合においては、前記混合ガ
ス分離器より排出される前記不凝縮性ガス及び前記凝縮
性ガスは前記圧縮機の低圧側に流入させるように構成し
たこと、を特徴とする。
【００２５】本発明の請求項２に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項１
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、少なくとも１対よりなる前記混合ガ
ス分離器の一方が、前記混合ガス分離器内に前記混合ガ
スを流入させて前記混合ガス分離器内部を加圧する流入
加圧作業と、前記混合ガス分離器内部の気体を流出させ
て前記混合ガス分離器内部を減圧する流出減圧作業と、
を交互に繰り返し行い、前記混合ガス分離器の一方が前
記流入加圧作業を行っている時は、これと同時に他方が
前記流出減圧作業を、前記混合ガス分離器の一方が前記
流出減圧作業を行っている時は、これと同時に他方が前
記流入加圧作業を行うように構成したこと、を特徴とす
る。
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項１
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、少なくとも１対よりなる前記混合ガ
ス分離器の一方が、前記混合ガス分離器内に前記混合ガ
スを流入させて前記混合ガス分離器内部を加圧する流入
加圧作業と、前記混合ガス分離器内部の気体を流出させ
て前記混合ガス分離器内部を減圧する流出減圧作業と、
を交互に繰り返し行い、前記混合ガス分離器の一方が前
記流入加圧作業を行っている時は、これと同時に他方が
前記流出減圧作業を、前記混合ガス分離器の一方が前記
流出減圧作業を行っている時は、これと同時に他方が前
記流入加圧作業を行うように構成したこと、を特徴とす
る。
【００２６】本発明の請求項３に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項２
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記混合ガス分離器内部の気体を外
部に流出させるガス排気装置を設けたことを特徴とす
る。
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項２
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記混合ガス分離器内部の気体を外
部に流出させるガス排気装置を設けたことを特徴とす
る。
【００２７】本発明の請求項４に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項３
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記混合ガス分離器に、前記混合ガ
ス分離器の不凝縮性ガスを吸着する能力を検知する吸着
能力検出装置を備え、１対よりなる前記混合ガス分離器
の、前記流入加圧作業中の前記混合ガス分離器の不凝縮
性ガス吸着能力が飽和したことを前記吸着能力検出装置
が検知した時、不凝縮性ガス吸着能力が飽和した前記混
合ガス分離器の行う作業が、前記流入加圧作業から前記
流出減圧作業に切り替わると同時に、他方の前記混合ガ
ス分離器の行う作業が前記流出減圧作業から前記流入加
圧作業に切り替わるように構成したこと、を特徴とす
る。
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項３
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記混合ガス分離器に、前記混合ガ
ス分離器の不凝縮性ガスを吸着する能力を検知する吸着
能力検出装置を備え、１対よりなる前記混合ガス分離器
の、前記流入加圧作業中の前記混合ガス分離器の不凝縮
性ガス吸着能力が飽和したことを前記吸着能力検出装置
が検知した時、不凝縮性ガス吸着能力が飽和した前記混
合ガス分離器の行う作業が、前記流入加圧作業から前記
流出減圧作業に切り替わると同時に、他方の前記混合ガ
ス分離器の行う作業が前記流出減圧作業から前記流入加
圧作業に切り替わるように構成したこと、を特徴とす
る。
【００２８】本発明の請求項５に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項４
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記貯蔵タンクに貯蔵する前記凝縮
性ガスの液体を気化させて前記ガス絶縁機器に封入する
気化器を設けたこと、を特徴とする。
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項４
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、前記貯蔵タンクに貯蔵する前記凝縮
性ガスの液体を気化させて前記ガス絶縁機器に封入する
気化器を設けたこと、を特徴とする。
【００２９】本発明の請求項６に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項１
ないし請求項５のいずれか１項に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置において、前記
凝縮性ガスが、６弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭化水素のハ
ロゲン化合物のいずれかであり、前記不凝縮性ガスが、
窒素ガスであり、前記吸着材が、カルシウム元素を含む
アルミノ珪酸塩であること、を特徴とする。
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置では、請求項１
ないし請求項５のいずれか１項に記載の混合ガスから凝
縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置において、前記
凝縮性ガスが、６弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭化水素のハ
ロゲン化合物のいずれかであり、前記不凝縮性ガスが、
窒素ガスであり、前記吸着材が、カルシウム元素を含む
アルミノ珪酸塩であること、を特徴とする。
【００３０】本発明の請求項７に記載の凝縮性ガス回収
方法では、少なくとも、ガス絶縁機器に封入された凝縮
性ガスと不凝縮性ガスからなる混合ガスを一時貯留する
サージタンクと、前記ガス絶縁機器内の前記混合ガスを
負圧域まで回収する真空ポンプと、前記混合ガスを高気
圧に圧縮する圧縮機と、高気圧に圧縮することにより温
度上昇した前記混合ガスを冷却するクーラと、少なくと
も１対よりなる、前記クーラにより冷却された前記混合
ガス中の前記不凝縮性ガスを吸着する吸着材を充填した
混合ガス分離器と、前記混合ガス分離器の出口から排出
される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃度若しくは前記
不凝縮ガス濃度を測定する、予め基準濃度が設定可能な
ガス濃度計と、前記混合ガスから回収した前記凝縮性ガ
スを貯蔵する、冷却手段を備えた貯蔵タンクと、を備え
た、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収
装置において、前記混合ガス分離器より排出される気体
に含まれる前記凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予
め設定されている基準濃度の値より高いか、前記混合ガ
ス分離器より排出される気体に含まれる前記不凝縮性ガ
ス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃
度の値より低いか、いずれかの場合においては、前記混
合ガス分離器より排出される前記不凝縮性ガスを含む前
記凝縮性ガスを貯蔵タンクに流入させ、前記混合ガス分
離器より排出される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃度
が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値
より低いか、前記混合ガス分離器より排出される気体に
含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予
め設定されている基準濃度の値より高いか、いずれかの
場合においては、前記混合ガス分離器より排出される前
記不凝縮性ガス及び前記凝縮性ガスは前記圧縮機の低圧
側に流入させるように構成した混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置を用いたことを特徴とす
る。
方法では、少なくとも、ガス絶縁機器に封入された凝縮
性ガスと不凝縮性ガスからなる混合ガスを一時貯留する
サージタンクと、前記ガス絶縁機器内の前記混合ガスを
負圧域まで回収する真空ポンプと、前記混合ガスを高気
圧に圧縮する圧縮機と、高気圧に圧縮することにより温
度上昇した前記混合ガスを冷却するクーラと、少なくと
も１対よりなる、前記クーラにより冷却された前記混合
ガス中の前記不凝縮性ガスを吸着する吸着材を充填した
混合ガス分離器と、前記混合ガス分離器の出口から排出
される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃度若しくは前記
不凝縮ガス濃度を測定する、予め基準濃度が設定可能な
ガス濃度計と、前記混合ガスから回収した前記凝縮性ガ
スを貯蔵する、冷却手段を備えた貯蔵タンクと、を備え
た、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収
装置において、前記混合ガス分離器より排出される気体
に含まれる前記凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予
め設定されている基準濃度の値より高いか、前記混合ガ
ス分離器より排出される気体に含まれる前記不凝縮性ガ
ス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃
度の値より低いか、いずれかの場合においては、前記混
合ガス分離器より排出される前記不凝縮性ガスを含む前
記凝縮性ガスを貯蔵タンクに流入させ、前記混合ガス分
離器より排出される気体に含まれる前記凝縮性ガス濃度
が、前記ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値
より低いか、前記混合ガス分離器より排出される気体に
含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予
め設定されている基準濃度の値より高いか、いずれかの
場合においては、前記混合ガス分離器より排出される前
記不凝縮性ガス及び前記凝縮性ガスは前記圧縮機の低圧
側に流入させるように構成した混合ガスから凝縮性ガス
を回収する凝縮性ガス回収装置を用いたことを特徴とす
る。
【００３１】本発明の請求項８に記載の凝縮性ガス回収
方法では、請求項７に記載の凝縮性ガス回収方法におい
て、前記凝縮性ガス回収装置に用いる、少なくとも１対
よりなる前記混合ガス分離器の一方が、前記混合ガス分
離器内に前記混合ガスを流入させて前記混合ガス分離器
内部を加圧する流入加圧作業と、前記混合ガス分離器内
部の気体を流出させて前記混合ガス分離器内部を減圧す
る流出減圧作業と、を交互に繰り返し行い、前記混合ガ
ス分離器の一方が前記流入加圧作業を行っている時は、
これと同時に他方が前記流出減圧作業を、前記混合ガス
分離器の一方が前記流出減圧作業を行っている時は、こ
れと同時に他方が前記流入加圧作業を行うように構成し
たこと、を特徴とする。
方法では、請求項７に記載の凝縮性ガス回収方法におい
て、前記凝縮性ガス回収装置に用いる、少なくとも１対
よりなる前記混合ガス分離器の一方が、前記混合ガス分
離器内に前記混合ガスを流入させて前記混合ガス分離器
内部を加圧する流入加圧作業と、前記混合ガス分離器内
部の気体を流出させて前記混合ガス分離器内部を減圧す
る流出減圧作業と、を交互に繰り返し行い、前記混合ガ
ス分離器の一方が前記流入加圧作業を行っている時は、
これと同時に他方が前記流出減圧作業を、前記混合ガス
分離器の一方が前記流出減圧作業を行っている時は、こ
れと同時に他方が前記流入加圧作業を行うように構成し
たこと、を特徴とする。
【００３２】本発明の請求項９に記載の凝縮性ガス回収
方法では、請求項８に記載の凝縮性ガス回収方法におい
て、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分離
器内部の気体を外部に流出させるガス排気装置を設けた
ことを特徴とする。
方法では、請求項８に記載の凝縮性ガス回収方法におい
て、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分離
器内部の気体を外部に流出させるガス排気装置を設けた
ことを特徴とする。
【００３３】本発明の請求項１０に記載の凝縮性ガス回
収方法では、請求項９に記載の凝縮性ガス回収方法にお
いて、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分
離器に、前記混合ガス分離器の不凝縮性ガスを吸着する
能力を検知する吸着能力検出装置を備え、１対よりなる
前記混合ガス分離器の、前記流入加圧作業中の前記混合
ガス分離器の不凝縮性ガス吸着能力が飽和したことを前
記吸着能力検出装置が検知した時、不凝縮性ガス吸着能
力が飽和した前記混合ガス分離器の行う作業が、前記流
入加圧作業から前記流出減圧作業に切り替わると同時
に、他方の前記混合ガス分離器の行う作業が前記流出減
圧作業から前記流入加圧作業に切り替わるように構成し
たことを特徴とする。
収方法では、請求項９に記載の凝縮性ガス回収方法にお
いて、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分
離器に、前記混合ガス分離器の不凝縮性ガスを吸着する
能力を検知する吸着能力検出装置を備え、１対よりなる
前記混合ガス分離器の、前記流入加圧作業中の前記混合
ガス分離器の不凝縮性ガス吸着能力が飽和したことを前
記吸着能力検出装置が検知した時、不凝縮性ガス吸着能
力が飽和した前記混合ガス分離器の行う作業が、前記流
入加圧作業から前記流出減圧作業に切り替わると同時
に、他方の前記混合ガス分離器の行う作業が前記流出減
圧作業から前記流入加圧作業に切り替わるように構成し
たことを特徴とする。
【００３４】本発明の請求項１１に記載の凝縮性ガス回
収方法では、請求項１０に記載の凝縮性ガス回収方法に
おいて、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記貯蔵タン
クに貯蔵する前記凝縮性ガスの液体を気化させて前記ガ
ス絶縁機器に封入する気化器を設けたことを特徴とす
る。
収方法では、請求項１０に記載の凝縮性ガス回収方法に
おいて、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記貯蔵タン
クに貯蔵する前記凝縮性ガスの液体を気化させて前記ガ
ス絶縁機器に封入する気化器を設けたことを特徴とす
る。
【００３５】本発明の請求項１２に記載の凝縮性ガス回
収方法では、請求項７ないし請求項１１のいずれか１項
に記載の凝縮性ガス回収方法において、前記凝縮性ガス
回収装置に用いる前記凝縮性ガスが、６弗化硫黄（ＳＦ
6）又は炭化水素のハロゲン化合物のいずれかであり、
前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記不凝縮性ガスが、
窒素ガスであり、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記
吸着材が、カルシウム元素を含むアルミノ珪酸塩である
こと、を特徴とする。
収方法では、請求項７ないし請求項１１のいずれか１項
に記載の凝縮性ガス回収方法において、前記凝縮性ガス
回収装置に用いる前記凝縮性ガスが、６弗化硫黄（ＳＦ
6）又は炭化水素のハロゲン化合物のいずれかであり、
前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記不凝縮性ガスが、
窒素ガスであり、前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記
吸着材が、カルシウム元素を含むアルミノ珪酸塩である
こと、を特徴とする。
【００３６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。尚、ここで示す実施の
形態はあくまでも一例であって、必すしもこの実施の形
態に限定されるものではない。また以下の説明におい
て、凝縮性ガスとは、例えばＳＦ6ガスやフロンガス、
又はプロパンガスのような炭化水素ガス、等のように、
汎用冷凍機の温度範囲、即ち３０℃から−３０℃の範囲
において、圧力を３０気圧程度とした時に凝縮液化する
ガスを言い、不凝縮性ガスとは、例えば窒素ガスや空気
等のように、上記の条件下で凝縮しないガスを言う。そ
して以下の説明においては、凝縮性ガスをＳＦ6ガス、
不凝縮性ガスを窒素ガス、とするが、本発明はこれらの
ガス、及びこれらのガスからなる混合ガスに限定されて
利用されるものではないことを予め断っておく。
て図面を参照しながら説明する。尚、ここで示す実施の
形態はあくまでも一例であって、必すしもこの実施の形
態に限定されるものではない。また以下の説明におい
て、凝縮性ガスとは、例えばＳＦ6ガスやフロンガス、
又はプロパンガスのような炭化水素ガス、等のように、
汎用冷凍機の温度範囲、即ち３０℃から−３０℃の範囲
において、圧力を３０気圧程度とした時に凝縮液化する
ガスを言い、不凝縮性ガスとは、例えば窒素ガスや空気
等のように、上記の条件下で凝縮しないガスを言う。そ
して以下の説明においては、凝縮性ガスをＳＦ6ガス、
不凝縮性ガスを窒素ガス、とするが、本発明はこれらの
ガス、及びこれらのガスからなる混合ガスに限定されて
利用されるものではないことを予め断っておく。
【００３７】実施の形態１．本発明に係る凝縮性ガスと
不凝縮性ガスからなる混合ガス（以下、単に「混合ガ
ス」と呼ぶ。）から凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回
収装置を第１の実施の形態として、図面を参照しつつ説
明する。
不凝縮性ガスからなる混合ガス（以下、単に「混合ガ
ス」と呼ぶ。）から凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回
収装置を第１の実施の形態として、図面を参照しつつ説
明する。
【００３８】図１はこの凝縮性ガス回収装置１００の全
体構成図である。
体構成図である。
【００３９】図１において、１０１はガス絶縁装置、１
０２はサージタンク、１０３は真空ポンプ、１０４はガ
ス圧縮機、１０５は圧縮機で加熱された混合ガス温度を
冷却するためのクーラー、１０６は混合ガス分離器、１
０７は窒素ガスを吸着する吸着剤、１０８は混合ガス分
離器を通過したＳＦ6ガス又は窒素ガスの濃度計、１０
９はＳＦ6ガスを液化させて貯蔵する貯蔵タンク、１０
９ａは貯蔵タンク１０９に内蔵された冷却装置、１１０
は貯蔵タンクの液相から取り出したＳＦ6を加熱して気
化させる気化器、１１１はガス濃度計の信号を受けて切
替弁の制御を行うガス濃度制御装置、１２０から１２７
は切替弁である。各々の機器は配管で接続されている。
尚、混合ガス分離器１０６内の残ガスを機械的に排出す
るために排気装置１１２を備えることも考えられる。本
実施の形態ではこれを備えたものとする。
０２はサージタンク、１０３は真空ポンプ、１０４はガ
ス圧縮機、１０５は圧縮機で加熱された混合ガス温度を
冷却するためのクーラー、１０６は混合ガス分離器、１
０７は窒素ガスを吸着する吸着剤、１０８は混合ガス分
離器を通過したＳＦ6ガス又は窒素ガスの濃度計、１０
９はＳＦ6ガスを液化させて貯蔵する貯蔵タンク、１０
９ａは貯蔵タンク１０９に内蔵された冷却装置、１１０
は貯蔵タンクの液相から取り出したＳＦ6を加熱して気
化させる気化器、１１１はガス濃度計の信号を受けて切
替弁の制御を行うガス濃度制御装置、１２０から１２７
は切替弁である。各々の機器は配管で接続されている。
尚、混合ガス分離器１０６内の残ガスを機械的に排出す
るために排気装置１１２を備えることも考えられる。本
実施の形態ではこれを備えたものとする。
【００４０】まず始めに各部材の接続について説明す
る。ガス絶縁装置１０１は切替弁１２０を介してサージ
タンク１０２に接続されている。サージタンク１０２は
切替弁１２１を介して真空ポンプ１０３に、切替弁１２
１は真空ポンプ１０３とガス圧縮機１０４との間を配管
で接続されている。圧縮機１０４とクーラー１０５は配
管で接続されている。クーラー１０５は、切替弁１２２
を介して、吸着剤１０７を内蔵した１対の混合ガス分離
器１０６に接続されている。混合ガス分離器１０６は切
替弁１２４及び１２５を介して、冷却装置１０９ａを内
蔵した貯蔵タンク１０９に接続されている。１対の混合
ガス分離器１０６間には切替弁１２３が接続され、切替
弁１２３には排気装置１１２が接続されている。またガ
ス濃度計１０８は切替弁１２４と切替弁１２５の間に接
続されており、ガス濃度計信号を受信したガス濃度制御
装置１１１は切替弁１２５を制御するよう接続されてい
る。
る。ガス絶縁装置１０１は切替弁１２０を介してサージ
タンク１０２に接続されている。サージタンク１０２は
切替弁１２１を介して真空ポンプ１０３に、切替弁１２
１は真空ポンプ１０３とガス圧縮機１０４との間を配管
で接続されている。圧縮機１０４とクーラー１０５は配
管で接続されている。クーラー１０５は、切替弁１２２
を介して、吸着剤１０７を内蔵した１対の混合ガス分離
器１０６に接続されている。混合ガス分離器１０６は切
替弁１２４及び１２５を介して、冷却装置１０９ａを内
蔵した貯蔵タンク１０９に接続されている。１対の混合
ガス分離器１０６間には切替弁１２３が接続され、切替
弁１２３には排気装置１１２が接続されている。またガ
ス濃度計１０８は切替弁１２４と切替弁１２５の間に接
続されており、ガス濃度計信号を受信したガス濃度制御
装置１１１は切替弁１２５を制御するよう接続されてい
る。
【００４１】尚、ガス濃度制御装置１１１は、１対の混
合ガス分離器１０６の吸着剤１０７の吸着能力を判定す
る機能を備えさせることも出来るので、本実施の形態で
はこの機能を備えたものとする。この場合、吸着材１０
７の吸着能力判定結果により切替弁１２３、１２４を制
御するように接続されている。貯蔵タンク１０９は切替
弁１０６を介して気化器１１０に接続され気化器１１０
は切替弁１２０に配管で接続されている。
合ガス分離器１０６の吸着剤１０７の吸着能力を判定す
る機能を備えさせることも出来るので、本実施の形態で
はこの機能を備えたものとする。この場合、吸着材１０
７の吸着能力判定結果により切替弁１２３、１２４を制
御するように接続されている。貯蔵タンク１０９は切替
弁１０６を介して気化器１１０に接続され気化器１１０
は切替弁１２０に配管で接続されている。
【００４２】次に実施の形態ｌの機能について説明す
る。まず、本実施の形態に係る凝縮性ガス回収装置１０
０は、ガス絶縁装置１０１内部に充填されている混合ガ
スを混合ガス分離器１０６内に流入させて混合ガス分離
器１０６内部を加圧する流入加圧作業を行う。
る。まず、本実施の形態に係る凝縮性ガス回収装置１０
０は、ガス絶縁装置１０１内部に充填されている混合ガ
スを混合ガス分離器１０６内に流入させて混合ガス分離
器１０６内部を加圧する流入加圧作業を行う。
【００４３】この流入加圧作業を具体的に述べると、ま
ずガス絶縁装置１０１内の混合ガスは、サージタンク１
０２を介してガス圧縮機１０３によって吸引、圧縮され
て高圧ガスとなる。この時ガス絶縁器１０１が正圧の場
合切替弁１２１により真空ポンプ１０３をバイパスした
配管を介するが、ガス絶縁機器１０１内の圧力が大気圧
付近まで低下すると切替弁１２１によりガス流路は真空
ポンプ側に切り替えられ、ガス絶縁機器１０１内は負圧
域まで回収される。ガス圧縮機により高温、高圧ガスと
なった混合ガスは、次にクーラ１０５で常温付近まで冷
却され、混合ガス分離器に送られる。冷却された高圧の
混合ガスは切換弁１２２の操作によって、１対の混合ガ
ス分離器１０６ａ，１０６ｂのうちいずれか一方に送り
込まれる。ここでは、混合ガス分離器１０６ａに送り込
むものとする。
ずガス絶縁装置１０１内の混合ガスは、サージタンク１
０２を介してガス圧縮機１０３によって吸引、圧縮され
て高圧ガスとなる。この時ガス絶縁器１０１が正圧の場
合切替弁１２１により真空ポンプ１０３をバイパスした
配管を介するが、ガス絶縁機器１０１内の圧力が大気圧
付近まで低下すると切替弁１２１によりガス流路は真空
ポンプ側に切り替えられ、ガス絶縁機器１０１内は負圧
域まで回収される。ガス圧縮機により高温、高圧ガスと
なった混合ガスは、次にクーラ１０５で常温付近まで冷
却され、混合ガス分離器に送られる。冷却された高圧の
混合ガスは切換弁１２２の操作によって、１対の混合ガ
ス分離器１０６ａ，１０６ｂのうちいずれか一方に送り
込まれる。ここでは、混合ガス分離器１０６ａに送り込
むものとする。
【００４４】混合ガス分離器１０６ａに送り込まれた、
混合ガス中の窒素ガスは吸着剤１０７ａにより選択的に
吸着される。このため混合ガス分離器１０６ａ内のＳＦ
6ガス濃度は増大する。
混合ガス中の窒素ガスは吸着剤１０７ａにより選択的に
吸着される。このため混合ガス分離器１０６ａ内のＳＦ
6ガス濃度は増大する。
【００４５】混合ガス分離器１０６ａから送出されＳＦ
6ガス濃度の増大したガスは切替弁１２４を経由してガ
ス濃度計１０８でモニタされその計測信号はガス濃度制
御装置１１１に伝達される。ガス濃度制御装置１１１は
予め設定されたＳＦ6ガス濃度に応じて切替弁１２５を
制御することにより、ＳＦ6ガス濃度の高まった混合ガ
スは貯蔵タンク１０９に送出されるか、或いはサージタ
ンク１０２に送出される。
6ガス濃度の増大したガスは切替弁１２４を経由してガ
ス濃度計１０８でモニタされその計測信号はガス濃度制
御装置１１１に伝達される。ガス濃度制御装置１１１は
予め設定されたＳＦ6ガス濃度に応じて切替弁１２５を
制御することにより、ＳＦ6ガス濃度の高まった混合ガ
スは貯蔵タンク１０９に送出されるか、或いはサージタ
ンク１０２に送出される。
【００４６】例えば、ガス濃度制御装置１１１の設定値
をＳＦ6ガス濃度９０ｖｏｌ％として混合ガス分離器１
０６ａから送出された混合ガスのＳＦ6ガス濃度がその
設定値を超える場合には貯蔵タンク１０９に流入し、設
定値以下の場合にはＳＦ6ガス分離不十分と見なしてサ
ージタンク１０２に戻され再び上記の処理がくり返され
る。
をＳＦ6ガス濃度９０ｖｏｌ％として混合ガス分離器１
０６ａから送出された混合ガスのＳＦ6ガス濃度がその
設定値を超える場合には貯蔵タンク１０９に流入し、設
定値以下の場合にはＳＦ6ガス分離不十分と見なしてサ
ージタンク１０２に戻され再び上記の処理がくり返され
る。
【００４７】このような処理をくり返していくと、やが
て混合ガス分離器１０６ａの吸着剤１０７ａの窒素ガス
吸着能力が飽和する。この時点で、本実施の形態に係る
凝縮性ガス回収装置１００は、混合ガス分離器１０６内
部の気体（残ガス）を流出させて混合ガス分離器１０６
内部を減圧する流出減圧作業を行う。次にこの流出減圧
作業について説明すると、この場合、ガス濃度制御装置
１１１は、混合ガス分離器１０６ａの吸着剤１０７ａの
窒素ガス吸着能力が飽和したことを検知して（例えば、
ガス濃度制御装置にタイマー機能を持たせ、ガス濃度計
指示値がほとんど変化しなくなった時間をカウントす
る）切替弁１２２を制御し混合ガス分離器１０６ｂに切
り替える。そして混合ガスのＳＦ6分離は上記と同様に
行われる。
て混合ガス分離器１０６ａの吸着剤１０７ａの窒素ガス
吸着能力が飽和する。この時点で、本実施の形態に係る
凝縮性ガス回収装置１００は、混合ガス分離器１０６内
部の気体（残ガス）を流出させて混合ガス分離器１０６
内部を減圧する流出減圧作業を行う。次にこの流出減圧
作業について説明すると、この場合、ガス濃度制御装置
１１１は、混合ガス分離器１０６ａの吸着剤１０７ａの
窒素ガス吸着能力が飽和したことを検知して（例えば、
ガス濃度制御装置にタイマー機能を持たせ、ガス濃度計
指示値がほとんど変化しなくなった時間をカウントす
る）切替弁１２２を制御し混合ガス分離器１０６ｂに切
り替える。そして混合ガスのＳＦ6分離は上記と同様に
行われる。
【００４８】この時、ガス濃度制御装置１１１は切替弁
１２３を制御し混合ガス分離器１０６ａ内の窒素ガスを
主体とした残ガスは、この混合ガス分離器内圧力を低減
することにより排出される。そして吸着剤１０７ａの窒
素ガス吸着能力は回復し再度利用できる。混合ガス分離
器１０６ａ内の窒素ガスを主体とした残ガスを排出する
時排気装置１１２を用いて混合ガス分離器１０６ａ内を
負圧にすることにより吸着剤１０７ａの吸着能力の回復
度は更に増す。
１２３を制御し混合ガス分離器１０６ａ内の窒素ガスを
主体とした残ガスは、この混合ガス分離器内圧力を低減
することにより排出される。そして吸着剤１０７ａの窒
素ガス吸着能力は回復し再度利用できる。混合ガス分離
器１０６ａ内の窒素ガスを主体とした残ガスを排出する
時排気装置１１２を用いて混合ガス分離器１０６ａ内を
負圧にすることにより吸着剤１０７ａの吸着能力の回復
度は更に増す。
【００４９】そして、以上説明した流入加圧作業及び流
出減圧作業は常に１対になって行われる。即ち、混合ガ
ス分離器１０６ａが流入加圧作業を行っている時は、混
合ガス分離器１０６ｂは必ず流出減圧作業を行ってお
り、混合ガス分離器１０６ａが流出減圧作業を行ってい
る時は、混合ガス分離器１０６ｂは必ず流入加圧作業を
行っているように、本実施の形態に係る凝縮性ガス回収
装置１００は構成されている。
出減圧作業は常に１対になって行われる。即ち、混合ガ
ス分離器１０６ａが流入加圧作業を行っている時は、混
合ガス分離器１０６ｂは必ず流出減圧作業を行ってお
り、混合ガス分離器１０６ａが流出減圧作業を行ってい
る時は、混合ガス分離器１０６ｂは必ず流入加圧作業を
行っているように、本実施の形態に係る凝縮性ガス回収
装置１００は構成されている。
【００５０】なお、ここではＳＦ6ガス濃度を検出する
場合について述べたが、窒素ガス濃度を検出して上記と
同様な処理を行うことにより高濃度のＳＦ6ガスを貯蔵
タンク１０９に選出しても良い。
場合について述べたが、窒素ガス濃度を検出して上記と
同様な処理を行うことにより高濃度のＳＦ6ガスを貯蔵
タンク１０９に選出しても良い。
【００５１】ここで、吸着剤の窒素ガスの吸着と脱気に
よる再生過程を、図２に示した吸着材の吸着特性を示し
た図を参照しつつ簡単に説明する。
よる再生過程を、図２に示した吸着材の吸着特性を示し
た図を参照しつつ簡単に説明する。
【００５２】温度を一定にしたままであって圧力のみを
変化させることにより、窒素ガスの脱気を行うことが可
能である（図中Ａ−Ｂ）。即ち、圧力を下げるだけで、
吸着材の吸着可能な量以上の窒素ガスは、自動的に吸着
材から脱気されるのである。そして脱気作業を終え、再
び圧力を元の高圧に戻すと、再び吸着可能な量が増加す
るので、再び吸着材の吸着能力が回復するのである。
変化させることにより、窒素ガスの脱気を行うことが可
能である（図中Ａ−Ｂ）。即ち、圧力を下げるだけで、
吸着材の吸着可能な量以上の窒素ガスは、自動的に吸着
材から脱気されるのである。そして脱気作業を終え、再
び圧力を元の高圧に戻すと、再び吸着可能な量が増加す
るので、再び吸着材の吸着能力が回復するのである。
【００５３】一方、圧力は一定のままで吸着材を高温に
すると、やはり吸着材の吸着可能な窒素ガスの量は減少
するので、窒素ガスの脱気が進む（図中Ａ−Ｃ）。した
がって吸着材を加熱可能としておき、そして吸着材を高
温にすると同時に混合ガス分離器１０６を減圧すれば、
より多くの窒素ガスが脱気できるのである（図中Ａ−
Ｄ）。
すると、やはり吸着材の吸着可能な窒素ガスの量は減少
するので、窒素ガスの脱気が進む（図中Ａ−Ｃ）。した
がって吸着材を加熱可能としておき、そして吸着材を高
温にすると同時に混合ガス分離器１０６を減圧すれば、
より多くの窒素ガスが脱気できるのである（図中Ａ−
Ｄ）。
【００５４】上述したように混合ガス分離器１０６ａ、
ガス濃度計１０８、ガス濃度制御装置１１１、排気装置
１１２、そして切替弁１２２、１２３、１２４を用いて
混合ガスからのＳＦ6ガスの分離を行う一連の工程を混
合ガス分離器１０６ｂについても同様に作動させ、吸着
剤１０７ｂの窒素ガス吸着能力が低下すると再び混合ガ
ス分離器１０６ａを用いることにより、作業の連続性が
確保できるので、混合ガス分離器１０６を１対設けてあ
ることが望ましいのである。
ガス濃度計１０８、ガス濃度制御装置１１１、排気装置
１１２、そして切替弁１２２、１２３、１２４を用いて
混合ガスからのＳＦ6ガスの分離を行う一連の工程を混
合ガス分離器１０６ｂについても同様に作動させ、吸着
剤１０７ｂの窒素ガス吸着能力が低下すると再び混合ガ
ス分離器１０６ａを用いることにより、作業の連続性が
確保できるので、混合ガス分離器１０６を１対設けてあ
ることが望ましいのである。
【００５５】尚、本実施の形態で用いた混合ガス分離器
１０６の具体的形態について、図３に示した概略断面図
を参照しつつ説明する。この混合ガス分離器１０６は、
円筒状の圧力容器２０１の一端に切替弁１２２に通じる
流入配管２０３と、他端に切替弁１２４に通じる流出配
管２０４と、該流出配管の一部に切替弁１２３に通じる
排出配管２０５と、が備えられている。
１０６の具体的形態について、図３に示した概略断面図
を参照しつつ説明する。この混合ガス分離器１０６は、
円筒状の圧力容器２０１の一端に切替弁１２２に通じる
流入配管２０３と、他端に切替弁１２４に通じる流出配
管２０４と、該流出配管の一部に切替弁１２３に通じる
排出配管２０５と、が備えられている。
【００５６】圧力容器２０１は粒状の吸着剤１０７を収
納し、流入配管２０３と流出配管２０４が圧力容器内に
通じる孔には、粒状の吸着剤１０７の外部への移動流防
止のための網状板であるストッパー２０２を備えてい
る。尚、吸着剤１０７の形状は粒状の他に円筒状、多角
形でも良く、粒サイズはできるだけ小さい方が流入混合
ガスの接触面積が大きくなるので望ましい。又、吸着剤
１０７の材質はゼオライト、シリカゲル、活性アルミ
ナ、活性炭のいずれでも良いが、この中でゼオライトが
最も窒素ガス吸着特性が優れているので、これを使用す
ることが望ましい。
納し、流入配管２０３と流出配管２０４が圧力容器内に
通じる孔には、粒状の吸着剤１０７の外部への移動流防
止のための網状板であるストッパー２０２を備えてい
る。尚、吸着剤１０７の形状は粒状の他に円筒状、多角
形でも良く、粒サイズはできるだけ小さい方が流入混合
ガスの接触面積が大きくなるので望ましい。又、吸着剤
１０７の材質はゼオライト、シリカゲル、活性アルミ
ナ、活性炭のいずれでも良いが、この中でゼオライトが
最も窒素ガス吸着特性が優れているので、これを使用す
ることが望ましい。
【００５７】ちなみに、ゼオライトとは、化学的にはア
ルカリ金属またはアルカリ土類金属の結晶性含水アルミ
ノ珪酸塩を言う。そしてこのゼオライトの中でも、ＳＦ
6ガスと窒素ガスの混合ガスから窒素ガスを吸着し、Ｓ
Ｆ6ガスを選択的に分離するには、ゼオライトの気孔径
が３〜５オングストロームのものが望ましい。これは、
Ｎ2分子径は３．６オングストロ−ムであり、一方でＳ
Ｆ6分子径は約５．５オングストロームなので、Ｎ2分子
はゼオライトの気孔中に入りＮ2分子はトラップされる
が、ＳＦ6分子はゼオライト粒子間の隙間を通して通過
するからである。
ルカリ金属またはアルカリ土類金属の結晶性含水アルミ
ノ珪酸塩を言う。そしてこのゼオライトの中でも、ＳＦ
6ガスと窒素ガスの混合ガスから窒素ガスを吸着し、Ｓ
Ｆ6ガスを選択的に分離するには、ゼオライトの気孔径
が３〜５オングストロームのものが望ましい。これは、
Ｎ2分子径は３．６オングストロ−ムであり、一方でＳ
Ｆ6分子径は約５．５オングストロームなので、Ｎ2分子
はゼオライトの気孔中に入りＮ2分子はトラップされる
が、ＳＦ6分子はゼオライト粒子間の隙間を通して通過
するからである。
【００５８】また、以上説明した本実施の形態に係る凝
縮性ガス回収装置１００を、例えばＳＦ6ガス等の凝縮
性ガスと、窒素ガス等の不凝縮性ガスよりなる混合ガス
を電気絶縁ガスとして使用するガス絶縁機器の処理に用
いれば、不凝縮性ガスの絶対量が微量である場合には有
効であるが混合ガスのように不凝縮性ガスの比率がＳＦ
6ガスの比率より明らかに大きいようなものに対しても
有効な凝縮性ガスの回収方法とすることが出来る。
縮性ガス回収装置１００を、例えばＳＦ6ガス等の凝縮
性ガスと、窒素ガス等の不凝縮性ガスよりなる混合ガス
を電気絶縁ガスとして使用するガス絶縁機器の処理に用
いれば、不凝縮性ガスの絶対量が微量である場合には有
効であるが混合ガスのように不凝縮性ガスの比率がＳＦ
6ガスの比率より明らかに大きいようなものに対しても
有効な凝縮性ガスの回収方法とすることが出来る。
【００５９】
【発明の効果】本発明の請求項１に記載した凝縮性ガス
回収装置では、凝縮性ガス純度がガス純度計の設定値よ
り高純度若しくは不凝縮性ガス純度がガス純度計の設定
債より低純度の場合、混合ガス分離器を通過したガスは
貯蔵タンクに流入するが、凝縮性ガス純度がその設定値
より低純度、若しくは不凝縮性ガス純度がその設定値よ
り高純度の場合、混合ガス分離器を通過したガスは圧縮
機の低圧側に流入するように構成するので、貯蔵タンク
には不凝縮性ガスを除去して高純度の凝縮性ガスを貯蔵
できる。また本発明の請求項７に記載した凝縮性ガス回
収方法では、上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて
混合ガスから凝縮性ガスを回収するので、この方法によ
れば、貯蔵タンクには不凝縮性ガスを除去して高純度の
凝縮性ガスを回収することができる。
回収装置では、凝縮性ガス純度がガス純度計の設定値よ
り高純度若しくは不凝縮性ガス純度がガス純度計の設定
債より低純度の場合、混合ガス分離器を通過したガスは
貯蔵タンクに流入するが、凝縮性ガス純度がその設定値
より低純度、若しくは不凝縮性ガス純度がその設定値よ
り高純度の場合、混合ガス分離器を通過したガスは圧縮
機の低圧側に流入するように構成するので、貯蔵タンク
には不凝縮性ガスを除去して高純度の凝縮性ガスを貯蔵
できる。また本発明の請求項７に記載した凝縮性ガス回
収方法では、上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて
混合ガスから凝縮性ガスを回収するので、この方法によ
れば、貯蔵タンクには不凝縮性ガスを除去して高純度の
凝縮性ガスを回収することができる。
【００６０】本発明の請求項２に記載した凝縮性ガス回
収装置では、少なくとも１対の前記混合ガス分離器にお
いて一方の混合ガスが加圧されている時には、他方の混
合ガス分離器には混合ガスが流入し加圧されないで、混
合ガス分離器内の吸着剤に吸着されていた不凝縮性ガス
を外部に流出し減圧する動作をくり返すように構成する
ので、吸着剤を交換することなく不凝縮性ガスを外部に
排出し吸着剤の吸着能力を維持することができる。また
本発明の請求項８に記載した凝縮性ガス回収方法では、
上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて混合ガスから
凝縮性ガスを回収するので、この方法によれば、吸着材
を交換することなく凝縮性ガスの回収操作を継続して行
える。
収装置では、少なくとも１対の前記混合ガス分離器にお
いて一方の混合ガスが加圧されている時には、他方の混
合ガス分離器には混合ガスが流入し加圧されないで、混
合ガス分離器内の吸着剤に吸着されていた不凝縮性ガス
を外部に流出し減圧する動作をくり返すように構成する
ので、吸着剤を交換することなく不凝縮性ガスを外部に
排出し吸着剤の吸着能力を維持することができる。また
本発明の請求項８に記載した凝縮性ガス回収方法では、
上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて混合ガスから
凝縮性ガスを回収するので、この方法によれば、吸着材
を交換することなく凝縮性ガスの回収操作を継続して行
える。
【００６１】本発明の請求項３に記載した凝縮性ガス回
収装置では、混合ガス分離器からガスを外部に流出する
時ガス排気装置を設けるので、吸着剤の再生能力が増
す。また本発明の請求項９に記載した凝縮性ガス回収方
法では、上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて混合
ガスから凝縮性ガスを回収するので、この方法によれ
ば、吸着材の再生能力が増すので、吸着材を交換するこ
となく凝縮性ガスの回収操作を継続して行える。
収装置では、混合ガス分離器からガスを外部に流出する
時ガス排気装置を設けるので、吸着剤の再生能力が増
す。また本発明の請求項９に記載した凝縮性ガス回収方
法では、上記のような凝縮性ガス回収装置を用いて混合
ガスから凝縮性ガスを回収するので、この方法によれ
ば、吸着材の再生能力が増すので、吸着材を交換するこ
となく凝縮性ガスの回収操作を継続して行える。
【００６２】本発明の請求項４に記載した凝縮性ガス回
収装置では、不凝縮性ガスの吸着能力を検知するガス濃
度制御装置を備えたので、ガスが流入している混合ガス
分離器の一方の吸着能力が飽和したことを検知した時、
ガス流が他方の混合ガス分離器に流れ、ガス流を自動的
に制御できる。また本発明の請求項１０に記載した凝縮
性ガス回収方法では、上記のような凝縮性ガス回収装置
を用いて混合ガスから凝縮性ガスを回収するので、この
方法によれば、ガス流が他方の混合ガス分離器に流れ、
ガス流を自動的に制御できるので、凝縮性ガス回収作業
を中断することなく凝縮性ガスの回収を行える。
収装置では、不凝縮性ガスの吸着能力を検知するガス濃
度制御装置を備えたので、ガスが流入している混合ガス
分離器の一方の吸着能力が飽和したことを検知した時、
ガス流が他方の混合ガス分離器に流れ、ガス流を自動的
に制御できる。また本発明の請求項１０に記載した凝縮
性ガス回収方法では、上記のような凝縮性ガス回収装置
を用いて混合ガスから凝縮性ガスを回収するので、この
方法によれば、ガス流が他方の混合ガス分離器に流れ、
ガス流を自動的に制御できるので、凝縮性ガス回収作業
を中断することなく凝縮性ガスの回収を行える。
【００６３】本発明の請求項５に記載した凝縮性ガス回
収装置では、貯蔵タンクの出口に気化器を設けたので、
効率良くガス封入ができる。また本発明の請求項１１に
記載した凝縮性ガス回収方法では、上記のような凝縮性
ガス回収装置を用いて混合ガスから凝縮性ガスを回収す
るので、この方法によれば、効率よくガス封入のできる
凝縮性ガス回収方法とする事が出来る。
収装置では、貯蔵タンクの出口に気化器を設けたので、
効率良くガス封入ができる。また本発明の請求項１１に
記載した凝縮性ガス回収方法では、上記のような凝縮性
ガス回収装置を用いて混合ガスから凝縮性ガスを回収す
るので、この方法によれば、効率よくガス封入のできる
凝縮性ガス回収方法とする事が出来る。
【００６４】本発明の請求項６に記載した凝縮性ガス回
収装置では、凝縮性ガスが６弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭
化水素のハロゲン化合物のいずれかであり、不凝縮性ガ
スが窒素ガスであり、吸着材がカルシウム元素を含むア
ルミノ珪酸塩、としたので、特に電力機器に用いられる
電気絶縁ガスの回収を効率よく行える。また本発明の請
求項１２に記載した凝縮性ガス回収方法では、上記のよ
うな凝縮性ガス回収装置を用いて混合ガスから凝縮性ガ
スを回収するので、この方法によれば、特に電気絶縁ガ
スに用いられている凝縮性ガスの回収に役立つ。
収装置では、凝縮性ガスが６弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭
化水素のハロゲン化合物のいずれかであり、不凝縮性ガ
スが窒素ガスであり、吸着材がカルシウム元素を含むア
ルミノ珪酸塩、としたので、特に電力機器に用いられる
電気絶縁ガスの回収を効率よく行える。また本発明の請
求項１２に記載した凝縮性ガス回収方法では、上記のよ
うな凝縮性ガス回収装置を用いて混合ガスから凝縮性ガ
スを回収するので、この方法によれば、特に電気絶縁ガ
スに用いられている凝縮性ガスの回収に役立つ。
【図１】 本発明に係る凝縮性ガス回収装置の概略構成
図である。
図である。
【図２】 本発明に係る凝縮性ガス回収装置に用いられ
る混合ガス分離器の概略断面図である。
る混合ガス分離器の概略断面図である。
【図３】 吸着剤の吸着特性を示した図である。
【図４】 従来の絶縁ガス液化置換回収装置のシステム
系統図である。
系統図である。
【図５】 吸着剤による従来の不凝縮ガス吸着装置図で
ある。
ある。
１００ ガス回収装置、１０１ ガス絶縁機器、１０２
サージタンク、１０３ 真空ポンプ、１０４ ガス圧
縮機、１０５ クーラ、１０６（ａ，ｂ） 混合ガス分
離器、１０７（ａ，ｂ） 吸着剤、１０８ ガス濃度
計、１０９ 貯蔵タンク、１０９ａ 冷却器、１１０
気化器、１１１ ガス濃度制御装置、１１２ 排気装
置、１２０〜１２６ 切替弁、２０１ 圧力容器、２０
２ ストッパー、２０３ 流入配管、２０４ 配管、２
０５ 配管。
サージタンク、１０３ 真空ポンプ、１０４ ガス圧
縮機、１０５ クーラ、１０６（ａ，ｂ） 混合ガス分
離器、１０７（ａ，ｂ） 吸着剤、１０８ ガス濃度
計、１０９ 貯蔵タンク、１０９ａ 冷却器、１１０
気化器、１１１ ガス濃度制御装置、１１２ 排気装
置、１２０〜１２６ 切替弁、２０１ 圧力容器、２０
２ ストッパー、２０３ 流入配管、２０４ 配管、２
０５ 配管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｂ 13/06 Ｋ (72)発明者 森口 哲雄 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3J071 AA02 BB02 BB03 BB14 CC11 CC24 CC25 DD21 EE01 EE28 FF16 4D012 CA20 CB16 CD07 CE01 CE02 CF05 CG01 CH03 CJ05 4G066 AA30B AA62B CA22 CA31 DA05 GA14 GA27 5G017 DD03 DD07 DD14 5G028 GG05
Claims (12)
- 【請求項１】 少なくとも、 ガス絶縁機器に封入された凝縮性ガスと不凝縮性ガスか
らなる混合ガスを一時貯留するサージタンクと、 前記ガス絶縁機器内の前記混合ガスを負圧域まで回収す
る真空ポンプと、 前記混合ガスを高気圧に圧縮する圧縮機と、 高気圧に圧縮することにより温度上昇した前記混合ガス
を冷却するクーラと、 少なくとも１対よりなる、前記クーラにより冷却された
前記混合ガス中の前記不凝縮性ガスを吸着する吸着材を
充填した混合ガス分離器と、 前記混合ガス分離器の出口から排出される気体に含まれ
る前記凝縮性ガス濃度若しくは前記不凝縮ガス濃度を測
定する、予め基準濃度が設定可能なガス濃度計と、 前記混合ガスから回収した前記凝縮性ガスを貯蔵する、
冷却手段を備えた貯蔵タンクと、 を備えた、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガ
ス回収装置において、 前記混合ガス分離器より排出される気体に含まれる前記
凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されてい
る基準濃度の値より高いか、前記混合ガス分離器より排
出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記
ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値より低い
か、いずれかの場合においては、前記混合ガス分離器よ
り排出される前記不凝縮性ガスを含む前記凝縮性ガスを
貯蔵タンクに流入させ、 前記混合ガス分離器より排出される気体に含まれる前記
凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されてい
る基準濃度の値より低いか、前記混合ガス分離器より排
出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記
ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値より高い
か、いずれかの場合においては、前記混合ガス分離器よ
り排出される前記不凝縮性ガス及び前記凝縮性ガスは前
記圧縮機の低圧側に流入させるように構成したこと、 を特徴とする、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮
性ガス回収装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の混合ガスから凝縮性ガ
スを回収する凝縮性ガス回収装置において、 少なくとも１対よりなる前記混合ガス分離器の一方が、 前記混合ガス分離器内に前記混合ガスを流入させて前記
混合ガス分離器内部を加圧する流入加圧作業と、 前記混合ガス分離器内部の気体を流出させて前記混合ガ
ス分離器内部を減圧する流出減圧作業と、 を交互に繰り返し行い、 前記混合ガス分離器の一方が前記流入加圧作業を行って
いる時は、これと同時に他方が前記流出減圧作業を、 前記混合ガス分離器の一方が前記流出減圧作業を行って
いる時は、これと同時に他方が前記流入加圧作業を行う
ように構成したこと、 を特徴とする、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮
性ガス回収装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の混合ガスから凝縮性ガ
スを回収する凝縮性ガス回収装置において、 前記混合ガス分離器内部の気体を外部に流出させるガス
排気装置を設けたことを特徴とする、混合ガスから凝縮
性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置。 - 【請求項４】 請求項３に記載の混合ガスから凝縮性ガ
スを回収する凝縮性ガス回収装置において、 前記混合ガス分離器に、前記混合ガス分離器の不凝縮性
ガスを吸着する能力を検知する吸着能力検出装置を備
え、 １対よりなる前記混合ガス分離器の、前記流入加圧作業
中の前記混合ガス分離器の不凝縮性ガス吸着能力が飽和
したことを前記吸着能力検出装置が検知した時、不凝縮
性ガス吸着能力が飽和した前記混合ガス分離器の行う作
業が、前記流入加圧作業から前記流出減圧作業に切り替
わると同時に、他方の前記混合ガス分離器の行う作業が
前記流出減圧作業から前記流入加圧作業に切り替わるよ
うに構成したこと、 を特徴とする、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮
性ガス回収装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の混合ガスから凝縮性ガ
スを回収する凝縮性ガス回収装置において、 前記貯蔵タンクに貯蔵する前記凝縮性ガスの液体を気化
させて前記ガス絶縁機器に封入する気化器を設けたこ
と、 を特徴とする、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮
性ガス回収装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれか１項
に記載の混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス
回収装置において、 前記凝縮性ガスが、６弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭化水素
のハロゲン化合物のいずれかであり、 前記不凝縮性ガスが、窒素ガスであり、 前記吸着材が、カルシウム元素を含むアルミノ珪酸塩で
あること、 を特徴とする、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮
性ガス回収装置。 - 【請求項７】 少なくとも、 ガス絶縁機器に封入された凝縮性ガスと不凝縮性ガスか
らなる混合ガスを一時貯留するサージタンクと、 前記ガス絶縁機器内の前記混合ガスを負圧域まで回収す
る真空ポンプと、 前記混合ガスを高気圧に圧縮する圧縮機と、 高気圧に圧縮することにより温度上昇した前記混合ガス
を冷却するクーラと、 少なくとも１対よりなる、前記クーラにより冷却された
前記混合ガス中の前記不凝縮性ガスを吸着する吸着材を
充填した混合ガス分離器と、 前記混合ガス分離器の出口から排出される気体に含まれ
る前記凝縮性ガス濃度若しくは前記不凝縮ガス濃度を測
定する、予め基準濃度が設定可能なガス濃度計と、 前記混合ガスから回収した前記凝縮性ガスを貯蔵する、
冷却手段を備えた貯蔵タンクと、 を備えた、混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガ
ス回収装置において、 前記混合ガス分離器より排出される気体に含まれる前記
凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されてい
る基準濃度の値より高いか、前記混合ガス分離器より排
出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記
ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値より低い
か、いずれかの場合においては、前記混合ガス分離器よ
り排出される前記不凝縮性ガスを含む前記凝縮性ガスを
貯蔵タンクに流入させ、 前記混合ガス分離器より排出される気体に含まれる前記
凝縮性ガス濃度が、前記ガス濃度計に予め設定されてい
る基準濃度の値より低いか、前記混合ガス分離器より排
出される気体に含まれる前記不凝縮性ガス濃度が、前記
ガス濃度計に予め設定されている基準濃度の値より高い
か、いずれかの場合においては、前記混合ガス分離器よ
り排出される前記不凝縮性ガス及び前記凝縮性ガスは前
記圧縮機の低圧側に流入させるように構成した混合ガス
から凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置を用いた
ことを特徴とする、 凝縮性ガス回収方法。 - 【請求項８】 請求項７に記載の凝縮性ガス回収方法に
おいて、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる、少なくとも１対より
なる前記混合ガス分離器の一方が、 前記混合ガス分離器内に前記混合ガスを流入させて前記
混合ガス分離器内部を加圧する流入加圧作業と、 前記混合ガス分離器内部の気体を流出させて前記混合ガ
ス分離器内部を減圧する流出減圧作業と、 を交互に繰り返し行い、 前記混合ガス分離器の一方が前記流入加圧作業を行って
いる時は、これと同時に他方が前記流出減圧作業を、 前記混合ガス分離器の一方が前記流出減圧作業を行って
いる時は、これと同時に他方が前記流入加圧作業を行う
ように構成したこと、 を特徴とする、凝縮性ガス回収方法。 - 【請求項９】 請求項８に記載の凝縮性ガス回収方法に
おいて、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分離器内
部の気体を外部に流出させるガス排気装置を設けたこと
を特徴とする、凝縮性ガス回収方法。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の凝縮性ガス回収方法
において、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記混合ガス分離器
に、前記混合ガス分離器の不凝縮性ガスを吸着する能力
を検知する吸着能力検出装置を備え、 １対よりなる前記混合ガス分離器の、前記流入加圧作業
中の前記混合ガス分離器の不凝縮性ガス吸着能力が飽和
したことを前記吸着能力検出装置が検知した時、不凝縮
性ガス吸着能力が飽和した前記混合ガス分離器の行う作
業が、前記流入加圧作業から前記流出減圧作業に切り替
わると同時に、他方の前記混合ガス分離器の行う作業が
前記流出減圧作業から前記流入加圧作業に切り替わるよ
うに構成したことを特徴とする、凝縮性ガス回収方法。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の凝縮性ガス回収方
法において、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記貯蔵タンクに貯蔵
する前記凝縮性ガスの液体を気化させて前記ガス絶縁機
器に封入する気化器を設けたことを特徴とする、凝縮性
ガス回収方法。 - 【請求項１２】 請求項７ないし請求項１１のいずれか
１項に記載の凝縮性ガス回収方法において、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記凝縮性ガスが、６
弗化硫黄（ＳＦ6）又は炭化水素のハロゲン化合物のい
ずれかであり、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記不凝縮性ガスが、
窒素ガスであり、 前記凝縮性ガス回収装置に用いる前記吸着材が、カルシ
ウム元素を含むアルミノ珪酸塩であること、 を特徴とする、凝縮性ガス回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11096090A JP2000288331A (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11096090A JP2000288331A (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000288331A true JP2000288331A (ja) | 2000-10-17 |
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ID=14155709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11096090A Pending JP2000288331A (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 混合ガスから凝縮性ガスを回収する凝縮性ガス回収装置及び同装置を用いた凝縮性ガス回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000288331A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009062295A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Air Water Inc | パーフルオロカーボンガスの精製方法および装置 |
| CN105736948A (zh) * | 2014-12-12 | 2016-07-06 | 四川省科建煤炭产业技术研究院有限公司 | 煤层瓦斯抽采管道控制装置与控制方法 |
| CN107445183A (zh) * | 2017-09-29 | 2017-12-08 | 云南文山铝业有限公司 | 管道化溶出停留罐排气系统 |
| EP3146531B1 (en) | 2014-05-20 | 2018-03-21 | ABB Schweiz AG | Electrical apparatus for the generation, transmission, distribution and/or usage of electrical energy and method for recovering a substance from an insulation medium of such an apparatus |
| CN113775921A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-12-10 | 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 | 一种六氟化硫气体现场正压式回收装置及方法 |
-
1999
- 1999-04-02 JP JP11096090A patent/JP2000288331A/ja active Pending
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