JP2014241497A - 半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体集積回路の設計段階において、EMSが要求されるパッドの近傍にスタンダードセルを複数個、あらかじめ配置しておく。そしてスタンダードセル内の素子を接続するメタル配線を、半導体集積回路の用途や仕様に応じて設計することにより、半導体集積回路に最適な入出力回路を構成することができる。
特に、第3、第4トランジスタのサイズは、RCフィルタの容量素子の容量値に相当する。この態様によれば、EMSと半導体集積回路の仕様を両立できるように、RCフィルタの時定数を設計することができる。
この態様によれば、EMSと半導体集積回路の仕様を両立できるように、RCフィルタの時定数を設計することができる。
この態様によれば、効率的なレイアウトが実現される。
この態様によれば、出力バッファを構成する第5トランジスタ、第6トランジスタを、第1トランジスタ、第2トランジスタと同様に、ESDのサージを逃がす経路として機能させることができる。
半導体集積回路2は、パッド10、内部回路12、電源ライン14、接地ライン16、フィルタ抵抗R1、保護抵抗R2、第1ライン18、第2ライン20、第3ライン22、第1保護素子24、第2保護素子26、容量素子32、入力回路34を備える。
第3トランジスタM3、第4トランジスタM4、保護抵抗R2は、スタンダードセル40_2のNチャンネルMOSFET42、PチャンネルMOSFET44、抵抗素子46を用いて形成される。
図3(a)は、スタンダードセル40の平面図である。NチャンネルMOSFET42およびPチャンネルMOSFET44はそれぞれ、複数のトランジスタ要素50、52を含む。NチャンネルMOSFET42、PチャンネルMOSFET44のサイズは、複数のトランジスタ要素50を接続するメタル配線およびビアホール、ランドのデザインに応じて、設計変更可能となっている。
図1に戻る。半導体集積回路2の実動作状態においてパッド10にノイズが混入しうる。あるいは半導体集積回路2のEMS試験に際して、半導体集積回路2が搭載される製品の電源配線、接地配線にノイズの印加が行われる。このときESDサージによるノイズが、パッド10に混入する。
図4は、第1の変形例に係る半導体集積回路2aの回路図である。この半導体集積回路2aは、図1の半導体集積回路2と比べて、2つの着目すべき相違点を有する。
第1の相違点は、容量素子32が、第3トランジスタM3のゲート容量を利用して形成されることである。具体的には、第3トランジスタM3のゲートは第2ライン20と接続され、バックゲートが接地ライン16と接続される。第3トランジスタM3のソース、ドレインは接地ライン16と接続され、あるいはオープンとされる。
第3トランジスタM3と第4トランジスタM4の一方のみを使用した場合、以下の効果を得ることができる。容量素子32を形成するトランジスタは、サージに対する保護素子としても動作する。したがってサージが入力された場合には、容量素子32を構成するトランジスタM3、M4を経由して電流(サージ電流という)が流れ、このサージ電流は当然のことながら、第2ライン20も経由することになる。図1の半導体集積回路2では、第3トランジスタM3と第4トランジスタM4の2経路にサージ電流が流れるのに対して、図4の半導体集積回路2aでは、第2ライン20にはほとんど電流が流れない。したがって、第2ライン20に流れるサージ電流は半導体集積回路2aの方が小さく、したがって第2ライン20の電流容量は、図1の半導体集積回路2の第2ライン20のそれに比べて小さくてよい。このことは、第2ライン20を細い配線で形成できることを意味し、第2ライン20をインダクタンス素子として利用しうることを意味する。
実施の形態では、パッド10に、外部から信号が入力される半導体集積回路2について説明したが、第2の変形例に係る半導体集積回路2bは、パッド10から信号を入出力する。
図6は、第3の変形例に係る半導体集積回路2cの回路図である。半導体集積回路2cにおいて、第2ライン20の一部は、有意なインダクタンス21を有するように形成される。たとえば、第2ライン20の一部を、図2(b)の第2ライン20よりも細い配線で蛇行して形成し、あるいはスパイラル状に形成することで、インダクタンス21をもたせることができる。
この変形例によれば、RCLフィルタを形成することができ、RCフィルタに比べて、帯域、遅延時間、位相特性を、より柔軟に設計することができる。
図7(a)、(b)は、第4の変形例に係る半導体集積回路2dのレイアウト図および回路図である。I/O領域106内のパッド10の近傍には、半導体基板100の一辺E1に沿って、3個以上のスタンダードセル40が並べられている。
Claims (16)
- ハイレベルまたはローレベルをとる入力信号が入力されるパッドと、
内部回路と、
電源ラインと、
接地ラインと、
フィルタ抵抗と、
保護抵抗と、
前記フィルタ抵抗の第1端子と前記パッドを接続する第1ラインと、
前記フィルタ抵抗の第2端子と前記保護抵抗の第1端子を接続する第2ラインと、
前記保護抵抗の第2端子と前記内部回路を接続する第3ラインと、
ドレインが前記第1ラインと接続され、ソース、ゲートおよびバックゲートが前記接地ラインに接続され、ESDに耐えうるよう設計されたNチャンネルMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)である第1トランジスタを含む第1保護素子と、
ドレインが前記第1ラインと接続され、ソース、ゲートおよびバックゲートが前記電源ラインに接続され、ESDに耐えうるよう設計されたPチャンネルMOSFETである第2トランジスタを含む第2保護素子と、
前記第1トランジスタと同じデバイス構造を有するNチャンネルMOSFETである第3トランジスタおよび前記第2トランジスタと同じデバイス構造を有するPチャンネルMOSFETである第4トランジスタの少なくとも一方を含む、前記第2ラインと接続された容量素子であって、前記フィルタ抵抗とともにRCフィルタを形成する容量素子と、
を備えることを特徴とする半導体集積回路。 - 前記第1トランジスタ、前記第2トランジスタおよび前記フィルタ抵抗のセットと、前記第3トランジスタ、前記第4トランジスタおよび前記保護抵抗のセットはそれぞれ、所定配置されたNチャンネルMOSFET、PチャンネルMOSFETおよび抵抗素子を含むスタンダードセルで構成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路。
- 前記PチャンネルMOSFETおよび前記NチャンネルMOSFETはそれぞれ、複数のトランジスタ要素を含み、前記複数のトランジスタ要素を接続するメタル配線の変更により、トランジスタサイズが設計変更可能に構成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路。
- 前記抵抗素子は、複数の抵抗要素を含み、メタル配線の変更により抵抗値が設計変更可能に構成されることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体集積回路。
- 前記スタンダードセルは、前記内部回路が配置される回路領域の外周に位置するI/O領域に前記パッドと隣接して配置されることを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 複数のスタンダードセルが、半導体基板の一辺に沿って配置されており、
前記スタンダードセルに含まれる前記NチャンネルMOSFET、前記PチャンネルMOSFETおよび抵抗素子は、前記一辺と垂直な方向にレイアウトされることを特徴とする請求項5に記載の半導体集積回路。 - 前記接地ラインは、前記複数のスタンダードセルに含まれる複数の前記NチャンネルMOSFETとオーバーラップするように前記一辺に沿って形成され、
前記電源ラインは、前記複数のスタンダードセルに含まれる複数の前記PチャンネルMOSFETとオーバーラップする箇所に形成されることを特徴とする請求項6に記載の半導体集積回路。 - 前記入力信号は、そのエッジによって前記内部回路が反応する信号であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記入力信号は、クロック信号、パワーオンリセット信号、テスト用信号のいずれかであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記半導体集積回路は、前記内部回路からの信号を前記パッドから出力する出力バッファをさらに備え、
前記出力バッファは、
前記第1トランジスタと同じデバイス構造を有し、ドレインが前記第1ラインと接続され、ソースおよびバックゲートが前記接地ラインに接続され、ゲートに前記内部回路からの信号が入力された第5トランジスタと、
前記第2トランジスタと同じデバイス構造を有し、ドレインが前記第1ラインと接続され、ソースおよびバックゲートが前記電源ラインに接続され、ゲートに前記内部回路からの信号が入力された、第6トランジスタと、
を含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の半導体集積回路。 - 前記第1トランジスタ、前記第2トランジスタおよび前記フィルタ抵抗のセットと、前記第3トランジスタ、前記第4トランジスタおよび前記保護抵抗のセットはそれぞれ、所定配置されたNチャンネルMOSFET、PチャンネルMOSFETおよび抵抗素子を含むスタンダードセルで構成され、
前記第5トランジスタおよび前記第6トランジスタは、前記第1トランジスタ、前記第2トランジスタおよび前記フィルタ抵抗のセットに対応するスタンダードセル内に形成されることを特徴とする請求項10に記載の半導体集積回路。 - 前記第2ラインの一部は、有意なインダクタンスを有するように形成されることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記容量素子は、前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタの少なくとも一方のPN接合容量を利用して形成されることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記容量素子は、前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタの少なくとも一方のゲート容量を利用して形成されることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記スタンダードセルは、前記内部回路が配置される回路領域の外周に位置するI/O領域に前記パッドと隣接して、3個以上配置されることを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載の半導体集積回路。
- 前記RCフィルタは、2個以上、直列に挿入されることを特徴とする請求項1から15のいずれかに記載の半導体集積回路
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