JP2001339288A - ノイズ低減回路及びそれを備えた半導体装置 - Google Patents

ノイズ低減回路及びそれを備えた半導体装置

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JP2001339288A
JP2001339288A JP2000158654A JP2000158654A JP2001339288A JP 2001339288 A JP2001339288 A JP 2001339288A JP 2000158654 A JP2000158654 A JP 2000158654A JP 2000158654 A JP2000158654 A JP 2000158654A JP 2001339288 A JP2001339288 A JP 2001339288A
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circuit
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Yoshinori Suzuki
美紀 鈴木
Hideo Nunokawa
秀男 布川
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H1/00Constructional details of impedance networks whose electrical mode of operation is not specified or applicable to more than one type of network
    • H03H1/02Constructional details of impedance networks whose electrical mode of operation is not specified or applicable to more than one type of network of RC networks, e.g. integrated networks

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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、本発明は、EMI対策が必要な車載
用電装機器に用いて好適なノイズ低減回路及びそれを備
えた半導体装置に関し、半導体装置から発生する不要輻
射ノイズを低減できるノイズ低減回路及びそれを備えた
半導体装置を提供することを目的とする。 【解決手段】LSIチップ1は、クロックに同期して動
作する回路を有する内部回路2に外部電源電圧を供給す
る電源端子4と、接地電位を与えるグランド端子6とを
備えている。さらにLSIチップ1は、電源端子4及び
内部回路2間とグランド端子6及び内部回路2間とに挿
入され、抵抗素子RS1〜RSn及びRG1〜RGnと
MOS容量CS1〜CSn及びCG1〜CGnとで構成
される複数のローパスフィルタLPFを備え、内部回路
2から伝導する輻射ノイズを低減させるノイズ低減回路
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波干渉(El
ectroMagnetic Interferenc
e;EMI)における不要輻射ノイズを減少させるため
に用いられるノイズ低減回路及びそれを備えた半導体装
置に関し、特に、EMI対策が必要な車載用電装機器に
用いて好適なノイズ低減回路及びそれを備えた半導体装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、マイコンやASIC(特定用途向
けIC)等の、クロックに同期して動作するLSI(大
規模集積回路)を搭載したLSIチップ(半導体装置)
が種々の装置に用いられるようになってきている。例え
ば、車載用電子機器であるカーナビゲーションシステム
には、基本クロック周波数が数十MHzで動作するマイ
コンやASICを搭載したLSIチップが内蔵されてい
る。ところが、これらマイコンやASICを動作させる
クロックパルスの基本クロック周波数の高調波成分は、
例えば車載ラジオで使用されるFM帯域(66MHz〜
108MHz)の周波数と重なるため、車載ラジオの品
質を維持するには当該高周波成分の不要輻射ノイズを低
減させるEMI対策が必要になる。
【0003】不要輻射ノイズの伝導ルートとしては、
(1)LSIチップ上の配線や、リードフレームを介し
てLSIに接続された配線、あるいは、(2)LSIに
電力を供給する電源ラインや接地ラインがある。これら
のうち(1)については、従来から基板上の配線パター
ンの配置を工夫したり、配線にローパスフィルタ(低域
通過フィルタ)等を設けたりして、そこからの不要輻射
ノイズを低減する改良がなされてきている。しかしなが
ら、近年のLSIの回路パターンの微細化と動作クロッ
ク周波数の上昇に伴い、(1)についてのEMI対策だ
けでは所期のノイズ低減を達成できない事態が生じてい
る。このため、LSIチップを搭載した基板全体を金属
板でシールドすることも考えられるがコスト高につなが
るため採用し難いという問題がある。
【0004】そこで近年、(2)の電源ラインからのノ
イズ伝導を低減することが注目されてきている。LSI
チップは電源ラインを介して外部電源と接続されてお
り、その電源ラインは本質的に低インピーダンスであ
る。このため、電源ラインには不要輻射ノイズの伝導ル
ートとして都合のよい条件が揃っており、改善すべきノ
イズ伝導ルートとして無視できない。そこで、LSIチ
ップの電源端子と内部回路との間にローパスフィルタを
挿入することにより、LSIチップの電源端子から発生
する高周波ノイズを低減させるようにしている。
【0005】図6は、従来のLSIチップ100の電源
端子104及びグランド端子106近傍を概略的に示し
ている。内部回路102は、不図示のクロック発生器
(発振器)を内蔵し、クロックに同期して動作する回路
を有している。電源線108は、内部回路102から引
き出されて電源端子104に接続されている。グランド
線110は、内部回路102から引き出されてグランド
端子106に接続されている。
【0006】電源線108には、n個の抵抗R1〜Rn
が直列に接続されている。また、抵抗R1、R2の接続
点とグランド線110との間には、MOSFET(金属
酸化物半導体型電界効果トランジスタ)のゲート容量を
用いて形成されるキャパシタ(以下、MOS容量とい
う)C1が配置されている。MOS容量C1のゲート電
極は抵抗R1、R2の接続点に接続され、MOS容量C
1のソース/ドレイン電極は短絡されてグランド線11
0に接続されている。抵抗R1とMOS容量C1とのC
R回路でローパスフィルタLPF1が構成されている。
同様にして、抵抗R2とMOS容量C2、乃至抵抗Rn
とMOS容量CnとでローパスフィルタLPF2〜LP
Fnが構成されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように、電源端子
104と内部回路102の間に複数のローパスフィルタ
LPF1〜LPFnを挿入することにより、内部回路1
02で用いられるクロックパルスの基本クロック周波数
の高調波成分による不要輻射ノイズを低減させることが
できる。しかしながらその低減効果には限界がある。こ
れは内部回路で発生した不要輻射ノイズが電源端子10
4だけでなくグランド端子106にも伝播しているのが
原因である。ところが、グランド電位は回路内電位の基
準であって回路の動作状態によらず一定であることが要
求されており、そのために現状ではグランド側に不要輻
射ノイズ低減対策を施すに至っていない。
【0008】本発明の目的は、半導体装置から発生する
不要輻射ノイズを低減できるノイズ低減回路及びそれを
備えた半導体装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的は、クロックに
同期して動作する回路を有する内部回路と、前記内部回
路に外部電源電圧を供給する電源端子と、前記内部回路
に接地電位を与えるグランド端子とを備えた半導体装置
に用いられ、前記内部回路から伝導する輻射ノイズを低
減するように、前記電源端子及び前記内部回路間と、前
記グランド端子及び前記内部回路間とに挿入される、抵
抗及び容量からなる複数のローパスフィルタを備えてい
ることを特徴とするノイズ低減回路によって達成され
る。
【0010】本発明のノイズ低減回路によれば、電源端
子及び内部回路間だけでなく、グランド端子及び内部回
路間にも複数のローパスフィルタを挿入しているので、
内部回路から伝導する輻射ノイズを確実に低減すること
ができる。
【0011】また、上記目的は、クロックに同期して動
作する回路を有する内部回路と、前記内部回路に外部電
源電圧を供給する電源端子と、前記内部回路に接地電位
を与えるグランド端子と、前記電源端子及び前記内部回
路間の電源線と、前記グランド端子及び前記内部回路間
のグランド線とに挿入される、抵抗及び容量からなる複
数のローパスフィルタを有するノイズ低減回路とを備え
ることを特徴とする半導体装置によって達成される。
【0012】本発明の構成は、クロックに同期して動作
する回路を有する内部回路を備えた半導体装置全般に適
用可能であり、内部回路から伝導するクロック周波数の
高調波成分を含む不要輻射ノイズをノイズ低減回路によ
り確実に低減できる。
【0013】上記本発明の半導体装置において、前記ノ
イズ低減回路の前記容量は、MOSFETのゲート容量
を用いたMOS容量であることを特徴とする。こうする
ことにより、通常の半導体装置の製造方法を用いて容易
に形成できるだけでなく、薄いゲート酸化膜を誘電体と
して用いるため比較的小面積で所望の容量を形成するこ
とができる。
【0014】また、上記本発明の半導体装置において、
前記電源線に挿入される前記ローパスフィルタの前記容
量のグランド側は前記グランド端子に接続され、前記グ
ランド線に挿入される前記ローパスフィルタの前記容量
の電源側は前記電源端子に接続されていることを特徴と
する。こうすることにより、電源端子及び内部回路間だ
けでなく、グランド端子及び内部回路間に複数のローパ
スフィルタを挿入することができる。
【0015】また、上記本発明の半導体装置において、
前記電源線に挿入される前記ローパスフィルタの前記容
量のグランド側は前記内部回路側の前記グランド線に接
続され、前記グランド線に挿入される前記ローパスフィ
ルタの前記容量の電源側は前記内部回路側の前記電源線
に接続されていることを特徴とする。この構成によって
も、電源端子及び内部回路間だけでなく、グランド端子
及び内部回路間に複数のローパスフィルタを挿入するこ
とができる。
【0016】さらに、上記本発明の半導体装置におい
て、前記電源線に配置された複数の抵抗と、前記グラン
ド線に配置された複数の抵抗との間に前記容量が配置さ
れていることを特徴とする。この構成によっても、電源
端子及び内部回路間だけでなく、グランド端子及び内部
回路間に複数のローパスフィルタを挿入することができ
る。
【0017】またさらに、上記本発明の半導体装置にお
いて、前記電源端子及び前記グランド端子間に前記MO
S容量より大きい容量値を有する端子間容量を設けるこ
とを特徴とする。こうすることにより、ノイズ低減回路
全体を一つのローパスフィルタとした場合のカットオフ
周波数を下げて、フィルタの周波数−ゲイン特性を向上
させることができる。
【0018】また、上記目的は、クロックに同期して動
作する回路を有する内部回路と、前記内部回路に外部電
源電圧を供給する電源端子と、前記内部回路に接地電位
を与えるグランド端子と、前記電源端子及び前記内部回
路間の電源線と前記グランド端子及び前記内部回路間の
グランド線とにそれぞれ挿入される抵抗と、前記電源端
子及び前記グランド端子間に設けられた端子間容量とで
構成されるローパスフィルタを有するノイズ低減回路と
を備えることを特徴とする半導体装置によって達成され
る。
【0019】本発明の構成によれば、電源端子及び内部
回路間の電源線に1つの抵抗を形成し、グランド端子及
び内部回路間のグランド線に1つの抵抗を形成し、電源
端子及びグランド端子間に1つの端子間容量を形成する
ことにより、簡易な構成のノイズ低減回路を実現でき
る。
【0020】上記本発明の半導体装置において、前記端
子間容量は、前記ノイズ低減回路全体としてのローパス
フィルタのカットオフ周波数をFM帯域より低くさせる
容量値を有していることを特徴とする。こうすることに
より、半導体装置から発生するFM帯域の輻射ノイズを
低減させることができ、例えば車載ラジオのオートチュ
ーニングにおける誤認選局を防止することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態によるノイ
ズ低減回路及びそれを備えた半導体装置を図1乃至図5
を用いて説明する。まず、本実施の形態によるノイズ低
減回路及びそれを用いた半導体装置の概略の構成を図1
を用いて説明する。
【0022】図1は、本実施の形態による半導体装置と
してのLSIチップ1の電源端子4及びグランド端子6
近傍を概略的に示している。内部回路2は、不図示のク
ロック発生器(発振器)を内蔵し、クロックに同期して
動作する回路を有している。本実施の形態において、内
部回路2としては、マイコンやASIC、あるいはMC
U(メモリ・コントロール・ユニット)やSDRAMを
初めとする各種DRAM等、種々のデジタル集積回路で
ある。内部回路2に対して、電源端子4から外部電源電
圧が供給され、グランド端子6から回路の接地電位が与
えられる。
【0023】電源線8は、内部回路2から引き出されて
電源端子4に接続されている。電源線8には、n個の抵
抗RS1〜RSnが直列に接続されている。また、抵抗
RS1、RS2の接続点とグランド端子6との間には、
NチャネルMOSFETのゲート容量を用いて形成され
るNチャネルMOS容量CS1が配置されている。MO
S容量CS1のゲート電極は抵抗RS1及びRS2の接
続点に接続され、MOS容量CS1のソース/ドレイン
電極は短絡されてグランド端子6に接続されている。抵
抗RS1とNチャネルMOS容量CS1とのCR回路で
ローパスフィルタLPF−S1が構成されている。
【0024】また、抵抗RS2と抵抗RS3(図示せ
ず)の接続点とグランド端子6との間には、Nチャネル
MOS容量CS2が配置されている。MOS容量CS2
のゲート電極は抵抗RS2、RS3の接続点に接続さ
れ、MOS容量CS2のソース/ドレイン電極は短絡さ
れてグランド端子6に接続されている。抵抗RS2とN
チャネルMOS容量CS2とのCR回路でローパスフィ
ルタLPF−S2が構成されている。
【0025】以下同様にして、不図示の抵抗RS(n−
1)及び抵抗RSnの接続点とグランド端子6との間に
不図示のNチャネルMOS容量CS(n−1)が接続さ
れてローパスフィルタLPF−S(n−1)が構成さ
れ、抵抗RSn及び内部回路2端部の接続点とグランド
端子6との間にNチャネルMOS容量CSnが接続され
てローパスフィルタLPF−Snが構成されている。本
実施の形態ではn=42であり、電源線8側に42個の
ローパスフィルタLPF−S1〜LPF−S42が形成
されている。
【0026】一方、グランド線10は、内部回路2から
引き出されてグランド端子6に接続されている。グラン
ド線10には、n個の抵抗RG1〜RGnが直列に接続
されている。また、抵抗RG1及びRG2の接続点と電
源端子4との間には、PチャネルMOSFETのゲート
容量を用いて形成されるPチャネルMOS容量CG1が
配置されている。MOS容量CG1のゲート電極は抵抗
RG1及びRG2の接続点に接続され、MOS容量CG
1のソース/ドレイン電極は短絡されて電源端子4に接
続されている。抵抗RG1とPチャネルMOS容量CG
1とのCR回路でローパスフィルタLPF−G1が構成
されている。
【0027】また、抵抗RG2及びRG3(図示せず)
の接続点と電源端子4との間には、PチャネルMOS容
量CG2が配置されている。MOS容量CG2のゲート
電極は抵抗RG2及びRG3の接続点に接続され、MO
S容量CG2のソース/ドレイン電極は短絡されて電源
端子4に接続されている。抵抗RG2とPチャネルMO
S容量CG2とのCR回路でローパスフィルタLPF−
G2が構成されている。
【0028】以下同様にして、不図示の抵抗RG(n−
1)及び抵抗RGnの接続点と電源端子4との間に不図
示のPチャネルMOS容量CG(n−1)が接続されて
ローパスフィルタLPF−G(n−1)が構成され、抵
抗RGn及び内部回路2端部の接続点と電源端子4との
間にPチャネルMOS容量CGnが接続されてローパス
フィルタLPF−Gnが構成されている。本実施の形態
ではn=42であり、グランド側に42個のローパスフ
ィルタLPF−G2〜LPF−G42が形成されてい
る。
【0029】このように本実施の形態では、電源端子4
と内部回路2の間に複数のローパスフィルタLPF−S
1〜LPF−Snを挿入するだけでなく、グランド端子
6と内部回路2の間に複数のローパスフィルタLPF−
G1〜LPF−Gnを挿入している。そして、これら複
数のローパスフィルタLPF−S1〜LPF−Sn及び
LPF−G1〜LPF−Gnでノイズ低減回路が構成さ
れている。
【0030】このノイズ低減回路により、内部回路2で
用いられるクロックパルスの基本クロック周波数の高調
波成分による不要輻射ノイズを、電源端子4側だけでな
くグランド端子6からも低減させることができる。これ
により、半導体装置から発生する不要輻射ノイズを確実
に低減できるようになる。
【0031】具体的には、ローパスフィルタLPF−S
1〜LPF−S42及びLPF−G1〜LPF−G42
における抵抗RS1〜RS42及びRG1〜RG42の
各抵抗値を244mΩとし、MOS容量CS1〜CS4
2及びCG1〜CG42の各容量値を7.38pFとす
ると、FM帯域での不要輻射ノイズのピークレベルを−
62dBから−67dBまでほぼ半減させることができ
る。
【0032】次に、本実施の形態によるノイズ低減回路
及びそれを備えた半導体装置の変形例について図2を用
いて説明する。図2は、ローパスフィルタLPF−S1
〜LPF−S42のグランド側配線を内部回路2側から
供給し、且つローパスフィルタLPF−G1〜LPF−
G42の電源側配線を内部回路2側から供給した状態を
示している。図2において、破線で示す配線L3及びL
4を用いると図1に示す構成と同一になる。図2に示す
回路は、これら配線L3及びL4に代えて配線L1及び
L2を用いてノイズ低減回路を構成している。
【0033】配線L1は、ローパスフィルタLPF−S
n及び内部回路2の接続点から引き出されてMOS容量
CG1〜CGnに接続されている。配線L2は、ローパ
スフィルタLPF−Gn及び内部回路2の接続点から引
き出されてMOS容量CS1〜CSnに接続されてい
る。このような図2に示すノイズ低減回路の構成によっ
ても、図1に示したものと同様のノイズ低減効果を得る
ことができる。
【0034】次に、本実施の形態によるノイズ低減回路
及びそれを備えた半導体装置の他の変形例について図3
を用いて説明する。図3に示す半導体装置は、図2に示
した半導体装置において、入力側の電源端子4−グラン
ド端子6間に端子間容量(MOS容量)14を付加した
点に特徴を有している。付加したMOS容量14は、ノ
イズ低減回路全体としてのローパスフィルタのカットオ
フ周波数がFM帯より低くなるような、例えば800p
Fの容量値を有している。
【0035】図3に示した構成は、例えば図2に示した
半導体装置において、内部回路2内の電源電圧降下を防
止するためにノイズ低減回路の各抵抗RS、RGの抵抗
値を高くできない場合、あるいは、大きな容量を得るた
めにチップ面積が大きくなってしまうのを防止するため
に各MOS容量CS、CGの容量を大きくすることがで
きない場合等に有効である。
【0036】MOS容量14を付加することにより、ノ
イズ低減回路全体を一つのローパスフィルタとした場合
のカットオフ周波数を下げて、フィルタの周波数−ゲイ
ン特性を向上させることができる。
【0037】図3に示した構成をさらに変形して図4に
示す構成にすることも可能である。図4に示す半導体装
置は、電源線8に実質的に1つの抵抗RSが形成され、
且つグランド線10に実質的に1つの抵抗RGが形成さ
れている。また、MOS容量CS、CGは形成されてお
らず、電源端子4とグランド端子6間にMOS容量14
が形成されている。この構成によっても図3と同様のノ
イズ低減効果を得ることができる。
【0038】次に、本実施の形態によるノイズ低減回路
及びそれを備えた半導体装置のさらに他の変形例につい
て図5を用いて説明する。図5に示す半導体装置は、電
源端子4及び内部回路2間の電源線8に複数の抵抗RS
1〜RSnを配し、グランド端子6及び内部回路2間の
グランド線10に複数の抵抗RG1〜RGnを配してい
る。そして、電源線8に配した抵抗RS1〜RSnとグ
ランド線10に配した抵抗RG1〜RGnの間に、少な
くとも2つ以上のMOS容量Cを設けている点に特徴を
有している。図5においては、抵抗RS1〜RSnと抵
抗RG1〜RGnのそれぞれの間、及び抵抗RSn及び
RGnと内部回路2との間にMOS容量C1〜Cnを形
成している。
【0039】この構成によっても、従来に比して優れた
ノイズ低減効果を得ることができる。なお、図5に示す
ノイズ低減回路に、図3を用いて説明したような端子間
容量(MOS容量)14を電源端子4−グランド端子6
間に付加してももちろんよい。
【0040】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、電源端子及び内部回路間の電源線と、グランド端子
及び内部回路間のグランド線との双方にローパスフィル
タを挿入することにより、不要輻射ノイズを確実に低減
することができ、EMI対策が必要な車載用電装機器に
用いて好適な信頼性に優れたノイズ低減回路及びそれを
備えた半導体装置を実現できる。
【0041】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、抵抗
RSnとNチャネルMOS容量CSnが接続されてロー
パスフィルタLPF−Snが構成され、抵抗RGnとP
チャネルMOS容量CGnが接続されてローパスフィル
タLPF−Gnが構成されている。しかしながら、本発
明はこれに限定されず、MOS容量の導電型は逆であっ
てもよく、あるいはノイズ低減回路全体で同一導電型で
あってももちろんよい。
【0042】また、上記実施の形態では、ローパスフィ
ルタを構成するCR回路のキャパシタとしてMOS容量
を用いているが、本発明はこれに限らず、半導体装置内
で絶縁膜を挟んで対向するメタル層をキャパシタとして
用いるようにしてももちろんよい。
【0043】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、半導体装
置から発生する不要輻射ノイズを低減することができ
る。また、不要輻射ノイズを低減させた信頼性の高い半
導体装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態によるノイズ低減回路及
びそれを備えた半導体装置の概略構成を示す図である。
【図2】本発明の一実施の形態によるノイズ低減回路及
びそれを備えた半導体装置の変形例に係る概略構成を示
す図である。
【図3】本発明の一実施の形態によるノイズ低減回路及
びそれを備えた半導体装置の他の変形例に係る概略構成
を示す図である。
【図4】本発明の一実施の形態によるノイズ低減回路及
びそれを備えた半導体装置のさらに他の変形例に係る概
略構成を示す図である。
【図5】本発明の一実施の形態によるノイズ低減回路及
びそれを備えた半導体装置のまたさらに他の変形例に係
る概略構成を示す図である。
【図6】従来のノイズ低減回路及びそれを備えた半導体
装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
1、100 LSIチップ 2、102 内部回路 4、104 電源端子 6、106 グランド端子 8、108 電源線 10、110 グランド線 14 MOS容量 R、RS、RG 抵抗 C、CS、CG MOS容量 LPF ローパスフィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5F038 BH02 BH07 BH19 CD02 CD03 DF01 DF04 DF05 EZ20 5J024 AA01 BA05 DA01 EA01 EA08 5J032 AA05 AB02 AC16

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】クロックに同期して動作する回路を有する
    内部回路と、前記内部回路に外部電源電圧を供給する電
    源端子と、前記内部回路に接地電位を与えるグランド端
    子とを備えた半導体装置に用いられ、 前記内部回路から伝導する輻射ノイズを低減するよう
    に、前記電源端子及び前記内部回路間と、前記グランド
    端子及び前記内部回路間とに挿入される、抵抗及び容量
    からなる複数のローパスフィルタを備えていることを特
    徴とするノイズ低減回路。
  2. 【請求項2】クロックに同期して動作する回路を有する
    内部回路と、 前記内部回路に外部電源電圧を供給する電源端子と、 前記内部回路に接地電位を与えるグランド端子と、 前記電源端子及び前記内部回路間の電源線と、前記グラ
    ンド端子及び前記内部回路間のグランド線とに挿入され
    る、抵抗及び容量からなる複数のローパスフィルタを有
    するノイズ低減回路とを備えることを特徴とする半導体
    装置。
  3. 【請求項3】請求項2記載の半導体装置において、 前記ノイズ低減回路の前記容量は、MOSFETのゲー
    ト容量を用いたMOS容量であることを特徴とする半導
    体装置。
  4. 【請求項4】請求項2又は3に記載の半導体装置におい
    て、 前記電源線に挿入される前記ローパスフィルタの前記容
    量のグランド側は前記グランド端子に接続され、 前記グランド線に挿入される前記ローパスフィルタの前
    記容量の電源側は前記電源端子に接続されていることを
    特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】請求項2又は3に記載の半導体装置におい
    て、 前記電源線に挿入される前記ローパスフィルタの前記容
    量のグランド側は前記内部回路側の前記グランド線に接
    続され、 前記グランド線に挿入される前記ローパスフィルタの前
    記容量の電源側は前記内部回路側の前記電源線に接続さ
    れていることを特徴とする半導体装置。
  6. 【請求項6】請求項2又は3に記載の半導体装置におい
    て、 前記電源線に配置された複数の抵抗と、前記グランド線
    に配置された複数の抵抗との間に前記容量が配置されて
    いることを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】請求項5又は6に記載の半導体装置におい
    て、 前記電源端子及び前記グランド端子間に前記MOS容量
    より大きい容量値を有する端子間容量を設けることを特
    徴とする半導体装置。
  8. 【請求項8】クロックに同期して動作する回路を有する
    内部回路と、 前記内部回路に外部電源電圧を供給する電源端子と、 前記内部回路に接地電位を与えるグランド端子と、 前記電源端子及び前記内部回路間の電源線と前記グラン
    ド端子及び前記内部回路間のグランド線とにそれぞれ挿
    入される抵抗と、前記電源端子及び前記グランド端子間
    に設けられた端子間容量とで構成されるローパスフィル
    タを有するノイズ低減回路とを備えることを特徴とする
    半導体装置。
  9. 【請求項9】請求項7又は8に記載の半導体装置におい
    て、 前記端子間容量は、前記ノイズ低減回路全体としてのロ
    ーパスフィルタのカットオフ周波数をFM帯域より低く
    させる容量値を有していることを特徴とする半導体装
    置。
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