JP2014177705A - スルーホールを充填する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イミダゾール構造を有する芳香族複素環式窒素化合物及び2官能性のジグリシジルアルキルエーテルエポキシ含有化合物の反応生成物0.5〜5ppmを含む酸性溶液を基板のスルーホールに塗布し、続いて光沢剤及びレベラーなどの添加剤を含む銅電気めっき浴を用いて銅でスルーホールを充填する。
【選択図】なし
Description
63mmolの1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル(モノマー1)、25mmolのイミダゾール(モノマー2)、及び75mmolの4−フェニルイミダゾール(モノマー3)を室温で丸底反応フラスコに添加した。その後、30mlのDI水をフラスコに添加した。最初に形成された白色の懸濁液は反応温度が上昇するにつれて最終的には消失し、相分離した混合物となった。反応混合物を98℃に設定した油浴を用いて2時間加熱した。2mlの濃硫酸を反応フラスコに添加した後、溶液は淡黄色の透明となった。混合物をさらに3時間加熱し、さらに8時間室温で撹拌した。得られた琥珀色の反応生成物をメスフラスコに移し、すすいでから0.5〜1%の硫酸で希釈した。反応生成物溶液をさらに精製することなく使用した。1HNMR(500MHz、DMSO−d6)による反応生成物の分析から以下のピークが示され、構造を確認した:δppm:9.22−7.22(m,24H,Harom);4.52−3.00(m,37.2H(2.65×14H),4CH2−O,2CH−OH,2CH2−N);及び1.74−1.24(m,10.6H(2.653×4H),2CH2)。
複数のスルーホールを有する、5cm幅、15cm長、及び100μm厚の2つのFR4/ガラス−エポキシ試験片は、Tech Circuit社から提供された。スルーホールは100μmの平均直径を有していた。試験片の表面及びスルーホール内を無電解銅でめっきした。無電解銅層の厚さは0.3μmであった。
複数のスルーホールを有する、5cm幅、15cm長、及び100μm厚の2つのFR4/ガラス−エポキシ試験片は、Tech Circuit社から提供された。スルーホールは100μmの平均直径を有していた。各試験片は0.3μmの無電解銅層を含んでいた。1つの試験片をデシケータに入れ、もう一方の試験片は上記の実施例2に記載のように5μm厚のフラッシュ銅層で電気めっきした。その後、さらなる処理まで該試験片をもう一方の試験片と共にデシケータに入れて銅上での酸化物形成を阻止した。
複数のスルーホールを有する、5cm幅、15cm長、及び100μm厚の2つのFR4/ガラス−エポキシ試験片は、Tech Circuit社から提供された。スルーホールは100μmの平均直径を有していた。各試験片は0.3μmの無電解銅層を含んでいた。試験片を従来の洗浄剤を用いて洗浄し、その後、上記の実施例2に記載のように5μm厚のフラッシュ銅層で電気めっきした。その後、試験片をさらなる処理までデシケータに入れた。
複数のスルーホールを有する、5cm幅、15cm長、及び100μm厚の6つのFR4/ガラス−エポキシ試験片が提供された。スルーホールは100μmの平均直径を有していた。各試験片は0.3μmの無電解銅層を含んでいた。試験片を従来の洗浄剤を用いて洗浄し、その後上記の実施例2に記載したように5μm厚のフラッシュ銅層で電気めっきした。その後、試験片をさらなる処理までデシケータに入れた。
Claims (6)
- a)複数のスルーホールを有する基板を提供し、該基板の表面及び前記複数のスルーホールの壁に銅フラッシュ層を提供する工程;
b)酸水溶液を少なくとも前記複数のスルーホールに塗布する工程、ここで、前記酸水溶液は1種以上の無機酸と、1種以上の芳香族複素環式窒素化合物及び1種以上のエポキシ含有化合物の1種以上の反応生成物とから本質的に成り、該1種以上の反応生成物は1ppm〜50ppmの量であり;及び
c)1種以上の光沢剤及び1種以上のレベラーを含む酸性銅電気めっき浴を用いて、少なくとも前記スルーホールを銅で電気めっきする工程、を含む方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記反応生成物は0.5ppm〜5ppmの範囲である、方法。
- 請求項2に記載の方法であって、式中、R1、R2及びR3は独立してH、置換又は非置換(C1−C8)アルキル、置換又は非置換(C2−C7)アルケニル、及び置換又は非置換アリールから選択される、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記1種以上のエポキシ含有化合物は、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジ(エチレングリコール)ジグリシジルエーテル、ポリ(エチレングリコール)ジグリシジルエーテル化合物、グリセロールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ジ(プロピレングリコール)ジグリシジルエーテル、及びポリ(プロピレングリコール)ジグリシジルエーテル化合物から選択される、方法。
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