JP2014073558A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6411852B2 (ja) * 2014-10-07 2018-10-24 平田機工株式会社 搬送装置、搬送システム及び搬送方法
US10269613B2 (en) 2014-10-10 2019-04-23 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Substrate conveying robot and method of operating the same
WO2016172003A1 (en) * 2015-04-20 2016-10-27 Applied Materials, Inc. Buffer chamber wafer heating mechanism and supporting robot
JP6487267B2 (ja) * 2015-04-27 2019-03-20 日本電産サンキョー株式会社 製造システム
JP6487266B2 (ja) 2015-04-27 2019-03-20 日本電産サンキョー株式会社 製造システム
JP6594177B2 (ja) * 2015-11-24 2019-10-23 平田機工株式会社 ハンド部材およびハンド
CN107378982A (zh) * 2017-09-12 2017-11-24 李从宾 一种智能机器人抓取装置
TWI758595B (zh) * 2018-03-31 2022-03-21 日商平田機工股份有限公司 腔室構造
JP7183635B2 (ja) * 2018-08-31 2022-12-06 東京エレクトロン株式会社 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法
JP7225613B2 (ja) 2018-09-03 2023-02-21 東京エレクトロン株式会社 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法
JP7409800B2 (ja) * 2019-08-09 2024-01-09 川崎重工業株式会社 ロボット制御装置、ロボット、及びロボット制御方法
TWI703079B (zh) * 2019-11-21 2020-09-01 辛耘企業股份有限公司 輸送裝置
KR102272535B1 (ko) * 2020-12-14 2021-07-05 (주)볼타오토메이션 반송로봇용 듀얼타입의 반송암모듈
KR102348261B1 (ko) * 2021-05-31 2022-01-10 (주) 티로보틱스 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR102307687B1 (ko) * 2021-06-25 2021-10-05 (주) 티로보틱스 기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
KR102307690B1 (ko) * 2021-06-25 2021-10-05 (주) 티로보틱스 진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇
KR102396650B1 (ko) * 2021-07-21 2022-05-12 주식회사 싸이맥스 3절 링크 대기형 로봇
CN114043464B (zh) * 2021-11-26 2023-11-03 四川建安工业有限责任公司 可伸缩式机械手
WO2023188181A1 (ja) * 2022-03-30 2023-10-05 平田機工株式会社 基板搬送システム及び移載ロボット
WO2023188177A1 (ja) * 2022-03-30 2023-10-05 平田機工株式会社 基板搬送システム及び移載ロボット制御装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4585387A (en) * 1983-10-11 1986-04-29 William Jayne Robot arm
JPH03154736A (ja) * 1989-11-10 1991-07-02 Hitachi Ltd 移動体のストツパ機構
JPH0549293U (ja) * 1991-11-29 1993-06-29 ぺんてる株式会社 ロボットア−ムのストッパ装置
JPH0650778U (ja) * 1992-12-24 1994-07-12 株式会社ダイフク アーム回動式作業装置
JPH08172121A (ja) 1994-12-20 1996-07-02 Hitachi Ltd 基板搬送装置
US5993142A (en) * 1997-07-10 1999-11-30 Genmark Automation, Inc. Robot having multiple degrees of freedom in an isolated environment
JPH11188671A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daihen Corp 2アーム方式の搬送用ロボット装置
JPH11300659A (ja) * 1998-04-24 1999-11-02 Mecs Corp 薄型基板搬送多関節ロボット
JP2000000786A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Komatsu Ltd 同期制御装置
JP2000077499A (ja) 1998-09-03 2000-03-14 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
US6297611B1 (en) 2000-07-06 2001-10-02 Genmark Automation Robot having independent end effector linkage motion
TW550651B (en) * 2001-08-08 2003-09-01 Tokyo Electron Ltd Substrate conveying apparatus, substrate processing system, and substrate conveying method
JP4411025B2 (ja) * 2003-07-11 2010-02-10 株式会社ダイヘン 2アーム式搬送ロボット
JP4959427B2 (ja) * 2007-06-05 2012-06-20 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP5059729B2 (ja) * 2008-09-30 2012-10-31 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置
US8757345B2 (en) * 2009-04-29 2014-06-24 Novellus Systems, Inc. Magnetic rotational hardstop for robot
JP2011119556A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Yaskawa Electric Corp 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置
JP5071514B2 (ja) * 2010-04-21 2012-11-14 株式会社安川電機 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム
JP5578973B2 (ja) * 2010-07-16 2014-08-27 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP5565345B2 (ja) * 2011-03-07 2014-08-06 株式会社安川電機 搬送ロボット

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