JP2014060203A5 - 固体撮像装置及び電子機器 - Google Patents

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Description

本技術は、固体撮像装置及び電子機器に関し、特に、防水性を向上させるようにした固体撮像装置及び電子機器に関する。
前記保護膜の前記天井部と前記カラーフィルタを接するようにすることができる。
前記保護膜の前記天井部と前記カラーフィルタとの間に第１の平坦化膜を配置し、前記カラーフィルタを、前記第１の平坦化膜と第２の平坦化膜により挟み、前記保護膜の前記側壁部の内壁を、前記基板の表面に対してほぼ垂直な平面状とし、前記第１の平坦化膜と前記第２の平坦化膜の端部を、前記保護膜の前記側壁部の前記内壁で揃えることができる。

Claims (20)

  1. 複数のフォトダイオードが表面に形成されている基板と、
    透明で防水性を有し、前記基板の表面に対して垂直な側壁部と前記側壁部により囲まれる領域を覆う天井部とにより前記基板の前記複数のフォトダイオードが配置されている領域を囲む保護膜と
    を備える固体撮像装置。
  2. 前記保護膜の前記側壁部は、前記固体撮像装置の側面に形成されている
    請求項１に記載の固体撮像装置。
  3. 前記保護膜は、さらに前記固体撮像装置の電極パッドへの配線用の孔の内壁に形成されている
    請求項２に記載の固体撮像装置。
  4. 前記保護膜の前記側壁部は、前記固体撮像装置の外周の内側に外周に沿って形成されている溝に埋め込まれている
    請求項１に記載の固体撮像装置。
  5. 前記保護膜は、さらに前記固体撮像装置の電極パッドへの配線用の孔の周囲に形成されている溝に埋め込まれている
    請求項４に記載の固体撮像装置。
  6. 前記保護膜の前記側壁部の下端又は内壁の少なくとも一方が、前記基板に接している
    請求項１乃至５のいずれかに記載の固体撮像装置。
  7. 前記保護膜の前記天井部と前記基板の間にカラーフィルタが配置されている
    請求項１乃至６のいずれかに記載の固体撮像装置。
  8. 前記保護膜の前記天井部は、各前記フォトダイオードに光を集めるためのマイクロレンズを形成する
    請求項７に記載の固体撮像装置。
  9. 前記保護膜の前記天井部と前記カラーフィルタが接している
    請求項８に記載の固体撮像装置。
  10. 前記保護膜の前記天井部と前記カラーフィルタとの間に第１の平坦化膜が配置され、
    前記カラーフィルタは、前記第１の平坦化膜と第２の平坦化膜により挟まれ、
    前記保護膜の前記側壁部の内壁が、前記基板の表面に対してほぼ垂直な平面状であり、
    前記第１の平坦化膜と前記第２の平坦化膜の端部が、前記保護膜の前記側壁部の前記内壁で揃っている
    請求項８に記載の固体撮像装置。
  11. 前記保護膜の前記天井部は、各前記フォトダイオードに光を集めるためのマイクロレンズの表面に形成されている
    請求項７に記載の固体撮像装置。
  12. 前記保護膜の前記天井部は、前記フォトダイオードに光を集めるためのマイクロレンズと前記カラーフィルタの間に配置されている
    請求項７に記載の固体撮像装置。
  13. 前記保護膜の前記天井部は、カラーフィルタと前記基板の間に配置されている
    請求項１乃至６のいずれかに記載の固体撮像装置。
  14. 前記カラーフィルタと前記保護膜の前記天井部が接している
    請求項１３に記載の固体撮像装置。
  15. 前記保護膜の前記天井部と、隣接する画素への光の漏れ込みを防止する遮光膜が接している
    請求項１３に記載の固体撮像装置。
  16. 前記保護膜は、窒化ケイ素により形成される
    請求項１乃至１５のいずれかに記載の固体撮像装置。
  17. 前記固体撮像装置は裏面照射型である
    請求項１乃至１６のいずれかに記載の固体撮像装置。
  18. 前記固体撮像装置は表面照射型である
    請求項１乃至１６のいずれかに記載の固体撮像装置。
  19. 前記固体撮像装置は透明な樹脂とガラスによりパッケージングされている
    請求項１乃至１８のいずれかに記載の固体撮像装置。
  20. 複数のフォトダイオードが表面に形成されている基板と、
    透明で防水性を有し、前記基板の表面に対して垂直な側壁部と前記側壁部により囲まれる領域を覆う天井部とにより前記基板の前記複数のフォトダイオードが配置されている領域を囲む保護膜と
    を備える固体撮像装置と、
    前記固体撮像装置から出力される画素信号に対して信号処理を行う信号処理部と
    を備える電子機器。
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