JP2012209542A5 - - Google Patents

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Claims (9)

  1. 入射光を電気信号に変換する光電変換素子を有する画素と、
    前記画素に対応して形成され、複数の色目フィルタ成分を有するカラーフィルタと、
    前記カラーフィルタを介して前記入射光を前記光電変換素子に集光するマイクロレンズと、
    前記カラーフィルタの各色目フィルタ成分間に配置される遮光膜と、
    前記カラーフィルタと前記遮光膜との間に設けられ、非平坦化された密着性膜と、
    を有する固体撮像装置。
  2. 前記カラーフィルタは平坦化されている請求項１に記載の固体撮像装置。
  3. 前記密着性膜は、前記遮光膜の一面と前記カラーフィルタとの間に設けられる請求項１又は請求項２に記載の固体撮像装置。
  4. 前記光電変換素子と前記カラーフィルタとの間に絶縁膜をさらに有し、
    前記カラーフィルタは、前記絶縁膜に埋め込まれている請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の固体撮像装置。
  5. 前記密着性膜と前記遮光膜との間に酸化膜を有する請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の固体撮像装置。
  6. 前記酸化膜は、前記遮光膜の一面に設けられる請求項５記載の固体撮像装置。
  7. 前記遮光膜は、
    前記色目フィルタ成分の辺部に形成された第１遮光部と、
    前記画素領域の角部に形成された第２遮光部と、を有し、
    前記第２遮光部の、前記画素の表面から前記マイクロレンズ側の端面までの距離が、前記第１遮光部の前記距離よりも短い、
    請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の固体撮像装置。
  8. 入射光を電気信号に変換する光電変換素子を有する画素を形成する工程と
    カラーフィルタの複数の色目フィルタ成分の間に設けられる遮光膜を形成する工程と、
    前記遮光膜上に非平坦化された密着性膜を成膜する工程と、
    前記密着性膜上であって前記遮光膜の間に前記カラーフィルタを形成する工程と、
    前記カラーフィルタ上に、前記カラーフィルタを介して前記入射光を前記光電変換素子に集光するマイクロレンズを形成する工程と、
    を有する固体撮像装置の製造方法。
  9. 入射光を電気信号に変換する光電変換素子を有する画素と、
    前記画素に対応して形成され、複数の色目フィルタ成分を有するカラーフィルタと、
    前記カラーフィルタを介して前記入射光を前記光電変換素子に集光するマイクロレンズと、
    前記カラーフィルタの各色目フィルタ成分間に配置される遮光膜と、
    前記カラーフィルタと前記遮光膜との間に設けられ、非平坦化された密着性膜と、
    を有する固体撮像装置と、
    前記光電変換素子に前記入射光を導く光学レンズと、
    前記電気信号を処理する信号処理回路と、
    を備える電子機器。
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