JP2014053342A - プリント配線板の製造方法及びプリント配線板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記課題を解決するため、200μm以下の絶縁層の両面に、金属箔層と、15μm以下の厚みのキャリア箔とを当該絶縁層側から順にそれぞれ備えた両面金属張積層体に対して、片面側のキャリア箔の表面にレーザを照射して、他面側の金属箔層を底部とする有底バイアホールを形成するバイアホール形成工程と、有底バイアホール形成後に、各キャリア箔を各金属箔層の表面から剥離するキャリア箔剥離工程とを備えることを特徴とするプリント配線板の製造方法及びプリント配線板を提供する。
【選択図】図1
Description
最初に、本件発明に係るプリント配線板の製造方法の実施の形態を図1を参照しながら説明する。本件発明に係るプリント配線板の製造方法は、絶縁層11の両面に、金属箔層12と、15μm以下の厚みのキャリア箔13とを当該絶縁層11側から順にそれぞれ備えた両面金属張積層体10(図1(a)参照)に対して、片面側のキャリア箔13(13a)の表面にレーザを照射して、他面側の金属箔層12(12b)を底部21とする有底バイアホール20(図1(b)参照)を形成するバイアホール形成工程と、有底バイアホール20形成後に、各キャリア箔13を各金属箔層12の表面から剥離するキャリア箔剥離工程とを備えることを特徴としている。本実施の形態では、これらの工程の他に、バイアホール形成工程の前に行う両面金属張積層体10の製造工程及び黒色酸化処理工程、バイアホール形成工程の後に行うめっき工程等についても併せて説明する。以下、処理の順序に従って、説明する。なお、図1は、各工程を説明するための模式図であり、各層の厚みは実際の層厚の比率とは異なっている。また、図1には各層に施される表面処理層(粗化処理層、黒色酸化処理層等)については表示を省略している(図2についても同様である。)。
両面金属張積層体10の製造工程について説明する。当該製造工程では、バイアホール形成工程に供される両面金属張積層体10を製造する。ここで、両面金属張積層体10は、絶縁層11の両面に金属箔層12が積層された積層体を指し、特に、バイアホール形成工程で用いる両面金属張積層体10は、金属箔層12の表面にそれぞれ15μm以下の厚みのキャリア箔13が積層されたキャリア箔付の両面金属張積層体10を指す。まず、当該製造工程において製造する両面金属張積層体10の層構成について説明する。
本実施の形態において、絶縁層11は、プリント配線板に要求される絶縁特性を満足する絶縁性材料からなる層であれば特に限定されるものではない。具体的には、当該絶縁層11は、紙、または、ガラス布等に絶縁性樹脂(エポキシ樹脂、シアネート樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂(BT樹脂)、ポリフェニレンエーテル樹脂、フェノール樹脂等)を含浸させたシートを必要枚数重ねたプリプレグ等の絶縁樹脂基材であってもよいし、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂或いはポリエステル樹脂等の絶縁樹脂からなる絶縁樹脂層であってもよく、特に限定されるものではない。また、絶縁樹脂層には絶縁性を向上する等の観点からシリカ、アルミナ等の各種無機粒子からなるフィラー粒子等が含有されていてもよい。
金属箔層12は、導電性を有する金属箔からなる層であれば特に限定されるものではなく、銅箔、アルミニウム箔、ニッケル箔、コバルト箔、金箔、白金箔等の種々の金属箔又はこれらの合金箔等からなる層とすることができる。これらの各種金属箔はいずれも好適に用いることができるが、入手が容易であり、且つ、安価であるという観点から、銅箔、アルミニウム箔、ニッケル箔又はこれらの合金箔等を用いることが好ましい。さらに、電気抵抗率が低く、エッチング等による回路形成時の加工性に優れるという点から銅箔又は銅合金箔を好適に用いることができる。
キャリア箔13は、厚みの薄い金属箔の取り扱い性を向上するために、金属箔を支持する支持体として用いられる箔である。両面金属張積層体10を製造する際には、上述したとおり、製造が容易になるという観点からキャリア箔付金属箔を用いるが、本件発明では、特に、金属箔に対してキャリア箔13が手作業により剥離自在に設けられたいわゆるピーラブルタイプのキャリア箔付金属箔を好ましく用いることができる。
本件発明では、当該両面金属張積層体10において、上記キャリア箔13と、上記金属箔層12との間に、前記キャリア箔13を前記金属箔層12から剥離自在に接合する接合界面層を備えることが好ましい。但し、図1においては、接合界面層の表示を省略している。
当該両面金属張積層体10の製造工程では、絶縁層11に対してキャリア箔13を金属箔層12の外側に備える上記両面金属張積層体10を得ることができれば、その製造方法は特に限定されるものではない。例えば、いわゆるBステージの上記絶縁樹脂基材、或いは、上記絶縁樹脂層の両面にそれぞれキャリア箔付金属箔の金属箔側を積層し、加熱加圧することにより絶縁層11としての絶縁樹脂基材又は絶縁樹脂層の両面にそれぞれ金属箔層12、キャリア箔13が当該順序で積層された上記両面金属張積層体10を得ることができる。このとき、キャリア箔付金属箔として、キャリア箔を備えた樹脂層付金属箔或いは接着剤層付金属箔を用いてもよく、その具体的な積層工程は何ら限定されるものではない。
次に、黒色酸化処理工程について説明する。本件発明では、バイアホール形成工程に先立って、上記両面金属張積層体10の表面、すなわちキャリア箔13の表面に対して黒色酸化処理(黒化処理)を施す黒色酸化処理工程を行うことが好ましい。キャリア箔13は、上述のとおり、金属箔からなる箔である。このため、レーザ光をキャリア箔13の表面に照射すると、レーザ光が反射し、レーザ光の初期吸収効率が悪く、バイアホールの形成速度が遅くなる。このため、バイアホール形成工程を行う前に、キャリア箔13の表面に対して黒色酸化処理(黒化処理)を施すことが好ましい。当該黒色酸化処理を施すことにより、キャリア箔13の表面が粗化されると共に黒色化、若しくは褐色化する。これにより、キャリア箔13の表面におけるレーザ光の初期吸収効率を向上させることができ、次工程であるバイアホール形成工程において、レーザ加工により、効率よく有底バイアホール20を効率よく形成することが可能になる。
バイアホール形成工程では、上述したとおり、絶縁層11の両面に、15μm以下の厚みのキャリア箔13を有する金属箔層12が設けられた両面金属張積層体10に対して、片面側のキャリア箔13(13a)の表面にレーザを照射して、他面側の金属箔層12(12b)を底部21とする有底バイアホール20を形成する。
有底バイアホールを形成した後、片面側の金属箔層12(12a)と他面側の金属箔層12(12b)との導通を図るため、有底バイアホール20内に層間接続用のめっき処理を施し、めっき皮膜22を形成することが好ましい。当該めっき処理に際して、片面側の金属箔層12(12a)と他面側の金属箔層12(12b)との導通を図ることができれば、どのような金属をめっき析出させてもよいが、電気的接続信頼性の観点から、一般に、銅めっき又は銅合金めっきを行うことが好ましい。
当該キャリア箔剥離工程では、上記両面金属張積層体10の両面に設けられた各キャリア箔13を各金属箔層12の表面から剥離する。これにより、レーザ照射により、有底バイアホール20の孔の周囲に堆積したスプラッシュを、キャリア箔13と共に剥離することができるため、孔の周囲を平坦にすることができる。また、本実施の形態のように、上記めっき工程の後に当該キャリア箔剥離工程を行えば、キャリア箔13と共にキャリア箔13上に形成されためっき皮膜22を剥離することができる。めっき工程の後にキャリア箔13を剥離しても、有底バイアホール20内のめっき皮膜22は残存し、片面側の金属箔層12(12a)と他面側の金属箔層12(12b)との導通を図ることができる。
ここで、通常の手法では、キャリア箔13を剥離した後に、層間導通を図るためのめっき工程を行う。この場合、金属箔層12の表面にもめっき被膜が形成されるため、導体層の厚さがめっき皮膜の分だけ厚くなる。また、金属箔層12の表面にめっき析出させた場合、面内におけるめっきの析出速度にバラツキが生じるため、めっき被膜の厚みにバラツキが生じる。そのため、エッチングにより配線回路を形成する際、オーバーエッチング量を多くする必要がある。これに対して、めっき工程を行った後に、キャリア箔剥離工程を行えば、金属箔層12自体が導体層となるため、その厚みも均一であり、オーバーエッチング量を少なくすることができるため、設計通りの回路幅で配線パターンを形成することができる。サブトラクティブ法により配線回路を形成する際には、微細な配線回路を良好なエッチングファクタで得ることができるという観点から、当該実施の形態のようにめっき工程の後にキャリア箔剥離工程を行うことが好ましい。
配線回路形成工程では、上記キャリア箔13が引き剥がされた後の両面金属張積層体10に対して、例えば、形成すべき配線回路に対応するレジストパターンを金属箔層12上に形成し、エッチングを施す等の従来公知の方法により、配線回路を形成することができる。
次に、本件発明に係るプリント配線板について説明する。本件発明に係るプリント配線板は、上述したプリント配線板の製造方法により得られたものであり、図1(d)又は図2(c)に示すように、キャリア箔13を両面に備えた状態で有底バイアホール20が形成された後に、キャリア箔13を剥離することにより得られた3層構造を層構成に含むもの(配線パターンが形成されたものを含む)であれば、いかなる構成であってもよい。例えば、両面プリント配線板であってもよいし、配線パターンが形成された当該両面金属張積層体10に対して、さらにビルドアップ層を積層した多層プリント配線板であってもよい。
比較例1の試料として、黒色酸化処理を施す前に、レーザを照射する側のキャリア箔を銅箔の表面から引き剥がした以外は実施例と同様にして、他面側にのみキャリア箔を備えた両面銅張積層体を得た。
比較例2の試料として、黒色酸化処理を施す前に、その両面において銅箔の表面からキャリア箔を引き剥がした以外は実施例と同様にして、キャリア箔を備えない両面銅張積層体を得た。
1.評価方法
(1)反り量
上記本実施例及び比較例(比較例1及び比較例2)で得た各両面銅張積層体の常態時の反り量を測定した。反り量の測定は次のようにして行った。まず、各両面銅張積層体を平坦な観察台に載せた。そして、各両面銅張積層体の4隅(左上、左下、右上、右下)において、観察台と両面銅張積層体との間の離間距離を定規で測定し、その測定値を反り量とした。
上記実施例で得た各両面銅張積層体を用い、三菱電機株式会社製の炭酸ガスレーザにより、各両面銅張積層体の片面側から、ビーム径153μm、パルス幅10μs、レーザパルスエネルギー18.5mJで、レーザパルスビームを1ショット照射し、その後、エネルギー密度2MW/cm2、3MW/cm2、4MW/cm2に対して、パルス幅を3μs、5μs、7μsに変化させて、トップ径74μmの有底バイアホールを121孔形成し、他面側の銅箔層に対する貫通孔の有無を観察し、貫通孔形成比率(%)を求めた。同様に、各比較例で得た各両面銅張積層体をそれぞれ複数用い、上記炭酸ガスパルスレーザにより、ビーム径115μm、パルス幅8μs、レーザパルスエネルギー6.2mJで、各両面銅張積層体にそれぞれレーザパルスビームを1ショット照射し、その後エネルギー密度2MW/cm2、3MW/cm2、4MW/cm2に対して、パルス幅を3μs、5μs、7μsに変化させて、トップ径75.2μmのバイアホールをそれぞれ121孔形成し、他面側の銅箔層に対する貫通孔の有無を観察し、貫通孔形成比率(%)を求めた。なお、レーザ照射条件が実施例と比較例とで異なるのは、実施例の両面銅張積層体は、レーザ照射側の面にもキャリア箔が設けられているため、レーザ照射側の面にキャリア箔が設けられていない比較例の両面銅積層体よりもレーザ出力を高くしなければ、有底バイアホールを形成することができないためである。
上記炭酸ガスパルスレーザを用い、本実施例と比較例1で得た各両面銅張積層体の片面側から、それぞれ上述の条件により各両面銅張積層体の4隅及び中央部にそれぞれレーザパルスビームを照射して、他面側の銅箔層を底部とする有底バイアホールを形成した。そして、各有底バイアホールの孔径を測定すると共に、孔の形状を観察し、孔径及び形状のバラツキを評価した。
次いで、実施例の両面銅張積層体に対して有底バイアホールを形成した後、キャリア箔を除去した後の有底バイアホールのトップ形状と、比較例1の両面銅張積層体に形成した有底バイアホールのトップ形状とを観察した。
(1)反り量
本実施例、比較例1及び比較例2の両面銅張積層体の4隅の反り量をそれぞれ表1に示す。表1に示すように、本実施例1及び比較例2の両面銅張積層体には反りが生じなかったのに対し、キャリア箔を他面にのみ備える比較例1の両面銅張積層体では反りが生じることが確認された。これは、両面にキャリア箔を備えた両面銅張積層体から、片面側のキャリア箔のみを剥離することにより、絶縁層の両面における応力のバランスが崩れたためと考えられる。
実施例、比較例1及び比較例2の両面銅張積層体に対して、レーザ加工により上記有底バイアホールを形成したときの貫通孔形成比率(%)をそれぞれ表2に示す。表2に示すようにキャリア箔を備えていない比較例2の両面銅張積層体は、レーザ出力を増大させた場合、貫通孔が形成される割合が極めて高く、このような薄い両面銅張積層体に対して有底バイアホールを歩留まりよく形成することが困難であることが確認された。一方、他面側にキャリア箔を備える本実施例及び比較例1の両面銅張積層体では、レーザ出力を増大させても貫通孔の形成を抑制する効果が高く、他面側にキャリア箔を設けることにより、当該キャリア箔をヒートシンクとして機能させて、他面側の銅箔層に貫通孔が形成されるのを抑制することができることが確認された。
表3に、本実施例及び比較例1で得た両面銅張積層体の4隅と、中央に形成された有底バイアホールの孔径をそれぞれ示す。表3に示すように、本実施例で得た両面銅張積層体に形成した有底バイアホールの孔径のバラツキは、比較例1で得た両面銅張積層体と比較すると小さいことが確認された。また、両面銅張積層体の中央に形成した有底バイアホールの孔径と、各四隅に形成した有底バイアホールの孔径との差は、反り量が大きくなる程大きくなることが確認された。また、図3は、比較例1の両面銅張積層体に形成した各有底バイアホールの表面観察写真である。図3(c)に示すように、反り量がゼロの両面銅張積層板の中央部に形成された有底バイアホールのトップ形状は略円形であるのに対して、反り量が大きい個所(左上(a)及び左下(d))に形成された有底バイアホールのトップ形状には歪みが生じていることが確認できる。一方、本実施例の両面銅張積層体は反りが小さく、四隅に形成した有底バイアホールについても、略円形を呈し、孔径及び孔の形状のバラツキが少なく、図3(c)に示す孔形状と略同じ孔形状を示すことが確認された。
図4は、有底バイアホールを形成した後にキャリア箔を引き剥がした後の本実施例の両面銅張積層体の表面観察写真である。一方、図5は、有底バイアホールを形成した後の比較例1の両面銅張積層体の表面観察写真である。図4と図5を比較すると明らかなように、比較例1の両面銅張積層体においてはレーザ照射により孔の周囲にスプラッシュが堆積しているのに対して、本実施例の両面銅張積層体ではこの孔の周囲に堆積したスプラッシュをキャリア箔と共に剥離することができるため、孔の周囲が平坦になることが確認された。
11・・・絶縁層
12・・・金属箔層
12a・・片面側の金属箔層
12b・・他面側の金属箔層
13・・・キャリア箔
13a・・片面側のキャリア箔
13b・・他面側のキャリア箔
20・・・有底バイアホール
21・・・底部
22・・・めっき皮膜
Claims (7)
- 200μm以下の厚みの絶縁層の両面に、金属箔層と、15μm以下の厚みのキャリア箔とを当該絶縁層側から順にそれぞれ備えた両面金属張積層体に対して、片面側のキャリア箔の表面にレーザを照射して、他面側の金属箔層を底部とする有底バイアホールを形成するバイアホール形成工程と、
有底バイアホール形成後に、各キャリア箔を各金属箔層の表面から剥離するキャリア箔剥離工程と、
を備えることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 - 前記バイアホール形成工程の前に、少なくとも前記片面側のキャリア箔の表面に黒色酸化処理を施す黒色酸化処理工程を備える請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記金属箔層の厚みは、7μm以下である請求項1又は請求項2に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記両面金属張積層体は、前記キャリア箔と前記金属箔層との間に、接合界面層を備える請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記接合界面層は、有機剤により形成された有機接合界面層である請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。
- 前記バイアホール形成工程と、前記キャリア箔剥離工程との間に、片面の金属箔層と他面の金属箔層との導通を図るための層間接続用のめっき処理を有底バイアホール内に施すめっき工程を備える請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載のプリント配線板の製造方法。
- 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のプリント配線板の製造方法により得られたことを特徴とするプリント配線板。
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