JP2014038983A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014038983A5 JP2014038983A5 JP2012181670A JP2012181670A JP2014038983A5 JP 2014038983 A5 JP2014038983 A5 JP 2014038983A5 JP 2012181670 A JP2012181670 A JP 2012181670A JP 2012181670 A JP2012181670 A JP 2012181670A JP 2014038983 A5 JP2014038983 A5 JP 2014038983A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- load
- substrate
- holder
- substrate cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 35
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 230000003028 elevating Effects 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Images
Description
本発明の基板洗浄装置は、長尺状に水平に延びるロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダと、制御機器を備えたアクチュエータの駆動に伴って昇降する昇降部を有し、基板洗浄時に前記ロール洗浄部材が基板に所定のロール荷重を加えるように前記ロールホルダを昇降させる昇降機構と、前記昇降機構の昇降部と前記ロールホルダとの間に設置され、前記ロール荷重の方向に働く荷重を測定することにより前記ロール荷重を測定するロードセルと、前記ロードセルの測定値を元に前記アクチュエータの制御機器を介して前記ロール荷重をフィードバック制御する制御部とを有し、前記ロードセルは、ロールホルダの長さ方向に沿ったほぼ中央に配置されて、前記昇降機構の昇降部に連結されている。
このように、昇降機構の昇降部と該昇降部に連結されたロールホルダとの間にロードセルを設置することで、ロードセルがロールホルダの自重を全て受ける構造となし、ロールホルダとロードセルとの間に、ロールホルダ昇降時にフリクション増となるベアリングやリンクロッド、荷重伝達でロスを発生させる梁構造や突起物等を介さない構造とすることができる。これによって、基板洗浄時に基板に加えられるロール荷重を正確にロードセルに伝え、ロール荷重を精度良く測定して制御することができる。
また、ロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダの重心がロードセルのほぼ中心を通るようにして、ロールホルダをバランス良く昇降部に連結することができる。
また、ロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダの重心がロードセルのほぼ中心を通るようにして、ロールホルダをバランス良く昇降部に連結することができる。
本発明の好ましい一態様において、前記チルト機構は、前記ロール洗浄部材の回転軸に対して直角方向を向いた枢軸と前記枢軸を回転自在に支承する軸受から構成される。
本発明の基板処理装置は、上記基板洗浄装置を備えたことを特徴とする。
本発明の基板洗浄装置の他の態様は、長尺状に延びるロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダと、制御機器を備えたアクチュエータの駆動に伴って前記ロール洗浄部材を基板に押し付ける方向に移動する押圧部を有し、基板洗浄時に前記ロール洗浄部材が基板に所定のロール荷重を加えるように前記ロールホルダを移動させる押圧機構と、前記押圧機構の押圧部と前記ロールホルダとの間に設置され、前記ロール荷重の方向に働く荷重を測定することにより前記ロール荷重を測定するロードセルと、前記ロードセルの測定値を元に前記アクチュエータの制御機器を介して前記ロール荷重をフィードバック制御する制御部とを有し、前記ロードセルは、ロールホルダの長さ方向に沿ったほぼ中央に配置されて、前記押圧機構の押圧部に連結されている。
本発明の基板洗浄装置の他の態様は、長尺状に延びるロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダと、制御機器を備えたアクチュエータの駆動に伴って前記ロール洗浄部材を基板に押し付ける方向に移動する押圧部を有し、基板洗浄時に前記ロール洗浄部材が基板に所定のロール荷重を加えるように前記ロールホルダを移動させる押圧機構と、前記押圧機構の押圧部と前記ロールホルダとの間に設置され、前記ロール荷重の方向に働く荷重を測定することにより前記ロール荷重を測定するロードセルと、前記ロードセルの測定値を元に前記アクチュエータの制御機器を介して前記ロール荷重をフィードバック制御する制御部とを有し、前記ロードセルは、ロールホルダの長さ方向に沿ったほぼ中央に配置されて、前記押圧機構の押圧部に連結されている。
ロードポート12、該ロードポート12側に位置する研磨装置14a及び基板乾燥装置20に囲まれた領域には、第1基板搬送ロボット22が配置され、また研磨装置14a〜14dと平行に、基板搬送ユニット24が配置されている。第1基板搬送ロボット22は、研磨前の基板をロードポート12から受け取って基板搬送ユニット24に受け渡すとともに、乾燥後の基板を基板乾燥装置20から受け取ってロードポート12に戻す。基板搬送ユニット24は、第1基板搬送ロボット22から受け取った基板を搬送して、各研磨装置14a〜14dとの間で基板の受け渡しを行う。
この基板Wの表面の下部ロール洗浄部材48によるスクラブ洗浄時に、前述の上部ロール洗浄部材46の場合と同様に、基板Wの洗浄時に基板Wに加えられるロール荷重が設定ロール荷重となるようにロール荷重をフィードバック制御する。
図9は、ロードセル54a及びチルト機構70aを内部に組み入れた他の下部ロールホルダ44を示す縦断正面図である。この例の上記下部ロールホルダと異なる点は以下の通りである。
すなわち、下部ロールホルダ44に固定されたチルト機構70a及び該チルト機構70aに連結されたロードセル54aは、下部ロールホルダ44の内部に形成された、下方に開口する収納部100内に収納されている。そして、上端面にロードセル54aを固定した昇降軸(昇降部)59の上部は、下方に垂下する円筒状の防水カバー102で包囲されている。これにより、洗浄処理の際に、洗浄に使用される洗浄液でチルト機構70aやロードセル54aが濡れないようになっている。
Claims (9)
- 長尺状に水平に延びるロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダと、
制御機器を備えたアクチュエータの駆動に伴って昇降する昇降部を有し、基板洗浄時に前記ロール洗浄部材が基板に所定のロール荷重を加えるように前記ロールホルダを昇降させる昇降機構と、
前記昇降機構の昇降部と前記ロールホルダとの間に設置され、前記ロール荷重の方向に働く荷重を測定することにより前記ロール荷重を測定するロードセルと、
前記ロードセルの測定値を元に前記アクチュエータの制御機器を介して前記ロール荷重をフィードバック制御する制御部とを有し、
前記ロードセルは、ロールホルダの長さ方向に沿ったほぼ中央に配置されて、前記昇降機構の昇降部に連結されていることを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記昇降機構の前記昇降部は、前記アクチュエータの駆動に伴って昇降する昇降軸または該昇降軸に基端を連結されて水平方向に延びる昇降アームからなることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記昇降機構の昇降部と前記ロールホルダとの間に、前記ロールホルダをチルトさせるチルト機構を設置したことを特徴とする請求項1または2に記載の基板洗浄装置。
- 前記チルト機構は、前記ロール洗浄部材の回転軸に対して直角方向を向いた枢軸と前記枢軸を回転自在に支承する軸受から構成されることを特徴とする請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記制御部は、基板にロール荷重を加えた時からロール荷重のフィードバック制御を開始することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記制御部は、基板に加えられるロール荷重のフィードバック制御を開始するタイミングを設定ロール荷重毎に任意に設定することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記制御機器として電空レギュレータを使用し、前記制御部は、基板に加えられるロール荷重のフィードバック制御を開始する前の電空レギュレータ操作量を設定ロール荷重毎に任意に設定することを特徴とする請求項5または6に記載の基板洗浄装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の基板洗浄装置を備えたことを特徴とする基板処理装置。
- 長尺状に延びるロール洗浄部材を支持して回転させるロールホルダと、
制御機器を備えたアクチュエータの駆動に伴って前記ロール洗浄部材を基板に押し付ける方向に移動する押圧部を有し、基板洗浄時に前記ロール洗浄部材が基板に所定のロール荷重を加えるように前記ロールホルダを移動させる押圧機構と、
前記押圧機構の押圧部と前記ロールホルダとの間に設置され、前記ロール荷重の方向に働く荷重を測定することにより前記ロール荷重を測定するロードセルと、
前記ロードセルの測定値を元に前記アクチュエータの制御機器を介して前記ロール荷重をフィードバック制御する制御部とを有し、
前記ロードセルは、ロールホルダの長さ方向に沿ったほぼ中央に配置されて、前記押圧機構の押圧部に連結されていることを特徴とする基板洗浄装置。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181670A JP5878441B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
SG10201610272PA SG10201610272PA (en) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus |
TW105134529A TW201706045A (zh) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | 基板清洗裝置及基板處理裝置 |
KR1020187032575A KR102025600B1 (ko) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | 기판 세정 장치 및 기판 처리 장치 |
CN201380042968.4A CN104584197B (zh) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | 基板清洗装置及基板处理装置 |
TW102129780A TWI561317B (en) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus |
SG11201501012UA SG11201501012UA (en) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus |
US14/422,248 US9978617B2 (en) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus |
PCT/JP2013/072177 WO2014030640A1 (ja) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
KR1020157006071A KR101919652B1 (ko) | 2012-08-20 | 2013-08-20 | 기판 세정 장치 및 기판 처리 장치 |
US15/956,297 US10707103B2 (en) | 2012-08-20 | 2018-04-18 | Substrate cleaning apparatus and substrate processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012181670A JP5878441B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014038983A JP2014038983A (ja) | 2014-02-27 |
JP2014038983A5 true JP2014038983A5 (ja) | 2015-10-08 |
JP5878441B2 JP5878441B2 (ja) | 2016-03-08 |
Family
ID=50149948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012181670A Active JP5878441B2 (ja) | 2012-08-20 | 2012-08-20 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9978617B2 (ja) |
JP (1) | JP5878441B2 (ja) |
KR (2) | KR101919652B1 (ja) |
CN (1) | CN104584197B (ja) |
SG (2) | SG10201610272PA (ja) |
TW (2) | TW201706045A (ja) |
WO (1) | WO2014030640A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6262983B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2018-01-17 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
JP6279276B2 (ja) | 2013-10-03 | 2018-02-14 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP2015220402A (ja) | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄装置で実行される方法 |
KR102281074B1 (ko) * | 2014-10-07 | 2021-07-23 | 주식회사 케이씨텍 | 브러쉬 세정 장치 |
JP6328577B2 (ja) | 2015-02-24 | 2018-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 荷重測定装置および荷重測定方法 |
JP6646460B2 (ja) | 2016-02-15 | 2020-02-14 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP6767834B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2020-10-14 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP6941464B2 (ja) | 2017-04-07 | 2021-09-29 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP6758247B2 (ja) * | 2017-05-10 | 2020-09-23 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄装置および基板処理装置、洗浄装置のメンテナンス方法、並びにプログラム |
JP6823541B2 (ja) | 2017-05-30 | 2021-02-03 | 株式会社荏原製作所 | キャリブレーション方法およびキャリブレーションプログラム |
TWI705519B (zh) * | 2017-07-25 | 2020-09-21 | 日商Hoya股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理方法、光罩洗淨方法及光罩製造方法 |
CN107871697B (zh) * | 2017-10-30 | 2020-04-14 | 安徽世林照明股份有限公司 | 一种led生产用外延片清洗装置及清洗工艺 |
US11139182B2 (en) | 2017-12-13 | 2021-10-05 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP7232615B2 (ja) * | 2017-12-13 | 2023-03-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN109950170B (zh) * | 2017-12-20 | 2023-04-04 | 弘塑科技股份有限公司 | 晶圆清洗设备及控制晶圆清洗设备的毛刷组的方法 |
TWI645467B (zh) * | 2017-12-20 | 2018-12-21 | 弘塑科技股份有限公司 | 晶圓清洗設備及控制晶圓清洗設備之毛刷組之方法 |
JP7079164B2 (ja) * | 2018-07-06 | 2022-06-01 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
CN111318940B (zh) * | 2018-08-28 | 2021-06-08 | 绍兴博弈机械设备研发有限公司 | 一种应用于文玩核桃的无序初步加工设备及方法 |
CN109540046B (zh) * | 2018-12-29 | 2024-02-20 | 广东中鹏新能科技有限公司 | 全自动化窑炉辊棒检测装置 |
KR102644399B1 (ko) * | 2019-06-05 | 2024-03-08 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 |
CN110743833A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-02-04 | 徐州吉瑞合金铸造有限公司 | 一种合金铸造的清洁装置 |
KR20210144071A (ko) * | 2020-05-21 | 2021-11-30 | 삼성전자주식회사 | 틸팅 가능한 롤 브러쉬를 갖는 기판 세정 장치 |
JP7093390B2 (ja) * | 2020-10-15 | 2022-06-29 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
CN112845205B (zh) * | 2020-12-23 | 2022-01-11 | 河南科技大学第一附属医院 | 一种用于除颤仪电极板的抽吸式清洁盒 |
JP2022103731A (ja) * | 2020-12-28 | 2022-07-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2022124016A (ja) | 2021-02-15 | 2022-08-25 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置、基板洗浄装置の異常判定方法、基板洗浄装置の異常判定プログラム |
CN115831821B (zh) * | 2022-12-12 | 2023-06-06 | 上海世禹精密设备股份有限公司 | 一种基板清洗干燥装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59193029A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Hitachi Ltd | 洗浄方法およびその装置 |
JP3326642B2 (ja) * | 1993-11-09 | 2002-09-24 | ソニー株式会社 | 基板の研磨後処理方法およびこれに用いる研磨装置 |
JP3292367B2 (ja) | 1994-05-12 | 2002-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
US5475889A (en) | 1994-07-15 | 1995-12-19 | Ontrak Systems, Inc. | Automatically adjustable brush assembly for cleaning semiconductor wafers |
JPH10242092A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
US6116990A (en) * | 1997-07-25 | 2000-09-12 | Applied Materials, Inc. | Adjustable low profile gimbal system for chemical mechanical polishing |
US6086460A (en) * | 1998-11-09 | 2000-07-11 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for conditioning a polishing pad used in chemical mechanical planarization |
JP2000164555A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Ebara Corp | 基板乾燥装置及び方法 |
JP4484298B2 (ja) * | 1999-02-09 | 2010-06-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ケミカルメカニカルポリシング用の低プロファイル可調整ジンバルシステム |
JP2001105298A (ja) | 1999-10-04 | 2001-04-17 | Speedfam Co Ltd | 流体加圧式キャリアの内圧安定化装置 |
JP2001293445A (ja) | 2000-04-14 | 2001-10-23 | Sony Corp | 洗浄装置と、半導体装置の製造方法及び液晶素子の製造方法 |
JP3953716B2 (ja) | 2000-08-01 | 2007-08-08 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
JP2002313765A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Sony Corp | ブラシ洗浄装置及びその制御方法 |
JP2002313767A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Ebara Corp | 基板処理装置 |
JP2008130820A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 洗浄装置 |
JP5323455B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2013-10-23 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置のロール間隙調整方法 |
US8926760B2 (en) * | 2009-02-20 | 2015-01-06 | Orthodyne Electronics Corporation | Systems and methods for processing solar substrates |
WO2010131581A1 (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | シャープ株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
-
2012
- 2012-08-20 JP JP2012181670A patent/JP5878441B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-20 KR KR1020157006071A patent/KR101919652B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-20 TW TW105134529A patent/TW201706045A/zh unknown
- 2013-08-20 CN CN201380042968.4A patent/CN104584197B/zh active Active
- 2013-08-20 US US14/422,248 patent/US9978617B2/en active Active
- 2013-08-20 SG SG10201610272PA patent/SG10201610272PA/en unknown
- 2013-08-20 WO PCT/JP2013/072177 patent/WO2014030640A1/ja active Application Filing
- 2013-08-20 TW TW102129780A patent/TWI561317B/zh active
- 2013-08-20 KR KR1020187032575A patent/KR102025600B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-20 SG SG11201501012UA patent/SG11201501012UA/en unknown
-
2018
- 2018-04-18 US US15/956,297 patent/US10707103B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2014038983A5 (ja) | ||
KR101919652B1 (ko) | 기판 세정 장치 및 기판 처리 장치 | |
CN105110238B (zh) | 双自由度自动控制剪叉式物料运送装置 | |
JP2013519576A5 (ja) | ||
CN102556727A (zh) | 记录装置及卷筒纸提升装置 | |
JP2017148925A5 (ja) | ||
JP7248147B2 (ja) | 天井搬送車 | |
CN111287435A (zh) | 具有随动机架的抹光机 | |
JP5046710B2 (ja) | 柱体昇降作業装置 | |
JP2011053685A5 (ja) | ||
KR101676702B1 (ko) | 조리 장치 | |
JP2015057337A5 (ja) | ||
TW201420214A (zh) | 基板洗淨裝置及基板洗淨方法 | |
JP2018193187A (ja) | 柱状材支持装置 | |
JP2009106735A5 (ja) | ||
JP2012125907A (ja) | デパレタイズロボットのロボットハンド | |
CN110152493B (zh) | 一种用于工业滤芯卷绕及下料的辅助装置 | |
JP2023006526A (ja) | 荷降し装置、荷降しプログラム、及び荷降し方法 | |
WO2019128482A1 (zh) | 升降装置和具有该升降装置的洗衣机 | |
TW201202114A (en) | Optical roller carrier | |
JP2007261730A (ja) | ワーク保持装置 | |
CN212534967U (zh) | 具有随动机架的抹光机 | |
JP6185380B2 (ja) | 辷り出し窓の開閉装置 | |
WO2019128480A1 (zh) | 升降装置和具有该升降装置的洗衣机 | |
JP5643494B2 (ja) | 重量ワーク吊持装置 |