JP2017148925A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 基板を保持するためのエンドエフェクタを先端部に有するロボットアームと、
   前記ロボットアームを昇降させるための昇降駆動機構と、
   前記昇降駆動機構を覆うためのカバー手段と、を備え、
   前記昇降駆動機構は、上下方向に延在するガイドレールが設けられた固定部と、前記ガイドレールに沿って昇降駆動される昇降部と、を有し、
   前記ロボットアームは、前記昇降部に旋回可能に連結された基部リンクと、前記基部リンクに旋回可能に連結され、前記先端部を含むリンク部材と、を有し、
   前記カバー手段は、前記固定部に設けられ、前記昇降部がその内部を移動する固定側カバーを有し、
   前記昇降部は、前記固定側カバーの開放上部を介して固定側カバーの内部に出入し、
   前記昇降部が最下点まで下降したときに、前記基部リンクの基端部の下面の高さが、前記固定部の上面の高さよりも下方であるように構成されている、ことを特徴とする基板搬送ロボット。
2. 前記昇降部が最下点まで下降したときに、前記基部リンクの上面の高さが、前記固定部の上面の高さと略同一またはそれより下方であるように構成されている、請求項１記載の基板搬送ロボット。
3. 前記リンク部材は、互いに旋回可能に連結された２つ以上のリンクを有する、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送ロボットと、
   前記基板搬送ロボットがその内部に設置された準備空間形成部と、を備えた基板搬送装置。
5. 前記基板搬送ロボットは、前記昇降駆動機構を含む基台を有し、
   前記基台は、前記準備空間形成部の内部の奥行き方向の一方に寄せて配置されている、請求項４記載の基板搬送装置。