CN100532026C - 一种玻璃基片传输机器人 - Google Patents

一种玻璃基片传输机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN100532026C
CN100532026C CNB2007101593146A CN200710159314A CN100532026C CN 100532026 C CN100532026 C CN 100532026C CN B2007101593146 A CNB2007101593146 A CN B2007101593146A CN 200710159314 A CN200710159314 A CN 200710159314A CN 100532026 C CN100532026 C CN 100532026C
Authority
CN
China
Prior art keywords
axle
glass substrate
links
linear telescopic
urceolus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2007101593146A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101209551A (zh
Inventor
丛明
于旭
徐晓飞
姜英
杨明生
穆从义
林远全
奚邦庆
匡小春
邓志勇
李亮生
Original Assignee
Dalian University of Technology
Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian University of Technology, Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd filed Critical Dalian University of Technology
Priority to CNB2007101593146A priority Critical patent/CN100532026C/zh
Publication of CN101209551A publication Critical patent/CN101209551A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100532026C publication Critical patent/CN100532026C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明属于工业用机器人技术领域，涉及一种玻璃基片传输机器人。其特征是包括升降机构I、旋转机构II、直线伸缩机构III和末端执行器IV，可实现Z向升降运动、θ向旋转运动和R向直线伸缩运动。三向运动相互独立，可实现单独或同时运动，其中θ向旋转运动和R向直线伸缩运动均采用谐波减速器减速，提高了定位精度。末端执行器IV采用真空夹持技术，提高了玻璃基片的传输效率。本发明的传输机器人结构紧凑、占地空间小、工作空间大、控制容易、运行平稳、运动惯量小、定位精度高，且可在洁净度较高的环境中工作。

Description

一种玻璃基片传输机器人
技术领域
本发明属于工业用机器人技术领域，涉及一种玻璃基片传输机器人，主要是指在平板显示产业的不同加工模块间快速、平稳、洁净地传输玻璃基片的一种传输机器人。
背景技术
玻璃基片是平板显示产业的关键基础材料之一。随着平板显示产业技术的不断变革，玻璃基片的尺寸和质量在不断增大，同时也对玻璃基片的自动化传输设备提出了更高的要求。玻璃基片传输机器人是自动化传输设备的一种重要形式，它能在平板显示产业的不同加工模块间快速、平稳、洁净传输大尺寸、大质量的玻璃基片。这种传输机器人至少要具有三个自由度以实现玻璃基片在空间中的传输，同时还应具有结构紧凑、运动平稳、洁净度高、定位精度高、占地面积小、工作空间大等特点。
在现有的技术中，对玻璃基片自动化传输设备，特别是对玻璃基片传输机器人的研究相对较少。专利名称为玻璃基片装载架传动机构，公开号为CN1840492A，是仅有的玻璃基片自动化传输设备的相关专利，其特征是该专利针对玻璃基片特殊的装载架而设计，有效的解决了掉片和炸片的问题，但由于该专利需要太多的辅助设备辅助其工作，不能随工作环境改变而做出适当的调整，缺少灵活性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种具有Z向升降、θ向旋转和R向直线伸缩三个自由度的玻璃基片传输器人。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
本发明所述的一种玻璃基片传输机器人，包括升降机构、旋转机构、直线伸缩机构和末端执行器。升降机构带动旋转机构、直线伸缩机构和末端执行器沿机器人对称轴作Z向垂直升降运动。旋转机构带动直线伸缩机构和末端执行器绕机器人对称轴作θ向旋转运动。直线伸缩机构带动末端执行器在水平面内作R向直线伸、缩运动。Z向、θ向、R向三向运动相互独立，可单独或同时运动。三向运动的共同作用可完成玻璃基片的快速、平稳、洁净传输。
所述升降机构包括升降电机、同步齿型带轮减速机构、滚珠丝杠副、螺母座、下筒、外筒、直线导轨副和滑块座。升降电机通过同步齿型带轮减速机构与滚珠丝杠相连；丝杠螺母通过螺母座与下筒相连。两根直线导轨称安装，起导向作用，导轨滑块通过滑块座与下筒相连，下筒与外筒用螺栓固联。
所述旋转机构包括旋转电机、θ向谐波减速器、θ轴、θ轴外筒、圆锥滚子轴承和轴承盖。旋转电机安装在θ轴外筒上，并通过θ向谐波减速器与θ轴相连，θ轴通过一对圆锥滚子轴承与θ轴外筒相连，圆锥滚子轴承承受θ轴的轴向负载，并保持θ轴旋转时的轴向稳定性，轴承盖与θ轴外筒固联，为圆锥滚子轴承的外圈定位。
所述直线伸缩机构包括R向电机、R向谐波减速器、R轴、回转支架、固定板、大臂和小臂。R向电机安装在回转支架上，并通过R向谐波减速器与R轴相连，R轴通过固定板与在大臂相连，大臂通过一级行星轮系与小臂相连，小臂再通过二级行星轮系与执行器体相连。直线伸缩机构设有气动管路和电气线路走廊，分别与气路系统和控制系统相连。
所述末端执行器包括过渡板、放大器装置、执行器体、气路盖板、真空吸盘、传感器线盖板、传感器、导杆和防撞块。放大器装置通过螺栓与执行器体和过渡板相连，执行器体与气路盖板、真空吸盘组成气路系统，与传感器线盖板、传感器组成传感器系统，防撞块通过导杆与执行器体相连，起防护作用。
所述玻璃基片传输机器人内设有传感器，以控制机器人的旋转距离和升降高度。
本发明的有益效果：
本发明所述的玻璃基片传输机器人具有三个自由度(Z向、θ向、R向)，各自由度可单独或同时运动，扩大了机器人的工作空间；θ向旋转运动和R向直线伸缩运动均采用谐波减速器减速，提高了传动精度；机器人结构紧凑，提高了空间利用率；末端执行器采用真空夹持技术，提高了玻璃基片的传输效率；大臂、小臂、末端执行器均采用硬质铝合金作为加工材料，减少了手臂质量和转动惯量，增大了机器人的有效负载，提高了机器人的运动平稳性，控制容易、定位精度高且可在洁净度较高的环境中工作。
附图说明
图1是本发明一种玻璃基片传输机器人外观图。
图2(a)是本发明一种玻璃基片传输机器人升降机构主视图。
图2(b)是本发明一种玻璃基片传输机器人升降机构左视图。
图3是本发明一种玻璃基片传输机器人旋转机构剖视图。
图4(a)是本发明一种玻璃基片传输机器人直线伸缩机构主视图。
图4(b)是本发明一种玻璃基片传输机器人直线伸缩机构主视图。
图1中，I升降机构，II旋转机构，III直线伸缩机构，IV末端执行器。
图2中，1 小带轮，2 升降电机，3 下筒，4 外筒，5 滚珠丝杠，6 直线导轨，7 导轨滑块，8 丝杠螺母，9 螺母座，10 滑块座，11 同步齿型带，12 大带轮。
图3中，13 旋转电机，14 θ向谐波减速器，15 θ轴，16 θ轴外筒，17 圆锥滚子轴承，18 轴承盖，19 R向电机，20 R向谐波减速器，21 R轴，22 回转支架，23 固定板。
图4中，24 大臂，25 一级行星轮系，26 小臂，27 二级行星轮系，28 放大器装置，29 过渡板，30 气路盖板，31 真空吸盘，32 执行器体，33 传感器线盖板，34 传感器，35 导杆，36 防撞块。
具体实施方式
下面结合技术方案和附图详细叙述本发明的具体实施例。
如图1所示，本发明一种玻璃基片传输机器人包括升降机构I、旋转机构II、直线伸缩机构III和末端执行器IV。升降机构I带动旋转机构II、直线伸缩机构III和末端执行器IV沿机器人对称轴作Z向升降运动。旋转机构II带动直线伸缩机构III和末端执行器IV绕机器人对称轴作θ向旋转运动。直线伸缩机构III带动末端执行器IV在水平面内作R向直线伸、缩运动。下面详细介绍一下各运动的工作原理：
升降运动：升降电机2带动其上的小带轮1旋转，小带轮1经同步齿型带11驱动大带轮12旋转，大带轮12通过平键驱动滚珠丝杠5旋转，滚珠丝杠5通过滚珠丝杠副将旋转运动转化为直线运动，由丝杠螺母8带动螺母座9、下筒3、外筒4、旋转机构II、直线伸缩机构III和末端执行器IV作Z向升降运动。直线导轨6起导向作用，防止升降机构I运动时发生偏斜。
旋转运动：旋转电机13经θ向谐波减速器14减速后直接驱动θ轴15旋转，因θ轴15与回转支架22固联，故θ轴15直接带动直线伸缩机构III和末端执行器IV整体旋转，完成θ向旋转运动。θ轴外筒16通过一对正装的圆锥滚子轴承17与θ轴15相连，既承受θ轴15的轴向负载，又确保θ轴15运动时的径向稳定性。
直线伸缩运动：R向电机19经R向谐波减速器20减速后直接驱动R轴21旋转，R轴21通过固定板23与大臂24相连，故R轴21旋转带动大臂24旋转，大臂24经一级行星轮系25驱动小臂26旋转，小臂26经二级行星轮系27驱动末端执行器IV运动。大臂24、小臂26的共同作用完成了末端执行器IV的直线伸缩运动。

Claims (4)

1、一种玻璃基片传输机器人，包括实现Z向升降运动的升降机构(I)、实现θ向旋转运动的旋转机构(II)、实现R向直线伸缩运动的直线伸缩机构(III)和末端执行器(IV)，三向运动相互独立，实现单独或同时运动，其特征在于：
升降机构(I)包括升降电机(2)、同步齿型带轮减速机构(1、11、12)、滚珠丝杠副、下筒(3)、外筒(4)、直线导轨副、螺母座(9)和滑块座(10)；所述升降电机(2)通过同步齿型带轮减速机构(1、11、12)与滚珠丝杠(5)相连；丝杠螺母(8)通过螺母座(9)与下筒(3)相连；两根直线导轨(6)对称安装，导轨滑块(7)通过滑块座(10)与下筒(3)相连，下筒(3)与外筒(4)通过螺栓固联；
旋转机构(II)包括旋转电机(13)、θ向谐波减速器(14)、θ轴(15)、θ轴外筒(16)、圆锥滚子轴承(17)和轴承盖(18)；所述旋转电机(13)安装在θ轴外筒(16)上，并通过θ向谐波减速器(14)与θ轴(15)相连，θ轴(15)通过一对正装的圆锥滚子轴承(17)与θ轴外筒(16)相连，轴承盖(18)与θ轴外筒(16)固联；
直线伸缩机构(III)包括R向电机(19)、R向谐波减速器(20)、R轴(21)、回转支架(22)、固定板(23)、大臂(24)和小臂(26)；所述R向电机(19)安装在回转支架(22)上，并通过R向谐波减速器(20)与R轴(21)相连，R轴(21)通过固定板(23)与大臂(24)相连，大臂(24)通过一级行星轮系(25)与小臂(26)相连，小臂(26)再通过二级行星轮系(27)与执行器体(32)相连；
末端执行器(IV)包括放大器装置(28)、过渡板(29)、气路盖板(30)、真空吸盘(31)、执行器体(32)、传感器线盖板(33)、传感器(34)、导杆(35)和防撞块(36)；所述放大器装置(28)通过螺栓与执行器体(32)和过渡板(29)相连，执行器体(32)与气路盖板(30)、真空吸盘(31)组成气路系统，与传感器线盖板(33)、传感器(34)组成传感器系统，防撞块(36)通过导杆(35)与执行器体(32)相连。
2、如权利要求1所述的一种玻璃基片传输机器人，其特征在于：升降机构(I)、旋转机构(II)和直线伸缩机构(III)内均设有气动管路和电气线路走廊。
3、如权利要求1所述的一种玻璃基片传输机器人，其特征在于：末端执行器(IV)采用真空吸盘(31)吸附玻璃基片。
4、如权利要求1所述的一种玻璃基片传输机器人，其特征在于：直线伸缩机构(III)和末端执行器(IV)均采用硬质铝合金材料。
CNB2007101593146A 2007-12-25 2007-12-25 一种玻璃基片传输机器人 Expired - Fee Related CN100532026C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2007101593146A CN100532026C (zh) 2007-12-25 2007-12-25 一种玻璃基片传输机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB2007101593146A CN100532026C (zh) 2007-12-25 2007-12-25 一种玻璃基片传输机器人

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101209551A CN101209551A (zh) 2008-07-02
CN100532026C true CN100532026C (zh) 2009-08-26

Family

ID=39609898

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2007101593146A Expired - Fee Related CN100532026C (zh) 2007-12-25 2007-12-25 一种玻璃基片传输机器人

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN100532026C (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014036758A1 (zh) * 2012-09-06 2014-03-13 深圳市华星光电技术有限公司 一种自动化物料搬运系统

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102059187A (zh) * 2009-11-17 2011-05-18 赵德志 小型喷涂机器人
CN102152316A (zh) * 2011-03-16 2011-08-17 哈尔滨工业大学 一种硅片传输机器人r轴结构
TWM414415U (en) * 2011-06-10 2011-10-21 Tai Wei Machine Co Ltd Metal product stacking machine
CN102441888A (zh) * 2011-09-24 2012-05-09 侯帅 一种玻璃搬运机械手
CN102357898B (zh) * 2011-10-13 2013-12-25 苏州日和科技有限公司 一种抓取手臂
JP5472283B2 (ja) * 2011-12-21 2014-04-16 株式会社安川電機 ロボットのアーム構造およびロボット
CN102823365B (zh) * 2012-06-05 2014-08-20 江苏大学 立柱栽培配套的移栽机器人
CN102897536B (zh) * 2012-11-02 2015-04-15 深圳市华星光电技术有限公司 用于搬运平板的传输系统及其机械装置和搬运方法
JP5532111B2 (ja) * 2012-11-16 2014-06-25 株式会社安川電機 ロボットアーム、ロボットおよびロボットの動作方法
WO2016015301A1 (en) * 2014-07-31 2016-02-04 SZ DJI Technology Co., Ltd. Unmanned aerial vehicle base station system and method
CN104950797B (zh) * 2015-04-30 2018-05-01 中国矿业大学 一种3-prrs六自由度并联定位平台
JP6901828B2 (ja) * 2016-02-26 2021-07-14 川崎重工業株式会社 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
CN106737618A (zh) * 2016-12-13 2017-05-31 苏州超群智能科技有限公司 用于压铸设备的压住工件取出装置
CN106981136A (zh) * 2017-05-16 2017-07-25 珠海市利保机器人有限公司 一种自动贩卖机的旋转取货机构
CN107161691A (zh) * 2017-07-07 2017-09-15 上海观谷科技有限公司 立式夹持投药装置
CN108990951A (zh) * 2018-08-21 2018-12-14 榕江县富榕生态农业有限责任公司 一种砂糖橘种植用喷药装置
CN110039530A (zh) * 2019-05-28 2019-07-23 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 机械手
CN112536793B (zh) * 2020-12-16 2021-10-22 黑龙江职业学院(黑龙江省经济管理干部学院) 一种多自由度模块化工业机器人
CN116902112A (zh) * 2023-09-08 2023-10-20 中电建(西安)港航船舶科技有限公司 一种转运机器人及转运系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014036758A1 (zh) * 2012-09-06 2014-03-13 深圳市华星光电技术有限公司 一种自动化物料搬运系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN101209551A (zh) 2008-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100532026C (zh) 一种玻璃基片传输机器人
CN101549493B (zh) 一种双臂玻璃基板搬运机器人
CN101954558B (zh) 五轴钢管相贯线切割机
CN206013724U (zh) 高速自循环升降台车
CN102848379A (zh) 脚轮支架冲压线自动化机械手
CN113304923B (zh) 一种用于复杂曲面内壁涂装的可调式柔索驱动喷涂机器人
CN100579719C (zh) 一种多轴联动混联装置
CN100410026C (zh) 一种净化机器人
CN106270344B (zh) 重载锻造操作机器人
CN101664928B (zh) 一种真空机器人
CN207415358U (zh) 一种用于自动上下料的桁架机械手
CN104786211B (zh) 一种含滚珠丝杠副的六自由度工业机器人
CN105643167A (zh) 锥形钢管肋板焊接机器人
CN104843496B (zh) 一种纸箱码垛成型装置及方法
CN101862967A (zh) 双驱动双丝杠变位机
CN106001305A (zh) 一种可调节的智能冲床上下料机构
CN102248206A (zh) 一种超高加工速度的卧式铣床
CN202061777U (zh) 三维精密工作台
CN201529709U (zh) 数控板料折弯机用新型六轴数控挡料
CN202964649U (zh) 冲压生产线两轴机械手
CN110961836A (zh) 一种焊接自动化机械手
CN216180522U (zh) 基于三轴调整的工业机器人桁架装置
CN201998175U (zh) 平面多关节型机器人手臂组件
CN214684791U (zh) 激光切割机用桁架式上下料装置
CA1265091A (en) Apparatus for loading and/or unloading industrial presses

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Free format text: FORMER OWNER: DONGGUAN HONGWEI DIGITAL MACHINERY CO., LTD.

Effective date: 20130524

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20130524

Address after: 116024 Liaoning, Dalian, Ganjingzi Ling Road, No. 2

Patentee after: Dalian University of Technology

Address before: 116024 Liaoning, Dalian, Ganjingzi Ling Road, No. 2

Patentee before: Dalian University of Technology

Patentee before: Dongguan Hongwei Digital Machinery Co., Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090826

Termination date: 20181225

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee