JP2013532381A - Euvリソグラフィ用のマスク、euvリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法 - Google Patents
Euvリソグラフィ用のマスク、euvリソグラフィシステム、及びマスクの結像を最適化する方法 Download PDFInfo
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Abstract
【選択図】図3c
Description
Pitchmin〜λ/(NA(1+σ))
Ni k=0.091100
Ag:k=0.082400
ZnTe:k=0.082000
Ag:k=0.078893
Ac:k=0.077757
Te:k=0.076700
CsI:k=0.074462
Cu:k=0.074400
Ni:k=0.072428
Sn:k=0.072003
Co:k=0.070000
SnO2:k=0.066637
Co:k=0.065988
Ni8Cr2:k=0.064931
SnO:k=0.062664
Cu:k=0.060941
Pt:k=0.059502
Zn:k=0.055417
Au:k=0.055400
NiO:k=0.054749
Ag2O:k=0.054140
Ir:k=0.053200
Fe:k=0.051962
Au:k=0.051322
Claims (25)
- EUVリソグラフィ用のマスク(105)であって、
基板(107)と、
該基板(107)に施した多層コーティング(108)と、
該多層コーティング(108)に施し吸収体材料を有するマスク構造(109)と
を備え、該マスク構造(109)は、100nm未満の最大厚さ、好ましくは30nm、特に好ましくは20nm、特に10nmを超えない最大厚さを有するEUVリソグラフィ用のマスク。 - 請求項1に記載のマスクにおいて、前記多層コーティング(108)は、EUVリソグラフィシステム(101)における前記マスク(105)の結像を改善するために前記マスク構造(109)に応じて決まる位置依存変化を含む光学設計を有するマスク。
- 請求項2に記載のマスクにおいて、前記多層コーティング(108)の前記光学設計の前記位置依存変化は、前記多層コーティング(108)の厚さ(D(X,Y))の位置依存変化を含むマスク。
- 請求項2又は3に記載のマスクにおいて、前記多層コーティング(108)の前記光学設計は、前記マスク構造(109)のピッチ(p)に従った位置依存変化を含むマスク。
- 請求項2〜4のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記マスク構造(109)の前記光学設計を、前記EUVリソグラフィシステム(101)における前記マスク(105)の結像を改善するために前記位置依存変化を含む前記多層コーティング(108)の前記光学設計に適合させたマスク。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記マスク構造(109)の前記厚さ(d)は、前記マスク構造(109)のピッチ(p)及び/又は位置依存変化を含む前記多層コーティング(108)の前記光学設計に従って位置依存的に変わるマスク。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記マスク構造(109)は、厚さ方向(Z)で値が変わる構造幅(b(Z))を有する少なくとも1つの吸収体構造(109b〜109e)を有するマスク。
- 請求項7に記載のマスクにおいて、前記吸収体構造(109b〜109e)の少なくとも1つのフランク(112、113)は、90°以外のフランク角(α1、α2)を有するマスク。
- 請求項8に記載のマスクにおいて、前記フランク角(α1、α2)は、70°〜88°又は92°〜110°であるマスク。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記マスク構造(105)の前記吸収体材料は、EUV領域の波長に関して、特に13.5nmで、0.05よりも大きな、好ましくは0.06よりも大きな、特に好ましくは0.07よりも大きな、特に0.08よりも大きな吸収係数を有するマスク。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記吸収体材料を、Pt、Zn、Au、NiO、Ag2O、Ir、及びFeを含む群から選択したマスク。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記吸収体材料を、SnO2、Co、Ni8Cr2、SnO、及びCuを含む群から選択したマスク。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記吸収体材料を、Ag、Ac、Te、CsI、及びSnを含む群から選択したマスク。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記吸収体材料を、Ni、Ag、及びZnTeを含む群から選択したマスク。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載のマスクにおいて、前記多層コーティング(108)は、前記マスク構造(109)の前記吸収体材料に適合させた被覆層(111)を有するマスク。
- EUVリソグラフィシステム(101)であって、
請求項1〜15のいずれか1項に記載のマスク(105)と、
該マスク(105)を照明光で照明する照明系(103)と、
前記マスク(105)を基板(106)に結像する対物レンズ(104)と
を備えるEUVリソグラフィシステム。 - 請求項16に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記マスク構造(108)の少なくとも1つの吸収体構造(109a〜109e)の厚さ(d)は、前記マスク(105)の結像に関連する前記EUVリソグラフィシステム(101)の少なくとも1つの特性値、特にテレセントリック性誤差又は像コントラストが最小値(dT,MIN)又は最大値(dC,MAX)を有する厚さ(dC,MAX、dT,MIN)からのずれが1.5nm以下であるEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16又は17に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記マスク構造(108)の少なくとも1つの吸収体構造(109b〜109e)は、厚さ方向(Z)で値が変わる構造幅(b(Z))を有し、該構造幅(b(Z))を、前記マスク(105)の結像に関連する前記EUVリソグラフィシステム(101)の少なくとも1つの特性値が前記厚さ方向(Z)で一定の構造幅(b)を有する吸収体構造(109a)と比べて改善されるよう選択したEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16〜18のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記多層コーティング(108)は、位置依存変化を含む光学設計を有し、該光学設計を、前記マスク(105)の結像に関連する前記EUVリソグラフィシステム(101)の少なくとも1つの特性値が位置に依存しない光学設計を有する多層コーティングと比べて改善されるよう選択したEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16〜19のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記マスク構造(109)の前記光学設計を、前記少なくとも1つの特性値を改善するために前記位置依存変化を含む前記多層コーティング(108)の前記光学設計に適合させたEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16〜20のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記多層コーティング(108)は、前記マスク(105)の少なくとも部分領域において、前記マスク(105)の結像に関連する前記EUVリソグラフィシステム(101)の少なくとも1つの特性値を、前記多層コーティング(108)の反射率(R)が前記EUVリソグラフィシステム(101)の入射角範囲に最適化される厚さと比べて改善する厚さを有するEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16〜21のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記マスク(105)の結像中、−0.5mrad〜0.5mrad、好ましくは−0.3mrad〜0.3mrad、特に−0.1mrad〜0.1mradのテレセントリック性誤差を有するEUVリソグラフィシステム。
- 請求項16〜22のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、前記対物レンズ(104)は、0.2以上、好ましくは0.4以上、特に好ましくは0.5以上の開口数を有するEUVリソグラフィシステム。
- 請求項17〜23のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィシステムにおいて、少なくとも5°、好ましくは少なくとも8°の主光線角で前記マスク(105)を作動させるよう構成したEUVリソグラフィシステム。
- EUVリソグラフィシステム(101)におけるマスク(105)の結像を最適化する方法であって、該マスク(105)は、
基板(107)と、
該基板(107)に施した多層コーティング(108)と、
該多層コーティング(108)に施し吸収体材料を有するマスク構造(109)と
を備え、前記多層コーティング(108)の光学設計を、前記マスク構造(109)に応じて選択し、且つ/又は該マスク構造(109)の光学設計を、前記マスク(105)の結像に関連する前記EUVリソグラフィシステム(101)の少なくとも1つの特性値を改善するよう結像を最適化するために選択した方法。
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