JP2015517729A - Euv投影リソグラフィのための照明光学ユニット及び光学系 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図11
Description
PB=(I1−I2)/(I1+I2)×100%
NILS=CD×d(lnI)/dx|I0
=CD/I0×dI/dx|I0
38 リング瞳寄与
RG 制限半径
Z 中心
Claims (11)
- 下流結像反射光学ユニット(19)の物体視野(18)と結像される反射性物体(17)とを配置することができる照明視野を斜め照明するためのEUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット(23)であって、
前記斜め照明と前記結像される物体(17)の構造との相互作用に起因する該結像される物体(17)の構造変数(p)への結像テレセントリック性(ΔTC)の依存性が少なくとも部分的に補償されるような該結像される物体(17)の該構造変数(p)への該結像テレセントリック性(ΔTC)の依存性をもたらす照明瞳(37;42;47;52;56)がもたらされるように具現化された瞳発生デバイス(7i,29a,29b)、
を含むことを特徴とする照明光学ユニット(23)。 - 前記照明瞳(37;42)が、
リング形状リング瞳寄与(38)と、
前記リング瞳寄与のリング内の補償瞳寄与(39)と、
を有するような実施形態を特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。 - 前記照明瞳(47;52;56)が、
二重極瞳寄与(48)と、
前記二重極瞳寄与(48)の二重極の外側の補償瞳寄与(49)と、
を有するような実施形態を特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。 - 前記照明瞳(37;42;47;52;56)が、前記斜め照明の第1に照明入射平面(yz)に対して垂直であり(シグマx)、かつ第2に該斜め照明の該照明入射平面(yz)にある(シグマy)主物体視野座標(x,y)に対応する該照明瞳(37;42;47;52;56)内の座標である少なくとも1つの主瞳座標(シグマx,シグマy)に関して鏡面非対称に設計されないような実施形態を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(23)を含み、
物体視野(18)を像視野(20)に結像するための投影光学ユニット(19)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 下流結像反射光学ユニット(19)の物体視野(18)と結像される反射性物体(17)とを配置することができる照明視野を斜め照明するための照明光学ユニット(23)を含み、
前記結像反射光学ユニット(19)を含み、
斜め照明に起因する前記結像される物体(17)の構造変数(p)への結像フォーカスシフト(bfs)の依存性が少なくとも部分的に補償されるような該結像される物体の該構造変数(p)への該結像フォーカスシフト(bfs)の依存性をもたらす前記結像光学ユニット(19)の波面がもたらされるように具現化された波面操作デバイス(58)を含む、
ことを特徴とするEUV投影リソグラフィのための光学系。 - 前記投影光学ユニット(19)は、波面操作デバイス(58)としての少なくとも1つの波面マニピュレータを有することを特徴とする請求項6に記載の光学系。
- 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の光学系を含み、
EUV光源(2)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置(1)。 - 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の光学系を設定する方法であって、
予め定められた基準物体(17)の物体構造変数(p)に依存する物体結像変数(ΔTC,bfs)を決定する段階と、
結像変数値の予め定められた許容誤差範囲内にある構造依存合計結像変数(ΔTC,bfs)がもたらされるように補償結像パラメータを予め定める段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料から構成された層が少なくとも部分的に塗布されたウェーハ(22)を与える段階と、
結像される構造を有するレチクル(17)を与える段階と、
請求項8に記載の投影露光装置(1)を与える段階と、
請求項9に記載の方法を用いて前記投影露光装置(1)の光学系を設定する段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて前記レチクル(17)の少なくとも一部を前記ウェーハ(22)の前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項10に記載の方法に従って生成された構造化構成要素。
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