JP2011124584A - Euvマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の第1反射ファセット要素を有する第1光学要素と複数の第2反射ファセット要素を有する第2光学要素を含む照明光学ユニット。第1要素からの各第1要素は、それが、異なる位置のそれぞれの最大数を有し、これが、第1要素が照明光学ユニットの作動中にその異なる位置で放射線をその上に誘導する全ての第2要素から集合が構成される点で第2ファセット要素から成る、第1ファセット要素に関連付けられた集合を定めるように具現化される。複数の第2ファセット要素は、複数の互いに素の群を形成し、群と集合の各々は、少なくとも2つの第2ファセット要素を包含し、同じ群に属する集合の2つの第2ファセット要素は存在しない。この構成は、物体視野の位置に多数の異なる角度依存強度分布を与えるのに用いられる照明光学ユニットの提供を可能にする。
【選択図】図1
Description
a.第2の反射ファセット要素F1とF2とが同じ群に属し、
b.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d1の位置にあり、
c.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d2の位置にあり、
d.かつ距離d2が、距離d1よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F1とF2の各対に対して、
e.第2の反射ファセット要素F3とF4が同じ群に属し、
f.第2の反射ファセット要素F1とF3が同じ集合に属し、
g.第2の反射ファセット要素F2とF4が同じ集合に属し、
h.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d3の位置にあり、
i.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d4の位置にあり、
j.かつ距離d4が、距離d3よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F3とF4の割り当てられた対が存在する。
a.第2の反射ファセット要素F1とF2が同じ群に属し、
b.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d1の位置にあり、
c.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d2の位置にあり、
d.かつ距離d2が、距離d1よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F1とF2の各対に対して、
e.第2の反射ファセット要素F3とF4が同じ群に属し、
f.第2の反射ファセット要素F1とF3が同じ集合に属し、
g.第2の反射ファセット要素F2とF4が同じ集合に属し、
h.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d2の位置にあり、
i.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d4の位置にあり、
j.かつ距離d4が、距離d3よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F3とF4の対が割り当てられるように選択される。
3 第1の反射ファセット要素
5 第2の光学要素
7 第2の反射ファセット要素
Claims (19)
- EUVマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット(339,439)であって、
複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)を有する第1の光学要素(1,301,401,601)と、
複数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を有する第2の光学要素(5,305,405,605,805)と、
を含み、
複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)からの各第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、それが、異なる位置のそれぞれの最大数を有し、該最大数が、該第1のファセット要素(3,303,403,503,603,903)に関連付けられた集合を定め、該第1のファセット要素(3,303,403,503,603,903)が照明光学ユニット(339,439)の作動中にその異なる位置において放射線をその上に誘導する全ての第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)から前記集合が構成されることにより、前記集合は第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)から成ることとなるように、具現化され、
前記複数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)は、複数の互いに素の群を形成し、
前記群の各々及び前記集合の各々が、少なくとも2つの第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を包含し、かつ同じ群に属する集合のいかなる2つの第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする照明光学ユニット(339,439)。 - 第1の群の各第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に対して同じ集合に属する第2の群の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)が存在するような第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の少なくとも1つの第1及び1つの第2の群が存在し、
前記第1及び第2の群は、同じ数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を包含する、
ことを特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の各第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、法線ベクトル(571a,571b)を有する反射光学面を有し、
前記第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の前記位置は、前記法線ベクトル(571a,571b)の向きにおいて異なる、
ことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 各第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に対して、位置を有し、それによって照明光学ユニット(339,439)の前記作動中に関連の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が放射線を該位置の該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)上に誘導する正確に1つの割り当てられた第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が存在する、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の各群が、第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の割り当てられた群を、第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の該割り当てられた群が該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の群の該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に割り当てられた全ての第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)を包含するという点で定義し、
同じ割り当てられた群の全ての第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、2つの位置の間の変更を連帯的にのみ達成することができるような方法で具現化される、
ことを特徴とする請求項4に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記同じ割り当てられた群の2つの第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の前記法線ベクトル(571a,571b)は、少なくとも1つの共通位置で異なる方向を有する、
ことを特徴とする請求項5に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 全ての集合が、正確に2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を包含する、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 正確に2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を有する少なくとも1つの集合が存在し、かつ2つよりも多い第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を有する少なくとも1つの集合が存在する、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)は、中点(29,829,1229a,1229b)を有する反射光学面(31)を有し、前記第2の光学要素(5,305,405,605,805)は、照明光学ユニット(339,439)の射出瞳平面に配置され、又は照明光学ユニット(339,439)の射出瞳平面に結像され、
前記射出瞳平面は、第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の各群に対して群に関連付けられた領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)が存在するように、互いに素の領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)へと再分割され、
前記群の全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の前記反射光学面の前記中点(29,829,1229a,1229b)は、前記関連付けられた領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)に位置するか、又は該関連付けられた領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)内に結像される、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 群に関連付けられた全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,277a,277b,277c,233a,233b,233c,877,879,1077)が、少なくとも2つの互いに素の部分領域(881a,881b,883a,883b,883c,883d)へと再分割され、
前記部分領域(881a,881b,883a,883b,883c,883d)は、対称点(880,1080,1280)に関して中心対称に置かれ、
全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)が、同じ対称点(880,1080,1280)を有する、
ことを特徴とする請求項9に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - a.前記第2の反射ファセット要素F1及びF2(1207)は、同じ群に属し、
b.前記第2の反射ファセット要素F1(1207)の前記反射光学面の前記中点(29,829,1229a,1229b)、又は前記射出瞳平面における該第2の反射ファセット要素F1(1207)の該反射光学面の該中点(29,829,1229a,1229b)の像が、前記対称点(880,1080,1280)から距離d1にあり、
c.前記第2の反射ファセット要素F2(1207)の前記反射光学面の前記中点(29,829,1229a,1229b)、又は前記射出瞳平面における該第2の反射ファセット要素F2(1207)の該反射光学面の該中点(29,829,1229a,1229b)の像が、前記対称点(880,1080,1280)から距離d2にあり、
d.かつ前記距離d2は、前記距離d1よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F1及びF2(1207)の各対に対して、
e.前記第2の反射ファセット要素F3及びF4(1207)は、同じ群に属し、
f.前記第2の反射ファセット要素F1及びF3(1207)は、同じ集合に属し、
g.前記第2の反射ファセット要素F2及びF4(1207)は、同じ集合に属し、
h.前記第2の反射ファセット要素F3(1207)の前記反射光学面の前記中点(29,829,1229a,1229b)、又は前記射出瞳平面における該第2の反射ファセット要素F3(1207)の該反射光学面の該中点(29,829,1229a,1229b)の像が、前記対称点(880,1080,1280)から距離d3にあり、
i.前記第2の反射ファセット要素F4(1207)の前記反射光学面の前記中点(29,829,1229a,1229b)、又は前記射出瞳平面における該第2の反射ファセット要素F4(1207)の該反射光学面の該中点(29,829,1229a,1229b)の像が、前記対称点(880,1080,1280)から距離d4にあり、
j.かつ前記距離d4は、前記距離d3よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F3及びF4(1207)の割り当てられた対が存在する、
ことを特徴とする請求項10に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 全ての部分領域(881a,881b,883a,883b,883c,883d)が、環帯セグメントの形態を有する、
ことを特徴とする請求項11に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 群に関連付けられた全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)の和集合が、真円又は完全な環帯の形態を有する、
ことを特徴とする請求項9から請求項12のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - クラスを形成する第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の複数の群が存在し、
前記クラスの前記群に属し、かつ群に関連付けられた全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)の和集合が、完全な環帯の形態を有し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - クラスを形成する複数の群が存在し、
前記クラスの前記群に属し、かつ群に関連付けられた全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)の和集合が、二重極の形態を有し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項9から請求項14のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - クラスを形成する複数の群が存在し、
前記クラスの前記群に属し、かつ群に関連付けられた全ての領域(27a,27b,27c,33a,33b,33c,227a,227b,227c,233a,233b,233c,877,879,1077)の和集合が、四重極の形態を有し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2のファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項9から請求項15のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記第1の光学要素(1,301,401,601)は、照明光学ユニット(339,439)の前記作動中に前記射出瞳平面に2つの異なる照明をもたらす少なくとも第1の状態及び第2の状態を取ることができ、
放射線が、前記第1の状態では第1のクラスの全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に印加され、前記第2の状態では第2のクラスの全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に印加される、
ことを特徴とする請求項14から請求項16のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の数が、250よりも大きく、第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の群の数が、50よりも小さい、
ことを特徴とする請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 請求項1から請求項18のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)、
を含むことを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置(337,437)。
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