JP6089375B2 - Euvマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット - Google Patents
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Description
a.第2の反射ファセット要素F1とF2とが同じ群に属し、
b.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d1の位置にあり、
c.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F2の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d2の位置にあり、
d.かつ距離d2が、距離d1よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F1とF2の各対に対して、
e.第2の反射ファセット要素F3とF4が同じ群に属し、
f.第2の反射ファセット要素F1とF3が同じ集合に属し、
g.第2の反射ファセット要素F2とF4が同じ集合に属し、
h.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d3の位置にあり、
i.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d4の位置にあり、
j.かつ距離d4が、距離d3よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F3とF4の割り当てられた対が存在する。
a.第2の反射ファセット要素F1とF2が同じ群に属し、
b.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F1の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d1の位置にあり、
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d.かつ距離d2が、距離d1よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F1とF2の各対に対して、
e.第2の反射ファセット要素F3とF4が同じ群に属し、
f.第2の反射ファセット要素F1とF3が同じ集合に属し、
g.第2の反射ファセット要素F2とF4が同じ集合に属し、
h.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F3の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d2の位置にあり、
i.射出瞳平面内の第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点、又は第2の反射ファセット要素F4の反射光学面の中点の像が、対称点から距離d4の位置にあり、
j.かつ距離d4が、距離d3よりも大きい、
という特性を有する第2の反射ファセット要素F3とF4の対が割り当てられるように選択される。
3 第1の反射ファセット要素
5 第2の光学要素
7 第2の反射ファセット要素
Claims (11)
- EUVマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット(339,439)であって、
複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)を有する第1の光学要素(1,301,401,601)と、
複数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を有する第2の光学要素(5,305,405,605,805)と、
を含み、
複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の各第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、異なる姿勢を取ることが可能であり、照明光学ユニット(339,439)の作動中に該第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の異なる姿勢に応じて放射線が誘導される全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)からなる集合が構成され、
前記複数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)は、複数の互いに素の群を形成し、
前記群の各々及び前記集合の各々が、少なくとも2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を包含し、かつ同じ群に属し、同じ集合に属するいかなる2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しなく、
前記第1の反射ファセット要素は、少なくとも3つの姿勢を有し、
前記群は、前記第2の反射ファセット要素が属する集合及び前記第1の反射ファセット要素の姿勢に応じて、区別される、
ことを特徴とする照明光学ユニット(339,439)。 - 第1の群の各第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に対して同じ集合に属する第2の群の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)が存在するような第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の第1及び第2の群が存在し、
前記第1及び第2の群は、同じ数の第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)を包含する、
ことを特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記複数の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の各第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、法線ベクトル(571a,571b)を有する反射光学面を有し、
前記第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の前記姿勢は、前記法線ベクトル(571a,571b)の向きにおいて異なる、
ことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 各第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に対して、姿勢を有し、それによって照明光学ユニット(339,439)の前記作動中に関連の第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が放射線を前記関連の第1の反射ファセット要素の姿勢に対応する該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)上に誘導する1つの割り当てられた第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が存在する、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の各群が、第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の割り当てられた群を、第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)の該割り当てられた群が該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の群に属する該第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に割り当てられた全ての第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)を包含するという点で定義し、
同じ割り当てられた群の全ての第1の反射ファセット要素(3,303,403,503,603,903)が、3つの姿勢の間の変更を1つの制御信号で行うことができるような方法で具現化される、
ことを特徴とする請求項4に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 環帯の形態を有する領域にある群の和集合が、クラスを形成し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 二重極の形態を有する領域にある群の和集合が、クラスを形成し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - クラスを形成する複数の群が存在し、
四重極の形態を有する領域にある群の和集合が、クラスを形成し、
同じ集合に属する同じクラスからのいかなる2つの第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)も存在しない、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 前記複数の第1の反射ファセット要素の姿勢が、前記少なくとも3つの姿勢の内の1つの姿勢から別の姿勢に変更することによって、前記第1の光学要素(1,301,401,601)は、照明光学ユニット(339,439)の前記作動中に前記射出瞳平面に2つの異なる照明をもたらす少なくとも第1の状態及び第2の状態を取ることができ、
放射線が、前記第1の状態では第1のクラスの全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に印加され、前記第2の状態では第2のクラスの全ての第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)に印加される、
ことを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)。 - 第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の数が、250よりも大きく、第2の反射ファセット要素(7,307,407,607,807,1207)の群の数が、50よりも小さい、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(339,439)、
を含むことを特徴とするマイクロリソグラフィ投影露光装置(337,437)。
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