JP5509933B2 - オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
オプティカルインテグレータ、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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- G03F7/70058—Mask illumination systems
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Description
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素と、該少なくとも1つの第1光学要素とは異なる別の第1光学要素とは、前記照明光学系の光軸または該光軸と平行な軸廻りの姿勢が互いに異なることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素と、該少なくとも1つの第1光学要素とは異なる別の第1光学要素とは、所定方向に沿った寸法が互いに異なることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第2光学要素のうちの少なくとも1つの第2光学要素は、前記複数の第2光学要素の基準的な配列面に配置され、
前記複数の第2光学要素のうちの前記少なくとも1つの第2光学要素とは異なる別の第2光学要素は、前記基準的な配列面から所要の段差をもって配置されていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記第1フライアイ光学系のサイズ、および前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離は、各第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する各照明領域が所望の重畳照明領域に近づくように決定されていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記第1フライアイ光学系のサイズD、および前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離Kは、
0.17<D/K<1.64
の条件を満足することを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素と該少なくとも1つの第1光学要素とは異なる別の第1光学要素との姿勢および寸法の少なくとも一方と、前記少なくとも1つの第1光学要素および対応する第2光学要素との距離並びに前記別の第1光学要素および対応する第2光学要素との距離との少なくとも何れか1つは、前記少なくとも1つの第1光学要素および対応する第2光学要素を経た第1光束が前記被照射面に形成する第1照明領域と、前記別の第1光学要素および対応する第2光学要素を経た第2光束が前記被照射面に形成する第2照明領域との重なり誤差を小さくするように決定されていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
第1形態、第2形態、第3形態、第4形態、第5形態または第6形態のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
β=fc/fe (a)
β=L2/L1 (b)
β=L3/L1 (c)
β1=b1/a1 (d1)
β2=b2/a2 (d2)
β3=b3/a3 (d3)
d/(D/s)≒P/K (e1)
D/K≒sd/P (e2)
投影倍率が1/4で且つd=104mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1300 0.40 0.48 0.56
P=1700 0.31 0.37 0.43
P=2200 0.24 0.28 0.33
P=3000 0.17 0.21 0.24
投影倍率が1/4で且つd=130mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1300 0.50 0.60 0.70
P=1700 0.38 0.46 0.54
P=2200 0.30 0.35 0.41
P=3000 0.22 0.26 0.30
投影倍率が1/6で且つd=156mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1000 0.78 0.94 1.09
P=1300 0.60 0.72 0.84
P=1700 0.46 0.55 0.64
P=2200 0.35 0.43 0.50
P=3000 0.26 0.31 0.36
投影倍率が1/6で且つd=182mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1000 0.91 1.09 1.27
P=1300 0.70 0.84 0.98
P=1700 0.54 0.64 0.75
P=2200 0.41 0.50 0.58
P=3000 0.30 0.36 0.42
投影倍率が1/8で且つd=208mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1000 1.04 1.25 1.46
P=1300 0.80 0.96 1.12
P=1700 0.61 0.73 0.86
P=2200 0.47 0.57 0.66
P=3000 0.35 0.42 0.49
投影倍率が1/8で且つd=234mmのとき
s=5 s=6 s=7
P=1000 1.17 1.40 1.64
P=1300 0.90 1.08 1.26
P=1700 0.69 0.83 0.96
P=2200 0.53 0.64 0.74
P=3000 0.39 0.47 0.55
0.17<D/K<1.64 (1)
0.17<D/K<0.70 (1A)
0.24<D/K<0.46 (1B)
Iax=Ex×β2+A (f1)
Ibx=Ex×β1+A (f2)
Icx=Ex×β3+A (f3)
Iay=Ey×β2+B (f4)
Iby=Ey×β1+B (f5)
Icy=Ey×β3+B (f6)
0.05<t2<0.35 (2)
2 照明光学系
5 マスクステージ
7 ウェハステージ
11 レーザ光源
13 気体ターゲット
14 ノズル
15 楕円反射鏡
18a,18b フライアイ光学系
21 視野絞り
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
ER 静止露光領域
Claims (37)
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系に用いられるオプティカルインテグレータにおいて、
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第2光学要素のうちの少なくとも1つの第2光学要素の反射面と、前記少なくとも1つの第2光学要素とは異なる別の第2光学要素の反射面とは、前記照明光学系の光軸方向において異なる位置に配置されていることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記別の第2光学要素の反射面の前記位置は、前記第2光学要素に対応する第1光学要素および前記第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の大きさを所望の重畳照明領域の大きさに近づけるように決定されていることを特徴とする請求項1に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素および前記複数の第2光学要素は、凹面反射鏡の形態を有することを特徴とする請求項1または2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学要素は円弧状の外形形状を有し、前記第2光学要素は矩形状の外形形状を有することを特徴とする請求項3に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1フライアイ光学系のサイズ、および前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離は、各第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する各照明領域が所望の重畳照明領域に近づくように決定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1フライアイ光学系のサイズDおよび前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離Kは、
0.17<D/K<1.64
の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 0.17<D/K<1.64の前記条件に代えて、
0.17<D/K<0.70
の条件を満足することを特徴とする請求項6に記載のオプティカルインテグレータ。 - 0.17<D/K<0.70の前記条件に代えて、
0.24<D/K<0.46
の条件を満足することを特徴とする請求項7に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記第2フライアイ光学系と被照射面との間の光路中に、パワーを有する光学部材がないことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系に用いられるオプティカルインテグレータにおいて、
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素と、該少なくとも1つの第1光学要素とは異なる別の第1光学要素とは、所定方向に沿った寸法が互いに異なり、
前記複数の第1光学要素は、円弧状の辺が互いに隣り合うように第1方向に配列された一群の第1光学要素を有し、
前記複数(n個)の第1光学要素のうちの各第1光学要素の前記第1方向の寸法をTi(i=1〜n)とし、前記n個の第1光学要素の前記第1方向の寸法の平均値をTaとし、i=1からi=nまでの総和記号をΣとするとき、Σ(Ta−Ti)2/nにより定義される前記複数の第1光学要素の前記第1方向の寸法の分散t2は、
0.05<t2<0.35
の条件を満足することを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記少なくとも1つの第1光学要素は、前記複数の第1光学要素の前記第1方向の基準的な寸法に対して調整された寸法を有することを特徴とする請求項10に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第2フライアイ光学系を経た光は、パワーを有する光学部材を介することなく前記被照射面へ導かれることを特徴とする請求項10または11に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記少なくとも1つの第1光学要素および前記別の第1光学要素は、前記第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の所定方向の寸法を所望の重畳照明領域の前記所定方向の寸法に近づけるように、前記寸法が決定されていることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素および前記複数の第2光学要素は、凹面反射鏡の形態を有することを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学要素は円弧状の外形形状を有し、前記第2光学要素は矩形状の外形形状を有することを特徴とする請求項14に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第2光学要素のうちの少なくとも1つの第2光学要素は、当該第2光学要素に対応する第1光学要素および当該第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の大きさを所望の重畳照明領域の大きさに近づけるために、前記複数の第2光学要素の基準的な配列面から所要の段差をもって配置されていることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1フライアイ光学系のサイズ、および前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離は、各第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する各照明領域が所望の重畳照明領域に近づくように決定されていることを特徴とする請求項10乃至16のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系に用いられるオプティカルインテグレータにおいて、
前記光源と前記被照射面との間の光路中において前記被照射面と光学的に共役な位置に並列配置された複数の第1光学要素を有する第1フライアイ光学系と、
前記第1フライアイ光学系と前記被照射面との間の光路中に前記複数の第1光学要素に対応するように並列配置された複数の第2光学要素を有する第2フライアイ光学系とを備え、
前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素と、該少なくとも1つの第1光学要素とは異なる別の第1光学要素とは、前記複数の第1光学要素の配列面に沿った姿勢が互いに異なることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記少なくとも1つの第1光学要素および前記別の第1光学要素は、前記第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の向きを所望の重畳照明領域の向きに近づけるように、前記姿勢が決定されていることを特徴とする請求項18に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素および前記複数の第2光学要素は、凹面反射鏡の形態を有することを特徴とする請求項18または19に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学要素は円弧状の外形形状を有し、前記第2光学要素は矩形状の外形形状を有することを特徴とする請求項20に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素は、円弧状の辺が互いに隣り合うように基準的な姿勢で第1方向に配列された第1群の第1光学要素と、前記第1方向と直交する第2方向に沿って前記第1群の第1光学要素の一方の側に隣接して円弧状の辺が互いに隣り合うように前記第1方向に配列された第2群の第1光学要素と、前記第2方向に沿って前記第1群の第1光学要素の他方の側に隣接して円弧状の辺が互いに隣り合うように前記第1方向に配列された第3群の第1光学要素とを有し、
前記第2群の第1光学要素は第1の傾斜姿勢で配置され、前記第3群の第1光学要素は前記第1の傾斜姿勢とは異なる第2の傾斜姿勢で配置されていることを特徴とする請求項18乃至21のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記第1の傾斜姿勢と前記第2の傾斜姿勢とは、前記第1方向に延びる直線に関して対称的であることを特徴とする請求項22に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素のうちの少なくとも1つの第1光学要素は、当該第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の所定方向の寸法を前記所望の重畳照明領域の前記所定方向の寸法に近づけるために、前記複数の第1光学要素の前記所定方向の基準的な寸法に対して調整された寸法を有することを特徴とする請求項18乃至23のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学要素は円弧状の外形形状を有し、前記複数の第1光学要素は円弧状の辺が互いに隣り合うように第1方向に配列された一群の第1光学要素を有し、
前記寸法が調整された第1光学要素は、前記複数の第1光学要素の前記第1方向の基準的な寸法に対して調整された寸法を有することを特徴とする請求項24に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第2光学要素のうちの少なくとも1つの第2光学要素は、当該第2光学要素に対応する第1光学要素および当該第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する照明領域の大きさを前記所望の重畳照明領域の大きさに近づけるために、前記複数の第2光学要素の基準的な配列面から所要の段差をもって配置されていることを特徴とする請求項18乃至25のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1フライアイ光学系のサイズ、および前記複数の第1光学要素の配列面の中心と前記複数の第2光学要素の基準的な配列面の中心との距離は、各第1光学要素および対応する第2光学要素を経た光束が前記被照射面に形成する各照明領域が所望の重畳照明領域に近づくように決定されていることを特徴とする請求項18乃至26のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素と前記複数の第2光学要素とは、一対一対応していることを特徴とする請求項1乃至27のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素と前記複数の第2光学要素とは、対応する一対の光学要素を結ぶ複数の線分をある面に射影したときに少なくとも一対の射影線分が交差するような関係にしたがって一対一対応していることを特徴とする請求項28に記載のオプティカルインテグレータ。
- 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学系において、
請求項1乃至29のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学系。 - 前記オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中に配置されて、前記複数の第1光学要素を経た複数の光束を前記被照射面において重畳させるコンデンサー光学系をさらに備えていることを特徴とする請求項30に記載の照明光学系。
- 前記オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中には、パワーを有する光学部材が配置されていないことを特徴とする請求項30に記載の照明光学系。
- 所定のパターンを照明するための請求項30乃至32のいずれか1項に記載の照明光学系を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に形成する投影光学系を備え、該投影光学系に対して前記所定のパターンおよび前記感光性基板を走査方向に沿って相対移動させて、前記所定のパターンを前記感光性基板へ投影露光することを特徴とする請求項33に記載の露光装置。
- 前記オプティカルインテグレータにおいて円弧状の辺が互いに隣り合うように前記複数の第1光学要素が配列される方向は、前記走査方向に対応していることを特徴とする請求項34に記載の露光装置。
- 前記オプティカルインテグレータにおいて前記少なくとも1つの第1光学要素の寸法が調整される前記所定方向は、前記走査方向に対応していることを特徴とする請求項34に記載の露光装置。
- 請求項33乃至36のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光する露光工程と、
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成する現像工程と、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工する加工工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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