JP2016502684A - Euv投影リソグラフィのための照明光学ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
10a 支持体
11 第2のファセット
24 第2のファセットミラーの中心
GD 全体配置の全径
Claims (15)
- 照明視野(18)を照明するためのEUV投影リソグラフィのための照明光学ユニット(23)であって、
支持体(6a)上に複数の第1の反射ファセット(7)を有する第1のファセットミラー(6)を有し、
支持体(10a)上に複数の第2の反射ファセット(11)を有する第2のファセットミラー(10)を有し、
前記第1のファセット(7)の少なくとも一部は、様々な傾斜位置間で切り換えることができ、
それぞれの前記傾斜可能な第1のファセット(7)の各傾斜位置において、この第1のファセット(7)は、第2のファセット(11)に該第2のファセット(11)の方向にEUV放射線を偏向するように割り当てられ、
前記傾斜可能な第1のファセット(7)の各々は、その傾斜位置によって第2のファセット(11)のセット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)に割り当てられ、
前記2つのファセットミラー(6,10)は、前記第1のファセット(7)の与えられた傾斜位置構成においてEUV放射線が入射することができる第2のファセット(11)の配置分布が前記照明視野(18)の照明の照明角度分布をもたらすように配置され、
第2のファセット(11)の前記セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)の各々に属する該第2のファセット(11)は、前記第2のファセットミラー(10)上の円(28,29;36,37)内に位置し、この円の直径が、該第2のファセットミラー(10)上の全ての第2のファセット(11)の全体配置の全径(GD)の70%よりも小さい、
ことを特徴とする照明光学ユニット。 - 前記第2のファセット(11)の対称セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)が、該第2のファセット(11)の前記セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)の各々に属し、この対称セットは、前記第2のファセットミラー(10)の中心(24)に関して、該第2のファセット(11)の該セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)に対して点対称に配置されることを特徴とする請求項1に記載の照明光学ユニット。
- どのセット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)も、2つよりも多い第2のファセット(11)を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明光学ユニット。
- 前記第2のファセットミラー(10)上の前記セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)の前記配置は、
これが、前記第2のファセット(11)の少なくとも3つの配置分布をもたらし、その最内側の第2のファセット(11)が、前記第2のファセットミラー(10)の中心(24)から見て、該第2のファセットミラー(10)上の全ての第2のファセット(11)の前記全体配置の前記全径(GD)の半分の42%よりも大きい半径(Ri)上に位置し、
前記第2のファセット(11)のこれらの配置分布の接続瞳ファセット群(32から35)の全体反射面積が、全ての第2のファセット(11)の前記全体配置の全体反射面積の40%よりも小さく、
前記配置分布のうちの少なくとも3つが、各場合に全ての第2のファセット(11)の前記全体配置の全ての象限(IからIV)においてそれらの反射面積に関して互いから少なくとも5%だけ異なる、
ようなものである、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。 - 各セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)が、正確に3つの第2のファセット(11)を含むことを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の照明光学ユニット。
- 各セット(AAA,aaa...;AAAA,aaaa...)の前記第2のファセット(11)は、凸多角形(27;30)のコーナを指定することを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の照明光学ユニット。
- 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニット(23)において第1のファセット(7)の第2のファセット(11)への割り当てを指定する方法であって、
異なる第1のファセット(7)から進んでEUV放射線をその上に偏向させることができる第2のファセットミラー(10)上の第2のファセット(11)の群(25,26)を指定する段階と、
第2のファセット(11)のセット(AAA;aaa...)の配置を相応に指定しながら、第2のファセット(11)の異なるセット(AAA;aaa...)からのファセット(11)だけが各群(25,26)に配置されるように前記第1のファセット(7)を該第2のファセット(11)に割り当てる段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記セット(AAA;aaa...)の各々内の前記第2のファセット(11)は、それぞれの該セット(AAA;aaa...)における該第2のファセット(11)間の最大距離が最小にされるように配置されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記セット(AAA;aaa...)の各々内の前記第2のファセット(11)は、全てのセット(AAA;aaa...)に対して、該セット(AAA;aaa...)における該第2のファセット(11)が、全てのセット(AAA;aaa...)に対して半径が最小にされた円形区域(29)内で前記第2のファセットミラー(10)の支持体(10a)上に配置されるように配置されることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の方法。
- 前記セット(AAA;aaa...)の各々内の前記第2のファセット(11)は、全てのセット(AAA;aaa...)に対して、該セット(AAA;aaa...)における該第2のファセットが、前記第2のファセットミラー(10)の支持体(10a)上で凸多角形(27;30)のコーナを指定するように配置されることを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載の方法。
- 小さい照明角度を有する環状照明、
中間サイズの照明角度を有する環状照明、
大きい照明角度を有する環状照明、
x二重極設定、
y二重極設定、
+α二重極設定、
−α二重極設定、
四重極設定、
六重極設定、
従来設定、
である照明設定のうちの少なくとも一部をもたらす第2のファセット(11)の配置が、第2のファセット(11)の前記群(25,26)として指定されることを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか1項に記載の方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明光学ユニットと、
照明光(3)のためのEUV光源(2)と、
を有することを特徴とする光学系。 - 請求項12に記載の光学系と、
照明光(3)のための光源(2)と、
を有することを特徴とする投影露光装置(1)。 - 構造化構成要素を生成する方法であって、
感光材料の層が少なくとも部分的にその上に塗布されたウェーハ(22)を与える段階と、
結像される構造を有する物体(17)としてレチクルを与える段階と、
請求項13に記載の投影露光装置(1)を与える段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて前記レチクル(17)の少なくとも一部を前記ウェーハ(22)の前記層の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項14に記載の方法に従って生成された構造化構成要素。
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