JP2013516376A5 - - Google Patents

Claims (28)

1. 三フッ化アルミニウムを生成する方法であって、
   少なくとも約３０質量％のアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含むフルオロアルミン酸塩の供給物を酸に接触させ、三フッ化アルミニウムと少なくとも一種の副生成物とを生成する工程を備える方法。
2. 上記供給物は、少なくとも約７０質量％の、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含む請求項１記載の方法。
3. 上記酸は、塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される請求項２記載の方法。
4. 上記供給物をシリコンソースの不存在下酸と接触させる請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
5. 上記のアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩が、ＮａＡｌＦ_４、Ｎａ_５Ａｌ_３Ｆ_１４、Ｎａ_３ＡｌＦ_６、およびこれらの混合物からなる群から選択される請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
6. フッ化水素と、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩化物塩もしくは硫化物塩とを副生成物として生成させる請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
7. 上記フッ化水素をシリコンソースと接触させ四フッ化シリコンを生成する請求項６記載の方法。
8. 上記フッ化物塩がシラン製造による副生成物である請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
9. 上記のアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を水性の酸に接触させ、
   上記のアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を反応容器に導入し、上記三フッ化アルミニウムと副生成物とを含むスラリーを生成する請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
10. 上記スラリーを固液分離ユニットに導入し、上記三フッ化アルミニウムを含む固体部分と、少なくとも一種の副生成物を含む液体部分とを生成する請求項９記載の方法。
11. 上記固体部分は、三フッ化アルミニウムおよびアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩化物塩もしくは硫化物塩を含み、
    上記液体部分は、水、フッ化水素、未反応の酸、およびアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩化物塩もしくは硫化物塩を含む請求項１０記載の方法。
12. 上記のアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を実質的に無水の酸に接触させ、
    流動ガスとして酸を含む流動層反応器に上記フッ化物塩を導入する請求項１〜１１のいずれかに記載の方法。
13. 粒子の三フッ化アルミニウムと、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩化物塩もしくは硫化物塩と、を上記流動層反応器内において生成させる請求項１２記載の方法。
14. 上記粒子の三フッ化アルミニウムおよび上記塩を洗浄ユニットに導入し、上記塩から上記三フッ化アルミニウムを分離する工程を備える請求項１３記載の方法。
15. 水素、フッ化水素、および未反応の酸を含む使用済みガスを生成する請求項１３又は１４に記載の方法。
16. 蒸留塔において、水素、フッ化水素、および未反応の酸の少なくとも一種を分離する工程を備える請求項１５記載の方法。
17. 三フッ化アルミニウムの水和物を生成する請求項１〜１６のいずれかに記載の方法。
18. 上記三フッ化アルミニウムの水和物を乾燥させ、三フッ化アルミニウムの半水和物を生成する請求項１７記載の方法。
19. 三フッ化アルミニウムを生成する方法であって、
    アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を酸に接触させ、三フッ化アルミニウムと少なくとも一種の副生成物とを生成する工程と、
    上記三フッ化アルミニウムを上記副生成物から分離する工程と、を備える方法。
20. 上記酸は、塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される請求項１９記載の方法。
21. 上記フッ化物塩をシリコンソースの不存在下酸と接触させる請求項１９又は２０に記載の方法。
22. シランと三フッ化アルミニウムとを生成する方法であって、
    四フッ化シリコンと、四水素化アルミニウムのアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属の塩とを接触させ、シランと、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含む廃液とを生成する工程と、
    上記廃液に酸を接触させ、三フッ化アルミニウムと、少なくとも一種の副生成物とを生成する工程と、
    上記三フッ化アルミニウムを上記副生成物から分離する工程と、を備える方法。
23. 上記四フッ化シリコンが、上記四水素化アルミニウムを含む反応溶液中においてバブリングされる請求項２２記載の方法。
24. 上記四フッ化シリコンと上記四水素化アルミニウムとを、約３０℃〜約８０℃に維持されている反応媒体内で接触させる請求項２２または請求項２３に記載の方法。
25. 上記フッ化物塩を固液分離ユニットにおいて上記反応媒体から分離する請求項２４記載の方法。
26. 上記廃液は、約３０質量％〜約９５質量％の、アルカリ金属もしくはアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩を含む請求項２２〜２５のいずれかに記載の方法。
27. 上記酸は、塩酸、硫酸およびこれらの混合物から選択される請求項２２〜２６のいずれかに記載の方法。
28. 上記廃液をシリコンソース不存在下酸と接触させる請求項２２〜２７のいずれかに記載の方法。