JP2013507629A - 高純度フッ素ガス、その発生および使用、ならびにフッ素ガス中の不純物の監視方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)フッ素発生セルから得られた生成物からサンプルを抜き取るように操作可能なサンプラーと;
(b)サンプルからのあらゆるフッ素およびHFを破壊し、不純物、特にCF4を場合により含有するガス流を発生させるためのスクラバーと;
(c)スクラバーから回収されたガス流中に含まれる不純物を検出するための手段、特に、炎イオン化検出器などのGC検出器、熱伝導率検出器、TDL分光法、FTIR、またはこの分野で通常使用される他の検出器とを含む。
図1は、フッ素発生セルによって得られた生成物の成分を監視するためのオンラインフッ素発生セル検出器を使用する、本発明の高純度フッ素ガスを発生させる装置の一実施形態を概略的に示す概略図である。図1中、高純度フッ素ガスを発生させる装置は、原材料を供給するシステム1を含み;システム1は好ましくは、HFを貯蔵し、それを電気分解セルに送出する機能を果たす少なくとも1つのHF(フッ化水素)貯蔵タンクを含む。
本発明の方法を説明するために、参考として図1を用いる。図1中、原材料HFは、原材料を供給するシステム1を介して、独立して、少なくとも1つのフッ素発生セル2中に供給され、次に、1つまたは複数のセル2中でフッ素ガスが得られる。得られたフッ素ガスは、独立して1つまたは複数の前記フッ素発生セル2の開閉を行うための制御手段3、粒子フィルター4、および独立してフッ素発生セルの電流効率を測定する手段5を通過し、次にフッ素発生セル検出器6中に供給され、そこで独立して、各フッ素発生セル2からのフッ素ガスの検出および分析が行われ;好ましくは、1つのフッ素発生セル検出器6が各フッ素発生セルに対して割り当てられ、したがって1つの検出器6が、1つのフッ素発生セルからのフッ素ガスを検出する。
KHF2電解質が満たされた10個のフッ素発生セル2、フッ素ガスが、10個のセル2中の電気分解によって発生する。得られたフッ素ガスは、独立して前記フッ素発生セル2の開閉を行うためのスイッチ3、粒子フィルター4、および独立してフッ素発生セルの電流効率を測定する流量計5を通過し、次に、280nmにおけるUV吸着を検出するUV分析器6中に供給され、UV分析器6は、独立して、各フッ素発生セルを検出する。フッ素発生セル検出器(UV分析器)6が、0.1体積%を超える測定フッ素含有率の低下を検出する場合には、不純物を含有するフッ素ガスを破壊するためのスクラバーシステム8へのバルブを開放し、同時に精製セクション7へのバルブを閉じる。そのフッ素含有率が低下し続ける場合には、スイッチ3によってフッ素発生セル2を停止する(たとえば電流=0A)。フッ素含有率が低下し続けず、元のフッ素含有率レベルに再び到達する場合、あるいは整備または修理の後に、精製セクション7へのバルブを再び開放し、同時に不純物を含有するフッ素ガスを破壊するためのスクラバーシステム8へのバルブを閉じ、ここでシステム8にはアルカリ水溶液が満たされる。次に、発生したフッ素は、スクラバー7から、フッ素の排出および回収のためのシステム9中に排出される。
表1に示されるように5つのフッ素発生セル2を使用したことを除けば、実施例1と同じである。
表1に示されるように測定フッ素含有率の低下が0.5体積%を超えることを除けば、実施例1と同じである。
表1に示されるように測定フッ素含有率の低下が0.5体積%を超えることを除けば、実施例2と同じである。
Claims (15)
- フッ素ガスを発生させる装置であって、少なくとも1つのフッ素発生セルと、前記フッ素発生セルによって得られた生成物の成分を検出するための少なくとも1つのフッ素発生セル検出器とを含み、前記フッ素発生セルの少なくとも1つが前記フッ素発生セル検出器と接続される、装置。
- 前記フッ素発生セル検出器が、前記フッ素発生セルによって得られたフッ素中に存在する不純物の検出に用いられる、請求項1に記載の装置。
- 前記フッ素発生セル検出器が:
(a)前記フッ素発生セルから得られた前記生成物からサンプルを抜き取るように操作可能なサンプラーと;
(b)前記サンプルからのあらゆるフッ素およびHFを破壊し、不純物、特にCF4を場合により含有するガス流を発生させるためのスクラバーと;
(c)前記スクラバーから回収された前記ガス流中に含まれる不純物を検出するための手段、特に、炎イオン化検出器などのGC検出器、熱伝導率検出器、TDL分光法、またはFTIRとを含む、請求項1または2に記載の装置。 - 前記フッ素発生セル検出器が、前記フッ素発生セルによって得られたフッ素中に存在するCF4の検出に用いられる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記フッ素発生セル検出器がUV分析器である、請求項1に記載の装置。
- 前記UV分析器が、200〜400nmの範囲内、好ましくは250〜330nmの範囲内のUV光を用いて操作される、請求項5に記載の装置。
- 2つ以上のフッ素発生セルを含み、各フッ素発生セルが独立して、前記フッ素発生セル検出器と接続される、請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- (a)独立して前記フッ素発生セルの開閉を行うための制御手段をさらに含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記フッ素発生セル検出器が独立して、それぞれの前記制御手段と接続される、請求項8に記載の装置。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置を使用するステップを含む、フッ素ガスの発生方法。
- 半導体加工システム、光起電力セルを加工するシステム、またはTFTを加工するシステムにおける請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置の使用。
- プロセスチャンバーを洗浄するための、請求項1〜9のいずれか1項に記載の装置の使用。
- 半導体、光起電力セル、またはTFTの製造方法であって、(a)請求項10に記載の方法によってフッ素を発生させ、(b)得られた前記フッ素が、半導体加工システム、光起電力セルを加工するシステム、またはTFTを加工するシステムに使用される、方法。
- プロセスチャンバーの洗浄方法であって、(a)請求項10に記載の方法によってフッ素を発生させ、(b)得られた前記フッ素が前記プロセスチャンバーの洗浄に使用される、方法。
- UV分析器を使用するステップを含む、フッ素ガスの調製方法におけるアノードの燃焼の検出方法。
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