JP2006295007A - 半導体処理液の製造方法、製造装置及び製造システム - Google Patents
半導体処理液の製造方法、製造装置及び製造システム Download PDFInfo
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Abstract
シアン化物イオンを含む半導体処理液の安全かつ工業生産性に優れた製造方法、製造装置及び製造システムを実現する。
【解決手段】
不活性ガスの通気中で、まず、金属シアン化合物と酸性液とを反応させてシアン化水素ガスを生成する。次に、該シアン化水素ガスを冷却後、アルカリ性溶液に導入してシアン化物イオンを含む半導体処理液を調製することにより、安全かつ工業生産性に優れた該半導体処理液の製造方法を提供することができる。
【選択図】 図1
Description
2 製造システム
3 等圧滴下ロート
4 三角フラスコ
5A,8 冷却管
5B ラビリンス構造を有する流路
5C 温度制御装置を備えたラビリンス構造を有する流路
6,12 逆流防止装置
7 金属除去トラップ装置
9 製品タンク
10 温度制御装置
11 クーラー
13 シアン化水素ガス除去トラップ装置
Claims (22)
- 不活性ガスの通気中で、
シアン化合物と酸性液とを反応させてシアン化水素ガスを生成した後に、
前記シアン化水素ガスを25.64℃以下に冷却し、
その後、前記冷却したシアン化水素をアルカリ性溶液に導入してシアン化物イオンを含むアルカリ性溶液を調製する
半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化水素ガスを生成した直後に下限値を25.65℃として冷却した冷却管を通過させ、
その後、前記冷却したシアン化水素ガスをアルカリ性溶液に導入する前に25.64℃以下に冷却する
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化水素ガスを生成した直後にラビリンス構造の流路を通過させ、
その後前記シアン化水素ガスを25.64℃以下に冷却する
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記ラビリンス構造の流路を、下限値を25.65℃として冷却した
請求項3に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化水素ガスを超純水中に導入する工程を、
前記シアン化水素ガスを生成する工程と前記シアン化水素ガスを25.64℃以下に冷却する工程の間に設けた
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記生成したシアン化水素ガスを、
逆流防止装置を通過させた直後に超純水中に導入する
請求項5に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化物イオンを含むアルカリ性溶液の温度が25.64℃以下に保たれる
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記酸性液が、硫酸、リン酸及び過塩素酸の群から選ばれる少なくとも1種類である
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化合物が、シアン化ナトリウム、シアン化カリウム、シアン化セシウム及びシアン化ルビジウムの群から選ばれる少なくとも1種類である
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記アルカリ性溶液の溶媒が、純水、超純水、アルコール類、エーテル類、ケトン類、ニトリル類、芳香族炭化水素、四塩化炭素、及び脂肪族アルカンの群から選ばれる少なくとも1種類である
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記アルカリ性溶液の溶質が、アンモニア、コリン、及び水酸化テトラメチルアンモニウムの群から選ばれる少なくとも1種類である
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 前記シアン化水素を、その全量が当量反応でシアン化アンモニウムに置換できる量以上のアンモニア含有量のアルカリ性溶液中に導入する
請求項1に記載の半導体処理液の製造方法。 - 不活性ガスを全工程に渡って通気させる機構と、
シアン化合物と酸性液とを反応させてシアン化水素ガスを生成する処理部と、
前記処理部で生成されたシアン化水素ガスを25.64℃以下に制御する温度制御装置により冷却する冷却部と、
前記冷却部で冷却されたシアン化水素とアルカリ性溶液を混合してシアン化物イオンを含むアルカリ性溶液を調製する処理部を備えた
半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化水素ガスを生成する処理部の直後に前記シアン化水素ガスを通過させる冷却管を配置し、
前記冷却管の下限値を25.65℃となるように制御した
請求項13に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化水素ガスを生成する処理部の直後に前記シアン化水素ガスを通過させるラビリンス構造を有する流路を配置した
請求項13に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記ラビリンス構造を有する流路に前記流路を25.65℃以上に制御する温度制御装置を備えた
請求項15に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化水素ガスを超純水に導入する処理部を、
前記シアン化水素ガスを生成する処理部と前記シアン化水素ガスを25.64℃以下に制御する温度制御装置により冷却する冷却部の間に設けた
請求項13に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化水素ガスを超純水中に導入する処理部に逆流防止装置を備えた
請求項17に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化物イオンを含むアルカリ性溶液を調製する処理部に、アルカリ性溶液を25.64℃以下に制御する温度制御装置を設けた
請求項13に記載の半導体処理液の製造装置。 - 前記シアン化物イオンを含むアルカリ性溶液を調製する処理部の後工程に、強アルカリ溶液又は強アルカリと次亜塩素酸の混合溶液を含むシアン化水素ガスのトラップ装置を設けた
半導体処理液の製造システム。 - 前記強アルカリ溶液が、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウムから選ばれる少なくとも1種類を含む請求項20に記載の半導体処理液の製造システム。
- 前記シアン化水素ガスのトラップ装置に、逆流防止装置を備えた
請求項20に記載の半導体処理液の製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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