JP2013229573A - 光電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光電変換装置11は、電極層2と、電極層2上に設けられた、I−III−VI族化合物およびナトリウム元素を含む第1の半導体層3と、第1の半導体層3上に設け
られた、第1の半導体層3とは異なる導電型の第2の半導体層4とを具備しており、第1の半導体層3は、内部に空孔3aを有しており、空孔3a側の表面部において、空孔3aに近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっているとともに、第2の半導体層4側の表面部において、第2の半導体層4に近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっている。
【選択図】 図2
Description
−III−VI族化合物は光吸収係数が高く、光電変換装置の薄膜化や大面積化や低コスト化
に適しており、これを用いた次世代太陽電池の研究開発が進められている。
などの下部電極層と、光吸収層と、バッファ層と、透明導電膜とを、この順に積層した光電変換セルを、平面的に複数並設した構成を有することによって構成される。複数の光電変換セルは、隣り合う一方の光電変換セルの透明導電膜と他方の下部電極層とを、接続導体で接続することで、電気的に直列接続されている。
。この光電変換効率は、光電変換装置において太陽光のエネルギーが電気エネルギーに変換される割合を示し、例えば、光電変換装置から出力される電気エネルギーの値が、光電変換装置に入射される太陽光のエネルギーの値で除されて、100が乗じられることで導出される。本発明の一つの目的は、光電変換装置の光電変換効率を向上させることにある。
設けられた、該第1の半導体層とは異なる導電型の第2の半導体層とを具備しており、前記第1の半導体層は、内部に空孔を有しており、該空孔側の表面部において、該空孔に近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっているとともに、前記第2の半導体層側の表面部において、前記第2の半導体層に近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっている。
図1は、本発明の一実施形態に係る光電変換装置の一例を示す斜視図であり、図2はその断面図である。光電変換装置11は、基板1上に複数の光電変換セル10が並べられて互いに電気的に接続されている。なお、図1においては図示の都合上、2つの光電変換セル10のみを示しているが、実際の光電変換装置11においては、図面左右方向、あるいはさらにこれに垂直な方向に、多数の光電変換セル10が平面的に(二次元的に)配設されていてもよい。
を主に有している。I−III−VI族化合物とは、I−B族元素(11族元素ともいう)とIII−B族元素(13族元素ともいう)とカルコゲン元素との化合物である。なお、カルコゲン元素とは、VI−B族元素のうち、S、Se、Teをいう。I−III−VI族化合物としては、例えば、CuInSe2(二セレン化銅インジウム、CISともいう)、Cu(In,Ga)Se2(二セレン化銅インジウム・ガリウム、CIGSともいう)、Cu(In,Ga)(Se,S)2(二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム、CIGSSともいう)が挙げられる。あるいは、第1の半導体層3は、薄膜の二セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム層を表面層として有する二セレン化銅インジウム・ガリウム等の多元化合物半導体薄膜にて構成されていてもよい。
photoelectron spectroscopy)、オージェ電子分光(AES:Auger Electron Spectroscopy)、2次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectroscopy)またはエネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)等で分析することに
よって測定可能である。
次に、上記構成を有する光電変換装置11の製造方法について説明する。まず、ガラス等から成る基板1の主面に、スパッタリング法等を用いて、Mo等から成る下部電極層2を所望のパターンに形成する。
に溶解することによって原料溶液を調製する。そして、下部電極層2の上に、この原料溶液を塗布等によって膜状に成形し、乾燥して、皮膜を形成する。なお、原料溶液に溶解される金属原料としては、I−B族元素に有機配位子が配位した錯体、III−B族元素に有
機配位子が配位した錯体、またはI−B族元素およびIII−B族元素が有機配位子を介し
て結合した単一源錯体等が用いられる。
昇温速度を速くしたり雰囲気中のカルコゲン元素濃度を加熱初期から高くすることによって、皮膜中の有機成分がまだ残存した状態でカルコゲン化反応が進行し、I−III−VI族
化合物の多結晶体中に空孔3aが形成されやすくなる。また、上記原料溶液中に、沸点または熱分解温度が比較的高い有機成分を含ませることによっても空孔3aが形成されやすくなる。
含む溶液中に20〜200℃で5〜60分間浸漬することによって、空孔3aの近傍および下部電極層2とは反対側の主面近傍におけるナトリウム元素の原子濃度が高い、第1の半導体層3となる。なお、ナトリウム化合物を含む溶液としては、例えば、1M以上のNaCl,NaNO3,NaClO4等の水溶液が挙げられる。
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
2、2a、2b、2c:下部電極層
3:第1の半導体層
3a:空孔
4:第2の半導体層
7:接続導体
10:光電変換セル
11:光電変換装置
Claims (4)
- 電極層と、
該電極層上に設けられた、I−III−VI族化合物およびナトリウム元素を含む第1の半導
体層と、
該第1の半導体層上に設けられた、該第1の半導体層とは異なる導電型の第2の半導体層とを具備しており、
前記第1の半導体層は、内部に空孔を有しており、該空孔側の表面部において、該空孔に近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっているとともに、前記第2の半導体層側の表面部において、前記第2の半導体層に近づくほどナトリウム元素の原子濃度が高くなっている光電変換装置。 - 前記第1の半導体層は、前記空孔の近傍において酸素元素をさらに含んでいる、請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第1の半導体層の層に垂直な断面において、前記空孔の面積占有率が、前記第1の半導体層の厚み方向の中央部よりも前記第2の半導体層側の表面部の方で小さくなっている、請求項1または2に記載の光電変換装置。
- 前記第1の半導体層は複数の層が積層されて成り、複数の該層は、厚み方向の中央部におけるナトリウム元素の原子濃度よりも厚み方向の表面部におけるナトリウム元素の原子濃度の方が大きい、請求項1乃至3のいずれかに記載の光電変換装置。
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