JP2013221744A - X線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検出装置は、X線照射部3と、X線検出器4と、複数の絞り孔21,22,23を有する移動可能なコリメータ2とを備える。コリメータ2には、光を通過させる窓部24が設けられており、絞り孔21,22,23及び窓部24は同一方向に並んでいる。コリメータ2は、この方向に移動することにより、X線照射部3が試料へ照射するX線を絞る絞り孔の径を変更し、また、窓部24を通して撮像部が試料を撮影できる位置へ移動することができる。X線照射部3、X線検出器4及びコリメータ2が近接した状態であっても、試料の撮影が可能となり、試料の撮影が可能な線検出装置の小型化が可能となる。
【選択図】図3
Description
図1は、X線検出装置の要部の構成を示す模式的斜視図である。X線検出装置は、X線を試料へ照射して発生する蛍光X線を検出し、蛍光X線スペクトルの測定又は試料に含有される元素を分析する蛍光X線分析を行うための装置である。X線検出装置は、試料を支持するための試料支持部1を備えている。試料支持部1は、水平板状であり、試料が載置されることによって試料を支持する。試料支持部1には、貫通孔11が設けられている。図1に図示していない試料は、貫通孔11を塞いで載置される。実際には、図1に示した要部は、電源部等の図示しない他の部分と共に図示しない筐体内に納められている。
11 貫通孔
14 X線透過膜
2 コリメータ
21、22、23 絞り孔
24 窓部
3 X線照射部
4 X線検出器
53 撮像素子
6 直線駆動モータ
62 シャフト
64 軸シール
7 密閉箱
Claims (6)
- X線照射部と、
該X線照射部からX線を照射される試料を支持する試料支持部と、
試料から発生するX線を検出するX線検出器と、
大きさの異なる複数の絞り孔を有し、X線が通過する絞り孔を変更すべく移動することが可能なコリメータと、
前記試料支持部が支持する試料の光学像を取得する撮像部とを備え、
前記コリメータは、
前記試料の光学像のための光が通過できる窓部を有しており、
前記撮像部が前記窓部を通して前記試料の光学像を取得できる位置に前記窓部の位置を変更すべく移動することが可能なようにしてあること
を特徴とするX線検出装置。 - 前記コリメータは、
一の方向に沿って前記複数の絞り孔及び前記窓部を並べてあり、
前記方向へ移動することが可能なようにしてあること
を特徴とする請求項1に記載のX線検出装置。 - 前記方向に平行なシャフトと、
該シャフトに平行な駆動軸を有し、該駆動軸を長手方向に直線駆動する直線駆動モータとを備え、
前記シャフトは前記駆動軸に連結してあり、
前記コリメータは前記シャフトに連結してあること
を特徴とする請求項2に記載のX線検出装置。 - 前記X線照射部のX線が出射する端部、前記X線検出器のX線が入射する端部、及び前記コリメータは、密閉箱内に配置されており、
前記シャフトは、
前記密閉箱の壁を貫通しており、密閉状態を保つための軸シールが設けられていること
を特徴とする請求項3に記載のX線検出装置。 - 前記試料支持部は、水平板状であり、試料が載置されるX線透過窓を有しており、
前記撮像部は、前記試料支持部の直下に配置されており、
前記コリメータは、前記試料支持部の下面に沿って移動するようにしてあり、
前記X線照射部は、前記X線透過窓に対して斜め下側からX線を照射する位置に配置されており、
前記X線検出器は、前記X線透過窓を斜め下方向へ透過したX線を検出する位置に配置されていること
を特徴とする請求項1乃至4の何れか一つに記載のX線検出装置。 - 前記窓部は、透明の平板を用いて構成されていること
を特徴とする請求項5に記載のX線検出装置。
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