JP2000199748A - 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】試料の定性・定量分析を、高精度かつ短時間に
行うことができる蛍光Ｘ線分析方法および装置を提供す
る。 【解決手段】波長分散型Ｘ線検出手段５により、軽元素
領域が高い検出精度で測定され、エネルギー分散型Ｘ線
検出手段１５により、主に重元素領域が短時間で測定さ
れる。したがって、試料Ｓの定性・定量分析を、短時間
かつ高精度に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を照射した試
料から発生する蛍光Ｘ線の強度を測定して、試料を定性
分析，半定量分析，定量分析する蛍光Ｘ線分析装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、Ｘ線を照射した試料から発生
する蛍光Ｘ線の強度を測定して、試料を定性分析，半定
量分析，定量分析する蛍光Ｘ線分析装置として、分光器
とＸ線検出器を有する波長分散型と、エネルギー分散型
検出器を有するエネルギー分散型とが知られている。

【０００３】ここで、定量分析の精度を向上させるため
に、定量分析を行う前に、試料の測定対象元素につい
て、試料に含まれる元素の種類および含有率の概算値を
求める、いわゆる半定量分析を行う場合がある。含有率
の概算値のほかに、基板上に形成された薄膜の付着量や
膜厚の概算値を求める場合もある。これは、一般に蛍光
Ｘ線強度の測定値には、測定条件の差による変動がある
ので、試料に含まれる測定対象元素の複数の種類のピー
ク強度のみに基づいて、試料の種別の判定を行うと、誤
判定が起こり易いためである。この半定量分析により、
測定対象元素のピーク強度や含有率の概算値によって、
例えば鉄鉱石やセメント等のように、試料が属するグル
ープが選択される。このグループに応じて、適切な測定
対象元素の測定時間や測定波長等の測定条件を設定し、
この適切な測定条件の下で試料の蛍光Ｘ線強度を測定し
て、検量線法やファンダメンタルパラメータ法を使用し
て定量分析が行われるので、定量分析の精度が向上す
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の半定量
分析を行う場合、波長分散型では、広範囲の波長域の測
定対象元素を検出するのに、検出器を各元素の特性Ｘ線
の波長に対応する角度に一定の速度で変化させてスキャ
ンさせるので、測定時間が長くかかる。高速スキャンに
より測定時間を短くすると、得られるＸ線強度の統計変
動が大きくなり、微量元素を検出できなくなる。特に、
小径面積の試料の場合、大径面積の試料に比較して、検
出感度が低いので、低速スキャンが必要となり、測定に
長時間かかる。

【０００５】一方、エネルギー分散型では、スキャンを
必要としないことから、広範囲の波長域の測定対象元素
について、短時間の測定が可能であるが、試料に含まれ
る軽元素の領域の検出感度が低く、軽元素の領域の高精
度化が図れない。また、微量元素の検出も困難である。
したがって、試料の定量分析を行う場合、波長分散型ま
たはエネルギー分散型のどちらか一方のみ半定量分析を
行うのでは、高精度化および短時間化の両方を図ること
が困難である。

【０００６】試料の定性分析を行う場合も、波長分散型
またはエネルギー分散型のどちらか一方のみでは、上記
と同様に、高精度化および短時間化の両方を図ることが
困難な場合がある。

【０００７】本発明は、上記の問題点を解決して、試料
の定性・定量分析を、高精度かつ短時間に行うことがで
きる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的としてい
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１および請求項４の発明によれば、分光器と
Ｘ線検出器とからなる波長分散型Ｘ線検出手段によっ
て、主に軽元素の領域の蛍光Ｘ線強度を、エネルギー分
散型Ｘ線検出手段によって、主に重元素の領域の蛍光Ｘ
線強度を測定して第１の測定結果を得て、前記第１の測
定結果に基づき、試料の定性分析，半定量分析および定
量分析のうち少なくとも１つの分析を行う。波長分散型
Ｘ線検出手段は、主に軽元素の領域の蛍光Ｘ線強度を測
定するが、少数の重元素についても測定する場合があ
る。例えば、銅，鉄，亜鉛等の金属を多く含んだ産業廃
棄物中の重元素である微量砒素，鉛等の測定の場合、
銅，鉄，亜鉛等のスペクトルが重なり、分解能の低いエ
ネルギー分散型Ｘ線検出手段では砒素，鉛等の測定が困
難な場合があり、この場合に波長分散型Ｘ線検出手段を
使用する。一方、エネルギー分散型Ｘ線検出手段は、主
に重元素の領域の蛍光Ｘ線強度を測定するが、少数の軽
元素についても測定する場合がある。例えば、土壌や岩
石等のようにシリカ，アルミナ等の軽元素を主成分とす
る試料の場合、分析時間の短縮のためにエネルギー分散
型Ｘ線検出手段で測定することが有効だからである。上
記半定量分析には、(1) 少数の元素のみの定量分析、
(2) 少数（例えば２つ）の標準試料によって作成した検
量線を用いた定量分析、(3) 定性分析の粗いデータを用
いた定量分析が含まれる。また、上記定性分析と半定量
分析の結果を組み合わせてもよい。

【０００９】上記の構成によれば、波長分散型Ｘ線検出
手段により、主に軽元素領域が高い検出精度で測定さ
れ、エネルギー分散型Ｘ線検出手段により、主に重元素
領域が短時間で測定される。したがって、試料の定性・
定量分析を、短時間かつ高精度に行うことができる。

【００１０】請求項２および請求項５の発明によれば、
前記波長分散型Ｘ線検出手段により測定されたスペクト
ルに高次線の重なりがある場合には、エネルギー分散型
Ｘ線検出手段による測定結果を優先して第１の測定結果
に用いる。

【００１１】上記構成によれば、波長分散型Ｘ線検出手
段からの測定結果に高次線による重なりがあって、測定
が困難になっても、エネルギー分散型Ｘ線検出手段では
高次線が測定されないので、この測定結果を優先するこ
とにより、試料の定性・定量分析を、一層高精度に行う
ことができる。

【００１２】請求項３および請求項６の発明によれば、
前記求められた試料の定性分析または半定量分析の結果
から、試料が属するグループを選択し、グループに応じ
て測定対象元素を含む測定条件を設定し、設定された測
定条件の下で蛍光Ｘ線強度を測定させて第２の測定結果
を得て、前記得られた測定対象元素についての第２の測
定結果から、試料の定量分析値を求める。上記定量分析
値には、試料中に存在する元素の含有率のほか、試料が
基板上に形成された薄膜である場合には、薄膜の付着量
や膜厚も適用できる。

【００１３】上記構成によれば、定性分析または半定量
分析により試料が属するグループを選択し、このグルー
プに応じて、適切な測定対象元素の測定時間、測定波長
等の測定条件を設定し、この測定条件の下で試料の蛍光
Ｘ線強度を測定するので、高精度の定量分析を行うこと
ができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る
蛍光Ｘ線分析装置の構成図を示す。本装置は、試料Ｓが
固定される試料台２と、試料表面に傾斜して１次Ｘ線Ｂ
１を照射するＸ線源４と、試料Ｓから発生した２次Ｘ線
の一種である蛍光Ｘ線Ｂ２が分光された蛍光Ｘ線Ｂ３の
強度を測定する波長分散型Ｘ線検出手段５と、エネルギ
ー分散型Ｘ線検出手段１５と、検出した蛍光Ｘ線Ｂ２，
Ｂ３を電気的に信号処理する信号処理回路１２と、装置
全体を制御するコントローラ２０とを備えている。

【００１５】上記波長分散型Ｘ線検出手段５は、平行化
のためのソーラスリット７、蛍光Ｘ線Ｂ２を分光する分
光器８、分光された蛍光Ｘ線Ｂ３を検出するＸ線検出器
９、分光器８とＸ線検出器９を一定の角度関係を保って
回動させる走査機構１０とを備えている。

【００１６】試料Ｓと波長分散型Ｘ線検出手段５との間
の蛍光Ｘ線Ｂ２の通路には、板材で形成された視野制限
用のコリメータ１４が設けられている。コリメータ１４
は複数の絞り孔１４ａ，１４ｂを有する。波長分散型Ｘ
線検出手段５で測定する場合には、モータおよび伝動機
構を含む移動機構１６により、コリメータ１４の位置を
移動させて、試料Ｓ上の被測定部の形状の大小に応じて
絞り孔１４ａ，１４ｂの中から１つの絞り孔を選択して
蛍光Ｘ線Ｂ２の通路に配置する。この移動機構１６は、
後述するコントローラ２０内の移動機構制御手段３４に
より制御される。

【００１７】上記コリメータ１４における複数の絞り孔
１４ａ，１４ｂの側方に、例えばＳＳＤ（半導体検出
器）のようなエネルギー分散型Ｘ線検出手段１５が取り
付けられている。エネルギー分散型Ｘ線検出手段１５で
測定する場合には、移動機構１６により、コリメータ１
４の位置を移動させて、ＳＳＤ（半導体検出器）１５を
蛍光Ｘ線Ｂ２の通路に配置する。信号処理回路１２はＳ
ＳＤ１５で得られた電気信号を信号処理する。

【００１８】さらに、本装置のコントローラ２０は、第
１，第２の測定制御手段２２，２４、同定手段２５、優
先手段２６、分析データ処理手段２８、グループ選択手
段３２、移動機構制御手段３４および定量分析手段３６
をＣＰＵ（コンピュータ）に内蔵し、その他に、各デー
タや検量線式等を記憶する記憶手段（メモリ）Ｍ、各動
作内容および各データ内容を画面に表示する表示部Ｄ、
画面の表示内容をプリントアウトする印刷手段Ｐを有す
る。

【００１９】第１の測定制御手段２２は、Ｘ線源４のシ
ャッタ（図示せず）を開放して１次Ｘ線Ｂ１を試料Ｓに
照射させるとともに、試料Ｓに含まれる元素の蛍光Ｘ線
強度を測定して第１の測定結果を得る。波長分散型Ｘ線
検出手段５の場合、走査機構１０を駆動して波長を連続
的にスキャンさせ、信号処理回路１２を制御して、Ｘ線
検出器９からの出力パルスを計数させ、試料Ｓから発生
する軽元素の領域の蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を測定させる。
エネルギー分散型Ｘ線検出手段１５の場合、信号処理回
路１２を制御して、ＳＳＤ１５からの出力パルスを計数
させ、試料Ｓから発生する主に重元素の領域の蛍光Ｘ線
Ｂ２の強度を測定させる。

【００２０】同定手段２５は、蛍光Ｘ線Ｂ３の測定した
強度データに基づいて、測定対象元素のピーク検出およ
び同定解析を行い、試料Ｓに含まれる元素の種類を求め
る。優先手段２６は、上記波長分散型Ｘ線検出手段５に
よる蛍光Ｘ線Ｂ３の測定結果に高次線とその他の蛍光Ｘ
線との重なりがある場合には、エネルギー分散型Ｘ線検
出手段１５による蛍光Ｘ線Ｂ２の測定結果を優先して用
いる。重なりのない場合には、両測定結果がそのまま用
いられる。上記蛍光Ｘ線Ｂ３の測定結果での重なりは、
得られた元素の種類から、高次線の重なりを推定するこ
とにより、見い出される。分析データ処理手段２８は、
上記第１の測定結果に基づいて、試料Ｓの定性分析，半
定量分析および定量分析のうち少なくとも１つの分析を
行う。一般に、少なくとも定性分析が含まれる。半定量
分析結果は、後の定量分析のためのグループ分けにも使
用できる。

【００２１】グループ選択手段３２は、分析データ処理
手段２８で求められた試料Ｓの定性分析または半定量分
析の結果から、試料Ｓが属するグループを選択する。第
２の測定制御手段２４は、グループに応じて測定対象元
素および測定時間を含む測定条件を設定し、波長分散型
Ｘ線検出手段５の走査機構１０を駆動して、分光器８に
より測定対象元素の波長のみを選択してスキャンさせ、
信号処理回路１２を制御して、設定された測定条件の下
で、Ｘ線検出器９からの出力パルスを測定時間にわたっ
て計数させ、蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を測定させて第２の測
定結果を得る。上記半定量分析における波長分散型Ｘ線
検出手段５による蛍光Ｘ線Ｂ３の測定結果に重なりがあ
る場合には、エネルギー分散型Ｘ線検出手段１５によっ
て、同様にグループに応じて設定された測定条件の下
で、蛍光Ｘ線Ｂ２の測定を行い、その結果を優先して用
いる。定量分析手段３６は、上記得られた測定対象元素
についての第２の測定結果から、試料Ｓの定量分析値を
求める。

【００２２】上記構成の蛍光Ｘ線分析装置の動作を、図
２のフローチャートに基づいて説明する。 （１）第１測定 まず、図１に第１の測定制御手段２２を作動させ、移動
機構制御手段３４によって移動機構１６を制御し、コリ
メータ１４の位置を移動させて、エネルギー分散型Ｘ線
検出手段（ＥＤ検出手段）であるＳＳＤ（半導体検出
器）１５を蛍光Ｘ線Ｂ２の通路に配置する。そして、第
１の測定制御手段２２により、比較的短い測定時間でＳ
ＳＤ１５からの出力パルスを信号処理回路１２によって
計数させて、試料Ｓから発生する主に重元素の領域の蛍
光Ｘ線Ｂ２の強度を測定させる（図２のステップＳ
１）。このＥＤ検出手段による第１測定により得られた
強度に基づいて、同定手段２５により測定対象元素のピ
ーク検出および同定解析が行われる。ＥＤ検出手段によ
る第１測定において、ＳＳＤ１５は軽元素領域の元素に
ついての検出感度が低いが、この軽元素領域の大まかな
蛍光Ｘ線強度の測定により、試料Ｓに含まれる軽元素の
種類をある程度特定できる。

【００２３】つぎに、第１の測定制御手段２２を作動さ
せ、移動機構制御手段３４によって移動機構１６を制御
し、コリメータ１４の位置を移動させて、試料Ｓ上の被
測定部の形状の大小に応じて波長分散型Ｘ線検出手段
（ＷＤ検出手段）の絞り孔１４ａ，１４ｂのいずれか１
つの絞り孔を選択して蛍光Ｘ線Ｂ２の通路に配置する。
そして、第１の測定制御手段２２により、走査機構１０
を軽元素の領域についてスキャンさせながら、通常の定
量分析の場合よりも短い測定時間でＸ線検出器９からの
出力パルスを信号処理回路１２によって計数させて、試
料Ｓから発生する軽元素の領域の蛍光Ｘ線Ｂ３の強度を
測定させる（ステップＳ３）。このＷＤ検出手段による
第１測定は、軽元素の領域についてのみ行われるので、
測定時間は長くならない。

【００２４】なお、試料Ｓに含まれる軽元素の種類が予
め判明している場合には、ＷＤ検出手段による第１測定
でその軽元素についてのみ測定を行ってもよいし、ま
た、ＷＤ検出手段による第１測定で軽元素の測定を行っ
た後で、ＥＤ検出手段による第１測定で重元素領域の測
定を行ってもよい。

【００２５】つぎに、軽元素についてのＷＤ検出手段に
よる第１測定結果において、例えば１つの軽元素の強度
スペクトルに他の元素の高次線が重なって、測定が困難
になっている場合には、優先手段２６により、ＥＤ検出
手段による第１測定結果が優先される（ステップＳ
４）。エネルギー分散型Ｘ線検出手段１５から高次線は
測定されないので、ＥＤ検出手段による第１測定結果を
優先することにより、一層高精度の測定が可能になる。
重なりのない場合には、両測定結果をそのまま用いて、
第１の測定結果を得る（ステップＳ５）。

【００２６】つぎに、分析データ処理手段２８により、
上記第１の測定結果に基づいて、試料Ｓに含まれる元素
の種類と含有量の概算値が求められて、半定量分析を終
了する（ステップＳ６）。こうして、波長分散型Ｘ線検
出手段５により、軽元素領域が高い検出精度で測定さ
れ、エネルギー分散型Ｘ線検出手段１５により、主に重
元素領域が短時間で測定されるので、試料Ｓに含まれる
元素の種類と含有量の概算値を求める半定量分析を、短
時間かつ高精度に行うことができる。

【００２７】（２）グループ選択 メモリＭには、試料Ｓの種類をグループ分けするための
条件として、元素の種類および含有量が、グループごと
に記憶されている。グループ選択手段３２は、半定量分
析による試料Ｓに含まれた元素の種類および含有量の概
算値を、上記メモリＭに記憶されたグループ分けの条件
と照合することによって、例えばステンレス鋼，鉄鉱
石，セメント等のように試料Ｓの属するグループを自動
的に選択する（ステップＳ７）。蛍光Ｘ線強度の測定値
に変動がある場合、測定対象元素のピーク強度のみでは
試料Ｓの誤判定が起こり易いので、測定対象元素のピー
ク強度だけでなく含有量の概算値に基づいて、グループ
を選択しているから、試料Ｓの種別の誤判定を少なくす
ることができる。

【００２８】なお、試料Ｓの種類によって、ＷＤ検出手
段による第１測定結果に、高次線のような蛍光Ｘ線Ｂ３
の重なりが生じない場合には、優先手段２６を省略して
もよい。

【００２９】また、蛍光Ｘ線強度の測定値の変動を無視
できる場合、または、グループ分けが大まかでよい場
合、試料Ｓに含まれる測定対象元素の種類のみでグルー
プを選択するようにしてもよい。

【００３０】（３）定量分析 つぎに、第２の測定制御手段２４は、選択されたグルー
プに応じた測定条件、例えば、Ｘ線源４の電力やＸ線照
射時間、信号処理回路１２のパルスカウント時間（測定
時間）等をメモリＭから読み出して、Ｘ線源４，走査機
構１０，信号処理回路１２を制御し、各測定対象元素に
ついて同時に各測定時間にわたって、上記波長分散型Ｘ
線検出手段５のＸ線検出器９からの出力パルスを計数さ
せて、各測定対象元素のピーク強度を測定する（ＷＤ検
出手段による第２測定）（ステップＳ８）。ステップＳ
３における半定量分析のＷＤ検出手段による第１測定結
果に重なりがない場合には（ステップＳ９）、このＷＤ
検出手段による第２測定の結果がそのまま用いられて、
第２の測定結果を得る（ステップＳ１２）。なお、この
場合、ＷＤ検出手段による第２測定の結果ではなく、後
述するエネルギー分散型Ｘ線検出手段（ＥＤ検出手段）
による第２測定の結果を用いるようにしてもよい。

【００３１】ステップＳ９において、ステップＳ３にお
ける半定量分析のＷＤ検出手段による第１測定結果に重
なりがある場合には、エネルギー分散型Ｘ線検出手段１
５によって、上記グループに応じて設定された測定条件
の下で、蛍光Ｘ線Ｂ２の測定を行うエネルギー分散型Ｘ
線検出手段（ＥＤ検出手段）による第２測定が行われ
（ステップＳ１０）、その結果を優先して用いられて
（ステップＳ１１）、第２の測定結果を得る（ステップ
Ｓ１２）。

【００３２】その後、定量分析手段３６により、上記第
２の測定結果から、試料Ｓの定量分析値が求められる。
つまり、測定された各ピーク強度から、メモリＭに予め
記憶された試料Ｓに含まれた元素の種類に応じた検量線
式を用いる検量線法またはファンダメンタルパラメータ
法を使用して、試料Ｓの含有量が求められる（ステップ
Ｓ１３）。

【００３３】この定量分析結果は、メモリＭに一旦記憶
されたのち、表示手段Ｄに表示され、印刷手段Ｐにより
プリントアウトされる。このように、グループに応じた
測定条件に基づいた測定を行うことにより、定量分析を
短時間かつ高精度に行うことができる。

【００３４】なお、試料Ｓが基板上に形成された薄膜で
ある場合、第１の測定において、含有率の概算値に代え
て、基板上の薄膜の付着量や膜厚の概算値を求め、グル
ープ選択後に、定量分析値として、薄膜の付着量や膜厚
を求めるようにしてもよい。

【００３５】なお、上記のように、波長分散型Ｘ線検出
手段（ＷＤ検出手段）５によって主に軽元素の領域の蛍
光Ｘ線強度を、エネルギー分散型Ｘ線検出手段（ＥＤ検
出手段）１５によって主に重元素の領域の蛍光Ｘ線強度
を測定した第１の測定結果に基づいて、試料Ｓの定性分
析を行ってもよい。

【００３６】

【実施例】本装置は、図１のように、波長分散型Ｘ線検
出手段（ＷＤ検出手段）５による軽元素領域（Ｆ〜Ｓ
ｉ）の測定と、エネルギー分散型Ｘ線検出手段（ＥＤ検
出手段）１５による主に重元素領域（Ｐ〜Ｕ）の測定と
を組み合わせて半定量分析を行うものである。試料Ｓの
測定径は３ｍｍφで、走査機構１０のスキャン速度は３
０ｄｅｇ／ｍｉｎで、測定時間は約３分である。

【００３７】〔比較例１〕これに対して、従来装置
（ａ），（ｂ）は、波長分散型Ｘ線検出手段（ＷＤ検出
手段）のみで半定量分析を行うもので、試料の測定径は
それぞれ３０ｍｍφと３ｍｍφで、走査機構のスキャン
速度は２４０ｄｅｇ／ｍｉｎで、測定時間は約３分であ
る。

【００３８】半定量分析における元素の含有率の概算値
について、本装置と従来装置との比較例を表１に示す。

【００３９】

【表１】

【００４０】表１において、測定径が３ｍｍφの試料に
ついては、従来装置（ｂ）によれば、元素を検出できな
い場合が生じていたが、本装置によれば、すべての元素
が検出された。また、本装置では、試料Ｓの測定径が３
ｍｍφについて、試料Ｓの測定径が３０ｍｍφである従
来装置（ａ）と、同一の短い測定時間で同等の含有率の
概算値を得ることができた。このように、本装置によ
り、試料Ｓに含まれる元素の種類と含有量の概算値を求
める半定量分析を、短時間かつ高精度に行うことができ
る。

【００４１】つぎに、半定量分析における元素の品種的
中率を調べた。

【００４２】〔比較例２〕従来装置（ｃ）〜（ｅ）は、
測定径が３ｍｍφの試料について測定を行ったもので、
従来装置（ｃ），（ｄ）は、波長分散型Ｘ線検出手段
（ＷＤ検出手段）のみで半定量分析を行ったものであっ
て、（ｃ）は走査機構のスキャン速度が４ｄｅｇ／ｍｉ
ｎで、測定時間は約３０分である。従来装置（ｅ）は、
エネルギー分散型Ｘ線検出手段（ＥＤ検出手段）のみで
半定量分析を行ったもので、測定時間は約３分である。

【００４３】半定量分析における元素の品種的中率につ
いて、本装置と比較例２の従来装置との比較を表２に示
す。

【００４４】

【表２】

【００４５】表２において、波長分散型Ｘ線検出手段
（ＷＤ検出手段）のみの従来装置（ｄ）、エネルギー分
散型Ｘ線検出手段（ＥＤ検出手段）のみの従来装置
（ｅ）で半定量分析を行った場合、品種的中率はそれぞ
れ３％、７０％である。本装置では、測定時間３０分の
従来装置（ｃ）と同等の品種的中率９５％を得ることが
できた。このように、本装置により、試料Ｓに含まれる
元素の種類を求める半定量分析を、短時間かつ高精度に
行うことができる。

【００４６】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、波長分
散型Ｘ線検出手段により、軽元素領域が高い検出精度で
測定され、エネルギー分散型Ｘ線検出手段により、主に
重元素領域が短時間で測定される。したがって、試料の
定性・定量分析を、短時間かつ高精度に行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置を
示す概略構成図である。

【図２】上記装置の動作を示すフローチャートである。

【符号の説明】

５…波長分散型Ｘ線検出手段、１５…エネルギー分散型
Ｘ線検出手段、２２…第１の測定制御手段、２４…第２
の測定制御手段、２６…優先手段、２８…分析データ処
理手段、３２…グループ選択手段、３６…定量分析手
段、Ｓ…試料。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA04 CA01 DA02 DA06 EA01 EA03 EA08 EA20 FA06 FA29 GA01 GA03 JA02 JA05 JA06 JA11 JA20 KA01 KA11 LA02 LA03 MA05 NA16 SA01 SA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分光器とＸ線検出器とからなる波長分散
   型Ｘ線検出手段によって、主に軽元素の領域の蛍光Ｘ線
   強度を、エネルギー分散型Ｘ線検出手段によって、主に
   重元素の領域の蛍光Ｘ線強度を測定して第１の測定結果
   を得て、 前記第１の測定結果に基づき、試料の定性分析，半定量
   分析および定量分析のうち少なくとも１つの分析を行う
   蛍光Ｘ線分析方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記波長分散型Ｘ線検出手段により測定されたスペクト
   ルに高次線の重なりがある場合には、エネルギー分散型
   Ｘ線検出手段による測定結果を優先して第１の測定結果
   に用いる蛍光Ｘ線分析方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、さらに、 前記求められた試料の定性分析または半定量分析の結果
   から、試料が属するグループを選択し、 グループに応じて測定対象元素を含む測定条件を設定
   し、設定された測定条件の下で蛍光Ｘ線強度を測定させ
   て第２の測定結果を得て、 前記得られた測定対象元素についての第２の測定結果か
   ら、試料の定量分析値を求める蛍光Ｘ線分析方法。
4. 【請求項４】 分光器とＸ線検出器とからなる波長分散
   型Ｘ線検出手段と、エネルギー分散型Ｘ線検出手段とを
   備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、 前記波長分散型Ｘ線検出手段によって、主に軽元素の領
   域の蛍光Ｘ線強度を測定させ、エネルギー分散型Ｘ線検
   出手段によって、主に重元素の領域の蛍光Ｘ線強度を測
   定させて第１の測定結果を得る第１測定制御手段と、 前記第１の測定結果に基づいて、試料の定性分析，半定
   量分析および定量分析のうち少なくとも１つの分析を行
   う分析データ処理手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。
5. 【請求項５】 請求項４において、さらに、 前記波長分散型Ｘ線検出手段により測定されたスペクト
   ルに高次線の重なりがある場合には、エネルギー分散型
   Ｘ線検出手段による測定結果を優先して第１の測定結果
   に用いる優先手段を備えた蛍光Ｘ線分析装置。
6. 【請求項６】 請求項４または５において、さらに、 前記分析データ処理手段により求められた試料の定性分
   析または半定量分析の結果から、試料が属するグループ
   を選択するグループ選択手段と、 グループに応じて測定対象元素を含む測定条件を設定
   し、設定された測定条件の下で蛍光Ｘ線強度を測定させ
   て第２の測定結果を得る第２測定制御手段と、 前記得られた測定対象元素についての第２の測定結果か
   ら、試料の定量分析値を求める定量分析手段とを備えた
   蛍光Ｘ線分析装置。