JP2008309742A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】目的元素が入力設定されると(S1)、各目的元素の特性X線位置におけるバックグラウンド強度から理論計算により検出下限が算出される(S11〜S14)。一方、蛍光X線スペクトルに対するピークサーチ処理から得られるピーク位置、ピーク強度に基づいて含有元素が同定され(S5)同定された元素が定量される(S6)。目的元素が同定されなかった場合(S7でN)、理論計算により求められた該当元素の検出下限が呼び出され(S8)、元素と定量値(又は検出下限)とが対応付けて表示される(S9)。これにより、存在が確認されなかった元素についての検出下限が規制値・管理値を超えているか否かを容易に確認することができる。
【選択図】図3
Description
a)試料に対して得られた蛍光X線スペクトルに基づいて、該試料中の含有元素を同定するとともに同定された各元素を理論強度計算を利用して定量する定性・定量手段と、
b)1乃至複数の目的元素の特性X線位置におけるバックグラウンド強度をそれぞれ求め、該バックグラウンド強度から理論標準偏差を算出して、該理論標準偏差に基づいて各目的元素の検出下限を計算する検出下限演算手段と、
c)前記定性・定量手段により得られた定性・定量結果をユーザ(分析担当者)に提示するものであって、前記定性・定量手段により前記目的元素が同定されなかった場合であっても、少なくとも前記検出下限演算手段により得られた当該目的元素に対する検出下限を該目的元素に対応付けて提示する出力制御手段と、
を備えることを特徴としている。
σ=√(IBG/t) …(1)
ここで、この理論標準偏差σから検出下限強度ILLDを算出する際に、ステップS2で入力設定された係数aを用いる。即ち、理論標準偏差σに係数aを乗じることで検出下限強度ILLDを求める(ステップS13)。一般に係数aは3とすることが多いが、より厳しい評価を行いたい場合にはaを5、6、或いは10などとしてもよく、これは任意である。但し、例えば係数aが外部から入力設定されない場合には、デフォルト値としてa=3とする、或いは最も直近の分析の際に設定された値を用いるなどとすればよい。
2…試料
3…ゴニオメータ
4…分光結晶
5、6…ソーラスリット
7…X線検出器
8…プリアンプ
9…信号処理部
10…データ処理部
11…定性処理部
12…定量処理部
13…検出下限演算部
14…制御部
15…波長走査駆動部
16…入力部
17…表示部
Claims (4)
- 励起線を試料に照射し、それに応じて該試料から放出される蛍光X線を分析する蛍光X線分析装置において、
a)試料に対して得られた蛍光X線スペクトルに基づいて、該試料中の含有元素を同定するとともに同定された各元素を理論強度計算を利用して定量する定性・定量手段と、
b)1乃至複数の目的元素の特性X線位置におけるバックグラウンド強度をそれぞれ求め、該バックグラウンド強度から理論標準偏差を算出して、該理論標準偏差に基づいて各目的元素の検出下限を計算する検出下限演算手段と、
c)前記定性・定量手段により得られた定性・定量結果をユーザに提示するものであって、前記定性・定量手段により前記目的元素が同定されなかった場合であっても、少なくとも前記検出下限演算手段により得られた当該目的元素に対する検出下限を該目的元素に対応付けて提示する出力制御手段と、
を備えることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記検出下限を算出する際のパラメータをユーザが入力設定するための入力手段をさらに備え、前記検出下限演算手段は、同一のバックグラウンド強度に対し前記入力手段により入力設定されたパラメータに応じて異なる検出下限値を求めることを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析装置。
- 前記検出下限演算手段は計算により求めた検出下限が与えられた規制値・管理値に収まるような測定時間を算出し、前記出力制御手段はその測定時間の算出結果を提示することを特徴とする請求項1又は2に記載の蛍光X線分析装置。
- 前記励起線はX線管から出射される一次X線であって、前記検出下限演算手段は計算により求めた検出下限が与えられた規制値・管理値に収まるようなX線管の管電流を算出し、前記出力制御手段はその管電流の算出結果を提示することを特徴とする請求項1又は2に記載の蛍光X線分析装置。
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