JP2013208835A - 液滴噴射装置及び圧電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータ22は、厚み方向に積層された第1圧電層35及び第2圧電層36と、第1圧電層35と第2圧電層36の間に配置された内側電極40と、第1圧電層35の第2圧電層36と反対側の面の、内側電極40と対向する領域に配置された第1外側電極41と、第2圧電層36の第1圧電層35と反対側の面の、内側電極40と対向する領域に配置された第2外側電極42を備えている。内側電極40と第1圧電層35との間には、第1低誘電部45が圧力室24の中央部と対向して配置されている。内側電極40と第2圧電層36との間には、第2低誘電部46が圧力室24の外縁部と対向して配置されている。
【選択図】 図7
Description
前記圧電アクチュエータは、互いに積層され、且つ、前記圧力室を覆う第1圧電層及び第2圧電層と、前記第1圧電層と前記第2圧電層の間において、前記圧力室と対向して配置された内側電極と、前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第1外側電極と、前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第2外側電極と、前記内側電極又は前記第1外側電極と前記第1圧電層との間において 前記圧力室の中央部と対向して配置された、前記第1圧電層よりも誘電率が低い第1低誘電部と、前記内側電極又は前記第2外側電極と前記第2圧電層との間において、前記圧力室の前記中央部よりも外縁に近い部分と対向して配置された、前記第2圧電層よりも誘電率が低い第2低誘電部と、を備え、前記駆動装置は、前記内側電極と、前記第1外側電極及び前記第2外側電極との間に、所定の電位差を発生させることを特徴とするものである。
インク分離膜30が導電性材料で形成されている場合は、図11に示すように、インク分離膜30を第2共通電極34として兼用し、第2共通電極34が省略されてもよい。
インク分離膜30は、圧電アクチュエータ22の動作に必須の構成ではなく省略可能である。例えば、図12に示すように、流路ユニット20に第2圧電シート32が直接接合されてもよい。
図13に示すように、流路ユニット20側から、第1圧電層35、第2圧電層36の順に積層されてもよい。この場合は、第1圧電層35及び第2圧電層36に電圧V0が印加されたときには、上側の第2圧電層36では中央部36bが変形する一方で、下側の第1圧電層35では外縁部35bが変形する。従って、図13に二点鎖線で示すように、圧電アクチュエータ22は、全体として、流路ユニット20側に凸となるように変形する。
各圧電アクチュエータ22において、第1外側電極41と第2外側電極42をドライバIC51から駆動信号が印加される駆動電極とし、内側電極40を定電圧電極としてもよい。例えば、図14では、第1外側電極41と第2外側電極42とが、第1圧電層35及び第2圧電層36のスルーホール80に充填された導電性材料によって導通している。そして、圧電アクチュエータ22の上面の、第1外側電極41と第2外側電極42とに導通した接続端子81が、ドライバIC51が実装されたCOF50と接続されることで、ドライバIC51から第1外側電極41と第2外側電極42にそれぞれ駆動信号が印加される。また、内側電極40は、これに導通した接続端子82が、COF50のグランド配線と接続されることによりグランド電位に保持される。
前記実施形態では、複数の圧電アクチュエータ22の第1圧電層35及び第2圧電層36がそれぞれ繋がって一体的に構成されていたが、図15に示すように、複数の圧電アクチュエータ22の第1圧電層35及び第2圧電層36が、それぞれ分離されていてもよい。尚、この図15の構成においては、第1圧電層35と第2圧電層36の側面に形成された、導電ペーストからなる電極接続部84によって、第1外側電極41と第2外側電極42とが導通されている。また、内側電極40が駆動信号が印加される駆動電極であってもよいし、外側電極41,42が駆動電極であってもよい。
本発明においては、圧力室24の中央部と対向して配置される第1低誘電部45に対して、第2低誘電部46が圧力室24の外縁に近い位置に配置され、圧電アクチュエータ22の外縁部を自発的に変形させることによって、変形効率の向上を実現する。この観点からは、第2低誘電部46は、第1低誘電部45よりも圧力室24の外縁に近い位置にあればよいのであり、第2低誘電部46が、前記実施形態のように、第1低誘電部45を取り囲むように配置されている必要はない。言い換えれば、第2低誘電部46が、第2圧電層36の外縁部36bのうちの、一部にのみ配置されてもよい。
第1圧電層35と第2圧電層36の間に、他の層が介在していてもよい。例えば、図17に示すように、第1圧電層35と第2圧電層36とが、別の圧電層85を挟んで積層されてもよい。
図18に示すように、第1低誘電部45と第2低誘電部46が同一平面上に存在して1つの低誘電層86を構成していてもよい。この場合、内側電極40は、低誘電層76の上側に位置する第1部分40aと、低誘電層86の下側に位置する第2部分40bとに分離され、第1部分40aと第2部分40bは異なる平面上に配置される。
図19に示すように、低誘電部45,46は、圧電層35,36と外側電極41,42との間に配置されてもよい。この構成においても、圧電層35,36の、低誘電部45,46が存在する部分には電界がほとんど作用せず、低誘電部45,46が存在しない部分にのみ収縮が生じる。
図20に示すように、第1低誘電部45及び第2低誘電部46が、空洞部であってもよい。空洞部内の空気の誘電率は真空の誘電率(8.85×10−12F/m)とほぼ等しく、PZTと比べるとかなり低い。そのため、図20の空洞部は、本発明の低誘電部45,46としての機能を発揮することができる。
4 インクジェットヘッド
16 ノズル
20 流路ユニット
22 圧電アクチュエータ
24 圧力室
33 第1共通電極
34 第2共通電極
35 第1圧電層
36 第2圧電層
40 内側電極
41 第1外側電極
42 第2外側電極
43 電極接続部
45 第1低誘電部
46 第2低誘電部
51 ドライバIC
76 低誘電層
Claims (11)
- ノズルと前記ノズルに連通する圧力室を含む液体流路が形成された流路構造体と、
前記流路構造体に前記圧力室を覆うように配置される圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動する駆動装置と、を有し、
前記圧電アクチュエータは、
厚み方向に積層され、且つ、前記圧力室を覆う第1圧電層及び第2圧電層と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層の間において、前記圧力室と対向して配置された内側電極と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第1外側電極と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第2外側電極と、
前記内側電極又は前記第1外側電極と前記第1圧電層との間において 前記圧力室の中央部と対向して配置された、前記第1圧電層よりも誘電率が低い第1低誘電部と、
前記内側電極又は前記第2外側電極と前記第2圧電層との間において、前記圧力室の前記中央部よりも外縁に近い部分と対向して配置された、前記第2圧電層よりも誘電率が低い第2低誘電部と、を備え、
前記駆動装置は、前記内側電極と、前記第1外側電極及び前記第2外側電極との間に、所定の電位差を発生させることを特徴とする液滴噴射装置。 - 前記第1低誘電部は、前記内側電極と前記第1圧電層との間に配置され、
前記第2低誘電部は、前記内側電極と前記第2圧電層との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。 - 前記内側電極の、前記圧力室の中央部と対向する部分と、前記圧力室の中央部よりも外縁に近い部分と対向する部分とが、前記第1圧電層と前記第2圧電層の間において、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の液滴噴射装置。
- 前記第1外側電極及び前記第2外側電極は、それぞれ所定の定電圧が印加される定電圧電極であり、
前記内側電極は、駆動信号が印加される駆動電極であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液滴噴射装置。 - 前記流路構造体は、複数の前記圧力室を有し、
前記複数の圧力室に対して複数の前記圧電アクチュエータがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液滴噴射装置。 - 前記複数の圧電アクチュエータの前記第1外側電極が、互いに導通して第1共通電極を構成し、
前記複数の圧電アクチュエータの前記第2外側電極も、互いに導通して第2共通電極を構成し、
前記第1共通電極と前記第2共通電極とを接続する電極接続部を有し、
前記第1共通電極と前記第2共通電極が、それぞれ所定の定電圧が印加されるグランド電極であり、
前記内側電極は、駆動信号が印加される駆動電極であることを特徴とする請求項5に記載の液滴噴射装置。 - 前記複数の圧電アクチュエータの、複数の前記第1圧電層が一体的に構成され、
前記複数の圧電アクチュエータの、複数の前記第2圧電層も一体的に構成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の液滴噴射装置。 - 前記第1圧電層と前記第2圧電層は、前記流路構造体側から、前記第2圧電層、第1圧電層の順に積層されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の液滴噴射装置。
- 前記第2低誘電部は、前記第1圧電層と前記第2圧電層の積層方向と直交する方向において、前記第1低誘電部を挟むように配置されていることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の液滴噴射装置。
- 前記第2低誘電部は、前記第1低誘電部を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項9に記載の液滴噴射装置。
- 互いに積層された第1圧電層及び第2圧電層と、
前記第1圧電層と前記第2圧電層の間に配置された内側電極と、
前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第1外側電極と、
前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面の、前記内側電極と対向する領域に配置された第2外側電極と、
前記内側電極又は前記第1外側電極と前記第1圧電層との間において、前記内側電極の中央部と対向して配置された、前記第1圧電層よりも誘電率が低い第1低誘電部と、
前記内側電極又は前記第2外側電極と前記第2圧電層との間において、前記内側電極の前記中央部よりも外側の部分と対向して配置された、前記第2圧電層よりも誘電率が低い第2低誘電部と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
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