JP2013207006A - 貫通電極付き配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材1と、基材を厚さ方向に貫通する複数の貫通電極10とを備える貫通電極付き配線基板100において、貫通電極の少なくとも一つは、厚さ方向の端部にそれぞれ設けられた第一大径部12および第二大径部13と、第一大径部と前記第二大径部とを接続するように設けられ、第一大径部および第二大径部よりも小さい径寸法を有する中間部14とを有している。
【選択図】図1
Description
また、シリコンインターポーザを半導体チップに接続する際、貫通電極上に接続用のランドを形成し、そのランド上へ再配線層を形成して電気的な接続をとる方法が用いられることもあるが、工程が増えてしまうという欠点がある。
また、前記第一大径部および前記第二大径部の径寸法は、20マイクロメートル以上であってもよい。
図1は、本実施形態の貫通電極付き配線基板(以下、単に「配線基板」と称する。)100を示す部分拡大断面図である。配線基板100は、基材1と、基材1を厚さ方向に貫通する多数の貫通電極10とを備えている。
電極層11の主材料としては、Cu、Ag、Au、Ni、Pt、Pd、Ru、Feまたはこれらの金属の少なくとも一つを含む化合物のいずれかを用いることが好ましい。これらの物質は単体又は合金として電解めっきにより容易に析出させることが可能であり、また電気特性も優れている。中でも特に電気特性やコストの両面で優れているのはCuである。
また、第一大径部12と第二大径部13の高さは、上述の接続の信頼性を十分確保しつつ、できるだけ小さく設定するのが好ましい。これにより、電極層11の形成に用いる導電性材料の使用量を削減することができるためである。
次に、基材1に貫通電極10を形成するためのスルーホール1Aを形成する。形成手段としては、例えばボッシュ法を用いると、容易にスルーホール1Aを加工することができる。すなわち、図2(b)に示すように、基材1の一方の面上に、厚さ及びパターンの異なる2種類のレジスト6、7を重ねて形成し、その後、イオンガスエッチングにより、図2(c)に示すように、開口径がレジスト6のパターンに対応した第一ビア1aを形成する。第一ビア1aの径は中間部14の径となるが、第一ビア1aを形成する際にレジスト6自身もエッチングされるため、第一ビア1a形成後のレジスト6の開口径はレジスト7と同サイズとなる。
なお、上述の例では、エッチングを用いてスルーホール1Aを形成する例を説明したが、スルーホールの形成方法はエッチングに限られず、例えば、レーザー等を用いて形成してもよい。
ケイ素に微量のホウ素をドープした厚さ200μmのp型半導体基板を基材として、スピンコート法により厚さ10μmの第一レジストを表面に塗布し、所定のパターンが描かれたフォトマスクを用いて露光・現像を行った。このとき、パターンに形成された開口の径を30μmとした。
レジストパターンが形成されたウエハ上にさらに厚さ20μmの第二レジストを塗布し、前述とは異なるパターンが描かれたフォトマスクにより露光・現像を行った。このとき形成した開口は、基材の平面視において一層目のレジストに形成された開口に重なっており、その径は50μmとした。このようにして、厚さ・パターンが異なる2種類のレジストをウエハ上に形成し、径が2段階となる開口をレジストに形成した。
1a 第一ビア
1b 第二ビア
1c 第三ビア
1A スルーホール
2 絶縁層
3 有機層
4 シード/バリア層
10 貫通電極
11 電極層
12 第一大径部
13 第二大径部
14 中間部
100 貫通電極付き配線基板
Claims (7)
- 基材と、前記基材を厚さ方向に貫通する複数の貫通電極とを備える貫通電極付き配線基板であって、
前記貫通電極の少なくとも一つは、
前記厚さ方向の端部にそれぞれ設けられた第一大径部および第二大径部と、
前記第一大径部と前記第二大径部とを接続するように設けられ、前記第一大径部および前記第二大径部よりも小さい径寸法を有する中間部と、を有する
ことを特徴とする貫通電極付き配線基板。 - 前記基材がケイ素を含む材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極付き配線基板。
- 前記第一大径部および前記第二大径部の高さは、1マイクロメートル以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の貫通電極付き配線基板。
- 前記第一大径部および前記第二大径部の径寸法は、20マイクロメートル以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の貫通電極付き配線基板。
- 前記貫通電極が、Cu、Ag、Au、Ni、Pt、Pd、Ru、Fe、およびこれらの金属の少なくとも一つを含む化合物のいずれかで形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の配線基板。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の貫通電極付き配線基板と、
前記基材上に設けられた半導体素子と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 基材と、前記基材を厚さ方向に貫通する複数の貫通電極とを備える貫通電極付き配線基板の製造方法であって、
前記基材を貫通する第一ビアを形成し、
前記第一ビアの両端に前記第一ビアよりも径寸法が大きい第二ビアおよび第三ビアを形成して前記貫通電極を形成するためのスルーホールを形成し、
前記基材表面及び前記スルーホールの内面を絶縁層で被覆し、
前記スルーホール内の前記絶縁層に触媒を担持させてメッキを行い、前記絶縁層上にシード/バリア層を形成し、
前記シード/バリア層を用いたメッキにより、前記スルーホール内に電極層を充填し、
前記基材の厚さ方向両面を研磨する
ことを特徴とする貫通電極付き配線基板の製造方法。
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