JP6056386B2 - 貫通電極付き配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図3は配線板20の一例を説明する概略的な断面図である。
配線板20は、配線基板10とは別工程で形成する。配線板20を形成する手段としては、ビルドアップ法を用いて多層配線板として形成する。
以下、本発明と先行技術文献との比較例について説明する。
Claims (6)
- SiO2を主成分とするガラス基材を用いた配線基板において、
前記ガラス基材に形成された複数の貫通孔と、
この貫通孔を含むガラス基材の表面に形成された所定厚さの金属層と、
この金属層の表面に形成され、後記する貫通電極からのリーク電流防止用の所定厚さを有する絶縁層と、
前記貫通孔部分に形成された導電性物質からなる前記貫通電極と
を備え、
前記金属層の熱伝導率は、10W・m -1 ・K -1 〜400W・m -1 ・K -1 の範囲内であり、
前記貫通電極の直径が40μm以下であることを特徴とする貫通電極付き配線基板。 - 前記貫通電極の主材料は、Cu,Ag,Au,Ni,Pt,Pd,Ru,Feの何れか一種またはこれらの金属を含む合金の何れか一種であることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極付き配線基板。
- 請求項1または請求項2に記載の貫通電極付き配線基板において、
前記配線基板の片面または両面に取り付けられ、絶縁基材に貼り付けた導体層に所望の回路構成が形成され、かつ前記配線基板から露出される前記貫通電極に接続するための貫通電極を設けた配線板を、さらに備えたことを特徴とする貫通電極付き配線基板。 - 請求項3に記載の貫通電極付き配線基板において、
前記配線板の表面に半導体素子を搭載してなることを特徴とする貫通電極付き配線基板。 - SiO2を主成分とするガラス基材を用いた配線基板の製造方法において、
前記ガラス基材に複数の貫通孔を形成する孔形成工程と、
この孔形成工程で形成された貫通孔を含む前記ガラス基材の面部に所定厚さの金属層を形成する工程と、
この工程で形成された金属層の面部にリーク電流防止用の所定厚さの絶縁層を形成する工程と、
前記貫通孔以外の部分にレジストを形成する工程と、
前記貫通孔に導電性物質を充填、または埋め込んで貫通電極とする工程と、
前記レジストを剥離する工程と
を含み、
前記金属層の熱伝導率は、10W・m -1 ・K -1 〜400W・m -1 ・K -1 の範囲内であり、
前記貫通電極の直径が40μm以下であることを特徴とする貫通電極付き配線基板の製造方法。 - 請求項5に記載の貫通電極付き配線基板の製造方法において、
絶縁基材に導電性の回路配線を施した配線板を形成する工程と、
この配線板の所定の位置に形成される貫通孔に導電性物質を充填、または埋め込んで貫通電極を形成する工程と、
前記配線基板の片面または両面から露出する貫通電極に対して、前記配線板の貫通電極を位置決めして接続する工程とを、さらに含むことを特徴とする貫通電極付き配線基板の製造方法。
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