JP2016046267A - 配線基板及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1や2と異なり簡便な手法であるといえる。しかし、この手法では電解めっきを用いて片側を選択的に塞ぐため、めっきの電流密度を表裏で大きく変える必要がある。よって、貫通電極内のめっき皮膜特性に分布が生じ、欠陥部位の発生など信頼性が大きく低下することが懸念される。
本実施形態に係る配線基板100の概念断面図を図1に示す。
図1に示すように配線基板100は、コア基材1と、コア基材1に積層され、ビア16の形成された1層以上の絶縁層13と、コア基材1および絶縁層13との間または隣接して積層された2つの絶縁層13の間に積層された1層以上の配線層12と、コア基材1に形成されたテーパー状の貫通孔と、貫通孔に導電材料を充填してなるテーパー形状の貫通電極11と、コア基材1の第1の面に貫通孔により形成される円形の第1の開口部3と、第1の面とは反対の第2の面に貫通孔により形成される、円形であって、第1の開口部より直径の小さい第2の開口部4と、第2の開口部4を覆い、かつ第2の面と第2の面に隣接して積層された絶縁層13との間に積層されたランド15とを含む。コア基材1は、ガラスを含む。第2の開口部4の直径は40μm以下である。また、コア基材1と貫通電極11、配線層12及びランド15との間には、密着層5を有する。特に一方の面には、コア基材1上に密着層5を介して配線層12を形成させている。またビルドアップ法により絶縁層13と配線層20を交互に積層させ、配線基板100を多層化させている。貫通電極11を形成する、導電材料はCu、Ag、Au、Ni、Pt、Pd、Ru、Feまたはこれらの金属を含む化合物のいずれかである
まずコア基材1に、表裏の開口部の直径が異なり、少なくとも第2の開口部4の直径が40μm以下、望ましくは20μm以下となるテーパー状の貫通孔2を形成する。形成する手段としては、レーザーやブラスト、エッチングなどを用いることができるが、タクトの短縮や良好な貫通孔をあけるためには、レーザーであることが好ましい。レーザーの種類は、例えばCO2レーザーやエキシマレーザー等を用いることができる。レーザーであけた貫通孔は、加工の原理から一般的に入射面側の直径が大きく出射面側の直径が小さいテーパー構造となる。よって、出射面の直径が40μm以下となるようにレーザー照射条件を制御すれば、目的とする貫通孔2を得ることができる。
貫通孔2を形成後、基板全面に密着層5を形成する。密着層5の材料は、ITOやZnO、SnO2などの無機酸化物の他、シランカップリング剤などの有機物も用いることができ、ガラスと配線の密着性を向上させるもの全てを含む。形成する手段としては、材料によって選択することが可能であり、スパッタや蒸着などの物理的手法、あるいは溶液系を用いるめっきやスピンコート、ディップなどを用いることができる。
次いで、シード層6からブラインドホール7までを形成する。まず、密着層5を形成した基板全面に無電解めっきを行い、シード層6を形成する。シード層6は、無電解銅めっきや無電解ニッケルめっきにより形成することができる。シード層6の厚さは問わないが、後の電解めっきを用いる配線形成工程での通電性、エッチング時間等を考慮すると、0.5〜1.5μm程度の範囲とすることが望ましい。
次に電解めっきにより、第1の面のみに配線層12を形成する。また、このとき同時に貫通電極11も形成する。方法としては、セミアディティブ法を用いることにより、ガラス上に、密着層5を介して微細な配線層12を形成できる。これは既に第1の面はシード層が形成された良好なブラインドホール8を有する構造となっているため、一般的なパッケージ基板と同様、実績のあるセミアディティブ法を用いることができるためである。
続いて第1の面のみに絶縁層13を形成する。絶縁層13はSiO2やSi3N4、エポキシ系、ポリイミド系の樹脂などを用いることができるが材料はこれらに限定しない。形成する手段としては、スピンコート、ディップ、CVD、ゾルゲル、ラミネート、印刷など多様であり、材料が液状かフィルムかによって、方法を使い分けることが可能である。また、第1の面のみに先に絶縁層13を形成することで、次工程で実施する第2の面の金属層の薄化工程において、第1の面の微細な配線パターンを保護する役目を担う。
次に第2の面の金属層10を薄化する(金属層14の形成)。薄化する手段としては、CMPやエッチングなどを用いることができる。薄化した金属層10の膜厚は特に規定はしないが、膜厚が厚すぎると次工程のランド形成工程でのハンドリング時に剥離が懸念されるため、20μm以下であることが好ましい。
第2の面に絶縁層13を形成する。方法は第1の面に絶縁層13を形成した方法と全く同様の方法を用いることができる。
次に表裏面の絶縁層13上に回路形成を行う。形成する手段としては、セミアディティブ法やサブトラクティブ法などが考えられるが、微細配線を形成させる場合、セミアディティブ法を用いることが好ましい。セミアディティブ法を用いて、まず絶縁層13上に形成する配線層20と貫通電極11を接続するため、レーザーなどにより絶縁層13にビア16をあける。このとき開口部直径が小さい第2の開口部4は、ランド15を用いて容易にアライメントあわせることができる。続いて、絶縁層13とビア16との底部及び側壁にシード層17を形成する。シード層17は、これまでの方法と同様に、無電解めっきにより形成することができる。無電解めっきの種類は限定しないが、電気特性の面から無電解銅めっきを用いることが好ましい。
まず貫通電極付き配線基板である、ガラスインターポーザの実施例を示す。
厚さ200μmの無アルカリガラスを用意し、エキシマレーザーにより大きい直径が60μm(第1の面、すなわち表面)、小さい直径が20μm(第2の面、すなわち裏面)のテーパー形状を有するスルーホール、すなわち貫通孔を形成させた。貫通孔形成後、密着層となる酸化亜鉛膜を無電解めっきにより、ガラス表裏面及びスルーホール側壁に均一に0.7μm形成させた。
2 貫通孔(スルーホール)
3 第1の開口部
4 第2の開口部
5 密着層
6 シード層(無電解めっき層)
7 保護フィルム
8 ブラインドホール
9 レジストパターン
10 金属層
11 貫通電極
12 配線層(第1の面)
13 絶縁層
14 金属層(薄化後)
15 ランド
16 ビア
17 シード層(絶縁層上)
18 レジストパターン(絶縁層上)
19 金属層(絶縁層上)
20 配線層(絶縁層上)
21 ソルダーレジスト
22 半田ボール
23 積層半導体素子
24 プリント配線基板(PCB)
100 配線基板
200 半導体装置
Claims (9)
- コア基材と、
前記コア基材に積層され、ビアの形成された1層以上の絶縁層と、
前記コア基材および前記絶縁層の間または隣接して積層された2つの前記絶縁層の間に積層された1層以上の配線層と、
前記コア基材に形成されたテーパー形状の貫通孔と、
前記貫通孔に導電材料を充填してなる貫通電極と、
前記コア基材の第1の面に前記貫通孔により形成される円形の第1の開口部と、
前記第1の面とは反対の第2の面に前記貫通孔により形成される、円形であって、前記第1の開口部より直径の小さい第2の開口部と、
前記第2の開口部を覆い、かつ前記第2の面と前記第2の面に隣接して積層された前記絶縁層との間に積層されたランドとを含む、配線基板。 - 前記コア基材が、ガラスを含む、請求項1に記載の配線基板。
- 前記第2の開口部の直径は、40μm以下である、請求項1または2に記載の配線基板。
- 前記導電材料がCu、Ag、Au、Ni、Pt、Pd、Ru、Feまたはこれらの金属を含む化合物のいずれかである、請求項1から3のいずれかに記載の配線基板。
- 前記コア基材と前記貫通電極との間、前記コア基材と前記第1の面に隣接して積層された配線層との間、および前記コア基材と前記ランドとの間にそれぞれ密着層が形成されている、請求項1から4のいずれかに記載の配線基板。
- 前記コア基材の両面に前記絶縁層と前記配線層とをそれぞれ交互に積層させ、多層化させた、請求項1から5のいずれかに記載の配線基板。
- 請求項1から5のいずれかに記載の配線基板の一方の表面に半導体素子を搭載し、前記配線基板の他方の表面をプリント配線基板に実装した、半導体装置。
- コア基材の第1の面から、前記第1の面とは反対の第2の面にかけて貫通する孔を、前記第1の面における前記貫通孔の第1の開口部の直径が、前記第2の面における前記貫通孔の第2の開口部の直径より大きくなるように形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔を形成したコア基材に密着層を形成する密着層形成工程と、
前記密着層上に無電解めっきによりシード層を形成するシード層形成工程と、
前記第1の面のみをマスクでカバーする保護工程と、
前記第2の開口部が塞がるまで無電解めっきを実施し、前記貫通孔をブラインドホールとするブラインドホール形成工程と、
前記マスクを剥がすマスク除去工程と、
前記ブラインドホールの充填と回路パターン形成を電解めっきで行う第1の面の配線形成工程と、
前記第1の面のみに絶縁層を形成する前記第1の面の絶縁層形成工程と、
前記コア基材の第2の面に形成された金属層を、事前に定めた厚さまで薄化する金属層薄化工程と、
薄化された前記金属層をパターニングして、ランドを形成するランド形成工程と、
前記第2の面に絶縁層を形成する第2の面の絶縁層形成工程と、
前記コア基材の両面の前記絶縁層の一部を除去し、前記コア基材の両面に回路パターンを形成し、下層と電気的に接続される配線層を形成する配線層形成工程とを含む、配線基板の製造方法。 - 請求項8に記載の配線基板の製造方法によって配線基板を製造する工程と、、
最表面に積層された配線層を覆うように絶縁層を形成し、前記絶縁層にビアを形成し、前記絶縁層上に前記ビアを介して前記配線層と電気的に接続される配線層をさらに形成する工程を1回以上繰り返す多層化工程と、
前記コア基材に積層された配線層の一方の最表面に半導体素子を搭載する半導体素子実装工程と、
前記コア基材に積層された配線層の他方の最表面をプリント配線基板に実装する半導体装置形成工程とを含む、半導体装置の製造方法。
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