JP2013169685A - 表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013169685A JP2013169685A JP2012034384A JP2012034384A JP2013169685A JP 2013169685 A JP2013169685 A JP 2013169685A JP 2012034384 A JP2012034384 A JP 2012034384A JP 2012034384 A JP2012034384 A JP 2012034384A JP 2013169685 A JP2013169685 A JP 2013169685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- thermoplastic resin
- semiconductor substrate
- surface protective
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
【解決手段】周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’A(25)が、1×107Pa以上である熱可塑性樹脂Aを含有する吸収層1を含み、前記熱可塑性樹脂Aは、周波数1.6Hzで測定した貯蔵弾性率G’Aが極小となる極小温度(TA)を有し、前記極小温度(TA)、前記熱可塑性樹脂Aのガラス転移温度(Tg)、及び前記熱可塑性樹脂Aの溶融温度(Tm)が、下記式を満たす、表面保護フィルムとする。Tg≦TA<Tm
【選択図】図1
Description
[1]周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’A(25)が、1×107Pa以上である熱可塑性樹脂Aを含有する吸収層を含む表面保護フィルムであって、前記熱可塑性樹脂Aは、周波数1.6Hzで測定した貯蔵弾性率G’Aが極小となる極小温度(TA)を有し、前記極小温度(TA)、前記熱可塑性樹脂Aのガラス転移温度(Tg)、及び前記熱可塑性樹脂Aの溶融温度(Tm)が、下記式を満たす、表面保護フィルム。
Tg ≦ TA < Tm
[3]前記熱可塑性樹脂Aが、4−メチル−1−ペンテンに由来する構成単位を70〜90モル%、炭素原子数2または3のα―オレフィンに由来する構成単位を10〜30モル%、4−メチル−1−ペンテンを除く炭素数4〜20のα−オレフィンに由来する構成単位を0〜10モル%含む共重合体である、[1]または[2]に記載の表面保護フィルム。
[4]前記熱可塑性樹脂Aが、4−メチル−1−ペンテンに由来する構成単位を75〜87モル%含む、[3]に記載の表面保護フィルム。
[5]半導体基板の研削時に、半導体基板の回路形成面を保護する表面保護フィルムであり、周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’B(25)が、5×107Pa以上である基材層をさらに含む、[1]〜[4]のいずれかに記載の表面保護フィルム。
[6]前記吸収層の前記基材層の形成面とは反対側の面に形成された粘着層を含む、[5]に記載の表面保護フィルム。
[7]前記吸収層と前記粘着層との間に、周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’C(25)が8×106Pa以下である、[6]に記載の表面保護フィルム。
[8]一方の面のみに回路が形成された半導体基板を準備する準備工程と、前記半導体基板の回路形成面に、[6]または[7]に記載の表面保護フィルムの前記粘着層を貼着する貼着工程と、前記半導体基板の回路非形成面を研削する研削工程と、前記表面保護フィルムを、前記半導体基板の前記回路形成面から剥離する剥離工程と含む、半導体装置の製造方法。
[9]前記研削工程中に、前記半導体基板の温度が、前記吸収層の極小温度(TA)を超える、[8]に記載の半導体装置の製造方法。
本発明の表面保護フィルムは、各種樹脂製品、金属製品、ガラス製品等の傷付きや、塵の付着を防止するためのフィルム、もしくは半導体基板研削時に、回路形成面を保護するためのフィルムである。
本発明の表面保護フィルムには、特定の熱可塑性樹脂Aを含む吸収層3が含まれる。熱可塑性樹脂Aは、周波数1.6Hzで温度を変化させながら動的粘弾性を測定した際に、貯蔵弾性率G’Aが極小となる極小温度(TA)を有する。熱可塑性樹脂Aは、表面保護フィルムの製造直後、保管中、及び使用時のいずれかの時に上記極小温度(TA)を有していればよいが、特に表面保護フィルムの使用時に上記極小温度(TA)を有することが好ましい。
Tg ≦ TA < Tm
熱可塑性樹脂Aの極小温度(TA)は、70℃以下であることがより好ましく、さらに好ましくは、20〜65℃である。熱可塑性樹脂Aの極小温度(TA)が高すぎると、異物31を吸収層1で包み込むために、高温まで加熱しなければならず、被保護部材21に悪影響を及ぼす可能性がある。上記極小温度(TA)は、熱可塑性樹脂Aを構成するコモノマー種およびコモノマー量を調整すること等で調整できる。
本発明の表面保護フィルムは、被保護部材に貼着するための粘着層が含まれることが好ましい。
本発明の表面保護フィルムには、弾性率の高い基材層が含まれてもよい。基材層は、通常、前述の吸収層の一方の面に積層される。表面保護フィルムに基材が含まれると、表面保護フィルムの変形が防止される。
本発明の表面保護フィルムには、吸収層と粘着層との間に、弾性率の低いその他の層が含まれていてもよい。その他の層の弾性率は、吸収層の弾性率より低いことが好ましい。具体的には、周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’C(25)が8×106Pa以下であることが好ましく、より好ましくは1×104〜8×106Paである。その他の層の貯蔵弾性率G’C(25)が8×106Paを超えると、表面保護フィルムと被保護部材との間に入り込んだ異物を、吸収層が包み込むことを阻害する可能性がある。
本発明の表面保護フィルムは特に制限されない。例えば、基材層、吸収層、及び粘着層が含まれる表面保護フィルムは、1)基材層及び吸収層を積層し、さらに2)吸収層上に粘着層を形成して得られる。
本発明の表面保護フィルムは、建材や光学部品等の各種樹脂製品、金属製品、ガラス製品等の輸送時、保管時、加工時の傷付き防止や、防塵を目的として、これらの表面に貼着されるフィルムでありうる。本発明の表面保護フィルムは、表面保護フィルムと被保護部材との間に異物が入り込んだ場合、吸収層の極小温度(TA)以上n温度まで加温して、異物を吸収層で包み込むことが好ましい。
本発明の半導体装置の製造方法は、一方の面のみに回路が形成された半導体基板を準備する準備工程と、前記半導体基板の回路形成面に、前述の表面保護フィルムの粘着層を貼着する貼着工程と、半導体基板の回路非形成面を研削する研削工程と、表面保護フィルムを、前記半導体基板の前記回路形成面から剥離する剥離工程とを含む。
(合成例1)熱可塑性樹脂A−1の調製
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃で4−メチル−1−ペンテンを750ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温30℃まで加熱し、全圧が0.12MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.005mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を130℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは45.9gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は88mol%、プロピレン含量は12mol%であった。ポリマーの融点(Tm)は145℃であり、極限粘度[η]は1.7dl/gであった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃でノルマルヘキサン300ml(乾燥窒素雰囲気、活性アルミナ上で乾燥したもの)、4−メチル−1−ペンテンを450ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温60℃まで加熱し、全圧が0.19MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは44.0gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は85mol%、プロピレン含量は15mol%であった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃でノルマルヘキサン300ml(乾燥窒素雰囲気、活性アルミナ上で乾燥したもの)、4−メチル−1−ペンテンを450ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温60℃まで加熱し、全圧が0.28MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは32.5gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は80mol%、プロピレン含量は20mol%であった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃で4−メチル−1−ペンテンを750ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温60℃まで加熱し、全圧が0.11MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは23.9gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は80mol%、プロピレン含量は20mol%であった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃で4−メチル−1−ペンテンを750ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温60℃まで加熱し、全圧が0.13MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは36.9gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は71.9mol%、プロピレン含量は28.1mol%であった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃で4−メチル−1−ペンテンを750ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温60℃まで加熱し、全圧が0.15MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは36.9gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は70.9mol%、プロピレン含量は29.1mol%であった。
充分窒素置換した容量1.5リットルの攪拌翼付SUS製オートクレーブに、23℃で4−メチル−1−ペンテンを750ml装入した。このオートクレーブに、トリイソブチルアルミニウム(TIBAL)の1.0mmol/mlトルエン溶液を0.75ml装入し攪拌機を回した。
次に、オートクレーブを内温30℃まで加熱し、全圧が0.20MPa(ゲージ圧)となるようにプロピレンで加圧した。続いて、予め調製しておいたメチルアルミノキサンをAl換算で1mmol、ジフェニルメチレン(1−エチル−3−t−ブチル−シクロペンタジエニル)(2,7−ジ−t−ブチル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリドを0.01mmolを含むトルエン溶液0.34mlを窒素でオートクレーブに圧入し、重合を開始した。重合反応中、オートクレーブ内温が60℃になるように温度調整した。重合開始60分後、オートクレーブにメタノール5mlを窒素で圧入し重合を停止し、オートクレーブを大気圧まで脱圧した。反応溶液にアセトンを攪拌しながら注いだ。
得られた溶媒を含むパウダー状の重合体を100℃、減圧下で12時間乾燥した。得られたポリマーは36.9gで、ポリマー中の4−メチル−1−ペンテン含量は60mol%、プロピレン含量は40mol%であった。
アクリル酸エチル48重量部、アクリル酸−2−エチルヘキシル27重量部、アクリル酸メチル20重量部、メタクリル酸グリシジル5重量部、及び重合開始剤としてベンゾイルパーオキサイド0.5重量部を混合し、トルエン65重量部、酢酸エチル50重量部が入った窒素置換フラスコ中に撹拌しながら80℃で5時間かけて滴下し、さらに5時間撹拌して反応させた。反応終了後、冷却し、これにキシレン25重量部、アクリル酸2.5重量部、及びテトラデシルベンジルアンモニウムクロライド1.5重量部を加え、空気を吹き込みながら80℃で10時間反応させ、光重合性炭素−炭素二重結合が導入されたアクリル酸エステル共重合体溶液を得た。この溶液に、共重合体(固形分)100重量部に対して光開始剤としてベンゾイン7重量部、イソシアネート系架橋剤(三井化学ポリウレタン(株)製、商品名:オレスターP49−75S)1.0重量部、1分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を2個以上有する低分子量化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(東亜合成化学工業(株)製、商品名:アロニックスM−400)5重量部を添加し、トルエン及び酢酸エチルにより塗布に適した粘度に調製して粘着剤塗布液Nを得た。
熱可塑性樹脂A−1を、単軸単層押出機により、下記条件で厚さ160μmのフィルム状に製膜した。
(単軸単層押出機条件)
シリンダー温度:230〜250℃
アダプター温度:230〜250℃
Tダイ温度:230〜250℃
キャスティングロール温度:20℃
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−2とした以外は、実施例1と同様に吸収層を作製した。この吸収層を、実施例1と同様に基材層と積層した。続いて、吸収層の基材層ラミネート面と反対側の面に前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ20μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
吸収層の厚さを120μmとし、粘着層の厚さを5μmとした以外は、実施例2と同様に表面保護フィルムを得た。
吸収層の厚さを70μmとし、粘着層の厚さを5μmとした以外は、実施例2と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−3とした以外は、実施例1と同様に吸収層を作製した。この吸収層に、実施例1と同様に基材層を積層した。続いて、吸収層の基材層ラミネート面と反対側の面に前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ5μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−4とした以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−5とした以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−6とした以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂Aを熱可塑性樹脂A−7とした以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂AをEV460(三井・デュポンポリケミカル株式会社製)とし、厚さを120μmとした以外は、実施例1と同様に吸収層を作製した。この吸収層を、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム:(厚さ25μm、帝人デュポンフィルム株式会社製、テオネックスQ81)に積層した。続いて、吸収層の基材層ラミネート面と反対の面に前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ20μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂AをEV460(三井・デュポンポリケミカル株式会社製)とし、厚さを70μmとした以外は、実施例1と同様に吸収層を作製した。この吸収層を、基材層(ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム:(厚さ50μm、帝人デュポンフィルム株式会社製、テトロンGEC))にドライラミネートした。続いて、吸収層上に前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ50μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
実施例5と同様に、吸収層を作製した。この吸収層の一方の面に、前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ40μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
基材層を積層しなかった以外は、実施例1と同様に表面保護フィルムを得た。
熱可塑性樹脂AをEV460(三井・デュポンポリケミカル株式会社製)とし、厚さを120μmとした以外は、実施例1と同様に吸収層を作製した。この吸収層の一方の面に前記粘着剤塗布液Nをコンマコーターにより、厚さ10μmとなるように塗工した。塗工後、60℃において24時間加熱し、これを室温まで冷却して粘着層として、表面保護フィルムを得た。
実施例及び比較例に使用した熱可塑性樹脂の密度、メルトフローレート、吸収層の貯蔵弾性率G’A、損失弾性率G”A、及び損失正接tanδ(G”A/G’A)、基材層の引張弾性率を下記の方法で測定した。また、実施例及び比較例で作製した表面保護フィルムを、半導体基板に貼着し、半導体基板の研削を行った場合の、半導体基板の割れ及び反りを評価した。これらの結果を、表1及び表2に示す。
各実施例及び比較例で用いた熱可塑性樹脂について、メルトフローレート(MFR)をASTM D1238に準じ、荷重2.16kg、温度230℃の条件で測定した。
各実施例及び比較例で用いた熱可塑性樹脂について、融点(Tm)を、セイコーインスツルメンツ社製DSC測定装置(DSC220C)を用い、測定用アルミパンに約5mgの試料をつめて、100℃/minで200℃まで昇温し、200℃で5分間保持した後、10℃/minで−50℃まで降温させた時の結晶溶融ピークのピーク頂点から融点(Tm)を算出した。
各実施例及び比較例で用いた熱可塑性樹脂について、密度をJIS K7112の密度勾配管法に従って測定した。
各実施例及び比較例で用いた吸収層について、貯蔵弾性率G’A、損失弾性率G”A、及び損失正接tanδ(G”A/G’A)を測定した。これらは、動的粘弾性装置(商品名「RSA−II」、ティー・エイ・インスツルメント社製)を使用し、−40℃から160℃まで0.4℃/分の速度で昇温しながら測定周波数1.6HzでフィルムのMD方向の弾性率を測定した。またtanδが最大となる温度からガラス転移温度(Tg)を算出した。25℃におけるG’A(25)、G”A(25)、tanδ(25)、60℃におけるG’A(60)、G”A(60)、tanδ(60)、極小温度(TA)、極小温度(TA)におけるG’A(TA)、ガラス転移温度(Tg)を表1及び表2に記載する。
実施例及び比較例で用いた基材層と同様のフィルムから試験片を切り出し、JIS K 6301−2に準拠し、200mm/minにて引張試験を行い23℃での引張弾性率を測定した。
ミラーウエハ(8インチコインロールウエハ(SUMCO社製)の一方の面に、100μmガラスビーズ(SPL−100、UNION社製)を、3個配置した。ミラーウエハのガラスビーズを配置した面に、実施例または比較例で作製した表面保護フィルムを貼着した。表面保護フィルムは、ウエハ貼り付け装置(DR−3000、日東電工社製)で貼着した。貼着温度は23℃とした。
研削後、ミラーウエハの厚さが50μmであるときの半導体基板の割れ、ミラーウエハの厚さが20μmであるときの半導体基板の割れ及び反り、ミラーウエハの厚さが15μmであるときの半導体基板の割れをそれぞれ観察し、下記のように評価した。
ミラーウエハ3枚研削(合計9個のビーズで評価)したときの、割れを観察し、以下のように評価した。
割れ無し率が70%:A
割れ無し率が50%以上70%未満:B
割れ無し率が35%以上50%未満:C
割れ無し率が35%未満:D
研削後の半導体基板を、水平面上に載置したとき、ミラーウエハと水平面との隙間の最大距離を測定し、以下のように評価した。
最大距離が15mm以下:○(反りなし)
最大距離が15mmを超える:×(反りあり)
2 粘着層
3 基材層
21 被保護部材
31 異物
100 表面保護フィルム
Claims (9)
- 周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’A(25)が、1×107Pa以上である熱可塑性樹脂Aを含有する吸収層を含む表面保護フィルムであって、
前記熱可塑性樹脂Aは、周波数1.6Hzで測定した貯蔵弾性率G’Aが極小となる極小温度(TA)を有し、
前記極小温度(TA)、前記熱可塑性樹脂Aのガラス転移温度(Tg)、及び前記熱可塑性樹脂Aの溶融温度(Tm)が、下記式を満たす、表面保護フィルム。
Tg ≦ TA < Tm - 周波数1.6Hzで測定した前記極小温度(TA)における前記熱可塑性樹脂Aの貯蔵弾性率G’A(TA)が、8×106Pa以下である、請求項1に記載の表面保護フィルム。
- 前記熱可塑性樹脂Aが、4−メチル−1−ペンテンに由来する構成単位を70〜90モル%、炭素原子数2または3のα―オレフィンに由来する構成単位を10〜30モル%、4−メチル−1−ペンテンを除く炭素数4〜20のα−オレフィンに由来する構成単位を0〜10モル%含む共重合体である、請求項1または2に記載の表面保護フィルム。
- 前記熱可塑性樹脂Aが、4−メチル−1−ペンテンに由来する構成単位を75〜87モル%含む、請求項3に記載の表面保護フィルム。
- 半導体基板の研削時に、半導体基板の回路形成面を保護する表面保護フィルムであり、
周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’B(25)が、5×107Pa以上である基材層をさらに含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の表面保護フィルム。 - 前記吸収層の前記基材層形成面とは反対側の面に形成された粘着層を含む、請求項5に記載の表面保護フィルム。
- 前記吸収層と前記粘着層との間に、周波数1.6Hzで測定した25℃における貯蔵弾性率G’C(25)が8×106Pa以下である、請求項6に記載の表面保護フィルム。
- 一方の面のみに回路が形成された半導体基板を準備する準備工程と、
前記半導体基板の回路形成面に、請求項6または7に記載の表面保護フィルムの前記粘着層を貼着する貼着工程と、
前記半導体基板の回路非形成面を研削する研削工程と、
前記表面保護フィルムを、前記半導体基板の前記回路形成面から剥離する剥離工程と
を含む、半導体装置の製造方法。 - 前記研削工程中に、前記半導体基板の温度が、前記吸収層の極小温度(TA)を超える、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034384A JP5965664B2 (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | 表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034384A JP5965664B2 (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | 表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013169685A true JP2013169685A (ja) | 2013-09-02 |
JP2013169685A5 JP2013169685A5 (ja) | 2015-04-02 |
JP5965664B2 JP5965664B2 (ja) | 2016-08-10 |
Family
ID=49263971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012034384A Active JP5965664B2 (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | 表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5965664B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014046096A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | リンテック株式会社 | バックグラインドシート |
WO2014208564A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | 三井化学株式会社 | 応力緩和性フィルム及び半導体用表面保護フィルム |
JP2018048230A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 三井化学株式会社 | シート、フィルムおよび容器 |
JP2018076517A (ja) * | 2017-12-01 | 2018-05-17 | 三井化学株式会社 | ダイシングフィルム、半導体用表面保護フィルム、及び半導体装置の製造方法 |
WO2018155179A1 (ja) | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 三井化学株式会社 | 成形体およびその製造方法 |
JP2018195705A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | グンゼ株式会社 | バックグラインド用基体フィルム |
WO2019198694A1 (ja) | 2018-04-11 | 2019-10-17 | 三井化学株式会社 | 4-メチル-1-ペンテン系重合体粒子および4-メチル-1-ペンテン系樹脂の製造方法 |
WO2019203210A1 (ja) | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 三井化学株式会社 | 潤滑油組成物および潤滑油用粘度調整剤 |
WO2020256079A1 (ja) | 2019-06-21 | 2020-12-24 | 三井化学株式会社 | 培養材およびその用途 |
WO2022091714A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 日東電工株式会社 | 表面保護フィルム |
WO2022138101A1 (ja) | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 三井化学株式会社 | 培養部材およびその用途 |
WO2023085019A1 (ja) | 2021-11-09 | 2023-05-19 | 三井化学株式会社 | 培養容器及び培養方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030219960A1 (en) * | 2002-01-11 | 2003-11-27 | Mitsui Chemicals, Inc. | Surface protecting adhesive film for semiconductor wafer and processing method for semiconductor wafer using said adhesive film |
JP2004006630A (ja) * | 2002-01-11 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウエハの裏面加工方法 |
JP2004107644A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-04-08 | Nitto Denko Corp | 加工用粘着シートとその製造方法 |
US20040126575A1 (en) * | 2002-07-26 | 2004-07-01 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet, method for producing the same and method for using the same as well as a multi-layer sheet for use in the pressure-sensitive adhesive sheet and method for producing the same |
US20050100820A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-05-12 | Masayuki Satake | Surface protective film |
JP2005183764A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウエハの裏面加工方法 |
WO2005121192A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Mitsui Chemicals, Inc. | オレフィン系重合体およびその用途 |
US20070036930A1 (en) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet, production method thereof and method of processing articles |
US20070059903A1 (en) * | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet and method of processing articles |
WO2010047370A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 花王株式会社 | 樹脂組成物の製造方法 |
US20100255299A1 (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | Nitto Denko Corporation | Method of applying pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor wafer protection and pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor wafer protection for use in the application method |
JP2010287819A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウエハ加工用粘着テープおよびその製造方法 |
WO2011055803A1 (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | 三井化学株式会社 | 4-メチル-1-ペンテン・α-オレフィン共重合体、該共重合体を含む組成物および4-メチル-1-ペンテン共重合体組成物 |
JP2012211212A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 自己修復性高分子材料及びこれを用いた樹脂被覆物品 |
-
2012
- 2012-02-20 JP JP2012034384A patent/JP5965664B2/ja active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030219960A1 (en) * | 2002-01-11 | 2003-11-27 | Mitsui Chemicals, Inc. | Surface protecting adhesive film for semiconductor wafer and processing method for semiconductor wafer using said adhesive film |
JP2004006630A (ja) * | 2002-01-11 | 2004-01-08 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウエハの裏面加工方法 |
JP2004107644A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-04-08 | Nitto Denko Corp | 加工用粘着シートとその製造方法 |
US20040126575A1 (en) * | 2002-07-26 | 2004-07-01 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet, method for producing the same and method for using the same as well as a multi-layer sheet for use in the pressure-sensitive adhesive sheet and method for producing the same |
US20050100820A1 (en) * | 2003-10-24 | 2005-05-12 | Masayuki Satake | Surface protective film |
JP2005125659A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Nitto Denko Corp | 表面保護フィルム |
JP2005183764A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Mitsui Chemicals Inc | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウエハの裏面加工方法 |
WO2005121192A1 (ja) * | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Mitsui Chemicals, Inc. | オレフィン系重合体およびその用途 |
US20070036930A1 (en) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet, production method thereof and method of processing articles |
JP2007045965A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Nitto Denko Corp | 粘着シートとその製造方法、及び、製品の加工方法 |
US20070059903A1 (en) * | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Nitto Denko Corporation | Pressure-sensitive adhesive sheet and method of processing articles |
WO2010047370A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 花王株式会社 | 樹脂組成物の製造方法 |
US20100255299A1 (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | Nitto Denko Corporation | Method of applying pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor wafer protection and pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor wafer protection for use in the application method |
JP2010258426A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-11-11 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハ保護用粘着シートの貼り合わせ方法、及びこの貼り合わせ方法に用いる半導体ウエハ保護用粘着シート |
JP2010287819A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体ウエハ加工用粘着テープおよびその製造方法 |
WO2011055803A1 (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | 三井化学株式会社 | 4-メチル-1-ペンテン・α-オレフィン共重合体、該共重合体を含む組成物および4-メチル-1-ペンテン共重合体組成物 |
JP2012211212A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Japan Advanced Institute Of Science & Technology Hokuriku | 自己修復性高分子材料及びこれを用いた樹脂被覆物品 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014046096A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | リンテック株式会社 | バックグラインドシート |
JP5588575B1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-09-10 | リンテック株式会社 | バックグラインドシート |
KR20150058242A (ko) * | 2012-09-24 | 2015-05-28 | 린텍 가부시키가이샤 | 백 그라인드 시트 |
US9443751B2 (en) | 2012-09-24 | 2016-09-13 | Lintec Corporation | Back grinding sheet |
KR102087012B1 (ko) | 2012-09-24 | 2020-03-10 | 린텍 가부시키가이샤 | 백 그라인드 시트 |
WO2014208564A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | 三井化学株式会社 | 応力緩和性フィルム及び半導体用表面保護フィルム |
JP5965070B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2016-08-03 | 三井化学株式会社 | 応力緩和性フィルム及び半導体用表面保護フィルム |
JPWO2014208564A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-02-23 | 三井化学株式会社 | 応力緩和性フィルム及び半導体用表面保護フィルム |
JP2018048230A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 三井化学株式会社 | シート、フィルムおよび容器 |
WO2018155179A1 (ja) | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 三井化学株式会社 | 成形体およびその製造方法 |
JP2018195705A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | グンゼ株式会社 | バックグラインド用基体フィルム |
JP2018076517A (ja) * | 2017-12-01 | 2018-05-17 | 三井化学株式会社 | ダイシングフィルム、半導体用表面保護フィルム、及び半導体装置の製造方法 |
WO2019198694A1 (ja) | 2018-04-11 | 2019-10-17 | 三井化学株式会社 | 4-メチル-1-ペンテン系重合体粒子および4-メチル-1-ペンテン系樹脂の製造方法 |
US11485815B2 (en) | 2018-04-11 | 2022-11-01 | Mitsui Chemicals, Inc. | 4-methyl-1-pentene polymer particle and method for producing 4-methyl-1-pentene resin |
WO2019203210A1 (ja) | 2018-04-17 | 2019-10-24 | 三井化学株式会社 | 潤滑油組成物および潤滑油用粘度調整剤 |
US11655428B2 (en) | 2018-04-17 | 2023-05-23 | Mitsui Chemicals, Inc. | Lubricating oil compositions and lubricating oil viscosity modifiers |
WO2020256079A1 (ja) | 2019-06-21 | 2020-12-24 | 三井化学株式会社 | 培養材およびその用途 |
WO2022091714A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 日東電工株式会社 | 表面保護フィルム |
WO2022138101A1 (ja) | 2020-12-23 | 2022-06-30 | 三井化学株式会社 | 培養部材およびその用途 |
WO2023085019A1 (ja) | 2021-11-09 | 2023-05-19 | 三井化学株式会社 | 培養容器及び培養方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5965664B2 (ja) | 2016-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5965664B2 (ja) | 表面保護フィルム、これを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP4970863B2 (ja) | 被加工物の加工方法 | |
KR101350045B1 (ko) | 다이싱용 점착 시트 및 그것을 이용한 피가공물의 가공방법 | |
JP5965070B2 (ja) | 応力緩和性フィルム及び半導体用表面保護フィルム | |
TWI400311B (zh) | 壓敏性黏著劑組成物、壓敏性黏著板和使用彼之半導體晶圓背面研磨方法 | |
KR101029235B1 (ko) | 다이싱용 점착 시트 및 다이싱 방법 | |
JP6261115B2 (ja) | 粘着シート | |
KR101849785B1 (ko) | 방사선 경화형 점착제 조성물 및 점착 시트 | |
CN110272696B (zh) | 背面研磨用粘着胶带 | |
KR101046669B1 (ko) | 다이싱용 감압 접착 시트, 및 상기 시트를 사용하여 가공재를 가공하는 방법 | |
SG189515A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and semiconductor wafer surface protection film used therein | |
TW201117279A (en) | Adhesive sheet for supporting and protecting semiconductor wafer and method for grinding back of semiconductor wafer | |
TWI491701B (zh) | 再剝離性黏著片 | |
CN101831253A (zh) | 无基材压敏粘合片、其生产方法及使用其的研磨方法 | |
JP6542502B2 (ja) | 拡張性基材フィルム、ダイシングフィルム、半導体用表面保護フィルム、及び半導体装置の製造方法 | |
WO2003081653A1 (fr) | Film adhesif sensible a la pression destine a la protection de surface de plaquettes de semi-conducteurs et procede de protection de plaquettes de semi-conducteurs a l'aide de ce film | |
JP4707805B2 (ja) | 半導体ウエハ表面保護用粘着フィルム及びそれを用いる半導体ウエハ表面の保護方法 | |
JP2010092945A (ja) | 半導体ウェハ保護用粘着フィルム及びそれを用いた半導体ウェハの保護方法 | |
JP6131126B2 (ja) | 粘着シート | |
JP4266120B2 (ja) | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム及び該粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法 | |
JP2005263876A (ja) | 両面粘着シートおよび脆質部材の転写方法 | |
JP7252945B2 (ja) | 粘着性フィルムおよび電子装置の製造方法 | |
WO2015122465A1 (ja) | 半導体ウェハ表面保護用粘着フィルム、並びに粘着フィルムを用いる半導体ウェハの保護方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2011077235A (ja) | 素子保持用粘着シートおよび素子の製造方法 | |
JP2019145575A (ja) | マスキング材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150212 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160704 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5965664 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |