JP2013082620A - フッ化物結晶成形体からなる光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 219
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 101
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 80
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 29
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 111
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 7
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002585 base Substances 0.000 description 95
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 47
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 29
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 29
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 17
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 8
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005162 X-ray Laue diffraction Methods 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 241000501754 Astronotus ocellatus Species 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);trifluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[Ce+3] QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010338 mechanical breakdown Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- BYMUNNMMXKDFEZ-UHFFFAOYSA-K trifluorolanthanum Chemical compound F[La](F)F BYMUNNMMXKDFEZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229940105963 yttrium fluoride Drugs 0.000 description 1
- RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K yttrium(iii) fluoride Chemical compound F[Y](F)F RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F11/00—Compounds of calcium, strontium, or barium
- C01F11/20—Halides
- C01F11/22—Fluorides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/12—Halides
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- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B33/02—Heat treatment
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Thermal Sciences (AREA)
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】フッ化物結晶成形体からなる光学部材は、172nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が90%以上であり、少なくとも一方向の断面の面積が350×350mm以上である。また、146nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が85%以上である。さらに、126nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が65%以上である。
【選択図】図3
Description
OPTICAL ENGINEERING, Vol.18 No.6, Nov.-Dec.1979, P602-609
T≧970℃ かつ P≧13.9MN/m2 かつ -22.3×P(MN/m2)+1435 < T(℃)・・・(2)
T≧968℃ かつ P≧20.8MN/m2 かつ -0.289×P(MN/m2)+976 < T(℃)・・・(3)
T≧883℃ かつ P≧27.7MN/m2 かつ -12.2×P(MN/m2)+1306 < T(℃)・・・(4)
<フッ化カルシウム結晶母材の準備>
ブリッジマン法で育成された実質的に単結晶体であるフッ化カルシウムインゴットを用意し、その一部から、直径30mm厚さ10mmの円柱形状のサンプルを切り出した。このサンプルの厚さ方向の向かい合う2面を、平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング6本以内、片面ごとの表面粗さ(rms)が10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、さらに表面吸収の原因となる研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
図1に示すような成形装置を用いて、結晶母材11の成形を行った。
図6に示すように、得られた結晶成形体51の周辺部から直径30mm厚さ10mmの成形サンプル53を採取した。この成形サンプル53の厚さ方向に向かい合う2面を、平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング6本以内、片面ごとの表面粗さ(rms)が10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、更に、表面吸収の原因となる研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
得られた成形体から、350mm角の窓材50を切り出し、図2に示すような紫外線洗浄装置の開口50に窓材50として装着した。この紫外線洗浄装置を用いて、洗浄対象物に、紫外線を窓材50を介して照射することで洗浄することができた。
フッ化カルシウム結晶母材11に負荷する荷重を変えた他は、実施例1と同様にして、用意した5つのフッ化カルシウム結晶母材(No.1−No.5)を5種類の荷重の下で成形した。これらの荷重での成形条件について、元の結晶母材11の形状と変形量とから結晶母材11の受圧面積を算出し、この受圧面積と加圧ロッド25に負荷されている荷重とから各時点における圧力を算出した。そして単位時間当たりの変形量が最大となったときの温度(最大変形温度)と圧力を5つの結晶母材No.1−5について以下の表に示す。
◆で示し、それらの点から最小二乗法による近似直線Fを作成した。なお、結晶
母材の変形が進むと、一定荷重を受けている結晶母材の部分の面積が増加するので、圧力は徐々に低下する。それゆえ、変形(成形)完了時点の圧力と温度を図7に点■で示し、それらの点から最小二乗法による近似直線Lを作成した。
−11.5×P(MN/m2)+1285=T(℃)・・・(5)
970≦T≦1125(℃):
−22.3×P(MN/m2)+1435=T(℃)・・・(6)
968≦T≦970(℃):
−0.289×P(MN/m2)+976=T(℃)・・・(7)
883≦T≦968(℃):
−12.2×P(MN/m2)+1306=T(℃) ・・・(8)
実施例3ではフッ化カルシウム結晶母材11を1050℃に加熱した後、38tonの荷重を負荷し、温度及び荷重を一定に保ったまま結晶母材11を目的形状まで連続的に変形させた。このとき変形開始時の圧力は21.1MN/m2であった。この圧力及び温度の値を図8に示した(Ex.3)。その他の条件は実施例1と同様にして、結晶成形体51を作製し、得られた結晶成形体51から成形体測定用サンプル53を作製した。
実施例4では結晶母材11を1100℃に加熱した後、27tonの荷重を負荷し、温度及び荷重を一定に保ったまま結晶母材11を目的形状まで連続的に変形させた。このとき変形開始時の圧力は15.0MN/m2であった。この圧力及び温度の値を図8に示した(Ex.4)。その他の条件は実施例1と同様にして、結晶成形体51を作製し、得られた結晶成形体51から成形体測定用サンプル53を作製した。
加熱加圧成形時の結晶母材11に負荷する圧力及び温度を、比較例1では600℃、38ton、比較例2では600℃、76tonとした他は、実施例3と同様にして、結晶成形体51を作製し、得られた結晶成形体51から成形体測定用サンプル53を作製した。変形開始時の圧力は比較例1では21.1MN/m2であり、比較例2では42.2MN/m2であった。この圧力及び温度の値を図8に示した(Com.1,Com.2)。
次に、直径30mm、高さ50mmのフッ化カルシウム単結晶母材から直径50mm、高さ20mmの成形体を成形し、再結晶による変形が起こっているかを確認した。
11 フッ化物結晶母材
13 成形型
17 下型
19 加圧型
23 支持部
27 加圧駆動部
33 発熱体
50 窓材
60 紫外線洗浄装置
Claims (9)
- 172nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が90%以上であり、少なくとも一方向の断面の面積が350×350mm以上であることを特徴とするフッ化物結晶成形体からなる光学部材。
- 146nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が85%以上であることを特徴とする請求項1に記載の光学部材。
- 126nmの波長における厚さ10mmあたりの光透過率が65%以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の光学部材。
- 前記断面の外周の全長が1600mm以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光学部材。
- 含有されているアルカリ金属元素及びアルカリ土類金属元素の各濃度が100wtppb以下であると共に、含有されているCr、Mn、Fe、Co、Ni、Ba、Zn、La、Ce、Pbの各濃度が50wtppb以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学部材。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学部材と、真空紫外光源とを備え、前記光学部材を前記真空紫外光源が発する真空紫外光の光路に配置したことを特徴とする光学装置。
- 前記真空紫外光源がXeエキシマランプ、Krエキシマランプ又はArエキシマランプであることを特徴とする請求項6に記載の光学装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学部材からなる窓材と、真空紫外光源とを備え、前記真空紫外光源が発する真空紫外光を前記窓材を透過して被洗浄部材に照射することを特徴とする紫外線洗浄装置。
- 前記真空紫外光源が、Xeエキシマランプ、Krエキシマランプ又はArエキシマランプであることを特徴とする請求項8に記載の紫外線洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012283977A JP5648675B2 (ja) | 2008-05-23 | 2012-12-27 | フッ化物結晶成形体からなる光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008135239 | 2008-05-23 | ||
JP2008135239 | 2008-05-23 | ||
JP2012283977A JP5648675B2 (ja) | 2008-05-23 | 2012-12-27 | フッ化物結晶成形体からなる光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010513063A Division JP5251976B2 (ja) | 2008-05-23 | 2009-05-22 | フッ化物結晶成形体の製造方法、並びに、それにより製造された光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013082620A true JP2013082620A (ja) | 2013-05-09 |
JP5648675B2 JP5648675B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=41340211
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010513063A Active JP5251976B2 (ja) | 2008-05-23 | 2009-05-22 | フッ化物結晶成形体の製造方法、並びに、それにより製造された光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
JP2012283977A Active JP5648675B2 (ja) | 2008-05-23 | 2012-12-27 | フッ化物結晶成形体からなる光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010513063A Active JP5251976B2 (ja) | 2008-05-23 | 2009-05-22 | フッ化物結晶成形体の製造方法、並びに、それにより製造された光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5251976B2 (ja) |
KR (2) | KR101330974B1 (ja) |
WO (1) | WO2009142284A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015124144A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社ニコン | フッ化カルシウム光学部材、フッ化カルシウム部材の製造方法、及びフッ化カルシウム単結晶の加工方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101330974B1 (ko) * | 2008-05-23 | 2013-11-18 | 가부시키가이샤 니콘 | 불화물 결정 성형체의 제조 방법, 그리고, 그것에 의해 제조된 광학 부재, 광학 부재를 구비하는 광학 장치 및 자외선 세정 장치 |
JP7042471B2 (ja) * | 2017-04-13 | 2022-03-28 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 無機結晶材料の加工方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59141500A (ja) * | 1983-02-01 | 1984-08-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光学部品の製造法 |
WO2009142284A1 (ja) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | 株式会社ニコン | フッ化物結晶成形体の製造方法、並びに、それにより製造された光学部材、光学部材を備える光学装置及び紫外線洗浄装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59184533A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-19 | Agency Of Ind Science & Technol | 3−5族化合物半導体結晶の処理方法 |
JPH0797277A (ja) * | 1993-08-02 | 1995-04-11 | Kyocera Corp | 酸化物超電導体の接合方法 |
JP3650872B2 (ja) * | 1998-07-15 | 2005-05-25 | 株式会社豊田中央研究所 | 結晶配向ビスマス層状ペロブスカイト型化合物及びその製造方法 |
JP2003034194A (ja) | 2001-07-23 | 2003-02-04 | Hiroshima Kasei Ltd | ウェザーストリップ |
-
2009
- 2009-05-22 KR KR1020107027598A patent/KR101330974B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-22 WO PCT/JP2009/059405 patent/WO2009142284A1/ja active Application Filing
- 2009-05-22 KR KR1020137007827A patent/KR101394781B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-22 JP JP2010513063A patent/JP5251976B2/ja active Active
-
2012
- 2012-12-27 JP JP2012283977A patent/JP5648675B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2009142284A1 (ja) | 2011-09-29 |
KR20130041369A (ko) | 2013-04-24 |
KR101394781B1 (ko) | 2014-05-15 |
KR101330974B1 (ko) | 2013-11-18 |
WO2009142284A1 (ja) | 2009-11-26 |
JP5648675B2 (ja) | 2015-01-07 |
KR20110015621A (ko) | 2011-02-16 |
JP5251976B2 (ja) | 2013-07-31 |
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