JP2012532460A - プラズマ処理ツールのためのイン・サイチュプロセス監視および制御のための方法と構成 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
Claims (20)
- プラズマ処理システムの処理チャンバ内における基板に対するレシピの実行中に自動的なイン・サイチュプロセス制御方式を実現するための構成であって、
前記レシピの前記実行中におけるセットポイントの監視を促進するために第1のセンサデータのセットを収集するように少なくとも構成された複数の制御ループセンサであって、プロセス制御ループの一部をなしている複数の制御ループセンサと、
第2のセンサデータのセットを収集するように少なくとも構成された独立センサのセットであって、前記プロセス制御ループの一部をなしていない独立センサのセットと、
前記第1のセンサデータのセットおよび前記第2のセンサデータのセットのうちの少なくとも一方を受信するように少なくとも構成されたハブと、
前記ハブに可通信式に結合され、前記第1のセンサデータのセットおよび前記第2のセンサデータのセットのうちの少なくとも一方の解析を実施するように構成された解析コンピュータであって、多量のデータを解析するための高速プロセッサを含む解析コンピュータと、
を備える構成。 - 請求項1に記載の構成であって、さらに、
前記レシピを選択するように少なくとも構成された製造設備ホストコントローラと、
与えられたレシピセットポイントのセットに基づいて前記レシピを実行するように少なくとも構成されたプロセスモジュールコントローラと、
前記製造設備ホストコントローラおよび前記解析コンピュータのうちの少なくとも一方に、前記レシピに統合可能な測定データを提供するように構成された計測ツールのセットと、
を備える構成。 - 請求項1に記載の構成であって、
前記独立センサのセットによって収集される前記第2のセンサデータのセットは、前記複数の制御ループセンサによって既に収集されたデータの少なくとも部分セットを含むように構成される、構成。 - 請求項1に記載の構成であって、
前記独立センサのセットによって収集される前記第2のセンサデータのセットは、前記複数の制御ループセンサによって既に収集されたデータを含まないように構成される、構成。 - 請求項2に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、センサ較正データを受信するように少なくとも構成され、前記センサ較正データは、前記制御ループセンサのセットと前記独立センサのセットとの間の経験則上の関係を含む、構成。 - 請求項5に記載の構成であって、
前記センサ較正データは、チャンバにである、構成。 - 請求項5に記載の構成であって、固有なもの
前記解析コンピュータは、前記第1のセンサデータのセットを検証するために前記第2のセンサデータのセットを用いるように少なくとも構成される、構成。 - 請求項7に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、仮想センサのセットを確立するように少なくとも構成され、前記仮想センサのセットの各仮想センサは、複数のセンサから収集されるセンサデータをもとに決定される仮想パラメータのセットに関連づけられ、前記複数のセンサは、前記独立センサのセットおよび前記制御ループセンサのセットのうちの少なくとも一方からのセンサを含む、構成。 - 請求項8に記載の構成であって、
前記仮想パラメータのセットは、イオン束、イオンエネルギ、電子密度、およびエッチング速度対デポジション速度比のうちの少なくとも1つを含む、構成。 - 請求項8に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、前記仮想センサと前記第2のセンサデータのセットとの間に現象論的関係を確立するように少なくとも構成され、前記現象論的関係は、関係付けられたパラメータと、互いに基づいて導出可能なパラメータと、のうちの少なくとも一方を含む、構成。 - 請求項10に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、リアルタイム計測を提供するために仮想測定値を算出するように少なくとも構成される、構成。 - 請求項11に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、仮想センサ値のセットが既定の閾値外である場合に前記レシピを調整するために、仮想アクチュエータのセットを確立することによって、リアルタイムプロセス制御機能を提供するように少なくとも構成される、構成。 - 請求項11に記載の構成であって、
前記解析コンピュータは、前記解析からの出力を前記プロセスモジュールコントローラに送信するように構成され、前記出力は、仮想センサセットポイント調節値のセット、障害検出、分類、および複数センサ終点のうちの少なくとも1つを含む、構成。 - 請求項13に記載の構成であって、
前記仮想センサセットポイント調節値のセットは、少なくとも1つのレシピセットポイントを調節するために用いられる、構成。 - プラズマ処理システムの処理チャンバ内における基板に対するレシピの実行中に自動的なイン・サイチュプロセス制御方式を実現するための方法であって、
前記基板の基板処理のために前記レシピを読み出すことと、
制御ループセンサのセットと独立センサのセットとの間の経験則上の関係を含むセンサ較正データを解析コンピュータに提供することと、
前記レシピをレシピセットポイントのセットに調整することと、
前記レシピを実行することと、
前記制御ループセンサのセットから第1のセンサデータのセットを受信し、前記独立センサのセットから第2のセンサデータのセットを受信することと、
仮想測定値のセットを算出するために前記第1のセンサデータのセットおよび前記第2のセンサデータのセットのうちの少なくとも一方を解析することと、
前記仮想測定値のセットを既定の閾値と比較することと、
前記仮想測定値のセットが前記既定の閾値外である場合に、警告および警報のうちの少なくとも一方を生成することと、
を備える方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記解析することは、既定の時間間隔で生じる、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記仮想測定値は、現象論的モデルを適用することに基づいて算出される、方法。 - 請求項17に記載の方法であって、さらに、
前記仮想測定値のセットが前記既定の閾値外である場合に、障害の存在を決定することを備える方法。 - 請求項18に記載の方法であって、さらに、
調節レシピセットポイントのセットを決定することを備える方法。 - 請求項19に記載の方法であって、さらに、
前記レシピを調整するために仮想アクチュエータのセットを決定することを備える方法。
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