JP2012216799A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012065608A JP2012216799A (ja) | 2011-03-25 | 2012-03-22 | 機能性液体吐出装置及び機能性液体吐出方法並びにインプリントシステム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011068531 | 2011-03-25 | ||
| JP2011068531 | 2011-03-25 | ||
| JP2012065608A JP2012216799A (ja) | 2011-03-25 | 2012-03-22 | 機能性液体吐出装置及び機能性液体吐出方法並びにインプリントシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012216799A JP2012216799A (ja) | 2012-11-08 |
| JP2012216799A5 true JP2012216799A5 (https=) | 2014-05-22 |
Family
ID=46931426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012065608A Abandoned JP2012216799A (ja) | 2011-03-25 | 2012-03-22 | 機能性液体吐出装置及び機能性液体吐出方法並びにインプリントシステム |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20140285550A1 (https=) |
| EP (1) | EP2689450A4 (https=) |
| JP (1) | JP2012216799A (https=) |
| KR (1) | KR20140015406A (https=) |
| WO (1) | WO2012133728A1 (https=) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6748399B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2020-09-02 | キヤノン株式会社 | インプリント方法およびインプリント用硬化性組成物 |
| KR102152817B1 (ko) * | 2012-12-11 | 2020-09-08 | 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 | 광경화성 수지 조성물, 솔더 레지스트 및 프린트 배선판 |
| JP6429792B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2018-11-28 | 綜研化学株式会社 | ステップアンドリピート方式のインプリント技術を用いた構造体の製造方法 |
| JP6346513B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2018-06-20 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置および物品製造方法 |
| JP6530653B2 (ja) * | 2014-07-25 | 2019-06-12 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置および物品製造方法 |
| WO2016084167A1 (ja) | 2014-11-26 | 2016-06-02 | ギガフォトン株式会社 | 加振ユニット、ターゲット供給装置および極端紫外光生成システム |
| JP6623934B2 (ja) * | 2016-05-27 | 2019-12-25 | Jsr株式会社 | インプリント用感放射線性組成物及びパターン |
| JP6960239B2 (ja) * | 2017-05-08 | 2021-11-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびその制御方法 |
| JP7221642B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2023-02-14 | 芝浦機械株式会社 | 転写装置 |
| CN109709766B (zh) | 2017-10-25 | 2023-06-16 | 东芝机械株式会社 | 转印装置 |
| US11927883B2 (en) | 2018-03-30 | 2024-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus to reduce variation of physical attribute of droplets using performance characteristic of dispensers |
| JP7638824B2 (ja) * | 2021-08-19 | 2025-03-04 | 富士フイルム株式会社 | インプリント用硬化性組成物、硬化物、インプリントパターンの製造方法及びデバイスの製造方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005193221A (ja) * | 2003-02-25 | 2005-07-21 | Seiko Epson Corp | 駆動波形決定装置、電気光学装置および電子機器 |
| JP2004361234A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出評価試験装置 |
| US7281778B2 (en) * | 2004-03-15 | 2007-10-16 | Fujifilm Dimatix, Inc. | High frequency droplet ejection device and method |
| US8491076B2 (en) * | 2004-03-15 | 2013-07-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Fluid droplet ejection devices and methods |
| US7410233B2 (en) * | 2004-12-10 | 2008-08-12 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Liquid droplet ejecting apparatus and a method of driving a liquid droplet ejecting head |
| JP2006168296A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、ヘッド駆動方法および電気光学装置の製造方法 |
| US7513586B2 (en) * | 2005-03-31 | 2009-04-07 | Fujifilm Corporation | Waveform signal driven liquid ejection apparatus and image forming apparatus |
| JP2006297176A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置およびその駆動方法 |
| JP5309436B2 (ja) * | 2006-10-16 | 2013-10-09 | 日立化成株式会社 | 樹脂製微細構造物、その製造方法及び重合性樹脂組成物 |
| JP5002422B2 (ja) * | 2007-11-14 | 2012-08-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ナノプリント用樹脂スタンパ |
| JP2009233976A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | インクジェット記録による印刷物の作製方法 |
| JP5035069B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2012-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射駆動装置並びにこれを具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP2010253884A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Panasonic Corp | インクジェットによる液体の吐出方法およびインクジェット装置 |
| JP5440412B2 (ja) * | 2009-06-29 | 2014-03-12 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェット記録装置及び記録ヘッドの駆動方法 |
| JP5428970B2 (ja) * | 2009-07-13 | 2014-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置、及び、液体吐出方法 |
| JP2011071500A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | パターン転写装置及びパターン形成方法 |
| JP5699427B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2015-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射装置、及び、液体噴射装置の制御方法 |
| JP5337776B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2013-11-06 | 富士フイルム株式会社 | ナノインプリント方法およびそれを利用した基板の加工方法 |
-
2012
- 2012-03-22 JP JP2012065608A patent/JP2012216799A/ja not_active Abandoned
- 2012-03-23 WO PCT/JP2012/058504 patent/WO2012133728A1/en not_active Ceased
- 2012-03-23 KR KR1020137025335A patent/KR20140015406A/ko not_active Ceased
- 2012-03-23 EP EP12763231.3A patent/EP2689450A4/en not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-09-23 US US14/034,339 patent/US20140285550A1/en not_active Abandoned
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