JP6960239B2 - インプリント装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態に係るインプリント装置の構成例について説明する。
次に、本実施形態に係るインプリント装置101によるインプリント処理について説明する。
次に、図2を用いて吐出間隔が変化した時に吐出速度および吐出量が変動する原因を説明する。
図3を用いて、吐出間隔による吐出速度および吐出量の変動を抑えるための、本実施形態に係る駆動波形切り替えのプロセスを示す。図3(a)は、吐出間隔による駆動波形の切り替えにより基板111上に液滴302の塗布が完了したイメージを示す。図3(b)は、本実施形態のフローチャートを示す。
物品としての、半導体集積回路素子および液晶表示素子等のデバイスの製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板、ガラスプレート、フィルム状基板等の基板にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含み得る。なお、パターンドメディアや光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピューターにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (9)
- 基板上に樹脂を吐出して付与する吐出手段と、
前記吐出手段から液体を吐出する際の駆動間隔に応じた複数の駆動波形を記録する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記駆動波形に基づき、前記吐出手段を制御する制御手段と、を備えるインプリント装置であって、
前記制御手段は、基板に形成される液体のパターンから第1の吐出間隔で液体を吐出する第1の区間と、前記第1の区間に続き前記第1の吐出間隔と異なる第2の吐出間隔で液体を吐出する第2の区間と、を特定し、前記第1の区間から前記第2の区間に切り替わるときに、前記駆動波形を切り替えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記吐出手段は、前記樹脂を吐出する複数のノズルを備え、
前記複数のノズルそれぞれに対して、複数の駆動波形が用意されていることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記吐出手段は、圧電素子を利用し、
前記駆動波形は、前記圧電素子を駆動させる信号の波形を示すことを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント装置。 - 前記複数の駆動波形は、前記基板上に形成すべきパターンの形成を開始する前に、前記吐出手段よる吐出速度および吐出量を計測することで調整されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 吐出部による吐出速度および吐出量の変動が小さい場合に、前記駆動波形を切り替えない請求項4に記載のインプリント装置。
- 前記複数の駆動波形は、吐出間隔に応じた液体の吐出量および吐出速度がそれぞれ同じになる条件である請求項1に記載のインプリント装置。
- 基板を移動させる基板ステージを有し、
前記基板ステージで基板を移動させながら前記吐出手段から液体を基板に吐出させる請求項1に記載のインプリント装置。 - 基板に形成される液体のパターンごとに同じ吐出プロセスを繰り返すことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 基板上に樹脂を吐出して付与する吐出手段と、
前記吐出手段から液体を吐出する際の駆動間隔に応じた複数の駆動波形を記録する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記駆動波形に基づき、前記吐出手段を制御する制御手段と、を備えるインプリント装置における制御方法であって、
前記制御手段により、基板に形成される液体のパターンから第1の吐出間隔で液体を吐出する第1の区間と、前記第1の区間に続き前記第1の吐出間隔と異なる第2の吐出間隔で液体を吐出する第2の区間と、を特定することと、
前記制御手段により、前記第1の区間から前記第2の区間に切り替わるときに、前記駆動波形を切り替えることと、を含む、ことを特徴とする制御方法。
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