JP7079085B2 - インプリントリソグラフィのための液滴法および装置 - Google Patents
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Description
流体吐出ポートを有する流体吐出システムと、
ステージと、
論理素子と、を含み、
前記ステージ、前記流体吐出ポート、または前記ステージと前記流体吐出ポートとの組み合わせは、基板と前記流体吐出ポートとを互いに対して移動させるために適用され、
前記論理素子は、
基板上に成形可能材料を吐出するための液滴パターンを決定する処理と、
インプリント領域についての前記液滴パターンの第1部分を形成するように、第1パス中において前記基板上に前記成形可能材料を吐出するための情報を送信する処理であって、前記基板と前記流体吐出ポートとは並進方向に互いに対して移動する、処理と、
前記並進方向以外の他の方向に前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせるための情報を送信する処理であって、装置は、前記第1パス中において前記成形可能材料を吐出するための指示が行われた後に前記流体吐出ポートをオフセットさせる、処理と、
前記インプリント領域についての前記液滴パターンの第2部分を形成するように、第2パス中において前記基板上に前記成形可能材料を吐出するための情報を送信する処理であって、装置は、前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせるための指示が行われた後に前記第2パス中において前記成形可能材料を吐出する、処理と、を行う。
前記流体吐出システムは、前記基板と前記流体吐出ポートとが前記並進方向に沿って事前設定の速度で互いに対して移動しているときに、事前設定の最小ピッチで前記基板上に離間した液滴を達成するように、事前設定の周波数で前記成形可能材料の液滴を吐出するように更に構成され、
前記第1パス中、前記第2パス中、または前記第1パス中および前記第2パス中の各々において前記成形可能材料を吐出するための前記情報は、前記並進方向における液滴ピッチが前記事前設定の最小ピッチまたは前記事前設定の最小ピッチの整数倍になるように、前記成形可能材料を吐出するための特定の情報を含み、
前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせるための前記情報は、前記並進方向において、前記基板と前記流体吐出ポートとの互いに対するオフセットが、前記事前設定の最小ピッチの非整数倍である並進オフセット距離で行われる特定の情報を含む。
流体吐出ポートを有する流体吐出システムを提供する工程と、
基板上に成形可能材料を吐出するための仮想液滴パターンを決定する工程と、
第1パス中において、インプリント領域についての前記基板液滴パターンの第1部分を形成するように前記基板上に前記成形可能材料を吐出する工程であって、前記基板液滴パターンは前記仮想液滴パターンに対応し、前記基板と前記流体吐出ポートとは並進方向に互いに対して移動する、工程と、
前記並進方向以外の他の方向に前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせる工程であって、前記基板と前記流体吐出ポートとの互いに対するオフセットは、前記第1パス中において前記成形可能材料を吐出した後に行われる、工程と、
第2パス中において、前記インプリント領域についての前記基板液滴パターンの第2部分を形成するように前記基板上に前記成形可能材料を吐出する工程であって、前記第2パス中における前記成形可能材料の吐出は、前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせた後に行われる、工程と、を含む。
前記流体吐出システムを提供する工程は、前記並進方向に実質的に垂直であるラインに沿った対応ピッチで液滴を吐出するように構成された前記流体吐出ポートを有する前記流体吐出システムであって、前記ラインに実質的に垂直である前記並進方向に沿って前記基板と前記流体吐出ポートとが事前設定の速度で互いに対して移動しているときに、事前設定の最小ピッチで基板上に離間した液滴を達成するための事前設定の周波数で前記成形可能材料の液滴を吐出するように更に構成された前記流体吐出システムを提供することを更に含み、
仮想液滴パターンを決定する工程は、
前記成形可能材料を前記基板上に吐出するために事前に画定された液滴パターンを決定する工程であって、前記事前に画定された液滴パターンは、インプリントリソグラフィテンプレートのパターンに部分的に基づいており、前記事前に画定された液滴パターンは、前記並進方向に沿って前記基板と前記流体吐出ポートとが前記事前設定の速度で互いに対して移動しているときに、前記事前設定の最小ピッチまたはその整数倍で前記基板上に離間した液滴を表す、工程と、
前記事前に画定された液滴パターンに基づいて、調整液滴パターンを決定する工程であって、調整液滴パターンは、前記事前設定の最小ピッチの非整数倍で離間した液滴を表し、前記調整液滴パターンは前記仮想液滴パターンである、工程と、を含み、
前記方法は、第1および第2パス中において形成される前記基板液滴パターンを生成するように、前記基板と前記流体吐出ポートとの互いに対する調整速度を決定する工程であって、前記調整速度は、前記第1パス中、前記第2パス中、または前記第1パス中および前記第2パス中の各々における前記事前設定の速度と異なる、工程と、
前記第1パス中、前記第2パス中、または前記第1パス中および前記第2パス中の各々において、前記並進方向に前記調整速度で前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対して移動させ、前記事前設定の周波数で前記流体吐出ポートを介して前記成形可能材料を吐出する工程と、を更に含む。
流体吐出ポートを有する流体吐出システムを提供する工程と、
基板上に成形可能材料を吐出するための液滴パターンを決定する工程と、
第1パス中において、インプリント領域についての前記液滴パターンの第1部分を形成するように前記基板上に前記成形可能材料を吐出する工程であって、前記基板と前記流体吐出ポートとは並進方向に互いに対して移動する、工程と、
前記並進方向以外の他の方向に前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせる工程であって、前記基板と前記流体吐出ポートとの互いに対するオフセットは、前記第1パス中において前記成形可能材料を吐出した後に行われる、工程と、
第2パス中において、前記インプリント領域についての前記液滴パターンの第2部分を形成するように前記基板上に前記成形可能材料を吐出する工程であって、前記第2パス中における前記成形可能材料の吐出は、前記基板と前記流体吐出ポートとを互いに対してオフセットさせた後に行われる、工程と、
表面を有するテンプレートに前記成形可能材料を接触させる工程と、
前記テンプレートの前記表面に対応する層を形成するように前記成形可能材料を硬化する工程と、を含む。
Claims (11)
- 基板のインプリント領域上に成形可能材料のパターンを形成するインプリントリソグラフィのための装置であって、
前記基板に向けて前記成形可能材料の液滴を吐出する複数の流体吐出ポートを有する流体吐出システムと、
前記基板を保持するステージと、
前記成形可能材料の複数の液滴から成る液滴パターンを前記基板上に形成する処理を実行する処理部と、
を含み、
前記複数の流体吐出ポートは、第1方向に沿って所定ピッチで配列され、
前記処理は、
前記インプリント領域上に第1液滴パターンを形成するように、前記第1方向とは異なる第2方向に前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して移動させる第1パス中において前記複数の流体吐出ポートに前記成形可能材料の液滴を吐出させる第1処理と、
前記第1処理の後、前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対してオフセット距離だけ前記第1方向にオフセットさせるオフセット処理と、
前記オフセット処理の後、前記インプリント領域上に第2液滴パターンを形成するように、前記第2方向に前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して移動させる第2パス中において前記複数の流体吐出ポートに前記成形可能材料の液滴を吐出させる第2処理と、を含み、
前記オフセット距離は、前記所定ピッチの非整数倍である、ことを特徴とする装置。 - 前記インプリント領域は、前記第1方向における一方のエッジである第1エッジと、前記第1方向における他方のエッジである第2エッジとを有し、
前記処理部は、前記第1エッジから第1距離だけ内側に設定された第1目標ライン上に前記第1処理で前記成形可能材料の液滴が配置され、前記第2エッジから第2距離だけ内側に設定された第2目標ライン上に前記第2処理で前記成形可能材料の液滴が配置されるように、前記オフセット距離を決定する、ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記第1方向における第1目標ラインと前記第2目標ラインとの距離は、前記所定ピッチの非整数倍である、ことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記第2処理で前記基板上に形成される前記第2液滴パターンにおける液滴の前記第1方向のピッチは、前記第1処理で前記基板上に形成される前記第1液滴パターンにおける液滴の前記第1方向のピッチと同じである、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記オフセット処理では、前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して第2オフセット距離だけ前記第2方向に更にオフセットさせ、
前記第2オフセット距離は、前記第1処理で前記基板上に形成される前記第1液滴パターンにおける前記第2方向の液滴ピッチの非整数倍である、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。 - 前記インプリント領域は、前記第2方向における一方のエッジである第3エッジと、前記第2方向における他方のエッジである第4エッジとを有し、
前記処理部は、前記第3エッジから第3距離だけ内側に設定された第3目標ライン上に前記第1処理で前記成形可能材料の液滴が配置され、前記第4エッジから第4距離だけ内側に設定された第4目標ライン上に前記第2処理で前記成形可能材料の液滴が配置されるように、前記第2オフセット距離を決定する、ことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記処理部は、前記第2処理で前記基板上に形成される前記第2液滴パターンにおける液滴の前記第2方向のピッチが、前記第1処理で前記基板上に形成される前記第1液滴パターンにおける液滴の前記第2方向のピッチと同じになるように前記第2処理を実行する、ことを特徴とする請求項5又は6に記載の装置。
- 前記第2方向は、前記第1方向に垂直な方向である、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の装置。
- 基板のインプリント領域上に成形可能材料のパターンを形成するインプリントリソグラフィプロセスにおいて、前記基板に向けて前記成形可能材料の液滴を吐出する複数の流体吐出ポートを有する流体吐出システムを用いて、前記成形可能材料の複数の液滴から成る液滴パターンを前記基板上に形成する方法であって、
前記複数の流体吐出ポートは、第1方向に沿って所定ピッチで配列され、
前記方法は、
前記インプリント領域上に第1液滴パターンを形成するように、前記第1方向とは異なる第2方向に前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して移動させる第1パス中において前記複数の流体吐出ポートに前記成形可能材料の液滴を吐出させる第1工程と、
前記第1工程の後、前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対してオフセット距離だけ第1方向にオフセットさせるオフセット工程と、
前記オフセット工程の後、前記インプリント領域上に第2液滴パターンを形成するように、前記第2方向に前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して移動させる第2パス中において前記複数の流体吐出ポートに前記成形可能材料の液滴を吐出させる第2工程と、
を含み、
前記オフセット距離は、前記所定ピッチの非整数倍である、ことを特徴とする方法。 - 前記オフセット工程では、前記基板と前記複数の流体吐出ポートとを互いに対して第2オフセット距離だけ前記第2方向に更にオフセットさせ、
前記第2オフセット距離は、前記第1工程で前記基板上に形成される前記第1液滴パターンにおける前記第2方向の液滴ピッチの非整数倍である、ことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - 物品の製造方法であって、
請求項9又は10に記載の方法を用いて、成形可能材料の複数の液滴から成る液滴パターンを基板上に形成する工程と、
表面を有するテンプレートに前記成形可能材料を接触させる工程と、
前記テンプレートの前記表面に対応する層を形成するように前記成形可能材料を硬化する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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