JP5515516B2 - ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置 - Google Patents
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前記樹脂層に凹凸パターンを有するモールドを接触させ、前記樹脂層に、前記モールドの凹凸パターンが形成された面の反対側から前記モールドをその厚さ方向に透過するように加速した電子線を照射することにより、前記樹脂層を硬化させ、硬化した前記樹脂層と前記モールドとを引き離すことを含み、電子線は、前記樹脂層と前記モールドを引き離す際に前記樹脂層に破損が生じない程度に加速されている構成とした。
図1及び図2を参照して、モールドの第1〜第3形態を説明する。
図1は、本発明のナノインプリント方法に用いるモールドの第1形態を説明する概略図である。図1(A)はモールドを上面から見た概略図である。また、図1(B)は図1(A)のA−Aにおける断面の概略図である。モールド1は、中央に凹凸パターン2が形成されたパターン領域Xと、その周囲に存在する非パターン領域Yとによって構成される。図面ではパターン領域X及び非パターン領域Yともに矩形状に描かれているが、このような形状に限定されるものではなく、用途等に応じて適宜設定しうる。また、パターン領域X及び非パターン領域Yの面積比、配置関係についても一例であり、図に限定されるものではなく、用途等に応じて適宜設定しうる。
図2を参照してモールドの第2形態について説明する。図2は本発明のナノインプリント方法に用いるモールドの第2形態および第3形態を説明する概略図である。このうち図2(A)はモールドの第2形態を表す。第2形態では、モールド1の凹凸パターン2形成面の反対側の、パターン領域Xに対応する部位に切欠部3を備えている。切欠部3は機械的切削、研磨、エッチング等の加工方法を用いて形成される。
[条件1]
Txが電子線の利用効率を考慮した場合に、電子線照射硬化が得られるように設定されている。
[条件2]
Tyが電子線の利用効率を考慮した場合に、電子線照射硬化が十分得られないように設定されている(紫外線や熱のエネルギーよりも小さい)。
図2を参照してモールドの第3形態について説明する。図2(B)および(C)はモールドの第3形態を表す。第3形態では、モールド1の表面の少なくとも一部に導電膜4を備えている。図2(B)で示されたのは、モールド1の表面の略全体を導電膜4で覆っている形態である。モールドチャック(後述する)で凹凸パターン形成面の反対側を吸着保持する場合に好適なモールドである。
図3〜6を参照して、本発明のナノインプリントの第1〜第4形態について説明する。
図3を参照して、本発明のナノインプリント方法の第1形態を説明する。図3は本発明のナノインプリント方法の第1形態を説明する工程断面図である。基材10上に樹脂層20を形成する(図3(A)参照)。基材10は、石英やソーダライムガラス、ホウ珪酸ガラス等のガラス、シリコンやガリウム砒素、窒化ガリウム等の半導体、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂基材、あるいは、これらの材料の組み合わせからなる複合材料基材からなる。基材10の厚み、大きさは用途等に応じて適宜設定することができる。
プレポリマー、オリゴマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールの縮合物等の不飽和ポリエステル類、ポリエステルメタクリレート、ポリエーテルメタクリレート、ポリオールメタクリレート、メラミンメタクリレート等のメタクリレート類、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリオールアクリレート、メラミンアクリレート等のアクリレート、カチオン重合型エポキシ化合物等が挙げられる。
図4を参照して、本発明のナノインプリント方法の第2形態を説明する。図4は本発明のナノインプリント方法の第2形態を説明する工程断面図であり、図2(A)に図示したモールド1を用いたナノインプリント方法である。
図5を参照して、本発明のナノインプリント方法の第3形態を説明する。図5は本発明のナノインプリント方法の第3形態を説明する工程断面図であり、図5(A)は図2(B)に図示したモールド1を用いたナノインプリント方法であり、図5(B)は図2(B)に図示したモールド1を用いたナノインプリント方法である。
図6を参照して、本発明のナノインプリント方法の第4形態を説明する。図6は本発明のナノインプリント方法の第4形態を説明する工程断面図であり、電子線透過率を高くするためにモールド1を薄く(300μm〜600μmの厚み範囲)した場合に好適な方法である。
なお、基材に反りがある例を説明したが、実際にはモールドに反りがある場合もあり、そのような場合にもこの形態は有用である。
図7〜8を参照して、本発明のナノインプリント装置を説明する。図7は本発明のナノインプリント装置を説明する全体概略図である。ナノインプリント装置50は、主にナノインプリント処理を実行するための転写部51、電子線を発生させる電子線発生部70、および転写部51と電子線発生部70とを仕切る窓部73とを備えている。
モールド1、基材10は転写部51内に配置される。転写部は図7に示すようなチャンバーのような仕切られた密閉空間である。モールド1は、モールドチャック52によって保持される。モールドチャック52はモールド1の位置決めを行なうための可動式のモールドステージ53に載置されている。モールドチャック52はメカチャック式、真空吸着式等の方式によりモールド1を保持することができる。上述のように、モールドチャック52を導電性を有する構成とすれば、除電機構として用いることが可能である。モールドステージ53は、例えばXYZ軸方向の駆動と各軸まわりの回転(ωx,ωy,θ)が可能である。モールドチャック52とモールドステージ53は開口を有し、この開口を通じて電子線発生部70から発生する電子線が透過し、基材10方向へ注がれる。
次に、電子線発生部70の構成について説明する。図8は電子線発生部を説明する構成概略図である。図示した電子線発生部は、いわゆる熱電子を加速して利用するタイプである。なお、電子線発生部は2次電子を加速して利用するタイプであっても構わない。電子線発生部70は、熱電子発生源となるフィラメント71、フィラメント71から発生する熱電子を取り出すグリッド72、グリッド72を通過した有効な電子が透過する窓部73とを有するものである。
電子線発生部70の内部は電子が気体分子と衝突してエネルギーを損失することを防止するため、1×10−6Torr以上の真空度に設定されている。この場合、電子線発生部内を給排気するための給排気装置(図示せず)が接続され、給排気装置によって電子線発生部内の圧力調整を行う。
厚さ600μmの石英基板(外形65mm×65mm、パターン領域1mm×1mm)に凹部幅30nm、凸部幅30nm(深さ60nm)のラインアンドスペース状の凹凸パターンを形成する。シリコン基材上に電子線硬化性樹脂(大日精化(株)製 EB256)からなる樹脂層をスピンコート法により厚み200nmで塗布する。これらを転写部内に配置し、表面に離型剤(ダイキン工業(株)社製 オプツールDSX)を形成しておいた凹凸パターンを樹脂層に接触、押圧し、モールドとシリコン基材との間隔を20nmとなるように設定する。その後、電子線発生部で加速した電子線(加速電圧350kV)を5Mrad照射した後、離型を行った。離型後のモールドの表面を電子顕微鏡により観察したところ、付着した樹脂は見られなかった。また離型後の樹脂層を電子顕微鏡によりにより観察したところ、樹脂層に破損している箇所は見られなかった。
実施例1とほぼ同様のモールドを準備する。シリコン基材上に反応開始剤を含まない紫外線硬化性樹脂(東洋合成工業(株)製 UVナノインプリン専用樹脂 PAK−01)からなる樹脂層をスピンコート法により厚み200nmで塗布する。これらを転写部内に配置し、表面に離型剤(ダイキン工業(株)社製 オプツールDSX)を形成しておいた凹凸パターンを樹脂層に接触、押圧し、モールドとシリコン基材との間隔を20nmとなるように設定する。その後、電子線発生部で加速した電子線(加速電圧350kV)を5Mrad照射した後、離型を行った。離型後のモールドの表面を電子顕微鏡により観察したところ、付着した樹脂は見られなかった。また離型後の樹脂層を電子顕微鏡により観察したところ、樹脂層に破損している箇所は見られなかった。
実施例1とほぼ同様のモールドを準備する。シリコン基材上に電子線硬化性樹脂(ダウコーニング(株)製 HSQ FOX−12)からなる樹脂層をスピンコート法により厚み200nmで塗布する。これらを転写部内に配置し、表面に離型剤(ダイキン工業(株)社製 オプツールDSX)を形成しておいた凹凸パターンを樹脂層に接触、押圧し、モールドとシリコン基材との間隔を20nmとなるように設定する。その後、電子線発生部で加速した電子線(加速電圧350kV)を5Mrad照射した後、離型を行った。離型後のモールドの表面を電子顕微鏡により観察したところ、付着した樹脂は見られなかった。また離型後の樹脂層を電子顕微鏡により観察したところ、樹脂層に破損している箇所は見られなかった。
実施例1とほぼ同様のモールドを準備する。シリコン基材上に反応開始剤を5.0重量%含む紫外線硬化性樹脂(東洋合成工業(株)製 UVナノインプリン専用樹脂 PAK−01)からなる樹脂層をスピンコート法により厚み200nmで塗布する。これらを転写部内に配置し、表面に離型剤(ダイキン工業(株)社製 オプツールDSX)を形成しておいた凹凸パターンを樹脂層に接触、押圧し、モールドとシリコン基材との間隔を20nmとなるように設定する。その後、紫外線(露光量100mJ)を照射した後、離型を行った。離型後のモールドの表面を電子顕微鏡により観察したところ、パターン領域内で樹脂の一部が20箇所、また非パターン領域内で樹脂の一部が3箇所付着していた。これにより樹脂層が破損していることが分かった。
2:凹凸パターン
3:切欠部
4:導電膜
5:凸構造部
6:把持部
10:基材
20:樹脂層
21:硬化不足部
50:ナノインプリント装置
51:転写部
52:モールドチャック
53:モールドステージ
54:基材チャック
55:基材ステージ
70:電子線発生部
71:フィラメント
72:グリッド
73:窓部
74a:加熱用電源
74b:制御用電源
74c:加速用電源
100:モールド
110:基材
120:樹脂層
120a:基材付着樹脂
120b:モールド付着樹脂
Claims (10)
- 基材上に電子線硬化性樹脂からなる樹脂層を形成し、
前記樹脂層に凹凸パターンを有するモールドを接触させ、
前記樹脂層に、前記モールドの凹凸パターンが形成された面の反対側から前記モールドをその厚さ方向に透過するように加速した電子線を照射することにより、前記樹脂層を硬化させ、
硬化した前記樹脂層と前記モールドとを引き離すことを含み、
電子線は、前記樹脂層と前記モールドを引き離す際に前記樹脂層に破損が生じない程度に加速されていることを特徴とするナノインプリント方法。 - 少なくとも前記モールドの凹凸パターンが存在する部位の電子線透過率が40%以上であることを特徴とする請求項1記載のナノインプリント方法。
- 前記モールドの凹凸パターンが存在しない部位の電子線透過率が1%未満であることを特徴とする請求項1または2記載のナノインプリント方法。
- 少なくとも前記モールドの凹凸パターンが存在する部位の厚さが300μm〜600μmの範囲であり、前記モールドの凹凸パターンが存在する部位を透過可能なように電子線の加速電圧を設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のナノインプリント方法。
- 前記樹脂層に前記モールドを接触させた後、
前記モールドを押圧して変形させて前記凹凸パターン内に前記電子線硬化樹脂を充填し、
前記モールドを変形させた状態で前記樹脂層に電子線を照射することを特徴とする請求項4記載のナノインプリント方法。 - 前記モールドを除電しながら、前記樹脂層に電子線を照射することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のナノインプリント方法。
- 前記モールドが大気圧下に置かれていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のナノインプリント方法。
- 基材上に形成した電子線硬化性樹脂からなる樹脂層に、凹凸パターンを有するモールドを用いて3次元構造体を形成するナノインプリント装置であって、
前記モールドをその厚さ方向に透過するように加速した電子線を発生させる電子線発生部と、
前記電子線発生部から発生した電子線を樹脂層に照射し、前記樹脂層にモールドの凹凸パターンの転写が行われる転写部と、
前記転写部と前記電子線発生部とを仕切るとともに電子線を透過させる窓部と、を備え、
前記電子線発生部は前記モールドの背面側に位置するように配置され、
前記電子線発生部は、前記樹脂層と前記モールドを引き離す際に前記樹脂層に破損が生じない程度に電子線を加速することを特徴とするナノインプリント装置。 - 前記転写部は、前記モールドを除電する除電機構を有することを特徴とする請求項8記載のナノインプリント装置。
- 前記転写部は、前記モールドの側面あるいは凹凸パターン形成面の反対側から、前記モールドに圧力を印加して前記モールドを変形させる圧力印加機構を有することを特徴とする請求項8または9記載のナノインプリント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009196793A JP5515516B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009196793A JP5515516B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011049374A JP2011049374A (ja) | 2011-03-10 |
JP5515516B2 true JP5515516B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=43835419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009196793A Active JP5515516B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | ナノインプリント方法、パターン形成体、及びナノインプリント装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5515516B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5597444B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2014-10-01 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、インプリントモールド用マスクブランクの製造方法、及びインプリントモールドの製造方法 |
JP5587672B2 (ja) * | 2010-05-31 | 2014-09-10 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、インプリントモールド用マスクブランクの製造方法、及びインプリントモールドの製造方法 |
JP5845597B2 (ja) * | 2011-03-10 | 2016-01-20 | ダイキン工業株式会社 | 微細構造体の製造方法 |
JP6029268B2 (ja) * | 2011-09-12 | 2016-11-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP2013074115A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Fujifilm Corp | ナノインプリント装置およびナノインプリント方法、並びに、歪み付与デバイスおよび歪み付与方法 |
JP2016523449A (ja) * | 2013-06-20 | 2016-08-08 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | モールド構造物を有するモールドならびにその製造のための装置および方法 |
JP6398200B2 (ja) * | 2014-01-24 | 2018-10-03 | 大日本印刷株式会社 | 樹脂パターンの形成方法および樹脂パターン形成装置 |
WO2015166851A1 (ja) * | 2014-05-02 | 2015-11-05 | 日本碍子株式会社 | 光学素子の製造方法 |
JP6361964B2 (ja) * | 2014-06-26 | 2018-07-25 | 大日本印刷株式会社 | デバイス製造装置 |
JP6797529B2 (ja) * | 2015-01-21 | 2020-12-09 | 東洋合成工業株式会社 | 光学部材の製造方法及びそれに用いられる組成物 |
JP2016149578A (ja) * | 2016-05-11 | 2016-08-18 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用レプリカテンプレートの製造方法 |
JP7119385B2 (ja) * | 2018-01-24 | 2022-08-17 | 株式会社リコー | 積層体の製造装置及び積層体の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58147801A (ja) * | 1982-02-26 | 1983-09-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 情報記録担体の複製法 |
JPS61278583A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Mitsubishi Electric Corp | 塗装鋼板の接着方法 |
JPH02289311A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-11-29 | Hoya Corp | スタンパーおよびこのスタンパーを用いる情報記録媒体用基板の製造方法 |
US6334960B1 (en) * | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
JP2001235600A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Nissin High Voltage Co Ltd | 電子線照射装置の窓箔と電子線照射装置 |
EP1187122A3 (en) * | 2000-09-12 | 2007-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for producing an optical information recording medium, and optical information recording medium |
JP2005288933A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Three M Innovative Properties Co | 可とう性成形型及びその製造方法 |
JP2006299371A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Ricoh Elemex Corp | 微細金属構造体の製造方法、および微細金属構造体 |
-
2009
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011049374A (ja) | 2011-03-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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