JP2012192494A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014112597B4 (de) * 2013-09-03 2016-10-06 Electronics And Telecommunications Research Institute Vibrationsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vibrationsvorrichtung
US9738511B2 (en) * 2013-09-13 2017-08-22 Invensense, Inc. Reduction of chipping damage to MEMS structure
US20150274517A1 (en) * 2014-03-25 2015-10-01 Invensense, Inc. Method to improve surface roughness and eliminate sharp corners on an actuator layer of a mems device
US9761557B2 (en) 2014-04-28 2017-09-12 Invensense, Inc. CMOS-MEMS integration by sequential bonding method
JP6696777B2 (ja) 2016-01-21 2020-05-20 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
CN110031966B (zh) * 2019-05-16 2021-12-07 苏州知芯传感技术有限公司 一种微镜及其制造方法
JP7292469B2 (ja) * 2020-04-23 2023-06-16 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2722314B2 (ja) 1993-12-20 1998-03-04 日本信号株式会社 プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
US6831765B2 (en) * 2001-02-22 2004-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Tiltable-body apparatus, and method of fabricating the same
JP3815363B2 (ja) * 2002-04-09 2006-08-30 株式会社デンソー 光デバイスの製造方法
JP4062225B2 (ja) 2003-09-30 2008-03-19 ブラザー工業株式会社 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置
JP4161950B2 (ja) * 2004-02-27 2008-10-08 セイコーエプソン株式会社 マイクロメカニカル静電アクチュエータ
US7619802B2 (en) * 2007-04-26 2009-11-17 Microvision, Inc. Suspension for maintaining mirror flatness of a MEMS device in a scanner system or the like
JP2009069341A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Seiko Epson Corp アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置
JP5354162B2 (ja) * 2008-10-24 2013-11-27 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置
JP2010165613A (ja) 2009-01-19 2010-07-29 Seiko Epson Corp リフレクター、光源モジュール、画像形成装置、及びリフレクターの製造方法
JP2010171164A (ja) 2009-01-22 2010-08-05 Seiko Epson Corp リフレクター、光源モジュール、画像形成装置、及びリフレクターの製造方法
JP2011048074A (ja) * 2009-08-26 2011-03-10 Seiko Epson Corp 光偏向器の製造方法

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