JP2011048074A - 光偏向器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射膜11を有する可動板10を形成する工程と、可動板10とは異なる部材で、可動板10を取り付けるための取付部21と、取付部21に取り付けられた可動板10を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部22とを有する軸部材20と、軸部材20と連結する支持部材30とを一体で形成する工程と、軸部材20と支持部材30に丸め処理を施す工程と、取付部21に可動板10を取り付ける工程とを備える。
【選択図】図4
Description
これにより、簡易に短時間で丸め処理を行うことができる。なお、可動板にフッ酸、硝酸、及び酢酸を含む混酸によるエッチングを施すと、可動板の表面が粗くなって反射率が低下する場合があるが、可動板は異なる部材で形成されており、丸め処理は施さないので、このような問題は生じない。
これにより、丸め処理を効率良く行うことができる。なお、可動板に水素アニール処理を施すと、可動板が熱により変形して光走査の精度が低下する場合があるが、可動板は異なる部材で形成されており、丸め処理は施さないので、このような問題は生じない。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態1による、光偏向器1の概略構成を示す上面図である。
上述のように、本実施形態では、可動板10と軸部材20は異なる部材として形成されており、可動板10は軸部材20上に取り付けられている。また、軸部材20と支持部材30は一体形成されている。
ただし、
a>bならば、τA>τBが成り立つので、最大せん断応力は、周辺上、中心に最も近い点で最大になる。
この時、弾性支持部22をトルクτでねじる時に生じる、単位長さ当りのねじれ角ω1、最大せん断応力τmaxは、下記の式(9)、(10)で表される。
このように、弾性支持部22に丸め処理を施すことにより、同じ大きさのトルクで捩じった場合に生じる最大せん断応力を低減させることができる。このため、丸め処理を施した弾性支持部22は、より大きなトルクによる捩じり、すなわちより大きなねじれ角に耐えられる。
式(13)と式(14)を比較すれば分かるように、θ1とθ2はほとんど変わらない。
以上のことから、円形断面の弾性支持部22は方形断面の弾性支持部22に比べて、短い長さで同じ角変位を実現できることが分かる。すなわち、光偏向器1全体の回転軸Aに沿う方向の幅を短くすることができる。
図8(a)は、実施の形態2による可動板10の上面図、図8(b)は可動板10の下面図である。なお、実施の形態1による光偏向器1と同一または対応する構成は同一の符号をもって表し、その説明を省略する。
本発明に係る光偏向器1の応用例として、投射型の表示装置を説明する。図10は、投射型の表示装置の概略構成を示す図である。図10に示す表示装置は、水平走査ミラーとして本発明に係る光偏向器1を用いている。
例えば、可動板は円形以外の多角形でもよい。また、実施の形態1,2では、1次元1自由度で駆動するタイプの可動板を例示したが、2次元に駆動するタイプの可動板であってもよく、また、1次元2自由度で駆動するタイプの可動板であってもよい。2次元に駆動するタイプの振動ミラーを用いた場合には、垂直ミラー104は不要である。
また、光偏向器1は、表示装置以外にもレーザプリンタ等に適用可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (5)
- 反射部を有する可動板を形成する工程と、
前記可動板とは異なる部材で、前記可動板を取り付けるための取付部と、前記取付部に取り付けられた前記可動板を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部と、を有する軸部材と、前記軸部材と連結する支持部材とを一体で形成する工程と、
前記軸部材と前記支持部材に丸め処理を施す工程と、
前記取付部に前記可動板を取り付ける工程と、を備えた光偏向器の製造方法。 - 反射部を有する可動板を形成する工程と、
前記可動板とは異なる部材で、前記可動板を取り付けるための取付部と、前記取付部に取り付けられた前記可動板を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部と、を有する軸部材を形成する工程と、
前記軸部材に丸め処理を施す工程と、
前記取付部に前記可動板を取り付ける工程と、を備えた光偏向器の製造方法。 - 請求項1または2に記載の光偏向器の製造方法であって、
前記丸め処理を施す工程では、フッ酸、硝酸、及び酢酸を含む混酸によるエッチングを行うことを特徴とする、光偏向器の製造方法。 - 請求項1または2に記載の光偏向器の製造方法であって、
前記丸め処理を施す工程では、水素アニール処理を行うことを特徴とする、光偏向器の製造方法。 - 請求項1または2に記載の光偏向器の製造方法であって、
前記丸め処理を施す工程では、等方性ドライエッチングを行うことを特徴とする、光偏向器の製造方法。
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