JP7065146B2 - アクチュエータ装置 - Google Patents
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Claims (17)
- 枠部と、
枠状に形成され、前記枠部の内側に配置された支持部と、
前記支持部の内側に配置された可動部と、
可動部が揺動可能となるように可動部を支持部に連結する第1連結部と、
支持部が揺動可能となるように支持部を枠部に連結する第2連結部と、
前記可動部に設けられたミラーと、を備え、
前記第1連結部には、第1導電型の不純物層を含む第1配線が設けられており、
前記第2連結部には、金属材料により構成された部分を含む第2配線が設けられており、
前記第1配線と前記第2配線とは、互いに電気的に接続されており、
前記第2配線は、前記第2連結部及び前記支持部上に配置されており、
前記第1配線は、前記支持部上に配置された第1部分を有しており、
前記第1部分は、前記第1連結部の延在方向と交差する方向に延びる延在部分を有しており、
前記第1配線は、前記第1部分の前記延在部分において前記第2配線に電気的に接続されており、
前記不純物層は、前記延在部分が前記不純物層を含んで構成されるように前記支持部、前記第1連結部及び前記可動部にわたって設けられている、アクチュエータ装置。 - 前記第1連結部は、第2導電型の領域を更に含む、請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1配線は、前記可動部上に配置された第2部分を有し、
前記第2部分は、前記第1連結部の延在方向と交差する方向に延びる部分を有する、請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2配線における前記第1配線と電気的に接続された端部には、拡幅部が設けられている、請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 下記(1)及び(2)の少なくとも一方が満たされている、請求項1~4のいずれかいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
(1)前記第1連結部における前記可動部側の端部は、前記可動部に近づくほど幅が増加している。
(2)前記第1連結部における前記支持部側の端部は、前記支持部に近づくほど幅が増加している。 - 前記第1連結部は、所定の直線に沿って延在しており、
前記第2連結部は、複数の直線状部を有している、請求項1~5のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記可動部は、前記可動部の共振周波数で揺動させられる、請求項1~6のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2配線の総長さは、前記第1配線の総長さよりも長い、請求項1~7のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第1連結部を一対備え、
前記一対の第1連結部の各々には、前記第1配線が設けられている、請求項1~8のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第1配線は、前記不純物層上に配置された金属層を更に含み、前記金属層において前記第2配線に電気的に接続されている、請求項1~9のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記第2連結部を一対備え、
前記一対の第2連結部の各々には、前記第2配線が設けられている、請求項1~10のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第2連結部は、蛇行形状を呈している、請求項1~11のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
- 前記可動部に設けられたコイルを更に備え、
前記第1配線は、前記コイルに電気的に接続されている、請求項1~12のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記第1連結部は、第1軸線周りに前記可動部が揺動可能となるように前記可動部を前記支持部に連結しており、
前記第2連結部は、前記第1軸線と直交する第2軸線周りに前記支持部が揺動可能となるように前記支持部を前記枠部に連結している、請求項1~13のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 前記可動部は、枠状の部分と、空間を介して前記枠状の部分の内側に配置された配置部と、を有し、
前記ミラーは、前記配置部上に配置されている、請求項1~14のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。 - 枠部と、
枠状に形成され、前記枠部の内側に配置された支持部と、
前記支持部の内側に配置された可動部と、
可動部が揺動可能となるように可動部を支持部に連結する第1連結部と、
支持部が揺動可能となるように支持部を枠部に連結する第2連結部と、
前記可動部に設けられたミラーと、を備え、
前記第1連結部には、第1導電型の不純物層を含む第1配線が設けられており、
前記第2連結部には、金属材料により構成された部分を含む第2配線が設けられており、
前記第1配線と前記第2配線とは、互いに電気的に接続されており、
前記不純物層は、前記支持部、前記第1連結部及び前記可動部にわたって設けられており、
前記第1連結部は、第2導電型の領域を更に含む、アクチュエータ装置。 - 枠部と、
枠状に形成され、前記枠部の内側に配置された支持部と、
前記支持部の内側に配置された可動部と、
可動部が揺動可能となるように可動部を支持部に連結する第1連結部と、
支持部が揺動可能となるように支持部を枠部に連結する第2連結部と、
前記可動部に設けられたミラーと、を備え、
前記第1連結部には、第1導電型の不純物層を含む第1配線が設けられており、
前記第2連結部には、金属材料により構成された部分を含む第2配線が設けられており、
前記第1配線と前記第2配線とは、互いに電気的に接続されており、
前記不純物層は、前記支持部、前記第1連結部及び前記可動部にわたって設けられており、
前記第2配線は、前記第2連結部及び前記支持部上に配置されており、
前記第2配線における前記第1配線と電気的に接続された端部には、拡幅部が設けられている、アクチュエータ装置。
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