JP5834431B2 - アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置 - Google Patents

アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5834431B2
JP5834431B2 JP2011058556A JP2011058556A JP5834431B2 JP 5834431 B2 JP5834431 B2 JP 5834431B2 JP 2011058556 A JP2011058556 A JP 2011058556A JP 2011058556 A JP2011058556 A JP 2011058556A JP 5834431 B2 JP5834431 B2 JP 5834431B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
edge
insulating layer
movable
base
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2011058556A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012192494A5 (enExample
JP2012192494A (ja
Inventor
溝口 安志
安志 溝口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2011058556A priority Critical patent/JP5834431B2/ja
Priority to US13/358,768 priority patent/US8797625B2/en
Publication of JP2012192494A publication Critical patent/JP2012192494A/ja
Publication of JP2012192494A5 publication Critical patent/JP2012192494A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5834431B2 publication Critical patent/JP5834431B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/085Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/18Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with coil systems moving upon intermittent or reversed energisation thereof by interaction with a fixed field system, e.g. permanent magnets

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
JP2011058556A 2011-03-16 2011-03-16 アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置 Expired - Fee Related JP5834431B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011058556A JP5834431B2 (ja) 2011-03-16 2011-03-16 アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
US13/358,768 US8797625B2 (en) 2011-03-16 2012-01-26 Actuator, method for manufacturing actuator, and optical scanner

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011058556A JP5834431B2 (ja) 2011-03-16 2011-03-16 アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012192494A JP2012192494A (ja) 2012-10-11
JP2012192494A5 JP2012192494A5 (enExample) 2014-04-24
JP5834431B2 true JP5834431B2 (ja) 2015-12-24

Family

ID=46828240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011058556A Expired - Fee Related JP5834431B2 (ja) 2011-03-16 2011-03-16 アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8797625B2 (enExample)
JP (1) JP5834431B2 (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9650238B2 (en) 2013-09-03 2017-05-16 Electronics And Telecommunications Research Institute Vibration device including support portion
US9738511B2 (en) * 2013-09-13 2017-08-22 Invensense, Inc. Reduction of chipping damage to MEMS structure
US20150274517A1 (en) * 2014-03-25 2015-10-01 Invensense, Inc. Method to improve surface roughness and eliminate sharp corners on an actuator layer of a mems device
US9761557B2 (en) 2014-04-28 2017-09-12 Invensense, Inc. CMOS-MEMS integration by sequential bonding method
JP6696777B2 (ja) 2016-01-21 2020-05-20 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
CN110031966B (zh) * 2019-05-16 2021-12-07 苏州知芯传感技术有限公司 一种微镜及其制造方法
JP7292469B2 (ja) * 2020-04-23 2023-06-16 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2722314B2 (ja) 1993-12-20 1998-03-04 日本信号株式会社 プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
US6831765B2 (en) * 2001-02-22 2004-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Tiltable-body apparatus, and method of fabricating the same
JP3815363B2 (ja) * 2002-04-09 2006-08-30 株式会社デンソー 光デバイスの製造方法
JP4062225B2 (ja) 2003-09-30 2008-03-19 ブラザー工業株式会社 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置
JP4161950B2 (ja) * 2004-02-27 2008-10-08 セイコーエプソン株式会社 マイクロメカニカル静電アクチュエータ
US7619802B2 (en) * 2007-04-26 2009-11-17 Microvision, Inc. Suspension for maintaining mirror flatness of a MEMS device in a scanner system or the like
JP2009069341A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Seiko Epson Corp アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置
JP5354162B2 (ja) * 2008-10-24 2013-11-27 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置
JP2010165613A (ja) 2009-01-19 2010-07-29 Seiko Epson Corp リフレクター、光源モジュール、画像形成装置、及びリフレクターの製造方法
JP2010171164A (ja) 2009-01-22 2010-08-05 Seiko Epson Corp リフレクター、光源モジュール、画像形成装置、及びリフレクターの製造方法
JP2011048074A (ja) * 2009-08-26 2011-03-10 Seiko Epson Corp 光偏向器の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20120236383A1 (en) 2012-09-20
US8797625B2 (en) 2014-08-05
JP2012192494A (ja) 2012-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013035081A (ja) アクチュエーターの製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5834431B2 (ja) アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5146204B2 (ja) 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置
JP5842356B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP6111532B2 (ja) 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置
JP5842369B2 (ja) アクチュエーターの製造方法、光スキャナーの製造方法および画像形成装置の製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
CN101988988B (zh) 光偏转器、光偏转器的制造方法及图像显示装置
JP6075062B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5817158B2 (ja) 光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5909862B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2014056211A (ja) アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP5640687B2 (ja) アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2013097026A (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5949345B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2013027942A (ja) アクチュエーターの製造方法、アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP6187405B2 (ja) 光偏向器
JP2017068213A (ja) 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP5842837B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP6003025B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2006343482A (ja) 光スキャナ
US8614831B2 (en) Actuator and optical scanner
JP5023952B2 (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP5909914B2 (ja) アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2008052218A (ja) 可動構造体の製造方法及び同構造体を備えた光学素子

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140312

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140312

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150227

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150331

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150528

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151006

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151019

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5834431

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees